JPS60182394A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS60182394A JPS60182394A JP59038962A JP3896284A JPS60182394A JP S60182394 A JPS60182394 A JP S60182394A JP 59038962 A JP59038962 A JP 59038962A JP 3896284 A JP3896284 A JP 3896284A JP S60182394 A JPS60182394 A JP S60182394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- pump
- screw rotor
- groove
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、低真空領域でも優れた排気速度性能をケ１１
シ得るターボ分子ポンプに関するものである。
シ得るターボ分子ポンプに関するものである。
Ｃ口）従来技術
ターボ分子ポンプは、よく知られているように１機械的
に気体分子を吹き飛ばして超高真空を得るようにしたも
ので、このためにそのポンプ本体は、高速回転されるめ
る１■きを有するロータ（回転翼）と、それと逆向きの
傾きを有するステータ（回転翼）とを交互に通常多段に
配置してなる翼車群を具備してなる。
に気体分子を吹き飛ばして超高真空を得るようにしたも
ので、このためにそのポンプ本体は、高速回転されるめ
る１■きを有するロータ（回転翼）と、それと逆向きの
傾きを有するステータ（回転翼）とを交互に通常多段に
配置してなる翼車群を具備してなる。
ところが、この種のポンプではその翼車群での圧縮比が
低いことから、動作特性として低真空領域で排気速度性
能が著しく低下する不都合がある。具体的には、従来の
ターボ分子ポンプでは、１０１〜ｌ ０−１Ｔｏｒｒ程
度の真空度からその排気速度が急激に悪化し、０．Ｉ
Ｔｏｒｒ程度ではその排気速度が殆ど無に等しくなって
いる。このため、低真空域でターボ分子ポンプを作動す
る場合では、（ターボ分子ポンプ）＋（メカニカルブー
ストポンプ）＋（ロータリポンプ）のように適宜の補助
真空ポンプを連結してその排気能力をカバーする排気シ
ステムを採用するのが普通となっている。
低いことから、動作特性として低真空領域で排気速度性
能が著しく低下する不都合がある。具体的には、従来の
ターボ分子ポンプでは、１０１〜ｌ ０−１Ｔｏｒｒ程
度の真空度からその排気速度が急激に悪化し、０．Ｉ
Ｔｏｒｒ程度ではその排気速度が殆ど無に等しくなって
いる。このため、低真空域でターボ分子ポンプを作動す
る場合では、（ターボ分子ポンプ）＋（メカニカルブー
ストポンプ）＋（ロータリポンプ）のように適宜の補助
真空ポンプを連結してその排気能力をカバーする排気シ
ステムを採用するのが普通となっている。
一方、かかる補助真空を軽減するために開発されたもの
として、いわゆる複合型ターボ分子ポンプがある（特公
昭４７−３３４４６号公報等）。
として、いわゆる複合型ターボ分子ポンプがある（特公
昭４７−３３４４６号公報等）。
すなわち、この複合型ポンプでは、その吸気口側にロー
タとステータとを交互に配置してなる翼車群を具備する
一方、その排気口側に前記翼車群からの排気を誘導する
らせん溝を外周に設けたネジロータを連設して構成され
、このらせん溝で気体分子を円周方向に案内しつつその
溝深さを排気口に向けて漸変（除々に溝深きを浅く）さ
せて、その圧縮比を高めるようにしたものである。しか
して、このものでは前記らせん溝の働きにより相当の圧
縮比増大効果が発揮Ｓれるものの、ネジロータを連設し
かつ精巧ならせん溝をその外周に形成することによって
招来される構造複雑化とコストアップの短所に比較すれ
ば、より大きな圧縮比増大効果を達成する目的では、そ
の複合型構造のものの長所を未だ十分に有効利用してい
ない憾みが残る。
タとステータとを交互に配置してなる翼車群を具備する
一方、その排気口側に前記翼車群からの排気を誘導する
らせん溝を外周に設けたネジロータを連設して構成され
、このらせん溝で気体分子を円周方向に案内しつつその
溝深さを排気口に向けて漸変（除々に溝深きを浅く）さ
せて、その圧縮比を高めるようにしたものである。しか
