JPH02201583A - 像処理法および像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野１ 本発明は、被検査対象物の状態をセンサーで像Ｉｆｔ　
＆ｉとして検知し、この像情報を処理する像処理法およ
び像処理装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、被検査対象物の状態をセンサーで、像情報として
検知して、該検知された像情報を処理する像処理法は第
８図に示されるように、例えば。

被検査対象物ｌの状態をカメラ２のレンズ３を介して複
数のセンサー４で像情報として検知して。

センサー４の数に対応した像情報信号Ｓｔを出力し、こ
の複数の像情報信号Ｓ１を処理手段５で処理し、被検査
対象物ｌの状態を判定する。

この像処理装置は１例えば、第７図に示されるようにカ
メラ２と処理手段５とから構成される。

カメラ２は被検査対象物ｌの状態の像情報を屈折させる
レンズ３と、この像情報を検知する複数のセンサー４と
、このセンサー４を駆動する駆動回路６と、センサー４
からの信号を増幅する増幅器７と、増幅器７で増幅され
た信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するアナ
ログデジタル変換回路８と、このデジタル１８号を緩衝
して出力するバッファ回路９とから成る。

次に、処理手段５はバッファ回路９からの信号を人力し
て緩衝する入力バッファ回路ＩＯと、この人力バッファ
回路１０からの出力信号を記憶するデュアルポートメモ
リ１１と、このデュアルポートメモリ１１からの信号を
ソフトウェア１２に基づいて処理する中央処理装置１３
と、この中央処理装置１３で処理された判定信号を出力
する出力ボート１４とから成る。

〔発明が解決しようとする課題］ しかし、上述の従来方法および装置はセンサー４の素子
１個に対して、１個の像情報信号Ｓｔに基づいて、処理
手段５か処理するため、処理手段５自体が被検査対象物
ｌの全体的なパターン、詳細なパターン、集合状態ある
いは微妙な欠陥等を検知することが困難であるという問
題点があった。

そこで１本発明は上述の問題点を解決するために提案さ
れたもので、像情報に基づいて、処理手段自体が被検査
対象物の全体的なパターン、詳細なパターン、集合状態
あるいは微妙な欠陥等を容易に検知することができる像
処理法およびその像処理装置を提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、被検査対象物の状態を複数のセンサーで像情
報として検知して、該センサーの数に対応した像情報信
号を出力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法を
改良するもので、位置的に所定範囲の該複数の像情報信
号を単一の所定像情報信号に集約処理し、該集約処理さ
れた複数の集約処理信号を処理することを特徴とする像
処理法である。

さらに、該被検査対象物に対する分解能を変えて処理す
る像処理法。

さらに、該被検査対染物の波検査対Ｒ範囲を移動させて
処理する像処理法である。

さらに、該所定像情報信号に対して該所定範囲の像情報
信号の乗数を変えて集約処理する像処理法である。

さらに、被検査対象物の状態を像ｌｌ！！報として検知
する複数のセンサーを有し、該センサーの個数に対応し
た数の像情報信号を出力するカメラと、該カメラから出
力される該像情報信号が人力され１位置的に所定範囲の
該複数の像情報信号を単一の所定像情報信号に各々集約
処理し、該集約処理された複数の集約処理信号を処理す
る処理手段とから成る像処理装置である。

さらに、該カメラは該被検査対象物に対する分解能を変
えてるように構成される請求項５記依の像処理装置であ
る。

さらに、該カメラはズーム機構を備え、該ズーム機構に
より、該被検査対象物に対する分解能変えて処理し、該
集約処理された複数の集約処理信号をｈノ？の該分解能
に対応して記憶する複数のメモリを備えた像処理装置で
ある。

さらに、該カメラは該被検査対象物に対する距離を変え
て分解能が異なるように複数設けられ、該処理手段は該
カメラに各々対応して設けられ、該集約処理された複数
の集約処理信号を各々の該分解能に対応して記憶する複
数のメモリを備えた像処理装置である。

さらに、被検α対象物の状態を像情報として検知する複
数のセンサーを有し、該センサーの個数に対応した数の
第１の像情報信号を出力する第１のカメラと、 該第１のカメラから出力される該像情報信号により映像
を表示する陰ｔ４綿管と、 該陰１４ｉ線管に検知端部が対向し、該映像を検知し、
該陰極線管との距離を変動できるように設けられる複数
本の光ファイバーと、 該映像を像情報として検知するｗ複数のセンサーを有し
、該センサーに対応した第２の像情報信号を出力する第
２のカメラと、 該第２のカメラから出力される該第２の像情報信号が人
力され、位置的に所定範囲の該？！数の像情報信号を単
一の所定像情報信号に集約処理し、該集約処理された複
数の集約処理信号を処理する処理手段と。

