JPH02209305A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH02209305A JPH02209305A JP2926989A JP2926989A JPH02209305A JP H02209305 A JPH02209305 A JP H02209305A JP 2926989 A JP2926989 A JP 2926989A JP 2926989 A JP2926989 A JP 2926989A JP H02209305 A JPH02209305 A JP H02209305A
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 12
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
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Landscapes
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｆｉ１発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は、搬送装置に関し、特に液体を収容した液体槽
中に搬送ブラシを配設することにより液体中に浸漬せし
めた状態で洗浄しつつ被搬送物体を搬送してなる搬送装
置に関するものである。
中に搬送ブラシを配設することにより液体中に浸漬せし
めた状態で洗浄しつつ被搬送物体を搬送してなる搬送装
置に関するものである。
［従来の技術］
従来、この種の搬送技術としては、ｆｉｌ被搬送物体を
ビンセットを使って直接に把持し搬送するもの、あるい
はｆｉｉｌ圧搾空気を噴射することにより被搬送物体を
空中に浮上せしめて搬送するもの、もしくは（ｉｉｉｌ
ベルトコンベアに載置して被搬送物体を搬送するものな
どが提案されていた。
ビンセットを使って直接に把持し搬送するもの、あるい
はｆｉｉｌ圧搾空気を噴射することにより被搬送物体を
空中に浮上せしめて搬送するもの、もしくは（ｉｉｉｌ
ベルトコンベアに載置して被搬送物体を搬送するものな
どが提案されていた。
［解決すべき問題点］
しかしながら従来の搬送技術では、（ｉｌ ピンセッ
トによって把持して搬送する場合、人体から脱落した毛
髪あるいはフケなどによって被搬送物体が汚染される欠
点があり、また（ｉｉｌ圧搾空気によって空中に浮上せ
しめて搬送する場合、圧搾空気を被搬送物体に向けて噴
射せしめていたので、圧搾空気中の塵埃によって被搬送
物体が汚染される欠点があり、加えて（ｉｉｉｌベルト
コンベアに載置して搬送する場合、空気中の塵埃がベル
ト表面に付着していたので、被搬送物体とベルトコンベ
アとの間の接触に際し被搬送物体がその塵埃によって汚
染される欠点があり、総じてｔｉｖ）後続の装置におい
て処理するに先立ち、被搬送物体を洗浄しなければなら
ない欠点があった。
トによって把持して搬送する場合、人体から脱落した毛
髪あるいはフケなどによって被搬送物体が汚染される欠
点があり、また（ｉｉｌ圧搾空気によって空中に浮上せ
しめて搬送する場合、圧搾空気を被搬送物体に向けて噴
射せしめていたので、圧搾空気中の塵埃によって被搬送
物体が汚染される欠点があり、加えて（ｉｉｉｌベルト
コンベアに載置して搬送する場合、空気中の塵埃がベル
ト表面に付着していたので、被搬送物体とベルトコンベ
アとの間の接触に際し被搬送物体がその塵埃によって汚
染される欠点があり、総じてｔｉｖ）後続の装置におい
て処理するに先立ち、被搬送物体を洗浄しなければなら
ない欠点があった。
そこで本発明は、これらの欠点を除去すべく、汚染のお
それのない液体中に浸漬せしめた状態で被搬送物体を洗
浄しつつ搬送してなる搬送装置を提供せんとするもので
ある。
それのない液体中に浸漬せしめた状態で被搬送物体を洗
浄しつつ搬送してなる搬送装置を提供せんとするもので
ある。
（２）発明の構成
り問題点の解決手段］
本発明により提供される問題点の解決手段は、「（ａ）
液体を収容する液体槽と、 （ｂ）液体槽の液体中に配設されており被搬送物体を洗
浄しつつ搬送するための搬 送ブラシと を備えており、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送
してなる搬送装置」 である。
液体を収容する液体槽と、 （ｂ）液体槽の液体中に配設されており被搬送物体を洗
浄しつつ搬送するための搬 送ブラシと を備えており、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送
してなる搬送装置」 である。
［作用］
本発明にかかる搬送装置は、ｆａ）液体を収容する液体
槽と、（ｂ）液体槽の液体中に配設されており被搬送物
体を洗浄しつつ搬送するための搬送ブラシとを備えてお
り、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送してなるの
