JPH02201140A - 純水濁度測定装置 - Google Patents
純水濁度測定装置Info
- Publication number
- JPH02201140A JPH02201140A JP1995289A JP1995289A JPH02201140A JP H02201140 A JPH02201140 A JP H02201140A JP 1995289 A JP1995289 A JP 1995289A JP 1995289 A JP1995289 A JP 1995289A JP H02201140 A JPH02201140 A JP H02201140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- light
- turbidity
- cell
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は純水の濁度の高感度測定に関するもので、ボイ
ラ水の監視や上水道の監視に用いらｎる。
ラ水の監視や上水道の監視に用いらｎる。
従来のこの種濁度計としては、円筒形試料セルに試料純
水を導入し、これに元を照射してその透過光強度を測定
する方式のものが知られている。
水を導入し、これに元を照射してその透過光強度を測定
する方式のものが知られている。
しかし、試料純水に含まｎる粒子径は微小であり、その
濁度はひじように小さく、透過光強度の変化もきわめて
微小で在来の濁度計では測定することがほとんど困難で
あった。
濁度はひじように小さく、透過光強度の変化もきわめて
微小で在来の濁度計では測定することがほとんど困難で
あった。
本発明は上記事情に鑑みてなさｎたものであり、その目
的とするところは、もともとひじょうに小さい純水の濁
度を高感度で測定できる濁度測定装置を請求しようとす
るものである。
的とするところは、もともとひじょうに小さい純水の濁
度を高感度で測定できる濁度測定装置を請求しようとす
るものである。
上記目的を達成するために、本発明における純水濁度測
定装置は、試料純水を収容した円筒形試料セルに単色平
行光束を入射し、該セルからの入射光に対する９０ｏ方
向の散乱光と該セルへの入射前に分岐した参照光との強
度比から濁度上＊める方式とし、円筒形試料セルの散乱
元取り出し方向の背面全黒色にて形成して、かつ透明ガ
ラスブロック全段け、該ガラスブロックを円筒形試料セ
ル位置へ移動させる移動機構を備えてなるものである。
定装置は、試料純水を収容した円筒形試料セルに単色平
行光束を入射し、該セルからの入射光に対する９０ｏ方
向の散乱光と該セルへの入射前に分岐した参照光との強
度比から濁度上＊める方式とし、円筒形試料セルの散乱
元取り出し方向の背面全黒色にて形成して、かつ透明ガ
ラスブロック全段け、該ガラスブロックを円筒形試料セ
ル位置へ移動させる移動機構を備えてなるものである。
そして、上記円筒形試料セルの背面の黒色はセル自体の
該当箇所全黒色に形成してもよいし別個の黒色ガラス全
接層してもよい。
該当箇所全黒色に形成してもよいし別個の黒色ガラス全
接層してもよい。
濁度測定は、円筒形セルからの９０°方向の側方散乱光
と８照元との強度比から求める。このとき円筒形試料セ
ルの黒色背面は、セル背面からの反射を防止する。
と８照元との強度比から求める。このとき円筒形試料セ
ルの黒色背面は、セル背面からの反射を防止する。
そして、試料純水の濁崖測定後、ガラスブロックをセル
位置へ移動させて、ＰＲ度測測定同様に９０°方回の側
方散乱光とか照光との強度比？求める。ガラスブロック
は粒子径が微細で、その濁度がひじよう罠小さく、かつ
経年変化がなく常に一定の濁度であり、比較測定の対象
に適シテいるので、このガラスブロックの測定結果は装
置の高感度全担保するために用いらｎる。
位置へ移動させて、ＰＲ度測測定同様に９０°方回の側
方散乱光とか照光との強度比？求める。ガラスブロック
は粒子径が微細で、その濁度がひじよう罠小さく、かつ
経年変化がなく常に一定の濁度であり、比較測定の対象
に適シテいるので、このガラスブロックの測定結果は装
置の高感度全担保するために用いらｎる。
第１図及び第２図において、基台に固定した固定筒１の
内部に、ギヤーモータ３と直結したネジ棒４と螺合して
いる液そう台５にベアリング２を介して上下＃１可能に
支承する。液そう台５１ＣＨ円筒形試料セ／１／６とガ
ラスブロック７とが上下に取り付けられている。このよ
うな液そう台５はギヤーモータ３の駆動でネジ棒４との
ネジ送り作用によって上下動することができる。
内部に、ギヤーモータ３と直結したネジ棒４と螺合して
いる液そう台５にベアリング２を介して上下＃１可能に
支承する。液そう台５１ＣＨ円筒形試料セ／１／６とガ
ラスブロック７とが上下に取り付けられている。このよ
うな液そう台５はギヤーモータ３の駆動でネジ棒４との
ネジ送り作用によって上下動することができる。
固定筒１及び液そう台５には単色平行光束の入射及び側
方散乱光の取り出し全許容するためその光路との対応す
る箇所に孔８．９が穿設しであるが、勿論液そう台５に
はガラスブロック７の夫々対応する箇所にも孔９が穿設
しである。
方散乱光の取り出し全許容するためその光路との対応す
る箇所に孔８．９が穿設しであるが、勿論液そう台５に
はガラスブロック７の夫々対応する箇所にも孔９が穿設
しである。
液そう台５全上下動させて試料セｆｉ／６またはガラス
ブロック７を光路上の元軸位置にもってくるため、固定
筒１には上下２箇所にマイクロスイッチ１０ 、１１