該光ファイバーの検知端部と該陰極線管との距離の変動
に対応して該処理手段からの該集約処理された複数の集
約処理信号を各／７記憶する１４複数のメモリとから成
ることを特徴とする像処理装置である。

さらに、該処理手段は該所定像情報信号に対して該所定
範囲の像情報信号を重みを変えて集約処理する像処理装
置である。

さらに、該カメラあるいは第１のカメラは該被検査対象
物の被検査対象範囲を移動できるように構成される像処
理装置である。

［作用Ｊ 本発明によれば、位置的に所定範囲の複数の像情報信号
を単一の所定像情報信号に集約処理し。

該集約処理された複数の集約処理信号を処理するため、
処理手段自体が被検査対象物の全体的なパターン、詳細
なパターン、集合状態あるいは微妙な欠陥等を容易に検
知することができる。

〔実施例Ｊ 以下１本発明を図面を参照してその実施例に基づいて説
明する。

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の像処理方法の概略
説明図である。

本発明の像処理方法は被検査対象物ｌの状態をＰＪ数の
センサー４で像情報として検知して、該センサー４の数
に対応した像情報信号Ｓｔを出力し、像情報信号Ｓｌを
処理する。

さらに、位置的に所定範囲の複数の像情報信号Ｓ１を単
一の所定像情報信号に各々集約処理し。

該集約処理された複数の集約処理信号を処理する。

さらに、被検査対象物ｌに対する分解能を変えて、第１
図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示されるように被検査対象物！
とセンサー４との距離を変えて処理しても良い。

さらに、所定像情報１８号に対して所定範囲の像１＾報
信号Ｓ１を乗数、つまり、重みを変えて集約処理しても
良い。

この本発明方法には以下の本発明の像処理装置が用いら
れる。

第１図（ａ）に示される本発明の像処理装置は被検査対
象物ｌの状態を像情報としてレンズ３を介して検知する
複数のセンサー４を有し、センサー４の個数に対応した
数の像情報信号Ｓｌを出力するカメラ２と、カメラ２か
ら出力される像情報信号Ｓ■が入力され、位置的に所定
範囲の該複数の像情報信号Ｓ１を単一の所定像情報信号
に各々集約処理し、集約処理された複数の集約処理信号
を処理する処理手段５とから成る。

さらに、本実施例においては処理手段５は第２図に示さ
れるようにデータバス１５と複数の処理回路１６とから
成り、カメラ２と被検査対象物ｌとの距離、つまり、被
検査対象物ｌに対する分解能を変えずに処理する。

さらに、処理回路１６は第３図（ａ）に示されるように
シフト回路３０、ゲート回路３１．ｉｌ算器３２および
加算器３３とから成る。

この処理回路１６は被検査対象物１−１＝の所定ライン
上の状態の像情報信号を集約処理する場合に用いられる
。

像情報信号はデータバス１５から８ビツトの明度階調で
、シフト回路３０および演算器３２に人力される。

シフト回路３０の段数は集約する所定ラインの長さによ
って自在に設定することができる。

ゲート回路３１は演算器３２に対して予め設定された所
定ラインの長さに見合った段数になるまでは出力信号は
０を保持する。

その間に演算器３２の出力はデータバス１５からの像情
報信号そのものを出力し、フィードパ・ツク回路を有す
る加算器３３によって段数分情報が閘算される。

所定ラインの長さに見合った段数の情報信号が入力され
た後は、ゲート回路３１は出力を開け、シフト回路３０
の記憶していた段数以前の像情報信号を演算器３２によ
り減算することにより、所定ライン長を保持しつつ演算
を進める。

以上の構成と動作により、予め決められた規模の集約処
理を実時間で行なうことができる。

次に、他の処理回路１６は第３図（ｂ）に示されるよう
にユニット３４．３５および演算器３６とから成る。

このユニット３４．３５は第３図（ａ）に示される処理
回路１６と同じ構成である。

この第３図（ｂ）に示される処理回路１６は被検査対象
物ｌ上の所定ライン上の状態の像情報１８号の相関を取
りながら実時間で集約処理する場合に用いられる。

データバス１５からの像情報信号はユニット３４に入力
され、ユニット３４からの出力信号は被検査対象物ｌ上
の所定ライン上の状態の像情報信号が集約処理された信
号である。

