JPH06127964A - 光ファイバ母材の脱水焼結炉 - Google Patents
光ファイバ母材の脱水焼結炉Info
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- JPH06127964A JPH06127964A JP27981292A JP27981292A JPH06127964A JP H06127964 A JPH06127964 A JP H06127964A JP 27981292 A JP27981292 A JP 27981292A JP 27981292 A JP27981292 A JP 27981292A JP H06127964 A JPH06127964 A JP H06127964A
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- Japan
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- core tube
- furnace
- pressure
- optical fiber
- gas
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉心管内の短周期的な圧力変動を吸収できる
光ファイバ母材の脱水焼結炉を提供する。 【構成】 脱水焼結すべき光ファイバ母材1を炉心管2
内に収容する。炉心管2の外には、光ファイバ母材1を
加熱するヒータ3を配置する。炉心管2の外周には、ヒ
ータ3を断熱材4を介して収容する炉体5を配置する。
炉心管2内と炉体5内とには不活性ガスを供給する。炉
心管2内と炉体5内とのガス圧力を差圧計11で比較
し、炉心管2内のガス圧力が所定の圧力となるように電
動弁12で制御する。炉心管2には、その内部圧力の変
動を吸収する圧力変動吸収容器13を接続する。
光ファイバ母材の脱水焼結炉を提供する。 【構成】 脱水焼結すべき光ファイバ母材1を炉心管2
内に収容する。炉心管2の外には、光ファイバ母材1を
加熱するヒータ3を配置する。炉心管2の外周には、ヒ
ータ3を断熱材4を介して収容する炉体5を配置する。
炉心管2内と炉体5内とには不活性ガスを供給する。炉
心管2内と炉体5内とのガス圧力を差圧計11で比較
し、炉心管2内のガス圧力が所定の圧力となるように電
動弁12で制御する。炉心管2には、その内部圧力の変
動を吸収する圧力変動吸収容器13を接続する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス微粒子を堆積し
て作られた光ファイバ母材を脱水及び透明ガラス化する
光ファイバ母材の脱水焼結炉に関するものである。
て作られた光ファイバ母材を脱水及び透明ガラス化する
光ファイバ母材の脱水焼結炉に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来のこの種の光ファイバ母材
の脱水焼結炉を示したものである。該光ファイバ母材の
脱水焼結炉は、脱水焼結すべき光ファイバ母材1を収容
する石英製の炉心管2と、該炉心管2の外で光ファイバ
母材1を加熱するヒータ3と、該炉心管2の外周で断熱
材4を介してヒータ3を収容している炉体5とを備えて
いる。
の脱水焼結炉を示したものである。該光ファイバ母材の
脱水焼結炉は、脱水焼結すべき光ファイバ母材1を収容
する石英製の炉心管2と、該炉心管2の外で光ファイバ
母材1を加熱するヒータ3と、該炉心管2の外周で断熱
材4を介してヒータ3を収容している炉体5とを備えて
いる。
【0003】炉心管2内には、その下部のガス供給口6
からヘリウムガスの如き不活性ガスと塩化ガスの如き脱
水ガスとが供給されるようになっている。炉心管2の上
部には、ガス排気口7が設けられている。
からヘリウムガスの如き不活性ガスと塩化ガスの如き脱
水ガスとが供給されるようになっている。炉心管2の上
部には、ガス排気口7が設けられている。
【0004】炉体5内には、ヒータ3及び断熱材4が酸
化による劣化を起こさないように、下部のガス供給口8
からアルゴンガスの如き不活性ガスが供給されるように
なっている。炉心管2の上部には、ガス排気口9が設け
られている。
化による劣化を起こさないように、下部のガス供給口8
からアルゴンガスの如き不活性ガスが供給されるように
なっている。炉心管2の上部には、ガス排気口9が設け
られている。
【0005】更に、該光ファイバ母材の脱水焼結炉は、
炉心管2内と炉体5内とのガス圧力を比較して炉心管2
内のガス圧力が所定の圧力となるように炉心管2内のガ
ス圧力を制御するガス圧制御機構10が設けられてい
る。該ガス圧制御機構10は、炉心管2内と炉体5内と
のガス圧力を比較する差圧計11と、該差圧計11で計
測した差圧が所定以上になったとき炉心管2のガス排気
口7から排出されるガスの量を制御する電動弁12とで
構成されている。
炉心管2内と炉体5内とのガス圧力を比較して炉心管2
内のガス圧力が所定の圧力となるように炉心管2内のガ
ス圧力を制御するガス圧制御機構10が設けられてい
る。該ガス圧制御機構10は、炉心管2内と炉体5内と
のガス圧力を比較する差圧計11と、該差圧計11で計
