JPH02201722A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH02201722A JPH02201722A JP1964189A JP1964189A JPH02201722A JP H02201722 A JPH02201722 A JP H02201722A JP 1964189 A JP1964189 A JP 1964189A JP 1964189 A JP1964189 A JP 1964189A JP H02201722 A JPH02201722 A JP H02201722A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- thin film
- recording
- thickness
- magnetic head
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、例えばコンピュータ用磁気ディスク装置等
に使用される薄膜磁気ヘッドに関する。
に使用される薄膜磁気ヘッドに関する。
（従来の技術）
一般に、薄膜磁気ヘッドは、第６図に示すようにＭｎ−
ｚｎフェライトまたはＮ、−Ｚ、フェライト等の下部コ
アを構成する磁性体１上に８１０２等のギャップ層２を
蒸着等により形成し、このギャップ層２上に絶縁層３、
コイルとなるＣｕ等の導体層４及び絶縁層５が順に形成
された後、上部コアを構成するパーマロイまたはセンダ
スト等の磁性薄膜６が積層される。そして、この磁性薄
膜６上には、ガラス等で形成されるホルダ８が接着層７
を介して取付けられ、その記録媒体摺動面に磁性薄膜６
をギャップ層２に対応してトラック幅Ｔｗでトラック厚
さＰで配置した記録トラックが形成される。
ｚｎフェライトまたはＮ、−Ｚ、フェライト等の下部コ
アを構成する磁性体１上に８１０２等のギャップ層２を
蒸着等により形成し、このギャップ層２上に絶縁層３、
コイルとなるＣｕ等の導体層４及び絶縁層５が順に形成
された後、上部コアを構成するパーマロイまたはセンダ
スト等の磁性薄膜６が積層される。そして、この磁性薄
膜６上には、ガラス等で形成されるホルダ８が接着層７
を介して取付けられ、その記録媒体摺動面に磁性薄膜６
をギャップ層２に対応してトラック幅Ｔｗでトラック厚
さＰで配置した記録トラックが形成される。
ところが、薄膜磁気ヘッドでは、その記録トラックのト
ラック厚さＰが数μｍ程度と非常に小さいために、トラ
ック厚さＰが高密度記録における最短記録波長λｍｉｎ
と略同程度となると、いわゆる形状効果（コンタ−エフ
ェクト）の影響が使用周波数帯域の中の高域成分である
最短記録波長λ用ｉｎに出る波打ち現象が起こり、性能
が低下するという問題を有する。すなわち、薄膜磁気ヘ
ッドは、その磁性体１のポール長については、最短記録
波長λｍｉｎに比較して十分厚いので問題ないが、その
磁性薄膜８のポール長である記録トラックのトラック厚
さＰが数μｍと小さいことで、問題となる。そこで、記
録信号の周波数をｆ１記録波長をλ、記録媒体との相対
速度をＶとすると、これらの関係は Ｖモｆλ となることにより、第７図に示すようにＰがλｍｉｎに
比して十分に大きいと、図中破線で示す周波数特性Ｆと
なるが、Ｐとλｍｉｎが同じ程度となると、実線Ｆ１で
示す波打ち現象が起こる。この波打ち現象はｆが略Ｖ／
２Ｐ、略２ ｖ ／ ２ Ｐ 。
ラック厚さＰが数μｍ程度と非常に小さいために、トラ
ック厚さＰが高密度記録における最短記録波長λｍｉｎ
と略同程度となると、いわゆる形状効果（コンタ−エフ
ェクト）の影響が使用周波数帯域の中の高域成分である
最短記録波長λ用ｉｎに出る波打ち現象が起こり、性能
が低下するという問題を有する。すなわち、薄膜磁気ヘ
ッドは、その磁性体１のポール長については、最短記録
波長λｍｉｎに比較して十分厚いので問題ないが、その