この出力信号はユニット３５、さらに、演算器３６に人
力される。

演算器３６の入力は所定ライン長の集約処理された信号
であるユニット３４からの出力信号と、その事象から連
続して取られた所定ライン長の集約処理された信号であ
るユニット３５の２信号である。

この演算器３６の出力信号は結果として両者の相対的な
関係を演算することとなる。

以上の構成と動作により明度のばらつきを含んだ対象物
に対する像処理を実時間で行なうことができる。

次に、さらに他の処理回路Ｉ６は第３図（ｃ）に示され
るようにユニット３８．３９．演算器４０、デュアルポ
ートメモリ４１．ユニット４２．４３、演算器４４とお
よびバレルシフト回路４５とから成る。

このユニット３８．３９．４２．４３は第３図（ａ）に
示される処理回路１６と同じ構成である。

さらに、ユニット３８．３９および演算器４０から成る
第３図（ｂ）に示される処理回路１６と同じ構成で、同
じ動作を行ない、所定ライン上の像情報信号を集約処理
を相対的に行なう。

この結果をデュアルポートメモリ４１に実時間でマツピ
ングしながら、ユニット４２．４３および演算器４４か
ら成る像の縦ラインの集約処理を行なう部分に接続する
。

この構成により横方向ラインと縦ラインにより特定され
る範囲の像情報信号の結果が演算器４４の出力信号とし
て得られる。

バレルシフト回路４５は各演算によって桁数の増加した
演算結果を必要なビット数によって実時間で像情報信号
の集約処理を行なう。

また、さらに、演算を行なうときに乗算回路を通して、
予め設定された乗数で演算することにより実時間で重み
を変化させた処理も容易に行なうことができる。

この第３図（ｃ）に示される処理回路１６は被検査対象
物ｌ−Ｆの所定範囲−Ｆの状態の像情報信号を実時間で
集約処理する場合に用いられる。

さらに、本発明の他の像処理装置は第４図に示されるよ
うに、カメラ２は図示されないズーム機構を備え、該ズ
ーム機構により、被検査対象物ｌとセンサー４との距離
を第１図（ａ）（ｂ）（Ｃ）に示されるように変えるこ
とにより分解能を変えて処理手段５により処理し、該集
約処理された複数の集約処理信号を各々の該分解能に対
応して記゛臆する複数のメモリ２２を備える。

さらに１本発明の他の像処理装置は第１図（ａ）（ｂ）
（ｃ）および第５図に示されるように、カメラ２は被検
査対象物ｌに対する距離、つまり、分解能が異なるよう
に、例えば、３台設けられ、処理手段５はカメラ２に各
々対応して設けられ、該集約処理された複数の集約処理
信号を各々の分解能に対応して記憶する複数のメモリ２
２を備える。

各々のカメラ２と被検査対象物ｌとの間には全反射ミラ
ー４６、半透明ミラー４７．４８が設けられる。

さらに、本発明の他の像処理装置は第６図に示されるよ
うに、被検査対象物ｌの状態を像情報として検知する複
数のセンサー４を有し、センサー４の個数に対応した数
の第１の像情報信号を出力する第１のカメラ２ａと、第
１のカメラ２ａから出力される像情報信号により映像を
表示する陰極線管２３と、陰極線管２３に検知端部が対
向し、註映像を検知し、陰極線管２３との距離を変動で
きるように設けられる光ファイバー２４と、該映像を像
情報として検知する複数のセンサー４を有し、センサー
４の例数に対応した数の第２の像情報信号を出力する第
２のカメラ２ｂと、第２のカメラ２ｂから出力される第
２の像情報信号が入力され、位置的に所定範囲の該複数
の像情報信号を単一の所定像情報信号に各々集約処理し
、該集約処理された複数の集約処理信号を処理する処理
手段５と、光ファイバー２４の検知端部と陰ｔｆｉＩ９
１管２３との距離の変動に対応して処理手段５からの該
集約処理された複数の集約処理信号を各々記・ｍする複
数のメモリ２２とから成る。

