JPH0219959Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、酸化、拡散特に縦型の拡散炉にお
いて使用される拡散用ボートに関するものであ
る。

（従来の技術） 従来の拡散用ボートは、たとえば特開昭57−
167625号公報に記載されているようなものがあり
縦型の拡散炉に使用する場合においてもこのよう
な構造のボートを縦型にしボートを炉に挿入引き
出しを行なうための棒をボートに引つかけるなど
の方法により使用しており、基本的にはウエハの
半面の数点を支持する構造となつていた。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような拡散ボートにおいて
は、大口径になると、ウエハの自重が支持された
局所的な部分に荷重されるために、ウエハプロセ
スの高温熱処理において、ストレス（ウエハの自
重によるもの）によりウエハに結晶欠陥が発生し
たり、ウエハの反りが発生し、素子の特性などに
悪影響を及ぼしていた。

この考案は、前記従来技術がもつている問題点
のうち、ウエハの結晶欠陥を発生する点と反りの
発生する点について解決した拡散用ボートを提供
するものである。

（問題点を解決するための手段） この考案は、拡散用ボートにおいて、ボート本
体に装着するウエハの中心を対称の中心とする点
対称に位置し、溝を有する複数のむく棒を設けか
つボートを２分割および接合するようにしたもの
である。

（作用） この考案によれば、以上のように拡散用ボート
を構成したので、ボート本体を２分割し、その一
方のボート本体におけるむく棒の溝にウエハを挿
入し、他方のボート本体を一方のボート本体に合
わせて両者のむく棒を密着させてウエハをボート
本体に保持し、したがつて前記問題点を除去でき
る。

（実施例） 以下、この考案の拡散用ボートの実施例につい
て図面に基づき説明する。第１図はその一実施例
の正面図で、ひつかけ棒Ａ、ボート本体Ｂ、おも
りＣで構成されている。

第２図はひつかけ棒Ａの平面図であり、おもり
Ｃは第３図に平面図として示されている。また、
ボート本体Ｂは第４図ａ〜第４図ｄに示されてい
る。第４図ａはその正面図、第４図ｂは第４図ａ
の側面図、第４図ｃは第４図ａの平面図、第４図
ｄは第４図ａのＸ−X′線の断面図である。

これらのひつかけ棒Ａ、ボート本体Ｂ、おもり
Ｃはそれぞれ石英、SiCなどの物質で形成されて
おり、これらのうち、まず、ボート本体Ｂの構成
について、第４図ａ〜第４図ｄにより説明する。

このボート本体Ｂはボート上面および下面の中
心を通る図中ａ−ｂで示される線で２分割されて
おり、分割された二つのボート１および１′は対
称な形となつている。ボート１は上面板Ｂ１と下
面板Ｂ３を有し、ボート１′は上面板Ｂ２と下面
板Ｂ４を有している。これらの上面板Ｂ１，Ｂ
２、下面板Ｂ３，Ｂ４はそれぞれ半円板状になつ
ている。

ボート１において、上面板Ｂ１と下面板Ｂ３間
には、その外周縁に沿つて所定の間隔をもつて、
第４図ｄより明らかなように、むく棒２〜６が取
り付けられている。

同様にして、ボート１′において、その上面板
Ｂ２と下面板Ｂ４間には、その外周縁に沿つて所
定の間隔をもつて、むく棒２′〜６′が取り付けら
れている。これらのむく棒２〜６と２′〜６′は線
ａ−ｂ間に対して対称になつている。すなわち、
むく棒２と２′、…６と６′がそれぞれ線ａ−ｂ間
に対して対称になつている。

さらに、これらのむく棒２〜６，２′〜６′には
それぞれ所定の間隔をもつて多数の溝が刻設され
ている。この溝はウエハを装填して保持するため
のもので、その大きさは0.5〜1.5mm程度で２〜５
mm程度のピツチで切られている。

上記上面板Ｂ１，Ｂ２にはそれぞれ腕７，７′
が取り付けられている。この腕７，７′も第４図
ｃより明らかなように、線ａ−ｂ間に対して対称
となるように取り付けられている。この腕７，
７′は上記ひつかけ棒Ａを装着するためのもので、
第４図ｂより明らかなように、側面的には下向き
「コ」字形に形成されている。

また、下面板Ｂ３，Ｂ４にもそれぞれ線ａ−ｂ
間に対して対称となるように、腕８，８′が取り
付けられている。この腕８，８′はおもりＣをボ
ート本体Ｂに装着するためのもので、第４図ｂよ
り明らかなように、側面的には下向き「コ」字形
に形成されている。

