JPH02210237A - 光偏向器の面倒れ測定装置 - Google Patents
光偏向器の面倒れ測定装置Info
- Publication number
- JPH02210237A JPH02210237A JP2974889A JP2974889A JPH02210237A JP H02210237 A JPH02210237 A JP H02210237A JP 2974889 A JP2974889 A JP 2974889A JP 2974889 A JP2974889 A JP 2974889A JP H02210237 A JPH02210237 A JP H02210237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical deflector
- beam splitter
- made incident
- surface inclination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 11
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000016649 Copaifera officinalis Species 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は偏向光線の位置ずれを利用して光偏向器の面倒
れ角の測定を行う面倒れ測定装置に関するものである。
れ角の測定を行う面倒れ測定装置に関するものである。
（従来の技術）
従来の面倒れ測定では第２図のごとく光源ｌより出射し
た光りは光偏向器３に入射し、光偏向器３からでた光は
直接ビーム位置センサ１０に入射する構成で計測してい
た。
た光りは光偏向器３に入射し、光偏向器３からでた光は
直接ビーム位置センサ１０に入射する構成で計測してい
た。
（発明が解決しようとする課ｍ＞
しかし近来走査装置の高密度化が進みそれに伴い光偏向
器の面倒れ測定においても高精度化が求められるように
なってきた。
器の面倒れ測定においても高精度化が求められるように
なってきた。
面倒れ測定装置の高精度化の方法としてはビーム位置検
出センサの高精度化と、光偏向器からセンサまでの距離
を伸ばす方法が考えられる。距離を伸ばせば面倒れ角に
よるビーム位置ずれ量が大きくなり測定が容易になるの
で従来はこの方法で高精度化が行われてきた。
出センサの高精度化と、光偏向器からセンサまでの距離
を伸ばす方法が考えられる。距離を伸ばせば面倒れ角に
よるビーム位置ずれ量が大きくなり測定が容易になるの
で従来はこの方法で高精度化が行われてきた。
ところが高精度化が進むと振動、温度変化などの影響が
問題となり、これまでのように高精度化するために更に
距離を伸ばすと、光源、光偏向器、ビーム位置検出セン
サ間の振動等のノイズが大きくなり、かえって高精度化
出来なくなる。これを解決するためにミラーにより光偏
向器、ビーム位置検出センサ間の光線を途中で折り返し
、光源、光偏向器、ビーム位置検出センサ間の距離を抑
えてノイズの影響を少なくすることも考えられるが、途
中の折り返しミラーに振動、温度変化等で誤差が生じた
場合、出射ビームにはミラーの誤差の２倍の誤差が発生
するので、やはり精度を確保するのが難しくなる。
問題となり、これまでのように高精度化するために更に
距離を伸ばすと、光源、光偏向器、ビーム位置検出セン
サ間の振動等のノイズが大きくなり、かえって高精度化
出来なくなる。これを解決するためにミラーにより光偏
向器、ビーム位置検出センサ間の光線を途中で折り返し
、光源、光偏向器、ビーム位置検出センサ間の距離を抑
えてノイズの影響を少なくすることも考えられるが、途
中の折り返しミラーに振動、温度変化等で誤差が生じた
場合、出射ビームにはミラーの誤差の２倍の誤差が発生
するので、やはり精度を確保するのが難しくなる。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記課題点を解決するためになされたもので、
本実施例に対応する第１図を用いてて説明すると、本発
明による光偏向器面倒れ測定装置は、光源１よりでた光
Ｌ１が第１の偏光ビームスプリッタ２に入射し。
