JPH0220107U - - Google Patents
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- JPH0220107U JPH0220107U JP9822388U JP9822388U JPH0220107U JP H0220107 U JPH0220107 U JP H0220107U JP 9822388 U JP9822388 U JP 9822388U JP 9822388 U JP9822388 U JP 9822388U JP H0220107 U JPH0220107 U JP H0220107U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- reference beam
- optical
- measurement beam
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である光ヘテロダイ
ン干渉表面形状測定装置の光学的構成を説明する
図である。第２図は第１図の装置の音響光学変調
器による参照ビームの周波数シフトを説明する図
である。第３図は第１図の装置に備えられている
測定回路の一例を説明するブロツク線図である。
第４図は本考案の他の実施例の光学的構成を説明
する図である。第５図は音響光学変調器によるビ
ーム断面形状の変形状態を説明する図である。 １０，８４：レーザ光源、２８：被測定物、３
０：表面、４０，４２：音響光学変調器（光周波
数シフタ）、Ｌ，Ｌ′：レーザ光、ＬＭ，ＬＳ：
計測ビーム、ＬＲ，ＬＰ：参照ビーム。
ン干渉表面形状測定装置の光学的構成を説明する
図である。第２図は第１図の装置の音響光学変調
器による参照ビームの周波数シフトを説明する図
である。第３図は第１図の装置に備えられている
測定回路の一例を説明するブロツク線図である。
第４図は本考案の他の実施例の光学的構成を説明
する図である。第５図は音響光学変調器によるビ
ーム断面形状の変形状態を説明する図である。 １０，８４：レーザ光源、２８：被測定物、３
０：表面、４０，４２：音響光学変調器（光周波
数シフタ）、Ｌ，Ｌ′：レーザ光、ＬＭ，ＬＳ：
計測ビーム、ＬＲ，ＬＰ：参照ビーム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ光源から出力されたレーザ光を参照ビー
ムと計測ビームとに分離した後、光周波数シフタ
により該参照ビームおよび計測ビームの周波数を
互いに相違させるとともに、該計測ビームをその
光軸に対して交差する方向へ相対移動させられる
被測定物の表面の微小範囲に照射し、該表面の凹
凸形状に対応する凹凸情報を有する該計測ビーム
と前記参照ビームとを干渉させることによつて該
凹凸情報に対応する計測ビート信号を取り出し、
該計測ビート信号の位相変化に基づいて該表面の
凹凸形状を測定する光ヘテロダイン干渉表面形状
測定装置において、 前記光周波数シフタを、前記参照ビームおよび
／または前記表面に照射された後で該参照ビーム
と干渉させられる前の計測ビームの周波数を変化
させるように設けたことを特徴とする光ヘテロダ
イン干渉表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9822388U JPH0220107U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9822388U JPH0220107U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220107U true JPH0220107U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9822388U Pending JPH0220107U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220107U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9822388U patent/JPH0220107U/ja active Pending
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