JPH02208842A

JPH02208842A - 光ディスク用スタンパの作製方法

Info

Publication number: JPH02208842A
Application number: JP2740889A
Authority: JP
Inventors: Mari Ichikawa; 市川　真鯉; Yoshinori Miyamura; 宮村　芳徳; Yumiko Anzai; 由美子安齋; Shinkichi Horigome; 堀篭　信吉
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-02-08
Filing date: 1989-02-08
Publication date: 1990-08-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は光ディスクの作製方法に係り、原盤の長寿命化
を図る上で好適な光ディスク用スタンパの作製方法に関
する。

〔従来の技術〕

従来のプロセスにおいては、第３図のように、原盤基板
６に感光性樹脂５を塗布し、光学的手段で表面に凹凸パ
ターンを形成する。その後、剥離層としてＮｉ８を蒸着
した後、紫外線硬化樹脂２を塗布し、スタンパ用基板と
して透光性部材１を重ね合わせ、紫外線７を透光性部材
１の裏から照射し、紫外線硬化樹脂２を硬化させ、紫外
線硬化樹脂２とＮｉ８の境界面から剥離を行ない、スタ
ンパ作製を行なっていた。このような例としては、例え
ば特願昭５９−２３３１６９号が挙げられる。

尚、Ｎｉの他にＡＱでも同内容の作製を行なうことがで
きる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、スタンパ作製の剥離の際、原盤にかか
るストレスが大ぎいことから、数回のスタンパ作製を行
なうと原盤の剥離層（Ｎｉ、ＡＱ等）が剥がれてスタン
パに残ってしまい、ディスクの作製が不可能となったり
、錆や腐食が発生するという寿命面での問題点について
は配慮されていなかった。

本発明の目的は、上記の欠点に対処するため。

錆びない材料を接着性良く剥離層として原盤上に形成す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、凹凸パターン付き原盤の上に、スパッタエ
ツチングを施した後、ステンレスを積層することにより
達成される。

更に接着性を強化するには、無機物を」ボ盤に積層し、
その上にステンレスを積層しても良い。

〔作用〕

パターン付き原盤の感光性樹脂の上に、スパッタエツチ
ングを施し、ステンレスを積層したことにより、原盤の
上に剥離層が接着性良く、形成できるようになった。こ
れによって、原盤からのスタンパ作製枚数は、数１０枚
以上行なえるようになった。また、錆や腐食が発生しな
いため、長期的に渡って保存しても、再利用が可能とな
り、原盤の長寿命化を図ることもできた。

〔実施例〕

以下１本発明の実施例を図に用いて説明する。

〈実施例１〉第１図に示すように、原盤基板（青板ガラス＝１０ｔ）
６上の感光性樹脂（フォトレジストＡＺ−１３５０）５
に、光学的に情報を記録させである原盤に、スパッタエ
ツチングを施し、その後、ステンレス（たとえば５ＩＪ
Ｓ３１６）３をスパッタ法により積層する。スパッタエ
ツチングの条件は、Ａｒガス圧の雰囲気において、放電
パワーを３０〜１００Ｗで３〜５分行うのが適している
。

また、ステンレスのスパッタ条件は、Ａｒガス圧の雰囲
気において、放電パワーを１００〜３００Ｗの範囲で数
分間行うのが好ましい、ステンレスの厚みは、ノＳ盤基
板６の情報パターンを同形状に留めていられる膜厚とし
て、２０００人以内とすることが望まれる。また、ステ
ンレスは高ガス圧でスパッタすると、ストレスが発生す
るため、Ａｒガスの圧力はｌＸｌ０−’　〜５Ｘ１０″
″’Ｔｏｒｒの範囲以内で行なわなければならない。

この後、ステンレス３の上に、紫外線硬化樹脂２を塗布
した後、スタンパ用基板として透光性部材（プラスチッ
ク：２ｔ）ｌを先の樹Ｍ２に重ね合わせ平坦にし、紫外
線７を透光性部材１の裏側から照射する（照射パワー：
４層ｗ／ｃｄ、照射時間：３０秒）、その後、紫外線硬
化ＩＦＭ脂２とステンレス３の境界層で剥離を行なうと
、透光性部材１上には紫外線硬化樹脂２層を形成され、
その表面は原盤の凹凸パターンを転写したものとなって
いる。

