JPH10120428A - 脱水焼結炉の圧力調整装置 - Google Patents
脱水焼結炉の圧力調整装置Info
- Publication number
- JPH10120428A JPH10120428A JP29577896A JP29577896A JPH10120428A JP H10120428 A JPH10120428 A JP H10120428A JP 29577896 A JP29577896 A JP 29577896A JP 29577896 A JP29577896 A JP 29577896A JP H10120428 A JPH10120428 A JP H10120428A
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- JP
- Japan
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- pressure
- sintering furnace
- gas
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- sintering
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1453—Thermal after-treatment of the shaped article, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ほぼ正確な圧力調整を行うことができるとと
もに、耐久性の点でも優れたものを提供する。 【解決手段】 スートプリフォームの脱水・焼結を行う
焼結炉１０と連通管１で連通・連結され、焼結炉１０内
のガスが流入する圧力調整室２と、連通管１の一部に設
けられ、この連通管１を通過するガスの圧力を検出する
圧力検出手段３と、焼結炉１０からこの圧力調整室２に
流入するガスの圧力が所定値を越えるとこのガスの一部
を適宜外部へ排気する電磁弁４とを備えた。
もに、耐久性の点でも優れたものを提供する。 【解決手段】 スートプリフォームの脱水・焼結を行う
焼結炉１０と連通管１で連通・連結され、焼結炉１０内
のガスが流入する圧力調整室２と、連通管１の一部に設
けられ、この連通管１を通過するガスの圧力を検出する
圧力検出手段３と、焼結炉１０からこの圧力調整室２に
流入するガスの圧力が所定値を越えるとこのガスの一部
を適宜外部へ排気する電磁弁４とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバ製造
に使用する母材（スートプリフォーム）の脱水・焼結を
行う脱水焼結炉に係り、特にこの脱水焼結炉の内圧を一
定に調整することができる圧力調整装置に関するもので
ある。
に使用する母材（スートプリフォーム）の脱水・焼結を
行う脱水焼結炉に係り、特にこの脱水焼結炉の内圧を一
定に調整することができる圧力調整装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、光ファイバの製造方法の
一つとして知られているＶＡＤ法では、種棒（石英棒）
にスートを堆積させて母材（以下スートプリフォームと
よぶ）を形成したのち、このスートプリフォームを高温
で脱水・焼結させるようになっているが、この脱水・焼
結のために焼結炉が使用されている。
一つとして知られているＶＡＤ法では、種棒（石英棒）
にスートを堆積させて母材（以下スートプリフォームと
よぶ）を形成したのち、このスートプリフォームを高温
で脱水・焼結させるようになっているが、この脱水・焼
結のために焼結炉が使用されている。
【０００３】図２に示すように、この焼結炉１０には、
加熱用のヒータ１００を備えるとともに外部からの空気
を流入を遮断しほぼ気密状態に保持されており、適宜の
吸気口１０Ａからヘリウムガス等のような脱水ガスを内
部に送り込むようになっているが、均一な脱水・焼結作
用を行うために内圧をほぼ一定に保つ必要がある。
加熱用のヒータ１００を備えるとともに外部からの空気
を流入を遮断しほぼ気密状態に保持されており、適宜の
吸気口１０Ａからヘリウムガス等のような脱水ガスを内
部に送り込むようになっているが、均一な脱水・焼結作
用を行うために内圧をほぼ一定に保つ必要がある。
【０００４】そこで、この焼結炉１０には、例えば図２
に示すように、連通管１０１を介して連通した袋状の空
気溜（耐熱性の材料で形成したもの）（以下、空気袋１
０２と呼ぶ）と、この空気袋１０２に上から加重を付加
するためにアーム１０３に枢支された重り１０４とを備
える圧力調整装置１０５が知られている。なお、ここで
符号１１はスートプリフォーム、１２は種棒１１Ａを把
持するチャックを示す。
に示すように、連通管１０１を介して連通した袋状の空
気溜（耐熱性の材料で形成したもの）（以下、空気袋１
０２と呼ぶ）と、この空気袋１０２に上から加重を付加
するためにアーム１０３に枢支された重り１０４とを備
える圧力調整装置１０５が知られている。なお、ここで
符号１１はスートプリフォーム、１２は種棒１１Ａを把
持するチャックを示す。
【０００５】この圧力調整装置にあっては、重り１０４
の加重分の圧力が空気袋１０２に常時作用しており、こ
れによって空気袋１０２はほぼ一定の内圧に保持されて
いる。そしてこの焼結炉１００の内圧が高まる（例えば
１０乃至２０mmＨ2 Ｏ以上の圧力差）と、空気袋１０２
には内圧差から脱水ガス等が流入する。そして、焼結炉
１０側との圧力差がほぼゼロになったところで、圧力が
均衡して空気袋１０２への流入が停止するとともに、焼
結炉１０内の圧力がほぼ元の標準圧力まで戻るわけであ
る。
の加重分の圧力が空気袋１０２に常時作用しており、こ
