JPH0461008A

JPH0461008A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH0461008A
Application number: JP17295490A
Authority: JP
Inventors: Hiroyasu Egashira; 江頭　裕康
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1990-06-29
Filing date: 1990-06-29
Publication date: 1992-02-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）、磁気ディ
スク装置等の磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッド
に関するものである。

（従来の技術）磁気ヘッドは、一対の磁性コアの突合せ部にギャップス
ペーサを介装して構成され、記録媒体との対接面に露出
する磁気ギャップ部からの漏洩磁界によって記録媒体を
磁化して信号記録を行なうため、対接面においては、両
磁性コアは互いに完全に分離され、磁気絶縁されている
。

ところで、磁気記録の高密度化を図るためには、記録媒
体の走行方向の線記録密度を上げる方法と、記録媒体上
の信号トラック幅及びトラックピッチを狭小化し、所謂
トラック密度を高める方法とがある（例えば特開昭６３
−２６９３１０号公報（ＧｌＩＢ５／１２７）参照）。

（解決しようとする課題）しかしながら、従来の磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップ部近傍の磁界は、記録媒体と直交する方向に形成さ
れるばかりでなく、磁気ギャップ部の端部から側方へ放
出される漏洩磁力線によって、記録媒体の隣接トラック
へ向う方向にも形成されるから、特にトラック密度の増
大を図る場合には、隣接トラックとのクロストークの問
題が生じる。

本発明の目的は、高トラツク密度化を図る場合にも隣接
トラックとのクロストークを軽減することが可能な磁気
ヘッドを提供することである。

（課題を解決する為の手段）本発明に係る磁気ヘッドは、一対の磁性コア（１２）　
（１２）の突合せ部に、ギャップスペーサ（２）のトラ
ック幅方向の両側或いは片側へ、記録媒体との対接面（
１０）に露出する磁性体部（３）を配備し、該磁性体部
（３）によって両磁性コア（１２）（１２）の端部を局
所的に磁気短絡したことを特徴とする。

尚、必要に応じて一方の磁性コア（１２）と磁性体部（
３）の間に、ギャップスペーサ（２）のギャップ長より
も薄い非磁性層を介在せしめてもよい。又、磁性体部（
３）の磁路方向に沿う厚さは、ギャップスペーサ（２）
のギャップ長よりも小さく形成してもよい。

（作　用）上記磁気ヘッドにおいては、ギャップスペーサ（２）の
トラック幅方向の端部がら側方へ向って放出される磁力
線が、磁性体部（３）による磁気吸引作用を受けるため
、ギャップスペーサ（２）端部の近傍に形成される漏洩
磁界は磁性体部（３）側へ引き寄せられた分布となり、
隣接トラックに対する漏洩磁界の影響が軽減される。

尚、４磁性体部（３）は、両磁性コア（１２）（１２）
の突合せ部の端部に、ギャップスペーサ（２）に比べて
遥かに狭い領域に形成されているに過ぎないがら、ギャ
ップスペーサ（２）の作動ギャップとしての機能に影響
はない。

（発明の効果）本発明に係る磁気ヘッドによれば、隣接トラックとのク
ロストークが従来よりも軽減され、これによって磁気記
録の高密度化を図ることが可能である。

（実施例）以下、図面に沿って本発明に係る磁気ヘッドの一実施例
について説明する。尚、実施例は本発明を説明するため
のものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定し
、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。

第１図に示す如く、・一対のヘッド半休（ｌａ）（ｌｂ
）の突合せ部に、ギャップスペーサ（２）　（２１）　
（２２）を介装し、一方のヘッド半休（１ａ）にはコイ
ル窓（４）が開設されている。

両ヘッド半休（ｌａ）　（ｌｂ）は夫々、トラック幅方
向に配置した一対の非磁性基板（１１）（１３）の間に
積層磁性コア（１２）を介装して構成されている。該積
層磁性コア（１２）は、第１１図に示す如＜　、Ｆｅ−
Ａｌ−３Ｌ系合金からなる厚さ略２μｍの磁性層（１４
）とＳｉｎ。

からなる厚さ略０．１μｍの非磁性層（１５）とを交互
に積層して形成されている。

又、第１図の如く両積層磁性コア（１２）　（１２）の
突合せ部には、ギャップスペーサ（２）のトラック幅方
向の両側に、記録媒体との対接面（１ｏ）に露出する磁
性体部（３）　（３）を介装して、該磁性体部（３）（
３）によって両磁性コア（１２）　（１２）の端部を局
所的に磁気短絡している。磁性体部（３）は例えばフェ
ライト等の磁性資材から形成される。