このようにしてスタンパを作製した後の原盤は剥離層の
剥がれも無く、上記のスタンパ作製は少荀くとも１０回
以上行なうことができる。

また、従来は３力月程度で錆や腐食が発生していたがス
テンレスの形成が可能となったことから、６力月以上の
長期保存ができるようになった。

〈実施例２〉次に、本発明の第２の実施例を第２図により説明する。

原盤基板（青板ガラス：１Ｏｔ）６上の感光性樹脂（フ
ォトレジストＡＺ−１３５０）５に、光学的に情報を記
録させであるノホ盤に、スパッタエツチングを施した後
、無機物（たとえば５ｉＯｚ）４をスパッタする。スパ
ッタエツチングの条件は、Ａｒガス圧の雰囲気において
、放電パワーを３０〜１００Ｗで３〜５分行うのが適し
ている。また、無機物４のスパッタ条件は、Ａｒあるい
はＮ２を５〜２０％混入しであるガス圧の雰囲気におい
て、放電パワーを１００〜３００Ｗの範囲で数分間行う
のが好ましい６次に、ステンレス（たとえば５ＵＳ３１
６）３をスパッタ法により積層する。スパッタ条件は、
Ａｒガス圧の雰囲気において、放電パワーを１００〜３
００Ｗの範囲で数分間行うのが好ましい、ステンレスと
無機物の厚みは、先に述べた理由から、合計で２０００
人以内とすることが望まれる。

また、無機物の材料としては、５ｉＯｔ等の酸化物の他
に、ＳｉＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の炭化物、Ｓｉ等の半
金属物でも利用できる。

この後、感光性樹脂５の上に、紫外線硬化樹脂２を塗布
した後、スタンパ用基板として透光性部材（プラスチッ
ク：２ｔ）１を先の樹脂２に重ね合わせ平坦にし、紫外
線７を透光性部材１の裏側から照射する（照射パワー：
４ｋｗ／ａ＆、照射時間：３０秒）、その後、紫外線硬
化樹脂２とステンレス３の境界層で剥離をすると、スタ
ンパが作製できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、光ディスク用スタンパ作製方法におい
て、ステンレスをスパッタエツチングを施した感光性樹
脂の上に積層することができるので、接着性の良い剥離
層を原盤の上に形成できるようになった。また、ステン
レスは錆や腐食の発生の無い材質であることから、原盤
の長寿命化を達成できた。

これによって、従来は１枚の原盤からのスタンパの作製
枚数は２．３教程度に留まっていたが、１０枚以上の作
製が可能になった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光ディスクスタンパの作製方法の第１
の実施例を示す断面図であり、第２図は第２の実施例を
示す断面図である。第３図は従来の光ディスクスタンパ
の作製方法を示す断面図である。１・・・透光性部材、２・・・紫外線硬化樹脂、３・・
・ステンレス、４・・・無機物、５・・・感光性樹脂、
６・・・原盤基板、７・・・紫外線、８・・・Ｎ　ｘ　
ｍ第１図第３図第２図手続（方式）％式％事件の表示平成　　１年特２７４０８号発明の名称光ディスク用スタンパの作製方法補正をする者事件との関係　　　特　許　出　原　人名称　　　（５
１０）株式会社　日　　立補正命令の日付補正の対象平成図面１年４月２５日 ↓、、／７

Claims

【特許請求の範囲】１、原盤基板と、該原盤基板上に光学的手段により情報
を記録させた感光性樹脂膜に、スパッタエッチングを施
した後、ステンレスを積層する工程と、紫外線硬化樹脂
を塗布する工程と、スタンパ用部材を該樹脂に重ねる工
程と、該樹脂に紫外線を照射し、該樹脂を硬化させる工
程と、該部材と該樹脂を上記原盤から剥離することを特
徴とする光ディスク用スタンパの作製方法。２、特許請求の範囲第１項記載の光ディスク用スタンパ
の作製方法において、先の感光性樹脂膜の上に無機物の
層を設け、その上にステンレスをスパッタしたことを特
徴とする光ディスク用スタンパの作製方法。３、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光ディスク
用スタンパの作製方法において、無機物の材料として、
ＳｉＯ＿２等の酸化物、ＳｉＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の
炭化物、Ｓｉ等の半金属物としたことを特徴とする光デ
ィスク用スタンパの作製方法。