測した差圧が所定以上になったとき炉心管2のガス排気
口7から排出されるガスの量を制御する電動弁12とで
構成されている。
【0006】このような光ファイバ母材の脱水焼結炉で
は、炉心管2はヒータ3による加熱のため非常に高温に
なって柔らかくなる。このとき、炉心管2内と炉体5内
との圧力差が大きくなれば、炉心管2は変形し、時には
つぶれたり、穴があいたりする。それを防止するために
は、炉心管2内の圧力を炉体5内の圧力より一定圧力だ
け高くなるように制御する必要がある。そこで差圧計1
1により炉心管2内と炉体5内との差圧を測定し、その
値により電動弁12の開度を変化させ、炉心管2内と炉
体5内との差圧を制御する。
は、炉心管2はヒータ3による加熱のため非常に高温に
なって柔らかくなる。このとき、炉心管2内と炉体5内
との圧力差が大きくなれば、炉心管2は変形し、時には
つぶれたり、穴があいたりする。それを防止するために
は、炉心管2内の圧力を炉体5内の圧力より一定圧力だ
け高くなるように制御する必要がある。そこで差圧計1
1により炉心管2内と炉体5内との差圧を測定し、その
値により電動弁12の開度を変化させ、炉心管2内と炉
体5内との差圧を制御する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉では、炉心管2
内と炉体5内との差圧について、長周期の変動は制御で
きたが、短周期の変動は制御しきれない問題点があっ
た。調査の結果、炉心管2内のガスの膨張などが短周期
の炉心管2内の圧力変動を引き起こしていることがわか
った。
うな従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉では、炉心管2
内と炉体5内との差圧について、長周期の変動は制御で
きたが、短周期の変動は制御しきれない問題点があっ
た。調査の結果、炉心管2内のガスの膨張などが短周期
の炉心管2内の圧力変動を引き起こしていることがわか
った。
【0008】この内圧変動により炉心管2が変形するこ
とが多く見られた。炉心管2が内側にへこんだ場合、該
炉心管2内に所定外径の光ファイバ母材1を入れると、
炉心管2に接触し、不良品になってしまう。また、炉心
管2が外側に膨らんだ場合、該炉心管2はヒータ3に接
触し、該炉心管2に穴があき、有害なガスが漏れること
になる。
とが多く見られた。炉心管2が内側にへこんだ場合、該
炉心管2内に所定外径の光ファイバ母材1を入れると、
炉心管2に接触し、不良品になってしまう。また、炉心
管2が外側に膨らんだ場合、該炉心管2はヒータ3に接
触し、該炉心管2に穴があき、有害なガスが漏れること
になる。
【0009】本発明の目的は、炉心管内の短周期的な圧
力変動を吸収できる光ファイバ母材の脱水焼結炉を提供
することにある。
力変動を吸収できる光ファイバ母材の脱水焼結炉を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の構成を説明すると、本発明は脱水焼結すべき光フ
ァイバ母材を収容する炉心管と、前記炉心管の外で前記
光ファイバ母材を加熱するヒータと、前記炉心管の外周
で前記ヒータを収容している炉体とを備え、前記炉心管
内と前記炉体内とに不活性ガスを供給し、前記炉心管内
と前記炉体内とのガス圧力を比較して前記炉心管内のガ
ス圧力が所定の圧力となるように前記炉心管のガス圧力
を制御するガス圧制御機構を備えた光ファイバ母材の脱
水焼結炉において、前記炉心管にはその内部圧力の変動
を吸収する圧力変動吸収容器が接続されていることを特
徴とする。
発明の構成を説明すると、本発明は脱水焼結すべき光フ
ァイバ母材を収容する炉心管と、前記炉心管の外で前記
光ファイバ母材を加熱するヒータと、前記炉心管の外周
で前記ヒータを収容している炉体とを備え、前記炉心管
内と前記炉体内とに不活性ガスを供給し、前記炉心管内
と前記炉体内とのガス圧力を比較して前記炉心管内のガ
ス圧力が所定の圧力となるように前記炉心管のガス圧力
を制御するガス圧制御機構を備えた光ファイバ母材の脱
水焼結炉において、前記炉心管にはその内部圧力の変動
を吸収する圧力変動吸収容器が接続されていることを特
徴とする。
【0011】
【作用】このように炉心管に圧力変動吸収容器を接続し
ておくと、炉心管内の短周期的な圧力変動を吸収するこ
とができる。
ておくと、炉心管内の短周期的な圧力変動を吸収するこ
とができる。
【0012】
【実施例】図1は、本発明に係る光ファイバ母材の脱水
焼結炉の一実施例を示したものである。なお、前述した
図3と対応する部分には、同一符号を付けて示してい
る。本実施例の光ファイバ母材の脱水焼結炉では、炉心
管2内の内部圧力の変動を吸収する圧力変動吸収容器1
3が該炉心管2のガス排気口7に接続されている。本実
施例では、この圧力変動吸収容器13はフッ素系樹脂の
シートで形成されている。フッ素系樹脂は、耐薬品性,
耐候性に優れている。また、シートで作ると、炉心管2
内と炉体5内との±数mmH2 O程度の微妙な差圧を吸収
し易い。
焼結炉の一実施例を示したものである。なお、前述した
図3と対応する部分には、同一符号を付けて示してい
る。本実施例の光ファイバ母材の脱水焼結炉では、炉心