れによって空気袋１０２はほぼ一定の内圧に保持されて
いる。そしてこの焼結炉１００の内圧が高まる（例えば
１０乃至２０mmＨ2 Ｏ以上の圧力差）と、空気袋１０２
には内圧差から脱水ガス等が流入する。そして、焼結炉
１０側との圧力差がほぼゼロになったところで、圧力が
均衡して空気袋１０２への流入が停止するとともに、焼
結炉１０内の圧力がほぼ元の標準圧力まで戻るわけであ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
圧力調整装置では、空気袋に上から直接作用する重りの
加重を利用しているから、正確な圧力調整、さらには耐
久性等の点で問題が多い。
圧力調整装置では、空気袋に上から直接作用する重りの
加重を利用しているから、正確な圧力調整、さらには耐
久性等の点で問題が多い。
【０００７】そこで、この発明は、上記した事情に鑑
み、ほぼ正確な圧力調整を行うことができるとともに、
耐久性の点でも優れた脱水焼結炉の圧力調整装置を提供
することを目的とするものである。
み、ほぼ正確な圧力調整を行うことができるとともに、
耐久性の点でも優れた脱水焼結炉の圧力調整装置を提供
することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、スー
トプリフォームの脱水・焼結を行う焼結炉と連通管で連
通・連結され、前記焼結炉からガスが流入する圧力調整
室と、記連通管の一部に設けられ、この連通管を通過す
るガスの圧力を検出する圧力検出手段と、焼結炉からこ
の圧力調整室に流入するガスの圧力が所定値を越えると
このガスの一部を適宜外部へ排気する自動排気弁とを備
えたものである。
トプリフォームの脱水・焼結を行う焼結炉と連通管で連
通・連結され、前記焼結炉からガスが流入する圧力調整
室と、記連通管の一部に設けられ、この連通管を通過す
るガスの圧力を検出する圧力検出手段と、焼結炉からこ
の圧力調整室に流入するガスの圧力が所定値を越えると
このガスの一部を適宜外部へ排気する自動排気弁とを備
えたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明に好適な一実施例
について、添付図面を参照しながら説明する。
について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１０】図１はこの発明にかかる脱水焼結炉の圧力
調整装置を示す概略構成図である。この実施例の圧力調
整装置は、脱水焼結炉１０と連通管１で連通された圧力
調整室２と、連通管１に設けた圧力検出器３と、圧力調
整室２に設けた電磁弁４と、制御部５とから構成されて
いる。
調整装置を示す概略構成図である。この実施例の圧力調
整装置は、脱水焼結炉１０と連通管１で連通された圧力
調整室２と、連通管１に設けた圧力検出器３と、圧力調
整室２に設けた電磁弁４と、制御部５とから構成されて
いる。
【００１１】連通管１は、適宜の耐熱性材料で形成され
た（細径の）ものが使用されており、内部には高温に強
い適宜の圧力検出器３が設置されている。なお、この圧
力検出器３の設置場としては、脱水焼結炉１０からの高
温の影響を抑えるためになるべく圧力調整室２寄りに設
けることが好ましい。
た（細径の）ものが使用されており、内部には高温に強
い適宜の圧力検出器３が設置されている。なお、この圧
力検出器３の設置場としては、脱水焼結炉１０からの高
温の影響を抑えるためになるべく圧力調整室２寄りに設
けることが好ましい。
【００１２】圧力調整室２は、適宜の耐熱性材料を使用
して圧力の変動を吸収できる適宜の容積に形成されてお
り、一部には排気口２Ａが設けられている。なお、この
圧力調整室２は、普段は脱水焼結炉１０の標準圧力値と
ほぼ同一内圧に設定・保持されている。そのためこの排
気口２Ａには電磁弁４を取り付けており、制御部５から
の制御信号によって開閉動作が制御されている。
して圧力の変動を吸収できる適宜の容積に形成されてお
り、一部には排気口２Ａが設けられている。なお、この
圧力調整室２は、普段は脱水焼結炉１０の標準圧力値と
ほぼ同一内圧に設定・保持されている。そのためこの排
気口２Ａには電磁弁４を取り付けており、制御部５から
の制御信号によって開閉動作が制御されている。
【００１３】制御部５は、入力が圧力検出器３に接続さ
れているとともに、出力が電磁弁４に接続されており、
圧力検出器３が一定圧力を越えたときに出力する検出信
号を入力すると、電磁弁４へ制御信号を出力して電磁弁
４を開くようになっている。
れているとともに、出力が電磁弁４に接続されており、
圧力検出器３が一定圧力を越えたときに出力する検出信
号を入力すると、電磁弁４へ制御信号を出力して電磁弁
４を開くようになっている。
【００１４】したがって、この実施例によれば、脱水焼
結炉１０の内圧が上昇して基準圧力値（標準圧力値を越
えた適宜の値に設定される）をオーバすると、圧力検出
器３がこの圧力値に応じた検出信号を制御部５へ出力す
る。
結炉１０の内圧が上昇して基準圧力値（標準圧力値を越
えた適宜の値に設定される）をオーバすると、圧力検出
器３がこの圧力値に応じた検出信号を制御部５へ出力す
る。
【００１５】するとこの検出信号を入力した制御部５か
らは、この信号を入力している間、所定の制御信号が電
磁弁４に出力されて電磁弁４が開放し、脱水ガスなどが
外部へ排気され一定内圧、つまり標準圧力値まで減圧さ
れたところで排気動作が停止する。
らは、この信号を入力している間、所定の制御信号が電
磁弁４に出力されて電磁弁４が開放し、脱水ガスなどが
外部へ排気され一定内圧、つまり標準圧力値まで減圧さ
れたところで排気動作が停止する。
【００１６】これにより、脱水焼結炉１０の内圧がもと
の標準圧力値に戻ることができるわけである。
の標準圧力値に戻ることができるわけである。