ｋ備えている。すなわち、下方のマイクロスイッチ１０
のＯＮで試料セ／Ｉ／６が光路上に位置し、他方上方の
マイクロスイッチ１１のＯＮでガラブロック７が光路上
に位置するようにその取り付は位置が調整しである。
ブロック７を光路上の元軸位置にもってくるため、固定
筒１には上下２箇所にマイクロスイッチ１０ 、１１
ｋ備えている。すなわち、下方のマイクロスイッチ１０
のＯＮで試料セ／Ｉ／６が光路上に位置し、他方上方の
マイクロスイッチ１１のＯＮでガラブロック７が光路上
に位置するようにその取り付は位置が調整しである。
試料セ／Ｉ／６は試料純水全導入する之めの配管１２ｋ
ｌ！Ｌ、側方散乱光取り出し方向の背面全黒色にて形成
するため、黒色ガラス６が対応する部分に高温接層しで
ある（第３図参照Ｊ０以下、本発明装置による測定法に
ついて説明するに、光源１３から出定元は集光レンズに
よって集光さｎ、円形スリブ）Ｓ上に光源１３の像？結
び、このスリットを出た元はコリメーティング色消レン
ズによって平行光束となり、公党フィルタＦで単色元来
となって孔８．９ ？ｉｌ−通り先ず図示状態において
試料セ／Ｉ／６に入射する。
ｌ！Ｌ、側方散乱光取り出し方向の背面全黒色にて形成
するため、黒色ガラス６が対応する部分に高温接層しで
ある（第３図参照Ｊ０以下、本発明装置による測定法に
ついて説明するに、光源１３から出定元は集光レンズに
よって集光さｎ、円形スリブ）Ｓ上に光源１３の像？結
び、このスリットを出た元はコリメーティング色消レン
ズによって平行光束となり、公党フィルタＦで単色元来
となって孔８．９ ？ｉｌ−通り先ず図示状態において
試料セ／Ｉ／６に入射する。
この単色平行光束の一部は試料上ｙ６への入射前にハー
フミラ−Ｈにより分岐さｎ、参照光として検出器１４で
検出される。試料セ／Ｌ／６に入射した光束は試料純水
の微粒子により散乱し、その９０°方向の側方散乱光ケ
孔８．９から取り出し、検出器１５で検出する。この２
つの検出器１４．１５で検出し九参照光と散乱光の強度
を比回路１６で検出し、その強度比が増幅回路】７全経
てレコーダ１８に濁度として指示、記録さｎる。
フミラ−Ｈにより分岐さｎ、参照光として検出器１４で
検出される。試料セ／Ｌ／６に入射した光束は試料純水
の微粒子により散乱し、その９０°方向の側方散乱光ケ
孔８．９から取り出し、検出器１５で検出する。この２
つの検出器１４．１５で検出し九参照光と散乱光の強度
を比回路１６で検出し、その強度比が増幅回路】７全経
てレコーダ１８に濁度として指示、記録さｎる。
そして、光路をシャッタ１９で遮断した後、ギヤーモー
タ３を駆動し、液そう台５を図示状轢から上昇させて、
ガラスブロックに光路上にもってくる。ガラスプロッタ
が光路上にくると、シャッタ１９ケ開放し、試料セル６
（、ｔｉｔ科純水」の測定と同様に参照光と側方散乱光
との強度比を測定する。この測定値は常に一定であるの
で試料純水の測定値と比較することにより高感度の測定
が担保される。
タ３を駆動し、液そう台５を図示状轢から上昇させて、
ガラスブロックに光路上にもってくる。ガラスプロッタ
が光路上にくると、シャッタ１９ケ開放し、試料セル６
（、ｔｉｔ科純水」の測定と同様に参照光と側方散乱光
との強度比を測定する。この測定値は常に一定であるの
で試料純水の測定値と比較することにより高感度の測定
が担保される。
なお、ガラスブロックの測定中試料セル６の試料純水を
入ｎ替え、次の測定に備える。またこのとき試料セ／Ｌ
／６の光束入射部（窓部）を適宜のワイパー機構により
ｍ浄することもできる。
入ｎ替え、次の測定に備える。またこのとき試料セ／Ｌ
／６の光束入射部（窓部）を適宜のワイパー機構により
ｍ浄することもできる。
本発明は、上記のようにＮＩｌ成されているので微小粒
子径の濁度？高感度で測定することができる。試料セル
の背面反射を考慮しない場合に約４．７〜６．５９６の
反射光が散乱光に加わり、従来はこれが測定誤差となる
か、あるいはこれを補正しなけ几ばならなかり几が、か
かる反射誤差はなくなり、補正は不要となる。また、経
年変化がなく、微小粒子径で常に濁度が一定であるガラ
スブロックと交互に比較測定するので、微小濁度の高感
度測定が達成できる。
子径の濁度？高感度で測定することができる。試料セル
の背面反射を考慮しない場合に約４．７〜６．５９６の
反射光が散乱光に加わり、従来はこれが測定誤差となる
か、あるいはこれを補正しなけ几ばならなかり几が、か
かる反射誤差はなくなり、補正は不要となる。また、経
年変化がなく、微小粒子径で常に濁度が一定であるガラ
スブロックと交互に比較測定するので、微小濁度の高感
度測定が達成できる。
第１図は本発明装置の実施例の慨要全示す断面図、第２
図は同平面図、第３図は円筒形試料セルを示す図である
。 図中、ｌ・・・固定筒、５・・・液そう台、６・・・円
筒形試料セル、７・・・ガラスブロック、８．９．９・
・・孔、 １３・・・光源、１４．１５・・・検出器。 特許出願人 株式会社 島 津 製 作 所。 代理人弁理士武 石 端 彦叩植 弔２図
図は同平面図、第３図は円筒形試料セルを示す図である
。 図中、ｌ・・・固定筒、５・・・液そう台、６・・・円
筒形試料セル、７・・・ガラスブロック、８．９．９・
・・孔、 １３・・・光源、１４．１５・・・検出器。 特許出願人 株式会社 島 津 製 作 所。 代理人弁理士武 石 端 彦叩植 弔２図
Claims (1)
- １、測定すべき純水を収容した円筒形試料セルに単色平
行光束を入射し、該セルからの入射光に対する９０°方