管2内の内部圧力の変動を吸収する圧力変動吸収容器1
3が該炉心管2のガス排気口7に接続されている。本実
施例では、この圧力変動吸収容器13はフッ素系樹脂の
シートで形成されている。フッ素系樹脂は、耐薬品性,
耐候性に優れている。また、シートで作ると、炉心管2
内と炉体5内との±数mmH2 O程度の微妙な差圧を吸収
し易い。
【0013】このような光ファイバ母材の脱水焼結炉で
は、炉心管2内と炉体5内との大きな差圧は電動弁12
で調整し、炉体5内の微妙な圧力変動は圧力変動吸収容
器13で吸収する。
は、炉心管2内と炉体5内との大きな差圧は電動弁12
で調整し、炉体5内の微妙な圧力変動は圧力変動吸収容
器13で吸収する。
【0014】図2は、本発明で用いる圧力変動吸収容器
13の他の例を示したものである。本実施例では、圧力
変動吸収容器13の上に微妙な圧力αで該圧力変動吸収
容器13が膨らもうとする力と釣り合う重り14が乗せ
られている。
13の他の例を示したものである。本実施例では、圧力
変動吸収容器13の上に微妙な圧力αで該圧力変動吸収
容器13が膨らもうとする力と釣り合う重り14が乗せ
られている。
【0015】このようにすると、圧力変動吸収容器13
内の圧力がαだけ上昇しようとすれば、重り14が押し
上げられ、圧力変動吸収容器13内の圧力がαだけ減少
しようとすれば、重り14が下降され、圧力変動吸収容
器13内の圧力が一定に保たれる。
内の圧力がαだけ上昇しようとすれば、重り14が押し
上げられ、圧力変動吸収容器13内の圧力がαだけ減少
しようとすれば、重り14が下降され、圧力変動吸収容
器13内の圧力が一定に保たれる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光ファ
イバ母材の脱水焼結炉では、炉心管に圧力変動吸収容器
を接続したので、炉心管内の短周期的な圧力変動を吸収
することができる。このため炉心管が短周期的な圧力変
動で変形するのを防止することができる。
イバ母材の脱水焼結炉では、炉心管に圧力変動吸収容器
を接続したので、炉心管内の短周期的な圧力変動を吸収
することができる。このため炉心管が短周期的な圧力変
動で変形するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼結炉の一
実施例の縦断面図である。
実施例の縦断面図である。
【図2】本発明に係る光ファイバ母材の脱水焼結炉で用
いる圧力変動吸収容器の他の例を示す縦断面図である。
いる圧力変動吸収容器の他の例を示す縦断面図である。
【図3】従来の光ファイバ母材の脱水焼結炉の一実施例
の縦断面図である。
の縦断面図である。
1 光ファイバ母材 2 炉心管 3 ヒータ 4 断熱材 5 炉体 6 ガス供給口 7 ガス排気口 8 ガス供給口 9 ガス排気口 10 ガス圧制御機構 11 差圧計 12 電動弁 13 圧力変動吸収容器 14 重り
Claims (1)
- 【請求項1】 脱水焼結すべき光ファイバ母材を収容す
る炉心管と、前記炉心管の外で前記光ファイバ母材を加
熱するヒータと、前記炉心管の外周で前記ヒータを収容
している炉体とを備え、前記炉心管内と前記炉体内とに
不活性ガスを供給し、前記炉心管内と前記炉体内とのガ
ス圧力を比較して前記炉心管内のガス圧力が所定の圧力
となるように前記炉心管のガス圧力を制御するガス圧制
御機構を備えた光ファイバ母材の脱水焼結炉において、 前記炉心管にはその内部圧力の変動を吸収する圧力変動
吸収容器が接続されていることを特徴とする光ファイバ
母材の脱水焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27981292A JPH06127964A (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27981292A JPH06127964A (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06127964A true JPH06127964A (ja) | 1994-05-10 |
Family
ID=17616267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27981292A Pending JPH06127964A (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06127964A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001016038A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dispositif de vitrification de préforme poreuse |
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| US6845636B2 (en) | 2000-09-01 | 2005-01-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Apparatus for dehydrating and consolidating an optical fiber preform and method of the same |