磁性薄膜８のポール長である記録トラックのトラック厚
さＰが数μｍと小さいことで、問題となる。そこで、記
録信号の周波数をｆ１記録波長をλ、記録媒体との相対
速度をＶとすると、これらの関係は Ｖモｆλ となることにより、第７図に示すようにＰがλｍｉｎに
比して十分に大きいと、図中破線で示す周波数特性Ｆと
なるが、Ｐとλｍｉｎが同じ程度となると、実線Ｆ１で
示す波打ち現象が起こる。この波打ち現象はｆが略Ｖ／
２Ｐ、略２ ｖ ／ ２ Ｐ 。
略３ｖ／２Ｐの順に起り、最初のｖ ／ ２ Ｐで出力
が大きく、次の２ｖ／２Ｐで小さくなり、さらに次の３
ｖ／２Ｐで大きくなる。これは、第８図に示すように記
録媒体摺動方向をｙ軸とすると、その導体層に電流が供
給されると、発生する磁界ＨのＸ軸方向成分が特性Ａと
なる（但し、ｙ軸と略直交するｙ軸がｙ−０，記録媒体
摺動面の表面）。
が大きく、次の２ｖ／２Ｐで小さくなり、さらに次の３
ｖ／２Ｐで大きくなる。これは、第８図に示すように記
録媒体摺動方向をｙ軸とすると、その導体層に電流が供
給されると、発生する磁界ＨのＸ軸方向成分が特性Ａと
なる（但し、ｙ軸と略直交するｙ軸がｙ−０，記録媒体
摺動面の表面）。
この特性Ａは、記録トラックのエツジ部でギャップ層２
と逆側方向の磁界が発生する。
と逆側方向の磁界が発生する。
一方、記録媒体の残留磁化のＸ軸方向成分をＩＸとする
と、相反定理により再生磁束の大きさは、 ｆ−〕Ｈｘ Ｉ Ｘ ｄｘ に比例する。従って、ＩＸの分布は、そのＰがλ／２の
奇数倍の時に大きくなり、その偶数倍の時に小さくなる
波打ち現象が発生するものである。
と、相反定理により再生磁束の大きさは、 ｆ−〕Ｈｘ Ｉ Ｘ ｄｘ に比例する。従って、ＩＸの分布は、そのＰがλ／２の
奇数倍の時に大きくなり、その偶数倍の時に小さくなる
波打ち現象が発生するものである。
（発明が解決しようとする課題）
以上述べたように、従来の薄膜磁気ヘッドでは、形状効
果の影響により波打ち現象が起り、性能が低下するとい
う問題を有していた。
果の影響により波打ち現象が起り、性能が低下するとい
う問題を有していた。
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、簡易な
構成で、かつ、形状効果による波打ち現象を確実に防止
し得るようにして、高性能化を図り得るようにした薄膜
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
構成で、かつ、形状効果による波打ち現象を確実に防止
し得るようにして、高性能化を図り得るようにした薄膜
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は磁性体上にギャップ層、導体層、絶縁層及び
磁性薄膜層を順に積層し、記録摺動面に前記ギャップ層
に対応して前記磁性薄膜で形成したトラック幅及びトラ
ック厚さ寸法を有する記録トラックを設けてなる薄膜磁
気ヘッドにおいて、前記記録トラックのギャップ層側と
逆側の側部にトラック厚さ方向にトラック厚さの約１／
２を有し、かつ、トラック幅方向に全長がトラック幅の
約１／２の凹部を設けて構成したものである。
磁性薄膜層を順に積層し、記録摺動面に前記ギャップ層
に対応して前記磁性薄膜で形成したトラック幅及びトラ
ック厚さ寸法を有する記録トラックを設けてなる薄膜磁
気ヘッドにおいて、前記記録トラックのギャップ層側と
逆側の側部にトラック厚さ方向にトラック厚さの約１／
２を有し、かつ、トラック幅方向に全長がトラック幅の
約１／２の凹部を設けて構成したものである。
（作用）
上記構成によれば、トラック厚さを有したトラック幅の
約１／２の記録トラックとトラック厚さの約１／２でト
ラック幅の約１／２の記録トラックを有したのと等価の
ヘッドが構成されることにより、これら記録トラックで
発生する周波数特性の波打ち現象が相互間で打消される
。従って、周波数特性における波打ち現象の発生の防止