【００１７】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
れば、スートプリフォームの脱水・焼結を行う焼結炉と
連通管で連通・連結され、焼結炉内のガスが流入する圧
力調整室と、連通管の一部に設けられ、この連通管を通
過するガスの圧力を検出する圧力検出手段と、焼結炉か
らこの圧力調整室に流入するガスの圧力が所定値を越え
るとこのガスの一部を適宜外部へ排気する自動排気弁と
を備えているから、連通管内での脱水ガスの圧力値を圧
力検出手段が検知して制御部へ検知信号として出力して
おり、制御部では所定の圧力をオーバしていることを検
出すると、制御信号を出力して自動排気弁を開放し、圧
力調整室から高圧のガスを適宜排出することができるか
ら、脱水焼結炉内をほぼ正確な圧力に調整でき、しかも
この圧力調整室は従来のような空気袋を使用する必要が
ないから耐久性の点でも好ましい。
れば、スートプリフォームの脱水・焼結を行う焼結炉と
連通管で連通・連結され、焼結炉内のガスが流入する圧
力調整室と、連通管の一部に設けられ、この連通管を通
過するガスの圧力を検出する圧力検出手段と、焼結炉か
らこの圧力調整室に流入するガスの圧力が所定値を越え
るとこのガスの一部を適宜外部へ排気する自動排気弁と
を備えているから、連通管内での脱水ガスの圧力値を圧
力検出手段が検知して制御部へ検知信号として出力して
おり、制御部では所定の圧力をオーバしていることを検
出すると、制御信号を出力して自動排気弁を開放し、圧
力調整室から高圧のガスを適宜排出することができるか
ら、脱水焼結炉内をほぼ正確な圧力に調整でき、しかも
この圧力調整室は従来のような空気袋を使用する必要が
ないから耐久性の点でも好ましい。
【図１】この発明にかかる圧力調整装置を示す概略構成
図。
図。
【図２】従来の圧力調整装置を示す概略構成図。
１ 連通管 ２ 圧力調整室 ３ 圧力検出器 ４ 電磁弁 ５ 制御部 １０ 脱水焼結路 １１ スートプリフォーム
Claims (1)
- 【請求項１】 スートプリフォーム（１１）の脱水・焼
結を行う焼結炉（１０）と連通管（１）で連通・連結さ
れ、前記焼結炉（１０）からガスが流入する圧力調整室
（２）と、 前記連通管（１）の一部に設けられ、この連通管（１）
を通過するガスの圧力を検出する圧力検出手段（３）
と、 前記焼結炉（１０）から圧力調整室（２）に流入するガ
スの圧力が所定値を越えるとこのガスの一部を適宜外部
へ排気する自動排気弁（４）と、 を備えたことを特徴とする脱水焼結炉の圧力調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29577896A JPH10120428A (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 脱水焼結炉の圧力調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29577896A JPH10120428A (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 脱水焼結炉の圧力調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10120428A true JPH10120428A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17825042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29577896A Pending JPH10120428A (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 脱水焼結炉の圧力調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10120428A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| CN100337953C (zh) * | 2003-12-08 | 2007-09-19 | 株式会社藤仓 | 脱水烧结炉 |
| US7866189B2 (en) | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
-
1996
- 1996-10-17 JP JP29577896A patent/JPH10120428A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100337953C (zh) * | 2003-12-08 | 2007-09-19 | 株式会社藤仓 | 脱水烧结炉 |
| US7849714B2 (en) | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
| US7866189B2 (en) | 2003-12-08 | 2011-01-11 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace, a manufacturing method of an optical fiber preform utilizing the furnace and an optical fiber preform manufactured by the method |
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
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