JPH02200779A

JPH02200779A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JPH02200779A
Application number: JP2203689A
Authority: JP
Inventors: Isato Amahisa; 勇人天久
Original assignee: Shin Meiva Industry Ltd
Current assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Priority date: 1989-01-30
Filing date: 1989-01-30
Publication date: 1990-08-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、複数個の基板を取付けた基板ホルダを順次に
受は入れて、各基板に成膜加工を施す真空蒸着装置に関
するものである。

（従来の技術）入口槽、蒸着槽および出口槽を！順次連結して搬送路を
構成する連続式の真空蒸着装置では、従来、複数個のキ
ャリヤを準備しで、このギヤリヤの上面にそれぞれ複数
個の基板を取付けた基板ホルダを載せていた。各キャリ
ヤは、搬送路に設けたキャリヤ搬送手段で順次に入口槽
を経て蒸着槽に送り込み、この蒸着槽で基板の表面にＦ
ｉ＃膜を形成したのち、再び、キャリヤをキャリヤ搬送
手段で移動さ拷て出口槽から外部に取り出しζいる。

（発明が解決しようとする課題）しかし、従来のキャリヤは、単に、基板ホルダを載せて
搬送路を移動するだけのものであるから、蒸着槽に送り
込まれる度ごとに、基板ホルダをキャリヤ上から蒸着槽
内部のホルダ回転機構に載せ替え′ｃその駆動手段に接
続するという煩わしい作業を繰り返していた。したがっ
て、ホルダ回転機構おＪ２びホルダ乗せ替え手段は、基
板ホルダの全重量を繰り下げ支持できる剛性が必要で、
しかも、。

構造が掻めて複雑であった。

本発明は、このような従来の事情から見″Ｃ，基仮ホル
ダはキャリヤに載せたまま、蒸着槽での成膜加工ができ
るようにした真空蒸着装置を提供するものである。

（課題を解決するための手段）本発明の真空蒸着装置は、入口槽、蒸着槽および出口槽
を順次連結してなる搬送路番ごキャリヤ搬送手段が設け
られ、このキャリヤ搬送手段によって移動可能とされた
キャリヤに、基板ホルダを回転可能に支持するためのホ
ルダ支持手段が設けられ、前記蒸着槽は、搬送路と蒸着
手段の間に設けられた中間床に円形窓が関口されるとと
もに、搬送路の上方に、前記基板ホルダと係脱可能なホ
ルダ回転機構を設けてなるものである。

（作用）上記の手段による作用は、複数個の基板を取付けた基板
ホルダが、キャリヤに設けたホルダ支持手段に回転可能
に支持されて搬送路に移動し２、蒸着槽の内部では、基
板ホルダがこの基板ホルダに係脱可能なホルダ回転手段
で回転して真空蒸着を行う。また、中間床に設けた円形
窓で、蒸着ｌ！！７１質が基板ホルダの外側に拡散しよ
うとするのを防止する。

（実施例）以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。な
お、この説明での方向は、第１図で左側を前、右側を後
と呼ぶ。

第１図に示す真空蒸着装置Ｉは、入口槽２、蒸着槽３お
よび出口槽４と、各槽間に配置したゲート弁などの前側
密閉手段５および後側密閉手段６とを順次に連結して搬
送路７が構成され、この搬送路７の両側にキャリヤ搬送
手段８，８・・・が互いに対向して設けられている。こ
のキャリヤ搬送手段８，８・・・によって搬送路７を移
動可能とされたキャリヤ９に、第２図に示すような基板
ホルダ１０を回転可能に支持するためのホルダ支持手段
１１゜１１・・・が設けられている。一方、前記蒸着槽
３には、搬送路７と蒸着手段１２の間に設けられた中間
床３ａに、第２図に示す円形窓１３が開Ｌ］されるとと
もに、搬送路７の１．方に、基板ホルダ１０と係脱可能
なホルダ回転機構１４が設けられている。

前記入口槽２、蒸着槽３および出口槽４は、それぞれ真
空ポンプ（図示省略）と吸気弁（図示省略）を備えて内
部が真空と常圧に切替可能とされるとともに、入口槽２
の後側に入口密閉手段（図示省略）が、出口槽４の前側
に出［コ密閉手段（図示省略）が設けられている。

前記キャリヤ搬送手段８は、フレーム１５から搬送路７
の内側に突出させた複数個の駆動ローラ１６１６・・・
が、キャリヤ９の移動方向に沿っ”Ｃ等間隔に配置され
てなるものである。搬送路７に沿った各キャリヤ搬送手
段８，８・・・の相互間隔りは、キャリヤ９の受は渡し
ができる長さとされている。なお、相互間隔りの空所に
は、必要によりガイドローラなどが配置される。

前記キャリヤ９は、左右両側の乗架部１７，１７と、前
後両側の連結部材１８．１８とが結合された矩形の枠体
である。乗架部材１７の横部１７ａが前記キャリヤ搬送
手段８の駆動ロー・う１６．１６・・・に乗架されると
ともに、乗架部材１７の縦部１７ｂの中央部と、連結部
材１８の縦部１８ａの中央部とに、ガイドローラなどの
ホルダ支持手段１１゜１１・・・が設けられている。

前記基板ホルダ１０は、笠形の筒体でその下端部ｆＯａ
が前記ホルダ支持手段１１．１１・・・で回転可能に支
持されるとともに、上端部１０ｂにホルダ回転機構１４
と係脱させるためのビン１９が立設されている。

前記蒸着手段１２は、電子銃１２ａおよびルツボ１２ｂ
を備えて蒸着槽３の底床３ｂに設けられている。

前記円形窓１３は、蒸着手段１２から上昇する蒸着物質
１２ｃが基板ホルダ１０の下端部ｔＯａから外側に拡散
しないように設けられるもので、その直径は、基板ホル
ダ下端部１０ａの直径以下に形成される。