が図り得る。
約１／２の記録トラックとトラック厚さの約１／２でト
ラック幅の約１／２の記録トラックを有したのと等価の
ヘッドが構成されることにより、これら記録トラックで
発生する周波数特性の波打ち現象が相互間で打消される
。従って、周波数特性における波打ち現象の発生の防止
が図り得る。
（実施例）
以下、この発明の実施例について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図はこの発明の一実施例に係るもので、同図（ａ）
が記録媒体摺動面を示す図、同図（ｂ）は同（ａ）の断
面を示す図である。すなわち、図［１ｉ １０はＭｎ−
ＺｎフェライトまたはＮ、−Ｚｎフェライト等の下部コ
アを構成する磁性体で、この磁性体１０上には、先ず５
１０２等のギャップ層１１が蒸着等で形成される。そし
て、このギャップ層１１上には、絶縁層１２、コイルと
なるＣｕ等の導体層１３及び絶縁層１４が順に形成され
た後、上部コアを構成するパーマロイまたはセンダスト
等の磁性薄膜１５が積層される。この磁性薄膜１５上に
は、ガラス等で形成されるホルダ＝１６が接着層１７を
介して取付けられ、その記録媒体摺動面に磁性薄膜１５
をギャップ層１１に対応してトラック幅Ｔｗでトラック
厚さＰで配置した記録トラックが形成される。この際、
磁性薄膜１５で形成される記録トラックにはトラック厚
さ方向に約Ｐ／２で、トラック幅方向に約Ｔｖ／２の凹
部１５ａがフォトリソグラフィー等を用いた化学エツチ
ングや、プラズマ等を用いた物理的エツチングのエツチ
ング手法等により所定の間隔を有して形成される。そし
て、この凹部１５ａは、その記録媒体摺動面の奥行き方
向が、例えば薄膜の特性を損わないＰ／２程度の寸法で
形成される。
が記録媒体摺動面を示す図、同図（ｂ）は同（ａ）の断
面を示す図である。すなわち、図［１ｉ １０はＭｎ−
ＺｎフェライトまたはＮ、−Ｚｎフェライト等の下部コ
アを構成する磁性体で、この磁性体１０上には、先ず５
１０２等のギャップ層１１が蒸着等で形成される。そし
て、このギャップ層１１上には、絶縁層１２、コイルと
なるＣｕ等の導体層１３及び絶縁層１４が順に形成され
た後、上部コアを構成するパーマロイまたはセンダスト
等の磁性薄膜１５が積層される。この磁性薄膜１５上に
は、ガラス等で形成されるホルダ＝１６が接着層１７を
介して取付けられ、その記録媒体摺動面に磁性薄膜１５
をギャップ層１１に対応してトラック幅Ｔｗでトラック
厚さＰで配置した記録トラックが形成される。この際、
磁性薄膜１５で形成される記録トラックにはトラック厚
さ方向に約Ｐ／２で、トラック幅方向に約Ｔｖ／２の凹
部１５ａがフォトリソグラフィー等を用いた化学エツチ
ングや、プラズマ等を用いた物理的エツチングのエツチ
ング手法等により所定の間隔を有して形成される。そし
て、この凹部１５ａは、その記録媒体摺動面の奥行き方
向が、例えば薄膜の特性を損わないＰ／２程度の寸法で
形成される。
上記構成において、記録トラックはトラック厚さＰでト
ラック幅がＴｖ／２のトラックとトラック厚さＰ／２で
、トラック幅かＴｗ／２のトラックと等価となる。これ
により、第２図に示すように、トラック厚さＰの部分で
は、周波数ｆがｖ ／ ２ Ｐ 、 ２ ｖ ／ ２
Ｐ 、 ３ ｖ ／ ２ Ｐ−・・の順に大、小のピー
クが繰返される。他方、トラック厚さＰ／２の部分では
、ｖ ／ Ｐ 、 ２ ｖ ／ Ｐ 、 ３ ｖ ／
Ｐ・・・の順に大、小のピークが繰返される。この結果
、記録トラックからの出力は第３図に示すように、従来
の周波数特性Ｆ１と比較すると、そのｖ ／ ２ Ｐで
前記従来のピークの約１／２程度のピクとなり、ｖ ／
Ｐで大小が打消されてピークがなくなり、３ ｖ ／
２ Ｐでピークが約１／２程度と軽減され、その２
ｖ ／ Ｐで始めて小のピークとなる周波数特性Ｆ２
（図中−点鎖線で示す）となる。
ラック幅がＴｖ／２のトラックとトラック厚さＰ／２で