尚、第１１図に示す如く、両積層磁性コア（１２）（１
２）の突合せ部に介在するギャップスペーサ（２）には
、一方の積層磁性コア（１２）に沿って非磁性層ＩＮ（
５１）カ厚さ略０．０５μｍに形成されると共に、他方
の積層磁性コア（１２）と両磁性体部（３）（３）との
間には、非磁性薄膜（５）が厚さ略０．０５μｍに形成
され−ている。これによって、磁性体部（３）及び非磁
性薄膜（５）の厚さは、ギャップスペーサ（２）のギャ
ップ長ｇ（略０．２μｍ）に一致している。又、積層磁
性コア（１２）の全幅Ａが略８μｍであるのに対し、磁
性体部（３）の幅Ｂは略０．１μｍに形成される。

上記磁気ヘッドにおいては、両磁性体部（３）（３）に
よって挟まれたギャップスペーサ（２）によって作動ギ
ャップが形成される。

第１１図は上記磁気ヘッドのギヤ・ツブスペーサ（２）
の両端部近傍に生じる漏洩磁力線（９）の分布を示し、
磁性体部（３）の磁気吸引作用によって磁性体部（３）
側へ引き寄せられた磁界分布となっている。従って、漏
洩磁力線（９）による隣接トラックへの磁界の影響が軽
減され、クロストークが抑制されることになる。

これに対し、第１２図の如く磁性体部の設けられていな
い従来の磁気ヘッドにおいては、ギヤ、ツブスペーサ（
２０）の両端部からの漏洩磁力線（９０）は、ギャップ
スペーサ（２０）から遠方にまで広がり、前述の如くク
ロストークの問題が生じていたのである。

又、第１１図に示す本発明の磁気ヘッドにおいては、磁
性体部（３）がギャップ長ｇよりも薄く形成され、磁性
体部（３）と積層磁性コア（１２）との間に非磁性薄膜
（５）が介装されているから、磁性体部（３）による磁
気短絡部の磁気抵抗は、作動ギヤツブ郡全体の磁気抵抗
に比べて十分に大きくなり、ギャップスペーサ（２）の
作動ギャップとしての機能は失われない。

次に、上記磁気ヘッドの製造方法について説明する。

先ず第２図に示す如く、結晶化ガラス等からなる非磁性
基板（６）上に、スパッタリング等の薄膜形成技術を用
いて、Ｆｅ−Ａｌ−８ｉ系合金からなる厚さ２μｍの磁
性薄膜と５ｉ０２からなる厚さ０．１μｍの非磁性薄膜
とを交互に４層ずつ積層して、全体の厚さが略８μｍの
積層部（６１）を設ける。

上記積層基板を複数層に接合して第３図に示す一体のブ
ロック（６２）を作製し、該ブロック（６２）を図中の
破線に沿って切断して、第４図に示す如く非磁性部（６
３）と積層磁性部（６４）とが交互に形成された複合基
板（６５）を得る。

上記複合基板（６５）の表面に、第５図の如く積層磁性
部（６４）と交差する方向へ伸びるコイル溝（６６）を
複数本凹設する。

次に、第７図の如く複合基板（６５）表面のコイル溝（
６６）に沿って伸びる帯状領域に、前記磁性体部となる
磁性薄膜（３１）と、ギャップスペーサとなるＳｉＯ□
薄膜（２５）とを形成する。第６図は、これらの薄膜形
成工程を表わしたもので、先ず同図（ａ）の如く前記帯
状領域にＳｔｏｗからなる非磁性膜（２３）を厚さ０．
２μｍに形成する。該非磁性膜（２３）に対して、前記
磁性体部を設けるべき幅０，１μｍの領域（第７図に示
す磁性薄膜（３１）の形成領域）へ電子ビームエツチン
グを施し、該幅領域の非磁性膜（２３）を除去して、溝
（２４）を凹設する。その後、同図（ｂ）の如く複合基
板（６５）の全面に、Ｓｉｎ、薄膜（２５）を厚さ０．
０５μｍに形成する。これによって溝（２４）の底部に
も５ｉｎｓ薄膜（２５）が形成されることになる。

