JPS60153494A - ねじ溝分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は気体が主として分子流領域にある場合速度を得
るのに好適なねじ溝分子ポンプに関するものである。

〔発明の背景〕

従来から分子ポンプの代表的なものとしてねじ溝分子ポ
ンプがある。このポンプは構造が簡単で（１） 比較的製作が容易であるが、排気速度が小さいという欠
点があった。

従来、ねじ溝分子ポンプは一般に静止外周と回転内筒の
組合せが取られており、分子流の流路となるねじ溝は上
記外筒あるいは内筒の一方にだけ設けられているのが通
常で、ねじ溝の大きさによって制限され排気速度を大き
くとれないものであった。そこで、最近では高排気速度
が得やすい軸流分子ポンプが利用されることが多くなっ
ている。

このため、ねじ溝分子ポンプは特殊用途以外あまり利用
されなくなっている。

〔発明の目的〕

うことなく、大きな排気速度が得られるねじ溝分子ポン
プを提供することにある。

〔発明の概要〕

太し上記目的を達成するようにしたものである。

〔発明の実施例〕

（２） 以下、本発明の一実施例を第１図について説明する。

図において、円筒状の分子ポンプ筐体１内にねじ溝２ａ
を内周面に有する静止筒２が取付けられ、静止筒２内に
は回転筒３が同心的に収容されている。回転筒３ａの静
止筒２対向面には溝２ａと逆方向のねじ溝３ａが設けら
れている。この回転筒３が固定される回転軸４は軸受５
，６で支持されている。また、この回転軸４にはモータ
７の回転子７ａが設けられ、この回転子７ａの対向面に
は固定子７ｂが筐体１に設けられている。Ａは吸込口で
、この先に排気すべき装置が接続され、気体は吸込口Ａ
より吐出口Ｂに排気される。

上記構成の分子ポンプにおいて、まず、吐出口４に油回
転ポンプ等の補助ポンプを接続して駆動し、ねじ溝分子
ポンプ本体内の圧力が分子流領域になるまで粗引きした
後、本体を起動する。吸込口Ａより吸入された気体は静
止筒２と回転筒３に設けられたねじ溝２ａ、３ａを通る
間に圧縮されて吐出口Ｂから排気される。

（３） 分子流領域では気体分子の平均自由行程はねじ溝寸法よ
りも十分に大きいので、気体分子はねじ溝内の静止筒２
壁と回転筒３壁に交互に衝突してはコサイン法則によっ
てはね返りながら溝内を回転方向へ導かれていく。互い
に逆方向のねじ溝である静止筒２のねじ溝２ａと回転筒
３のねじ溝３ａが交叉する個所ではねじ溝がピッチ方向
に短絡されることになるが、静止筒２と回転筒３のねじ
溝形状が同一であれば、ねじ溝内の流れ方向の圧力勾配
がほぼ等しいので、ピッチ方向の洩れ流れは非常に小さ
くなる。したがって、静止筒２と回転筒３に設けたねじ
溝が互いに流路として機能し、大きな排気速度を得るこ
とができる。

本発明の他の実施例を第２図について説明する。

これは本発明をジーグバーン形式の分子ポンプに適用し
た場合を示すもので、第１図と同じ個所には同じ符号を
付して説明する。

ジーグバーンロータ３には螺旋状の溝３ａ。

３ｂが設けられ、この溝３ａ、３ｂに対向する筐体１の
面には互いに逆方向の螺旋状のねじ溝２ａ。

（４） ２ｂが設けられて構成される。

第１図の実施例で示したねじ溝と本実施例の螺旋状のね
じ溝はほぼ同等の作用、効果を奏することができる。ジ
ーグバーン形式の分子ポンプは軸方向寸法が短くなるの
で、軸の共振防止に有利である。また、ロータ３の回転
方向に応じて吸込口Ａと吐出口Ｂを簡単に逆にすること
が可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば静止筒と回転筒に
互いに逆方向の溝を設けることにより大きな排気速度を
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の実施例を示す縦断面図である
。 １・・・分子ポンプ筐体、２・・・静止筒、２ａ・・・
ねじ溝、３・・・回転筒、３ａ・・・ねじ溝、Ａ・・・
吸込口、Ｂ山吐（５） 峯１図 手２０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、静止筒に対向し同心的に回転筒を配置し、前記回転
   筒の回転によって気体分子を軸方向に移動させる分子ポ
   ンプにおいて、前記静止筒と前記回転筒筒の対向面に互
   いに逆方向のねじ溝を設けたことを特徴とするねじ溝分
   子ポンプ。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記回転筒はジー
   グバーンロータであることを特徴とするねじ溝分子ポン
   プ。