さらに、処理手段５は該所定像情報信号に対して該所定
範囲の像情報信号の乗数、すなわち、重みを変えて集約
処理する。

この重みを変える演算処理によりより精緻に被検査対象
物の状態を検知できる。

なお１以上の全ての像処理装置の実施例において、カメ
ラは被検査対象物の被検査対象範囲を移動できるように
回動するように構成される。

また、以上の全ての実施例において、センサーは光セン
サーに限定されず、圧力、温度、湿度センサー等の物体
の状態を検知する全てのセンサーを含む。

【発明の効果］ 本発明は以上説明したように、像情報に基づいて、処理
手段自体が被検査対象物の全体的なパターン、詳細なパ
ターン、集合状態あるいは微妙な欠陥等を容易に検知す
ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の］采処理法の概略
説明図、第２図は本発明の像処理装置の概略説明図、第
３図（ａ）（ｂ）（ｃ）は第２図の像処理装置の種／７
の処理手段の説明図、第４図は本発明の他の像処理装置
の説明図、第５図は本発明のさらに他の像処理装置の説
明図、第６図は本発明のさらに他の像処理装置の説明図
、第７図は従来装置の説明図、第８図は従来方法の説明
図である。 ｌ・・−被検査対象物 ２．２ａ、２ｂ・・・カメラ ４・・・センサー ５・・・処理手段 ２２・・・メモリ ２４・・・光ファイバー 出 代 願 理 人 人 山田

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　被検査対象物の状態を複数のセンサーで像情報とし
   て検知して、該センサーの数に対応した像情報信号を出
   力し、該複数の像情報信号を処理する像処理法において
   、 位置的に所定範囲の該複数の像情報信号を 単一の所定像情報信号に集約処理し、該集約処理された
   複数の集約処理信号を処理することを特徴とする像処理
   法。 ２　該被検査対象物に対する分解能を変えて処理する請
   求項１記載の像処理法。 ３　該被検査対象物の被検査対象範囲を移動させて処理
   する請求項１または２記載の像処理法。 ４　該所定像情報信号に対して該所定範囲の像情報信号
   の乗数を変えて集約処理する請求項１ないし３のいずれ
   かに記載の像処理法。 ５　被検査対象物の状態を像情報として検知する複数の
   センサーを有し、該センサーの個数に対応した数の像情
   報信号を出力するカメラと、 該カメラから出力される該像情報信号が入 力され、位置的に所定範囲の該複数の像情報信号を単一
   の所定像情報信号に各々集約処理し、該集約処理された
   複数の集約処理信号を処理する処理手段と、 から成る像処理装置。 ６　該カメラは該被検査対象物に対する分解能を変えて
   るように構成される請求項５記載の像処理装置。 ７　該カメラはズーム機構を備え、該ズーム機構により
   、該被検査対象物に対する分解能変えて処理し、該集約
   処理された複数の集約処理信号を各々の該分解能に対応
   して記憶する複数のメモリを備えた請求項５または６記
   載の像処理装置。 ８　該カメラは該被検査対象物に対する距離を変えて分
   解能が異なるように複数設けら れ、該処理手段は該カメラに各々対応して設けられ、該
   集約処理された複数の集約処理信号を各々の該分解能に
   対応して記憶する複数のメモリを備えた請求項５または
   ６記載の像処理装置。 ９　被検査対象物の状態を像情報として検知する複数の
   センサーを有し、該センサーの個数に対応した数の第１
   の像情報信号を出力する第１のカメラと、 該第１のカメラから出力される該像情報信 号により映像を表示する陰極線管と、 該陰極線管に検知端部が対向し、該映像を 検知し、該陰極線管との距離を変動できるように設けら
   れる複数本の光ファイバーと、 該映像を像情報として検知する複数のセン サーを有し、該センサーに対応した第２の像情報信号を
   出力する第２のカメラと、 該第２のカメラから出力される該第２の像 情報信号が入力され、位置的に所定範囲の該複数の像情
   報信号を単一の所定像情報信号に集約処理し、該集約処
   理された複数の集約処理信号を処理する処理手段と、 該光ファイバーの検知端部と該陰極線管と の距離の変動に対応して該処理手段からの該集約処理さ
   れた複数の集約処理信号を各々記憶する複数のメモリと
   、 から成ることを特徴とする像処理装置。 １０　該処理手段は該所定像情報信号に対して該所定範
   囲の像情報信号を重みを変えて集約処理する請求項５な
   いし９のいずれかに記載の像処理装置。 １１　該カメラあるいは第１のカメラは該被検査対象物
   の被検査対象範囲を移動できるように構成される請求項
   ５ないし１０のいずれかに記載の像処理装置。