、トラック幅かＴｗ／２のトラックと等価となる。これ
により、第２図に示すように、トラック厚さＰの部分で
は、周波数ｆがｖ ／ ２ Ｐ 、 ２ ｖ ／ ２
Ｐ 、 ３ ｖ ／ ２ Ｐ−・・の順に大、小のピー
クが繰返される。他方、トラック厚さＰ／２の部分では
、ｖ ／ Ｐ 、 ２ ｖ ／ Ｐ 、 ３ ｖ ／
Ｐ・・・の順に大、小のピークが繰返される。この結果
、記録トラックからの出力は第３図に示すように、従来
の周波数特性Ｆ１と比較すると、そのｖ ／ ２ Ｐで
前記従来のピークの約１／２程度のピクとなり、ｖ ／
Ｐで大小が打消されてピークがなくなり、３ ｖ ／
２ Ｐでピークが約１／２程度と軽減され、その２
ｖ ／ Ｐで始めて小のピークとなる周波数特性Ｆ２
（図中−点鎖線で示す）となる。
この場合、２ ｖ ／ Ｐにおけ小のピークは高次のピ
ークとなることで、そのピーク値が小さいことで、問題
となることはない。
ークとなることで、そのピーク値が小さいことで、問題
となることはない。
このように、上記薄膜磁気ヘッドは磁性薄膜１５の記録
媒体摺動面におけるギャップ層１２側と逆側の側部にト
ラック厚さ方向にトラック厚さＰの約１／２を有し、か
つ、トラック幅方向にトラック幅Ｔｗの約１／２の凹部
１５ａを有した記録トラックを設け、トラック厚さＰで
トラック幅Ｔｗの約１／２のトラックとトラック厚さＰ
の約１／２でトラック幅Ｔｖの約１／２のトラックを有
したのと等価のヘッドを構成したことにより、これら記
録トラックで発生する周波数特性の波打ち現象が相互間
で打消され、波打ち現象の発生の防止か図り１！７る。
媒体摺動面におけるギャップ層１２側と逆側の側部にト
ラック厚さ方向にトラック厚さＰの約１／２を有し、か
つ、トラック幅方向にトラック幅Ｔｗの約１／２の凹部
１５ａを有した記録トラックを設け、トラック厚さＰで
トラック幅Ｔｗの約１／２のトラックとトラック厚さＰ
の約１／２でトラック幅Ｔｖの約１／２のトラックを有
したのと等価のヘッドを構成したことにより、これら記
録トラックで発生する周波数特性の波打ち現象が相互間
で打消され、波打ち現象の発生の防止か図り１！７る。
また、上記実施例では、記録トラックにトラック厚さ方
向に約Ｐ／２で、トラック幅方向に約Ｔｗ／２の凹部１
５ａを設けた場合で説明したが、これに限ることなく、
例え第４図に示すように、トラック厚さ方向にＰ／２で
、トラック幅方向に複数の凹部２０ａ、２０ｂを設け、
これらの凹部２０ａ、２０ｂのトラック幅方向の全長が
約Ｔｖ／２となるように構成することも可能で、同様の
効果が期待される。
向に約Ｐ／２で、トラック幅方向に約Ｔｗ／２の凹部１
５ａを設けた場合で説明したが、これに限ることなく、
例え第４図に示すように、トラック厚さ方向にＰ／２で
、トラック幅方向に複数の凹部２０ａ、２０ｂを設け、
これらの凹部２０ａ、２０ｂのトラック幅方向の全長が
約Ｔｖ／２となるように構成することも可能で、同様の
効果が期待される。
また、上記実施例では、下部コアをフェライトを用いた
磁性体１０で形成したが、これに限ることなく、例えば
第５図に示すように、磁性薄膜３０、絶縁層３１及びホ
ルダー３２で形成した下部コアを用いて構成することも
可能である。この場合、下部コアにおける波打ち現象を
防止するには、磁性体を構成する磁性薄膜３０に記録ト
ラックと同様にトラック厚さ方向にＰ／２で、トラック
幅方向にＴｗ／２の凹部３０ａをギャップ層１１と逆側
に対向させて設けておけばよい。
磁性体１０で形成したが、これに限ることなく、例えば
第５図に示すように、磁性薄膜３０、絶縁層３１及びホ
ルダー３２で形成した下部コアを用いて構成することも
可能である。この場合、下部コアにおける波打ち現象を
防止するには、磁性体を構成する磁性薄膜３０に記録ト
ラックと同様にトラック厚さ方向にＰ／２で、トラック
幅方向にＴｗ／２の凹部３０ａをギャップ層１１と逆側