して、このものでは前記らせん溝の働きにより相当の圧
縮比増大効果が発揮Ｓれるものの、ネジロータを連設し
かつ精巧ならせん溝をその外周に形成することによって
招来される構造複雑化とコストアップの短所に比較すれ
ば、より大きな圧縮比増大効果を達成する目的では、そ
の複合型構造のものの長所を未だ十分に有効利用してい
ない憾みが残る。
（ハ）目的
本発明は、このような技術的背景をもとにしてなされた
もので、基本的には前記複合型ポンプの構成を採用しつ
つも、そのネジロータの外周に設けるらせん溝を更に改
良することにより、該ネジロータの部分の圧縮比増大機
能を倍加せしめ、これによってポンプの排気可能域をよ
り低真空側にまで拡張できるようにしたターボ分子ポン
プを提供することを目的とする。
もので、基本的には前記複合型ポンプの構成を採用しつ
つも、そのネジロータの外周に設けるらせん溝を更に改
良することにより、該ネジロータの部分の圧縮比増大機
能を倍加せしめ、これによってポンプの排気可能域をよ
り低真空側にまで拡張できるようにしたターボ分子ポン
プを提供することを目的とする。
（ニ）構成
本発明は、このような目的を達成するために。
ロータとステータを交互に配置してなる翼車群の前記ロ
ータを高速回転して排気するターボ分子ポンプにおいて
、前記翼車群の排気口側に、前記ロータとともに高速回
転される外周面にらせん溝を設けたネジロータを連設す
るとともに、このネジロータを囲繞する周壁内周面に該
ネジロータのらせん溝と逆向きのらせん溝を設けたこと
を特徴としている。
ータを高速回転して排気するターボ分子ポンプにおいて
、前記翼車群の排気口側に、前記ロータとともに高速回
転される外周面にらせん溝を設けたネジロータを連設す
るとともに、このネジロータを囲繞する周壁内周面に該
ネジロータのらせん溝と逆向きのらせん溝を設けたこと
を特徴としている。
（ホ）実施例
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係るターボ分子ポンプの主要部の構成
を図示し、このポンプはその吸気口Ａ側にロータ２とス
テータ３を組合わせてなる翼車群をＪＪ２備し、これに
連設してその排気口Ｂ側にネジロータ５を具備してなる
。すなわち、図中上方に位置する翼車群は、外周から所
定の傾斜角をもって枚射状に５２ ａを突設しかつその
基端部２ｂを中心に位置する駆動軸ｌに外嵌正大して該
軸ｌ上に多段に固着されるロータ２と、このロータ２の
９Ｒ２ａ 、！ｌ−逆向きの傾斜角の翼３ａを有しかつ
該ロータ２を囲繞する外周からその基端部３ｄを外枠６
の内周面に段積みしたスペーサ４．４、に挟持させて位
置決め固定されるステータ３とを両者の翼２ａ、３ａを
交互に配置して構成されている。かかる翼車群は、前記
ロータ質２ａを駆動軸ｌに従動Ｓせて高速回転すると、
気体分子に衝突してこれに軸方向の運動量を与え、前記
ステータ翼３ａとの協動作用の下にその一端の吸気口Ａ
から他端側の排気口Ｂに向けて強制的に流れを発生し、
排気する作用を営むことになる。
を図示し、このポンプはその吸気口Ａ側にロータ２とス
テータ３を組合わせてなる翼車群をＪＪ２備し、これに
連設してその排気口Ｂ側にネジロータ５を具備してなる
。すなわち、図中上方に位置する翼車群は、外周から所
定の傾斜角をもって枚射状に５２ ａを突設しかつその
基端部２ｂを中心に位置する駆動軸ｌに外嵌正大して該
軸ｌ上に多段に固着されるロータ２と、このロータ２の
９Ｒ２ａ 、！ｌ−逆向きの傾斜角の翼３ａを有しかつ
該ロータ２を囲繞する外周からその基端部３ｄを外枠６
の内周面に段積みしたスペーサ４．４、に挟持させて位
置決め固定されるステータ３とを両者の翼２ａ、３ａを
交互に配置して構成されている。かかる翼車群は、前記
ロータ質２ａを駆動軸ｌに従動Ｓせて高速回転すると、
気体分子に衝突してこれに軸方向の運動量を与え、前記
ステータ翼３ａとの協動作用の下にその一端の吸気口Ａ
から他端側の排気口Ｂに向けて強制的に流れを発生し、
排気する作用を営むことになる。
一方、図中Ｆ方に位置するネジロータ５は、その上端を
前記翼車群の下端に隣設せしめて駆動軸１に連設されて
いる。このネジロータ５はその中心部を駆動軸ｌが貫通
し、前記ロータ２とともに高速回転されるように該駆動
軸ｌに固定されている。そして、このネジロータ５の外
周面には、その上端と下端とを結びかつ排気口Ｂ側に向