で、（ｉｌ被搬送物体が搬送中に搬送手段によって汚染
されることを回避する作用をなし、併せて（ｉｉｌ搬送
中に被搬送物体の洗浄を達成する作用をなし、またｆｉ
ｉｉｌ被搬送物体が搬送中に損傷を受けることを回避す
る作用をなす。
槽と、（ｂ）液体槽の液体中に配設されており被搬送物
体を洗浄しつつ搬送するための搬送ブラシとを備えてお
り、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送してなるの
で、（ｉｌ被搬送物体が搬送中に搬送手段によって汚染
されることを回避する作用をなし、併せて（ｉｉｌ搬送
中に被搬送物体の洗浄を達成する作用をなし、またｆｉ
ｉｉｌ被搬送物体が搬送中に損傷を受けることを回避す
る作用をなす。
まず第１図を参照しつつ、本発明にかかる搬送装置の一
実施例について、その構成を詳細に説明する。
実施例について、その構成を詳細に説明する。
［実施例〕
次に本発明にかかる搬送装置について、その好ましい実
施例を挙げ具体的に説明する。しかしながら以下に説明
する実施例は、本発明の理解を容易化ないし促進化する
ために記載されるものであって、本発明を限定するため
に記載されるものではない。換言すれば、以下に説明さ
れる実施例において開示される各部材は、本発明の精神
ならびに技術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均
等物置換を含むものである。
施例を挙げ具体的に説明する。しかしながら以下に説明
する実施例は、本発明の理解を容易化ないし促進化する
ために記載されるものであって、本発明を限定するため
に記載されるものではない。換言すれば、以下に説明さ
れる実施例において開示される各部材は、本発明の精神
ならびに技術的範囲に属する全ての設計変更ならびに均
等物置換を含むものである。
第１図は、本発明にかかる搬送装置の一実施例を示す断
面図である。
面図である。
旦は、本発明にかかる搬送装置であって、純水などの汚
染のおそれのない液体が収容されたステンレス製、塩化
ビニル、テフロンあるいは石英ガラス製などの液体槽１
２と、液体槽１２内に配設されており後述の被搬送物体
Ｍの下面および上面に対してそれぞれ接触して洗浄しつ
つ搬送するための搬送ブラシ１３Ａ、１３Ｂと、液体槽
１２の底部に配設されており液体１１を超音波振動せし
めることにより被搬送物体Ｍの洗浄を促進するための超
音波振動子１４と、液体槽１２の下面に対して適宜の間
隔をおいて配設されたゴムなどの防振部材１５ζを備え
ている。超音波振動子１４は、所望により、除去しても
よいが、ここでは備えられているものとして説明する。
染のおそれのない液体が収容されたステンレス製、塩化
ビニル、テフロンあるいは石英ガラス製などの液体槽１
２と、液体槽１２内に配設されており後述の被搬送物体
Ｍの下面および上面に対してそれぞれ接触して洗浄しつ
つ搬送するための搬送ブラシ１３Ａ、１３Ｂと、液体槽
１２の底部に配設されており液体１１を超音波振動せし
めることにより被搬送物体Ｍの洗浄を促進するための超
音波振動子１４と、液体槽１２の下面に対して適宜の間
隔をおいて配設されたゴムなどの防振部材１５ζを備え
ている。超音波振動子１４は、所望により、除去しても
よいが、ここでは備えられているものとして説明する。
超音波振動子１４が除去される場合、防振部材１５も除
去して差支えない。
去して差支えない。
並は、本発明にかかる搬送装置用の後端部に所望により
配設された被搬送物体Ｍの取出装置であって、液体層１
２の後端部外側に配設された駆動装置２１と、駆動装置
２１の出力シャフト２２によって好ましくは搬送ブラシ
１３Ａ、１３Ｂの回転に一定比率で同調しつつ昇降せし
められる保持部材２３と、保持部材２３によって保持さ
れており液体槽１２の後端部において液体ｌｌ中に配置
され被搬送物体Ｍを収容するためのカセット２４とを備
えている。保持部材２３およびカセット２４は、それぞ
れたとえばステンレス製および石英ガラス製であればよ
い。
配設された被搬送物体Ｍの取出装置であって、液体層１
２の後端部外側に配設された駆動装置２１と、駆動装置
２１の出力シャフト２２によって好ましくは搬送ブラシ
１３Ａ、１３Ｂの回転に一定比率で同調しつつ昇降せし
められる保持部材２３と、保持部材２３によって保持さ
れており液体槽１２の後端部において液体ｌｌ中に配置
され被搬送物体Ｍを収容するためのカセット２４とを備
えている。保持部材２３およびカセット２４は、それぞ
れたとえばステンレス製および石英ガラス製であればよ
い。
Ｍは、本発明にかかる搬送装置用によって搬送されるシ
リコンウェーハなどの所望の被搬送物体であって、搬送
ブラシ１３Ａ、 １３Ｂによって液体ｌｌ中を洗浄され
つつ液体槽１２の先端部から後端部に向けて搬送され、
液体槽１２の後端部において取出装置並のカセット２４
に対して収容せしめられる。
リコンウェーハなどの所望の被搬送物体であって、搬送