に対向させて設けておけばよい。
よって、この発明は上記実施例に限ることなく、その他
、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施
し得ることは勿論のことである。
、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施
し得ることは勿論のことである。
［発明の効果］
以上詳述したように、この発明によれば、簡易な構成で
、かつ、形状効果による波打ち現象を確実に防止し得る
ようにして、高性能化を図り得るようにした薄膜磁気ヘ
ッドを提供することができる。
、かつ、形状効果による波打ち現象を確実に防止し得る
ようにして、高性能化を図り得るようにした薄膜磁気ヘ
ッドを提供することができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る薄膜磁気ヘッドを示
す図、第２図及び第３図は第１図の動作を説明するため
に示した図、第４図及び第５図はこの発明の他の実施例
を示す図、第６図乃至第８図は従来の薄膜磁気ヘッドの
問題点を説明するために示した図である。 １０・・・磁性体、１２・・・ギャップ層、１２・・・
絶縁層、１３・・・導体層、１４・・・絶縁層、１５・
・・磁性薄膜、１５ａ・・・凹部、１６・・・ホルダー
１７・・・接着層、２０・・・ａ、２０ｂ・・・凹部、
３０・・・磁性薄膜、３０ａ・・・凹部、３１・・・接
着層、２・・・ホルダ 第 図 第 図
す図、第２図及び第３図は第１図の動作を説明するため
に示した図、第４図及び第５図はこの発明の他の実施例
を示す図、第６図乃至第８図は従来の薄膜磁気ヘッドの
問題点を説明するために示した図である。 １０・・・磁性体、１２・・・ギャップ層、１２・・・
絶縁層、１３・・・導体層、１４・・・絶縁層、１５・
・・磁性薄膜、１５ａ・・・凹部、１６・・・ホルダー
１７・・・接着層、２０・・・ａ、２０ｂ・・・凹部、
３０・・・磁性薄膜、３０ａ・・・凹部、３１・・・接
着層、２・・・ホルダ 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁性体上にギャップ層、導体層、絶縁層及び磁性薄膜層
を順に積層し、記録摺動面に前記ギャップ層に対応して
前記磁性薄膜で形成したトラック幅及びトラック厚さを
有する記録トラックを設けてなる薄膜磁気ヘッドにおい
て、 前記記録トラックのギャップ層側と逆側の側部にトラッ
ク厚さ方向にトラック厚さの約１／２を有し、かつ、ト
ラック幅方向に全長がトラック幅の約１／２の凹部を設
けたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1964189A JPH02201722A (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1964189A JPH02201722A (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02201722A true JPH02201722A (ja) | 1990-08-09 |
Family
ID=12004854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1964189A Pending JPH02201722A (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02201722A (ja) |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1964189A patent/JPH02201722A/ja active Pending
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