けて徐々に溝深さが浅くなるように形成したらせん溝（
ねじ溝）５ａが設けられている。なお、このらせん溝５
ａの向きは、駆動軸１の回転方向に対し、前記翼車群か
ら吐出された気体分子を該溝に沿って排気口Ｂ側に導出
される方向に形成しである。
前記翼車群の下端に隣設せしめて駆動軸１に連設されて
いる。このネジロータ５はその中心部を駆動軸ｌが貫通
し、前記ロータ２とともに高速回転されるように該駆動
軸ｌに固定されている。そして、このネジロータ５の外
周面には、その上端と下端とを結びかつ排気口Ｂ側に向
けて徐々に溝深さが浅くなるように形成したらせん溝（
ねじ溝）５ａが設けられている。なお、このらせん溝５
ａの向きは、駆動軸１の回転方向に対し、前記翼車群か
ら吐出された気体分子を該溝に沿って排気口Ｂ側に導出
される方向に形成しである。
さて、従来の複合型ポンプにおいては、このネジロータ
５の外周面もしくはこのネジロータ５を囲繞する周壁の
内周面のいずれか一方にのみ、前記のようならせん溝５
ａを設けるようにしている。これに対し、本発明に係る
ものでは、ネジロータ５の外周面のみならず、これを微
小な間隙をもって囲繞している周壁、図示実施例では外
枠６の内周面に嵌着されたスペーサ７の内周面にもらせ
ん溝７ａが設けられている。このらせん溝７ａは、やは
り排気口Ｂ側に向けてその溝深さが浅ぐ形成されている
とともに、そのらせん溝７ａの向きが対面する前記ネジ
ロータ５のらせん溝５ａと反対向きのものに形成５れて
いる。したがって、らせん溝５ａ、７ａは芽いに１８０
度旋回する位置毎に交差し、その部分に図示の如く、両
者の溝５ａ、７ａの空間が合体した合体部８ａ、８ｂ・
・・が形成されることになる。
５の外周面もしくはこのネジロータ５を囲繞する周壁の
内周面のいずれか一方にのみ、前記のようならせん溝５
ａを設けるようにしている。これに対し、本発明に係る
ものでは、ネジロータ５の外周面のみならず、これを微
小な間隙をもって囲繞している周壁、図示実施例では外
枠６の内周面に嵌着されたスペーサ７の内周面にもらせ
ん溝７ａが設けられている。このらせん溝７ａは、やは
り排気口Ｂ側に向けてその溝深さが浅ぐ形成されている
とともに、そのらせん溝７ａの向きが対面する前記ネジ
ロータ５のらせん溝５ａと反対向きのものに形成５れて
いる。したがって、らせん溝５ａ、７ａは芽いに１８０
度旋回する位置毎に交差し、その部分に図示の如く、両
者の溝５ａ、７ａの空間が合体した合体部８ａ、８ｂ・
・・が形成されることになる。
次に、このターボ分子ポンプの作動について説明する。
前記駆動軸ｌを下方側に内蔵したモータにより回転駆動
し、該軸１上の前記ロータ２とネジロータ５とを高速回
転させて運転状態におく。すると、前述のように、吸気
口Ａからとり込まれた気体分子が強制的に翼車群を通過
され、次いで前記ネジロータ５外周のらせん溝５ａ、７
ａに誘導ごれる。ここにおいて、従来の複合型ポンプと
同様に、高速回転するネジロータ５は衝突する気体分子
にそのらせん溝５ａに沿う円周方向の運動量を与えて圧
縮しつつ排気するとともＧこ、このさ１／）牛与に前記
スペーサ７に対面して設けた逆向きのらせん溝７ａがそ
の効果を倍加する役割を果すこと番となる。
し、該軸１上の前記ロータ２とネジロータ５とを高速回
転させて運転状態におく。すると、前述のように、吸気
口Ａからとり込まれた気体分子が強制的に翼車群を通過
され、次いで前記ネジロータ５外周のらせん溝５ａ、７
ａに誘導ごれる。ここにおいて、従来の複合型ポンプと
同様に、高速回転するネジロータ５は衝突する気体分子
にそのらせん溝５ａに沿う円周方向の運動量を与えて圧
縮しつつ排気するとともＧこ、このさ１／）牛与に前記
スペーサ７に対面して設けた逆向きのらせん溝７ａがそ
の効果を倍加する役割を果すこと番となる。
すなわち、この対面交差するらせん溝５ａと７ａとによ
って形成される前記合体部８ａ、８ｂ・・・は、この部
分でらせん溝５ａかつくる排気通路に断続的に気体分子
の貯留部を形成することになるとともに、気体分子に最
も有効に円周方向の連動薄を与えることになる半径方向
の壁面をつくり出し、しかもそれらの各合体部８ａ、８
ｂ−・・がネジロータ５の高速回転とともに急速番と排
気口Ｂ側に回転降下してきて１気体分子を非常に強力に
押し出す機能を発揮することになるからである。いま、