ブラシ１３Ａ、 １３Ｂによって液体ｌｌ中を洗浄され
つつ液体槽１２の先端部から後端部に向けて搬送され、
液体槽１２の後端部において取出装置並のカセット２４
に対して収容せしめられる。
更に第１図を参照しつつ、本発明にかかる搬送装置の一
実施例について、その作用を詳細に説明する。
実施例について、その作用を詳細に説明する。
並は、本発明にかかる搬送装置■の先端部に配設された
被搬送物体Ｍの供給装置であって、先行する適宜の装置
（たとえばシリコンウェーへの鏡面仕上装置など）から
被搬送物体Ｍを搬送するためのベルトコンベア３１と、
ベルトコンベア３１の後端部に配設されており被搬送物
体Ｍを液体槽１２中に配設された搬送ブラシ１３Ａ、
１３Ｂに対して供給するための案内部材３２とを備えて
いる。
被搬送物体Ｍの供給装置であって、先行する適宜の装置
（たとえばシリコンウェーへの鏡面仕上装置など）から
被搬送物体Ｍを搬送するためのベルトコンベア３１と、
ベルトコンベア３１の後端部に配設されており被搬送物
体Ｍを液体槽１２中に配設された搬送ブラシ１３Ａ、
１３Ｂに対して供給するための案内部材３２とを備えて
いる。
搬送ブラシ１３Ａ、 １３Ｂを適宜の駆動回路（図示せ
ず）によって矢印へ方向に向は適宜の速度（たとえば同
一速度）で回転せしめ、併せて超音波振動子１４を適宜
の制御回路（図示せず）によって駆動せしめることによ
り液体１１を超音波振動せしめる。
ず）によって矢印へ方向に向は適宜の速度（たとえば同
一速度）で回転せしめ、併せて超音波振動子１４を適宜
の制御回路（図示せず）によって駆動せしめることによ
り液体１１を超音波振動せしめる。
この状態で、被搬送物体Ｍを供給装置３０のベルトコン
ベア３１および案内部材３２によって液体槽１２の先端
部に供給する。被搬送物体Ｍは、案内部材３２にそって
液体１１中に案内され、搬送ブラシ１３Ａ。
ベア３１および案内部材３２によって液体槽１２の先端
部に供給する。被搬送物体Ｍは、案内部材３２にそって
液体１１中に案内され、搬送ブラシ１３Ａ。
１３Ｂによって矢印Ｘ方向に搬送され始める。搬送ブラ
シ１３Ａ、１３Ｂは、被搬送物体Ｍの下面および上面に
対してそれぞれ接触しているため、搬送に際してその下
面および上面を洗浄する。併せて超音波振動子１４によ
って液体１１が超音波振動せしめられているので、被搬
送物体Ｍは、更に良好に洗浄せしめられる。
シ１３Ａ、１３Ｂは、被搬送物体Ｍの下面および上面に
対してそれぞれ接触しているため、搬送に際してその下
面および上面を洗浄する。併せて超音波振動子１４によ
って液体１１が超音波振動せしめられているので、被搬
送物体Ｍは、更に良好に洗浄せしめられる。
液体ｌｌ中を搬送された被搬送物体Ｍは、液体槽１２の
後端部に到達すると、そこに取出装置並のカセット２４
が予め配設されているので、そのカセット２４に収容さ
れる。カセット２４に被搬送物体Ｍが収容されると、駆
動装置２１によってその出力シャフト２２が回転せしめ
られ、保持部材２３を矢印Ｙ方向に上昇せしめる。これ
によりカセット２４も矢印Ｙ方向に上昇せしめられ、後
続の被搬送物体Ｍが搬送されてくるのを待つ。
後端部に到達すると、そこに取出装置並のカセット２４
が予め配設されているので、そのカセット２４に収容さ
れる。カセット２４に被搬送物体Ｍが収容されると、駆
動装置２１によってその出力シャフト２２が回転せしめ
られ、保持部材２３を矢印Ｙ方向に上昇せしめる。これ
によりカセット２４も矢印Ｙ方向に上昇せしめられ、後
続の被搬送物体Ｍが搬送されてくるのを待つ。
なお上述においては、液体槽１２の後端部に対し取出装
置並が配設されている場合についてのみ説明したが、本
発明は、これに限定されるものではなく、他の適宜の取
出装置が配設される場合を包摂する。
置並が配設されている場合についてのみ説明したが、本
発明は、これに限定されるものではなく、他の適宜の取
出装置が配設される場合を包摂する。
（３）発明の効果
上述より明らかなように、本発明にかかる搬送装置は、
（ａｌ液体を収容する液体槽と、
（ｂｌ液体槽の液体中に配設されており被搬送物体を洗
浄しつつ搬送するための搬送ブラシと を備えており、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送
してなるので、 ｆｉｔ被搬送物体が搬送中に搬送手段によって汚染され
ることを回避でき る効果 を有毛−１併せて ｆｉｉ） 搬送中に被搬送物体の洗浄を達成 できる効果 を有し、 また （ｉｉｉｌ 被搬送物体が搬送中に損傷を受け ることを回避できる効果 を有する。
浄しつつ搬送するための搬送ブラシと を備えており、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送
してなるので、 ｆｉｔ被搬送物体が搬送中に搬送手段によって汚染され
ることを回避でき る効果 を有毛−１併せて ｆｉｉ） 搬送中に被搬送物体の洗浄を達成 できる効果 を有し、 また （ｉｉｉｌ 被搬送物体が搬送中に損傷を受け ることを回避できる効果 を有する。