前記ホルダ回転機構１４は、基板ホルダ１０をキャリヤ
９のホルダ支持手段１１．１１・・・に支持させた状態
で回転するもので、出力軸が横方向に配置された減速機
付きモータ２０と、光膜圧モニ夕の光束を通すために蒸
着槽３の中央位置で縦方向に配置された中空軸２１と、
減速機付きモータ２０から中空軸２１に動力を伝えるた
めの一対の傘歯車２２．２３と、中空軸２１の上端部外
周から半径方向に突き出すように固定した旋回アーム２
４とで構成されている。前記減速機付きモ・−タ２０お
よび中空軸２１はゾラケソト（図示省略）などを介して
蒸着Ｊｌ！　３の天井３Ｃに取付けられている。

次に、本実施例の作用について説明する。

ｔめ、ホルダ回転機構１．４は、旋回アーム２４を基板
ホルダ１０のビンｌＯの進入庖妨げない方向（例えば、
第１図に示す左方）に位置させる一方、基板ホルダ１０
は、キャリヤ９のホルダ支持手段１１．．１１・・・上
に載せるとともに、ビン１９を旋回′アーム２４と係合
しやすい方向（例えば、第１図に示す左方）に位置させ
る。蒸着槽３は、前側密閉手段５および後側密閉手段６
を閉じて槽内を真空に減圧する６まず、基（反ホルダ１０を載せたキャリヤ９を、適宜の
搬送手段で入１］槽２のキャリヤ搬゛送手段８８・・・
上に送り込んで入Ｌ１密閉手段（図示省略）を閉じたの
ら、入日槽２の内部を真空に減圧する。

次に、後側密閉手段６を開き、入Ｉ］槽２および蒸着槽
３のキャリヤ搬送手段８，８・・・を駆ｖＪシて基板ホ
ルダ１０をキャリヤ９とともに蒸着槽３の中央位置に送
り込んだのら、後側密閉ｆ段６を閉じる。続いて、ボル
ダ回転機構１４の中空軸２１を例えば反時計回りに回転
させると、各基板は２、蒸着手段１２に対して公転動作
をする。この状態で蒸着手段１２を起動して各基板の表
面（Ｔ：面）に薄膜を形成する。

このとき、１ボルダ支持手段１１．．．１ｍ、・・・は
、回転しながら基板ホルダ９の全重量を支持しているの
で、ホルダ回転機構１４に大きな負荷がかからない。ま
た、蒸着手段１２のルツボ１２ｂから上昇する蒸着物質
１２Ｃは、基板ボルダ１０の人きさに見合った円形窓１
３で外側に拡がるのが阻まれているので、搬送路７を取
り囲む蒸着［３の側壁や天井３Ｃ力９？；れない。

その後、各基板の薄膜が所定の厚さになったのを光膜圧
モニタで１１１１認すると、蒸着手段１２を停めて出口
槽４の内部を真空に減圧する。そして、前側密閉手段５
を開き、蒸着槽３および出口槽４のキャリヤ搬送手段８
，８・・・を駆動して、基板ホルダ１０をキャリヤ９と
ともに出口槽４の中央位置に送り込んだのち、前側密閉
手段５を閉じる。

続いて、出口槽４の内部を常圧に戻したのち、出１］密
閉手段（図示省略）を開いて、基板ボルダ１０をキャリ
ヤ９とともに適宜の搬送手段で外部に取り出す。

後に続く他の基板ホルダ１０は、順次、上記と同じ動作
で搬送路７を移動して真空蒸着を行う。

（発明の効果）以上述べたように、本発明によれば、基板ホルダを、キ
ャリヤに設けたホルダ支持手段で回転ｉｊＪ能に支持さ
せたまま、ホルダ回転機構で回転させて真空蒸着を行う
ものであるから、蒸着槽内部での載せ替えや接続などの
手順を解消して作業性がよくなるだけでなく、ホルダ回
転機構は、基板ホルダの全重量を吊り下げ支持する必要
がないので、構造が簡単になって取り扱いや保守点検が
容易になる。また、＆板の取付位置売選択し７基板ホル
ダにを付け、この基板ホルダをキャリヤに載せるだけで
、基板を蒸着手段に対し５て自転動作をさ・せたり、公
転動作をさせたりすることご多様な真空蒸着に対応する
ことができる。しかも、円形窓が蒸着物質の拡散を防ぐ
から蒸着槽ｌ一部の内壁やキャリヤが汚れにくいなどの
便れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明真空蒸着装置の実施例を示すもので、第１
図は斜視図、第２図はホルダ支持１段とキャリヤの一部
とを示す縦断面図で、ｔ）る。・・・真空蒸着装置・・・蒸着槽・・・出［１槽・・・キャリヤ搬送手段・・・基板ホルダ・・・円形窓２・・・入口槽３ａ・・・中間床７・・・搬送路９・・・キャリヤ１１・・・ホルダ支持］二段１４・・・ホルダ回１２機伊

Claims

【特許請求の範囲】

１）入口槽、蒸着槽および出口槽を順次連結してなる搬
送路にキャリヤ搬送手段が設けられ、このキャリヤ搬送
手段によって移動可能とされたキャリヤに、基板ホルダ
を回転可能に支持するためのホルダ支持手段が設けられ
、前記蒸着槽は、搬送路と蒸着手段の間に設けられた中
間床に円形窓が開口されるとともに、搬送路の上方に、
前記基板ホルダと係脱可能なホルダ回転機構を設けてな
ることを特徴とする真空蒸着装置。