上記腕７，７′の形状に対応して、ひつかけ棒
Ａには、第２図より明らかなように、その下部近
傍には２条の溝Ａ１，Ａ２が形成されており、同
様におもりＣは第３図より明らかなように、上部
近傍に２条の溝Ｃ１，Ｃ２が形成されている。こ
の溝Ｃ１，Ｃ２はそれぞれ腕８，８′に係止する
ためのものである。

次に、以上のように構成されたこの考案の拡散
用ボートにウエハを装填してウエハプロセスにお
ける酸化などの工程に使用する場合の手順につい
て説明する。まず、ボート本体Ｂを２分割して、
ボート１，１′に分け、第５図に示すように、ボ
ート１を枠１１に固定する。

次に、このボート１のむく棒２〜６に設けた溝
に沿つてウエハ１２を装填する。

また、他方のボート１′を枠１１′に固定する。
この枠１１′は枠１１と同じ高さにあり、枠１１
と１１′は同様の形状をしており、ボート１′を固
定したまま枠１１′を矢印Ｙ１方向に枠１１に向
けて移動し、ボート１のむく棒２〜６とボート
１′のむく棒２′〜６′を完全に密着させる。

次に、第６図に示すように、ひつかけ棒Ａの溝
Ａ１，Ａ２にそれぞれ腕７，７′を係止させ、腕
８，８′におもりＣの溝Ｃ１，Ｃ２を係止させて
おもりＣをボート本体Ｂに装着する。

次に、第６図の矢印Ｙ２，Ｙ３方向に枠１１，
１１′をボート１，１′から除去する。その結果第
７図に示すように、ボート本体ＢはおもりＣを装
着したままひつかけ棒Ａに係止された状態とな
る。

この状態で、ひつかけ棒Ｂを上下、左右、回転
運動させることにより、ボートＢを所定の炉内に
挿入する。そして、ウエハ１２を取り出すとき
は、前記の逆の手順によつて行なう。

（考案の効果） 以上詳細に説明したように、この考案によれ
ば、ウエハの中心を対称の中心とする点対称の多
点でむく棒で支持し、このむく棒に形成した溝に
ウエハを装填するようにしたので、ウエハに局所
的なストレスが加わることがなく熱処理におい
て、ウエハの結晶欠陥や反りの発生を抑えること
ができる。これにともない、素子の特性や歩留り
の向上に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の拡散用ボートの一実施例の
構成を示す正面図、第２図は同上拡散用ボートを
係止するひつかけ棒の平面図、第３図は同上拡散
用ボートに装着するおもりの平面図、第４図ａは
同上拡散用ボートのボート本体の正面図、第４図
ｂは第４図ａの側面図、第４図ｃは第４図ａの平
面図、第４図ｄは第４図ａのＸ−X′線の断面図、
第５図は同上拡散用ボートにウエハを装填する手
順を示す図、第６図は同上拡散用ボートにウエハ
を装填した後枠を除去する手順を説明するための
図、第７図は同上拡散用ボートにウエハを装填し
てウエハの処理プロセスを行なう状態を示す図で
ある。 １，１′……ボート、２〜６，２′〜６′……む
く棒、７，７′，８，８′……腕、１２……ウエ
ハ、Ａ……ひつかけ棒、Ｂ……ボート本体、Ｃ…
…おもり。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互いに分離・接合可能でひつかけ棒に係止さ
   れる第１、第２の１対の上面板と、互いに分
   離・接合可能でおもりを装着する第１、第２の
   １対の下面板と、上記第１の上面板と第１の下
   面板間にこれらの周縁に沿つて所定の間隔をも
   つて取り付けられウエハを装填する溝を多数個
   形成して第１の上面板と第１の下面板とともに
   第１のボートを形成する第１の複数のむく棒
   と、上記第２の上面板と第２の下面板間にこれ
   の周縁に沿つて上記ウエハの中心を上記各むく
   棒に対して対称となる点対称の位置に取り付け
   られ上記溝に対応する溝を有しかつ第２の上面
   板と第２の下面板とともに第２のボートを形成
   する第２の複数のむく棒とよりなる拡散用ボー
   ト。 (2) 第１のボートおよび第２のボートは少なくと
   も２本のむく棒の中心および装置されたウエハ
   の中心を通る面で分割および接合されることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   の拡散用ボート。