第１図は、本発明にかかる搬送装置の一実施例を示す断
面図である。 ２１・・・・・・・・・・・・・・駆動装置２２・・・
・・・・・・・・・・・出力シャツ２３・・・・・・・
・・・・・・・保持部材２４・・・・・・・・・・・・
・・カセットト ３０・・ ・・・・・・・・・・・・・供給装置 ３１・ ・・・・・・・・・・・・ベルトコンベア・・・・・・
・・・・・・・案内部材 ・・被搬送物体
面図である。 ２１・・・・・・・・・・・・・・駆動装置２２・・・
・・・・・・・・・・・出力シャツ２３・・・・・・・
・・・・・・・保持部材２４・・・・・・・・・・・・
・・カセットト ３０・・ ・・・・・・・・・・・・・供給装置 ３１・ ・・・・・・・・・・・・ベルトコンベア・・・・・・
・・・・・・・案内部材 ・・被搬送物体
Claims (2)
- （１）（ａ）液体を収容する液体槽と、 （ｂ）液体槽の液体中に配設されており被搬送物体を洗
浄しつつ搬送するための搬送ブラシと を備えており、液体に浸漬した状態で被搬送物体を搬送
してなる搬送装置。 - （２）液体槽の内部に対して配設されており液体を超音
波振動せしめて被搬送物体の洗浄を促進するための超音
波振動子を備えてなる特許請求の範囲第（１）項記載の
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2926989A JPH02209305A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2926989A JPH02209305A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209305A true JPH02209305A (ja) | 1990-08-20 |
Family
ID=12271562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2926989A Pending JPH02209305A (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02209305A (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5139014A (ja) * | 1974-09-28 | 1976-04-01 | Sharp Kk | |
| JPS5139014B1 (ja) * | 1970-07-24 | 1976-10-25 | ||
| JPS57130580A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Hitachi Ltd | Precise washing drying device |
| JPS62106881A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-18 | 住友電気工業株式会社 | 洗浄方法 |
| JPS6351684A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 磁電変換素子 |
| JPS63264182A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-11-01 | ホソカワミクロン株式会社 | 超音波洗滌装置 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP2926989A patent/JPH02209305A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5139014B1 (ja) * | 1970-07-24 | 1976-10-25 | ||
| JPS5139014A (ja) * | 1974-09-28 | 1976-04-01 | Sharp Kk | |
| JPS57130580A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Hitachi Ltd | Precise washing drying device |
| JPS62106881A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-18 | 住友電気工業株式会社 | 洗浄方法 |
| JPS6351684A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 磁電変換素子 |
| JPS63264182A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-11-01 | ホソカワミクロン株式会社 | 超音波洗滌装置 |
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