JPH0220798U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220798U JPH0220798U JP1988098332U JP9833288U JPH0220798U JP H0220798 U JPH0220798 U JP H0220798U JP 1988098332 U JP1988098332 U JP 1988098332U JP 9833288 U JP9833288 U JP 9833288U JP H0220798 U JPH0220798 U JP H0220798U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disks
- siegbahn
- stationary
- rotating
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案に係わるジーグバーン形真空ポ
ンプの一実施例を示す縦断側面図、第2図は同ジ
ーグバーン形真空ポンプの作用説明図、第3図は
同ジーグバーング真空ポンプの排気性能の実測値
を示す説明図、第4図は従来のジーグバーン形真
空ポンプの全体を示す縦断側面図、第5図はその
回転円板及び静止円板部を示す縦断側面図、第6
図は静止円板の回転円板対向面に設けたスパイラ
ル状溝を示す平面図、第7図は同ジーグバーン形
真空ポンプの作用説明図、第8図は同ジーグバー
ン形真空ポンプの排気性能の実測値を示す説明図
である。 1……ロータ、1a……回転円板、1a1……
回転円板1aのスパイラル状溝、2……ケーシン
グ、2a……静止円板、2a1……静止円板2a
のスパイラル状溝。
ンプの一実施例を示す縦断側面図、第2図は同ジ
ーグバーン形真空ポンプの作用説明図、第3図は
同ジーグバーング真空ポンプの排気性能の実測値
を示す説明図、第4図は従来のジーグバーン形真
空ポンプの全体を示す縦断側面図、第5図はその
回転円板及び静止円板部を示す縦断側面図、第6
図は静止円板の回転円板対向面に設けたスパイラ
ル状溝を示す平面図、第7図は同ジーグバーン形
真空ポンプの作用説明図、第8図は同ジーグバー
ン形真空ポンプの排気性能の実測値を示す説明図
である。 1……ロータ、1a……回転円板、1a1……
回転円板1aのスパイラル状溝、2……ケーシン
グ、2a……静止円板、2a1……静止円板2a
のスパイラル状溝。
Claims (1)
- 多段の回転円板及び同各回転円板に狭い隙間を
置いて対向した多段の静止円板のうち、何れか一
方の対向面に設けたスパイラル状溝によりガスを
旋回させながら排気するジーグバーン形真空ポン
プにおいて、前記各回転円板及び前記各静止円板
のうち、大気側低真空域寄りの少なくとも1組の
回転円板及び静止円板の対向面に方向の異なるス
パイラル状溝を設けたことを特徴とするジーグバ
ーン形真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988098332U JP2501275Y2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | ジ―グバ―ン形真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988098332U JP2501275Y2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | ジ―グバ―ン形真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220798U true JPH0220798U (ja) | 1990-02-13 |
| JP2501275Y2 JP2501275Y2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=31324499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988098332U Expired - Lifetime JP2501275Y2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | ジ―グバ―ン形真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501275Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025035506A (ja) * | 2023-09-01 | 2025-03-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、固定円板および後付け部品 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6353195B2 (ja) | 2013-05-09 | 2018-07-04 | エドワーズ株式会社 | 固定円板および真空ポンプ |
| JP6616560B2 (ja) | 2013-11-28 | 2019-12-04 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ用部品、および複合型真空ポンプ |
| JP6228839B2 (ja) | 2013-12-26 | 2017-11-08 | エドワーズ株式会社 | 真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品 |
| JP6586275B2 (ja) | 2015-01-30 | 2019-10-02 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP6692635B2 (ja) | 2015-12-09 | 2020-05-13 | エドワーズ株式会社 | 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100608A (ja) * | 1973-01-29 | 1974-09-24 | ||
| JPS60153494A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Hitachi Ltd | ねじ溝分子ポンプ |
| JPS60182394A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP1988098332U patent/JP2501275Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100608A (ja) * | 1973-01-29 | 1974-09-24 | ||
| JPS60153494A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Hitachi Ltd | ねじ溝分子ポンプ |
| JPS60182394A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2025035506A (ja) * | 2023-09-01 | 2025-03-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、固定円板および後付け部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501275Y2 (ja) | 1996-06-12 |
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