前記ネジロータ５の回転下におけるらせん溝５ａと７ａ
の合体部８ａ、８ｂ・拳・の運動について説明すると、
第２図にその展開図を示すように、両者の交差位置に１
８０度間隔で形成される合体部８ａ、８ｂ・・０は、ネ
ジロータ５が回転すると（図中らせん溝５ａが下方に平
行移動する運動で示される）１図示矢印で示すように、
それぞれ８ａ−＋８ａ ’−＋８ａ” 、８ｂ＋８ｂ′
→８ｂ”、・・Φとその位相を変えながら下方に移動し
ていく。このさい、各合体部の軸方向への移動速度は、
らせん溝５ａと７ａが逆向きに設けられているかららせ
ん溝５ａ単独の場合における溝の移動速度に比較すると
２倍となる。したがって、これにより大きな圧縮比を与
えてもネジロータ５の部分で十分大きな排気速度が得ら
れることになる。
って形成される前記合体部８ａ、８ｂ・・・は、この部
分でらせん溝５ａかつくる排気通路に断続的に気体分子
の貯留部を形成することになるとともに、気体分子に最
も有効に円周方向の連動薄を与えることになる半径方向
の壁面をつくり出し、しかもそれらの各合体部８ａ、８
ｂ−・・がネジロータ５の高速回転とともに急速番と排
気口Ｂ側に回転降下してきて１気体分子を非常に強力に
押し出す機能を発揮することになるからである。いま、
前記ネジロータ５の回転下におけるらせん溝５ａと７ａ
の合体部８ａ、８ｂ・拳・の運動について説明すると、
第２図にその展開図を示すように、両者の交差位置に１
８０度間隔で形成される合体部８ａ、８ｂ・・０は、ネ
ジロータ５が回転すると（図中らせん溝５ａが下方に平
行移動する運動で示される）１図示矢印で示すように、
それぞれ８ａ−＋８ａ ’−＋８ａ” 、８ｂ＋８ｂ′
→８ｂ”、・・Φとその位相を変えながら下方に移動し
ていく。このさい、各合体部の軸方向への移動速度は、
らせん溝５ａと７ａが逆向きに設けられているかららせ
ん溝５ａ単独の場合における溝の移動速度に比較すると
２倍となる。したがって、これにより大きな圧縮比を与
えてもネジロータ５の部分で十分大きな排気速度が得ら
れることになる。
このようなターボ分子ポンプでは、このネジロータ５の
外周に設けられた対面交差するらせん溝５ａと７ａとが
前記のような独特の相乗的作用効果を発揮して、従来の
複合型のもの番と比較すると、その排気速度能力を倍加
し、その複合型構造のものの特長を最大限に活用発揮せ
しめたものといえる。また、このものでは通常のターボ
分子ポンプに比較すると、もとよりその排気速度曲線を
低真空側に大きく延長した排気速度能力の大きなものが
得られる。具体的には、この構成を具備せしめると、１
０づ〜ｌ Ｏ−” Ｔｏｒｒ程度の真空度でも１０−Ｉ
Ｔｏｒｒ以１の真空度と同程度の排気速度か確保され、
０．Ｉ Ｔｏｒｒ付近でもある程度の排気速度を持続す
る。したがって、このポンプを使用する場合には、従来
のように、真空補助のために多段に補助ポンプを接続す
る必要は勿論なく、簡易な排気システムでも十分使用で
き、この点排気システムの簡易化とコストダウンが図ら
れる。また、従来の複合型ポンプに比較しても、能力が
大幅にアップされることに反し、その構造は殆ど複雑さ
の程度で変りない。
外周に設けられた対面交差するらせん溝５ａと７ａとが
前記のような独特の相乗的作用効果を発揮して、従来の
複合型のもの番と比較すると、その排気速度能力を倍加
し、その複合型構造のものの特長を最大限に活用発揮せ
しめたものといえる。また、このものでは通常のターボ
分子ポンプに比較すると、もとよりその排気速度曲線を
低真空側に大きく延長した排気速度能力の大きなものが
得られる。具体的には、この構成を具備せしめると、１
０づ〜ｌ Ｏ−” Ｔｏｒｒ程度の真空度でも１０−Ｉ
Ｔｏｒｒ以１の真空度と同程度の排気速度か確保され、
０．Ｉ Ｔｏｒｒ付近でもある程度の排気速度を持続す
る。したがって、このポンプを使用する場合には、従来
のように、真空補助のために多段に補助ポンプを接続す
る必要は勿論なく、簡易な排気システムでも十分使用で
き、この点排気システムの簡易化とコストダウンが図ら
れる。また、従来の複合型ポンプに比較しても、能力が
大幅にアップされることに反し、その構造は殆ど複雑さ
の程度で変りない。
なお、図示実施例では、便宜的にらせん溝５ａ、７ａを
粗大なものに示しているが、これは実施上細幅のもので
溝長さの大きいものに形成することができる。また、溝
断面の形状は図例の矩形のもの以外にも、種々改変する