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| US7849714B2 (en) | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
| US7866189B2 (en) | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| WO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| CN105669019A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-06-15 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 光纤预制棒的制造装置及其制造方法 |
| JP2018052772A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造方法および製造装置 |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
-
1992
- 1992-10-19 JP JP27981292A patent/JPH06127964A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| WO2001016038A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dispositif de vitrification de préforme poreuse |
| US6748766B2 (en) | 1999-08-26 | 2004-06-15 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Porous preform vitrification apparatus |
| US6845636B2 (en) | 2000-09-01 | 2005-01-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Apparatus for dehydrating and consolidating an optical fiber preform and method of the same |
| US7849714B2 (en) | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
| US7866189B2 (en) | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| CN102933511A (zh) * | 2010-06-30 | 2013-02-13 | 株式会社藤仓 | 炉心管的检查方法及石英玻璃系光纤用的母材的制造方法 |
| WO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| JPWO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2013-08-29 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| US8978421B2 (en) | 2010-06-30 | 2015-03-17 | Fujikura Ltd. | Muffle tube inspection method and manufacturing method of silica glass-based optical fiber preform |
| CN105669019A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-06-15 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 光纤预制棒的制造装置及其制造方法 |
| WO2017181649A1 (zh) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 光纤预制棒的制造装置及其制造方法 |
| CN105669019B (zh) * | 2016-04-19 | 2018-08-07 | 江苏亨通光导新材料有限公司 | 光纤预制棒的制造装置及其制造方法 |
| JP2018052772A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造方法および製造装置 |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
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