JPH0217604U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217604U JPH0217604U JP9578888U JP9578888U JPH0217604U JP H0217604 U JPH0217604 U JP H0217604U JP 9578888 U JP9578888 U JP 9578888U JP 9578888 U JP9578888 U JP 9578888U JP H0217604 U JPH0217604 U JP H0217604U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallel beam
- measured
- circular
- annular
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である光学式表面粗
さ測定装置の構成を説明する図である。第２図は
従来の光学式表面粗さ測定装置の一例を説明する
図である。第３図は従来装置の更に別の例を説明
する図である。 １２：被測定物、１８：表面、３８，４０，４
８，７０：凸レンズ、４２，７２：ミラー、４４
：対物レンズ、７４：凸レンズ、７６：貫通孔、
ＬＰ：Ｐ偏光（直線偏光）、ＬＳ：Ｓ偏光（直線
偏光）。
さ測定装置の構成を説明する図である。第２図は
従来の光学式表面粗さ測定装置の一例を説明する
図である。第３図は従来装置の更に別の例を説明
する図である。 １２：被測定物、１８：表面、３８，４０，４
８，７０：凸レンズ、４２，７２：ミラー、４４
：対物レンズ、７４：凸レンズ、７６：貫通孔、
ＬＰ：Ｐ偏光（直線偏光）、ＬＳ：Ｓ偏光（直線
偏光）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 互いに偏波面が直交し且つ周波数が異なる
２種類の直線偏光の一方を計測光として被測定物
の表面の微小範囲に集光させるとともに、該２種
類の直線偏光の他方を参照光として該被測定物の
表面の比較的広い範囲に平行ビームの状態で照射
し、該表面で反射された計測光および参照光を互
いに干渉させることによつて計測ビート信号を取
り出し、該表面の凹凸に対応する該計測ビート信
号の位相変化または周波数変化に基づいて表面粗
さを測定する光学式表面粗さ測定装置であつて、 前記２種類の直線偏光の一方を横断面が円形の
円形平行ビームに変換するとともに、他方を、内
径が該円形平行ビームのビーム径と略同じで、該
円形平行ビームの外周側を同軸で進行させられる
環状の環状平行ビームに変換する変換手段と、 前記円形平行ビームおよび前記環状平行ビーム
の何れか一方のみを光軸上に集光させる凸レンズ
を有して、該円形平行ビームおよび該環状平行ビ
ームの一方を前記参照光として平行ビームの状態
で前記被測定物の表面に照射するとともに、他方
を前記計測光として該被測定物の表面に集光させ
る照射手段と を有することを特徴とする光学式表面粗さ測定装
置。 (2) 前記照射手段の凸レンズは、前記円形平行
ビームのビーム径と略同じ径寸法の貫通孔が中央
部に設けられ、前記環状平行ビームのみを光軸上
に集光させる円環形状を成すものであり、該照射
手段は、該凸レンズによつて集光された該環状平
行ビームを参照光として再び平行ビームに変換し
て前記被測定物の表面に照射するとともに、該凸
レンズの貫通孔内を通過させられた前記円形平行
ビームを計測光として該被測定物の表面に集光さ
せる対物レンズを有するものである請求項１に記
載の光学式表面粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9578888U JPH0742087Y2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 光学式表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9578888U JPH0742087Y2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 光学式表面粗さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217604U true JPH0217604U (ja) | 1990-02-05 |
| JPH0742087Y2 JPH0742087Y2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=31320503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9578888U Expired - Lifetime JPH0742087Y2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 光学式表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742087Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03113110U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP9578888U patent/JPH0742087Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03113110U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0742087Y2 (ja) | 1995-09-27 |
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