向の散乱光と該セルへの入射前に分岐した参照光との強
度比から濁度を求める装置において、前記円筒形試料セ
ルの散乱光取り出し方向の背面を黒色にて形成し、かつ
透明ガラスブロックを設けると共に、該ガラスブロック
を前記円筒形試料セル位置へ移動させる移動機構を備え
たことを特徴とする純水濁度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995289A JPH02201140A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 純水濁度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995289A JPH02201140A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 純水濁度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02201140A true JPH02201140A (ja) | 1990-08-09 |
Family
ID=12013538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1995289A Pending JPH02201140A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 純水濁度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02201140A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04164212A (ja) * | 1990-10-26 | 1992-06-09 | Olympus Optical Co Ltd | 液柱形状物体観測用光学系 |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1995289A patent/JPH02201140A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04164212A (ja) * | 1990-10-26 | 1992-06-09 | Olympus Optical Co Ltd | 液柱形状物体観測用光学系 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI783980B (zh) | 用於蝕刻處理監視的先進光學感測器、系統及方法 | |
| KR100571863B1 (ko) | 대상물의 막 두께를 측정하는 장치, 대상물의분광반사율을 측정하는 장치 및 방법과, 대상물상의이물을 검사하는 장치 및 방법 | |
| US4053229A (en) | 2°/90° Laboratory scattering photometer | |
| TW446815B (en) | Particle monitoring instrument | |
| JPH0820371B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JPS6140520A (ja) | 分光光度計 | |
| EP0396409A3 (en) | High resolution ellipsometric apparatus | |
| JPH0518896A (ja) | 小さな吸光量の検出用測定方法 | |
| JPS62266439A (ja) | 分光偏光測定装置 | |
| KR101036455B1 (ko) | 하프 미러를 이용한 타원계측기 | |
| CN110658206A (zh) | 一种面板缺陷分层检测装置和方法 | |
| JPH02201140A (ja) | 純水濁度測定装置 | |
| KR102248379B1 (ko) | 반도체 소자의 결함 검사장치. | |
| JPS58120106A (ja) | 半導体ウエハの外観検査装置 | |
| JPS614945A (ja) | 較正装置を有する赤外線吸収水分計 | |
| JPH0431748A (ja) | 透明板状体の欠点検査方法 | |
| JPS6093903A (ja) | ホトレジスト膜の形状確認・寸法測定装置 | |
| JPH07128250A (ja) | 半導体装置製造用フォトマスクの異物検査装置 | |
| RU2096757C1 (ru) | Устройство для снятия спектра поверхностного плазменного резонанса | |
| JPH04344447A (ja) | 透明ガラス基板の欠陥検出装置 | |
| JPH0621009Y2 (ja) | 卓上型成分分析計の自動較正装置 | |
| JP2709946B2 (ja) | 異物検査方法および異物検査装置 | |
| JPH07294410A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| JPH01110238A (ja) | ヒ化ガリウム中のｅｌ２濃度の評価方法 | |
| RU2077754C1 (ru) | Способ и устройство определения электрофизических параметров полупроводниковых пластин |