ことが可能である。さらに、らせん溝５ａと７ａは互い
に逆向きのものであればよく、溝５ａの方向は前記実施
例の場合に限らない。
粗大なものに示しているが、これは実施上細幅のもので
溝長さの大きいものに形成することができる。また、溝
断面の形状は図例の矩形のもの以外にも、種々改変する
ことが可能である。さらに、らせん溝５ａと７ａは互い
に逆向きのものであればよく、溝５ａの方向は前記実施
例の場合に限らない。
（へ）効果
本発明は、以上に述べた構成を具備するものから、従来
の複合型ポンプと比較してさほど構造複雑化を招来しな
いものであるにもかかわらず、これに比較すると一段階
大きな排気速度能力をもたすことが可能で、これにより
単独でも低真空域に対し優れた排気速度を発揮するター
ボ分子ポンプが提供された。
の複合型ポンプと比較してさほど構造複雑化を招来しな
いものであるにもかかわらず、これに比較すると一段階
大きな排気速度能力をもたすことが可能で、これにより
単独でも低真空域に対し優れた排気速度を発揮するター
ボ分子ポンプが提供された。
第１図は本発明の一実施例を示すポンプ主要部の縦断面
図である。第２図はそのネジロータの外周に設けられる
らせん溝の動作を説明するための展開図である。 ｌ−φ・馴動軸 ２φ・φロータ ３・拳・ステータ ５０拳１１おシロータ ５ａ、７ａ・１らせん溝 ７・・・スペーサ（周壁） 代理メ 弁理士 赤澤−博 ＬＩ Ｊ ｕＪ 。
図である。第２図はそのネジロータの外周に設けられる
らせん溝の動作を説明するための展開図である。 ｌ−φ・馴動軸 ２φ・φロータ ３・拳・ステータ ５０拳１１おシロータ ５ａ、７ａ・１らせん溝 ７・・・スペーサ（周壁） 代理メ 弁理士 赤澤−博 ＬＩ Ｊ ｕＪ 。
Claims (1)
- ロータとステータを交ずに配置してなる翼車群の前記ロ
ータを高速回転して排気するターボ分子ポンプにおいて
、前記翼車群の排気口側に、前記ロータとともに高速回
転される外周面にらせん溝を設けたネジロータを連設す
るとともに、このネジロータを囲繞する周壁内周面に該
ネジロータのらせん溝と逆向きのらせん溝を設けたこと
を特徴とするタープ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59038962A JPS60182394A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59038962A JPS60182394A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60182394A true JPS60182394A (ja) | 1985-09-17 |
Family
ID=12539796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59038962A Pending JPS60182394A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60182394A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341695A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| US4732530A (en) * | 1984-07-25 | 1988-03-22 | Hitachi, Ltd. | Turbomolecular pump |
| US4797062A (en) * | 1984-03-24 | 1989-01-10 | Leybold-Heraeus Gmbh | Device for moving gas at subatmospheric pressure |
| US4878813A (en) * | 1987-03-18 | 1989-11-07 | Seiki Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| JPH0227194A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Daikin Ind Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0220798U (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-13 | ||