第６図（ｃ）の如く、磁性薄膜（３１）の上面にフェラ
イトからなる磁性薄膜（３１）を厚さ０．０５μｍに形
成する。これによって前記溝（２４）内に磁性薄膜（３
１）が充填されることになる。更に、該磁性薄膜（３１
）の表面にポジフォトレジスト（７）をスピンコード法
によって厚さ略０．０５μｍに塗布す・る。これによっ
て、前記溝（２４）上の凹部（３２）（３２）にもレジ
スト（７）が充填される。

その後、前記レジスト（７）に短時間の露光を施して、
レジスト（７）の表層部のみを感光せしめることにより
、第６図（ｄ）の如く四部（３２）内のレジスト（７）
を残して他のレジスト（７）を除去する。

上記レジスト（７）及び磁性薄膜（３１）の表面に対し
て電子ビームエツチングを施し、第６図（ｅ）の如くレ
ジスト（７）によって覆われた磁性薄膜（３１）を残し
て、他の磁性薄膜（３１）を除去し、５ｉｎ２薄膜（２
５）を露出せしめた後、同図（ｆ）の如く残存している
レジストを取り除く。

上記工程を経て第７図及び第８図に示す複合基板（６７
）が得られる。

次に第４図の複合基板（６５）と第７図の複合基板（６
７）とを第９図に示す如く重ね合せ、側基板をガラス接
合することによって、一体のヘッドブロック（８）を作
製する。そして、該ヘッドブロック（８）を図中の破線
に沿って切断し、第１０図のへラドチップ（８１）を作
製する。該ヘッドチップ（８１）においては、前記磁性
薄膜（３１）が磁性体部（３）となり、前記非磁性部（
６３）が非磁性基板（１１）（１３）となり、前記積層
磁性部（６４）が積層磁性コア（１２）となる。

又、前記Ｓｉｎ、薄膜（２５）がギャップスペーサ（２
）（２１）（２２）となり、前記コイル溝（６６）によ
ってコイル窓（４）が形成される。

最後に、上記へラドチップ（８１）に対接面（ｌＯ）を
加工することにより、第１図の磁気ヘッドが完成する。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

例えば、本発明は、上記実施例の如き積層型磁気ヘッド
に限らず、薄膜磁気ヘッド、バルク型磁気ヘッド等の種
々な磁気ヘッドに実施することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、第２図乃至
第５図は複合基板の製造工程図、第６図（ａ）乃至（ｆ
）は磁性体部及びギャップスペーサを形成するための薄
膜形成工程図、第７図は前記薄膜形成工程を経た複合基
板の斜視図、第８図は第７図の要部を拡大して示す斜視
図、第９図はヘッドブロックの斜視図、第１０図はへラ
ドチップの斜視図、第１１図は本発明に係る磁気ヘッド
における漏洩磁力線の分布を示す平面図、第１２図は従
来の磁気ヘッドにおける第１１図に対応する平面図であ
る。（１１）　（１３）・・・非磁性基板　（１２）・・・
積層磁性コア（２）　（２１）（２２）・・・ギャップ
スペーサ（３）・・・磁性体部　　　　（９）　（９０
）・・・漏洩磁力線（ｂ）ｌ第４図（ｄ）（ε）（す察８図

Claims

【特許請求の範囲】［１］一対の磁性コア（１２）（１２）の突合せ部にギ
ャップスペーサ（２）を介装し、両磁性コア（１２）（
１２）に跨がって記録媒体との対接面（１０）を形成し
た磁気ヘッドにおいて、前記一対の磁性コア（１２）（
１２）の突合せ部には、ギャップスペーサ（２）のトラ
ック幅方向の両側或いは片側に、対接面（１０）に露出
する磁性体部（３）を配備し、該磁性体部（３）によっ
て両磁性コア（１２）（１２）の端部を局所的に磁気短
絡したことを特徴とする磁気ヘッド。［２］少なくとも一方の磁性コア（１２）と磁性体部（
３）との間に、ギャップスペーサ（２）のギャップ長よ
りも薄い非磁性層を介在せしめた請求項１に記載の磁気
ヘッド。［３］磁性体部（３）の磁路方向に沿う厚さは、ギャッ
プスペーサ（２）のギャップ長よりも小さく形成されて
いる請求項１に記載の磁気ヘッド。