| JPH0257156U (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-25 | ||
| JPH0475196U (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-30 | ||
| US5553998A (en) * | 1992-05-16 | 1996-09-10 | Leybold Ag | Gas friction vacuum pump having at least three differently configured pump stages releasably connected together |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4916903A (ja) * | 1972-06-09 | 1974-02-14 |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP59038962A patent/JPS60182394A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4916903A (ja) * | 1972-06-09 | 1974-02-14 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4797062A (en) * | 1984-03-24 | 1989-01-10 | Leybold-Heraeus Gmbh | Device for moving gas at subatmospheric pressure |
| US4732530A (en) * | 1984-07-25 | 1988-03-22 | Hitachi, Ltd. | Turbomolecular pump |
| JPS6341695A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| EP0256739A1 (en) * | 1986-08-07 | 1988-02-24 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Turbo-molecular pump |
| US4826393A (en) * | 1986-08-07 | 1989-05-02 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Turbo-molecular pump |
| US4878813A (en) * | 1987-03-18 | 1989-11-07 | Seiki Seiki Kabushiki Kaisha | Vacuum pump |
| JPH0227194A (ja) * | 1988-07-15 | 1990-01-29 | Daikin Ind Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0220798U (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-13 | ||
| JPH0257156U (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-25 | ||
| JPH0475196U (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-30 | ||
| US5553998A (en) * | 1992-05-16 | 1996-09-10 | Leybold Ag | Gas friction vacuum pump having at least three differently configured pump stages releasably connected together |
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