本実施例に対応する第１図を用いてて説明すると、本発
明による光偏向器面倒れ測定装置は、光源１よりでた光
Ｌ１が第１の偏光ビームスプリッタ２に入射し。
分割された一方の光Ｌ２が光偏向器３に入射し、残る一
方の光Ｌ３は光偏向器３を介さずにミラーＭ１を介して
第２の偏光ビームスプリッタ４により光偏向器３からの
出射光Ｌ２ａと再び合成され、１枚、又は複数のミラー
Ｍ２．Ｍ３を介して第３の偏光ビームスプリッタ５に入
射し、再び分割され、分割された各々の光Ｌ５ａ、Ｌ５
ｂが２個のビーム位置検出センサ６．７にそれぞれ入射
する構成とし、それぞれのセンサ出力の差を取って面倒
れ量を求めるようにしたものである。
方の光Ｌ３は光偏向器３を介さずにミラーＭ１を介して
第２の偏光ビームスプリッタ４により光偏向器３からの
出射光Ｌ２ａと再び合成され、１枚、又は複数のミラー
Ｍ２．Ｍ３を介して第３の偏光ビームスプリッタ５に入
射し、再び分割され、分割された各々の光Ｌ５ａ、Ｌ５
ｂが２個のビーム位置検出センサ６．７にそれぞれ入射
する構成とし、それぞれのセンサ出力の差を取って面倒
れ量を求めるようにしたものである。
（作用）
本発明によれば光源１より発した光Ｌ１は第１の偏光ビ
ームスプリッタ２により縦の偏光成分をもつ光Ｌ２と横
の偏光成分をもつ光Ｌ３にわけられる。このうち片方の
光Ｌ２がスキャナ３に入射され面倒れの影響を受ける。
ームスプリッタ２により縦の偏光成分をもつ光Ｌ２と横
の偏光成分をもつ光Ｌ３にわけられる。このうち片方の
光Ｌ２がスキャナ３に入射され面倒れの影響を受ける。
走査装置を出た光Ｌ２ａは面倒れの影響を受けない光Ｌ
３ａと合成され、進行する０合成された際二つの光Ｌ２
ａ、Ｌ３ａは互いに偏光方向が直行しているため互いに
干渉せず、光路は一致していても面倒れの影響を受けた
光と受けない光は明確に分離している。この合成光Ｌ４
はセンサ６に入る直前で再び偏光ビームスプリッタ５に
より、偏光方向の違う二本の光に分割される。この偏光
ビームスプリッタ５の分割する偏光方向と最初の偏光ビ
ームスプリッタ２の分割する偏光方向が同じであるなら
ば面倒れ成分を持つ光と持たない光はきれいにわけられ
る。その後、各々の光がそれぞれビーム位置検出センサ
６．７に入射し、位置ずれ量が測定されるがこのとき面
倒れ成分を持つ光が途中のミラーの誤差の影響を受けて
いた−とじても、もう一方の光も受けているわけである
から、それぞれの出力の差をとることにより面倒れの影
響のみを切りわけて高精度な測定を行うととが出来る。
３ａと合成され、進行する０合成された際二つの光Ｌ２
ａ、Ｌ３ａは互いに偏光方向が直行しているため互いに
干渉せず、光路は一致していても面倒れの影響を受けた
光と受けない光は明確に分離している。この合成光Ｌ４
はセンサ６に入る直前で再び偏光ビームスプリッタ５に
より、偏光方向の違う二本の光に分割される。この偏光
ビームスプリッタ５の分割する偏光方向と最初の偏光ビ
ームスプリッタ２の分割する偏光方向が同じであるなら
ば面倒れ成分を持つ光と持たない光はきれいにわけられ
る。その後、各々の光がそれぞれビーム位置検出センサ
６．７に入射し、位置ずれ量が測定されるがこのとき面
倒れ成分を持つ光が途中のミラーの誤差の影響を受けて
いた−とじても、もう一方の光も受けているわけである
から、それぞれの出力の差をとることにより面倒れの影
響のみを切りわけて高精度な測定を行うととが出来る。
（実施例）
第１図に回転ポリゴンミラーの面倒れ測定装置の構成を
示す、光源１のＨｅ Ｎ ａレーザより出射されたレー
ザービームＬ１はまず、偏光ビームスプリッタ２に入射
する。Ｈｅ Ｎ ｅレーザの偏光方向は水平方向から４
５°傾いた方向にしておき、偏光ビームスプリッタ２は
水平方向の成分と垂直方向の成分とにわけるように設置
されているのでレーザよりきた光Ｌ１は偏光ビームスプ
リッタ２によりほぼ均等に分割される。垂直偏光のレー
ザビームＬ２は回転ポリゴンミラーに入射し、走査され
ると同時に面倒れの影響を受はビームＬ２ａとして図の
右方向に出射する。一方、水平偏光のレーザビームは偏
光ビームスプリッタ２からビームＬ３として図の右方向
に出射され、ミラーＭ１を介しＬ３ａは図の右方向に出
射され、ここでスキャナを介した垂直偏光の光と合成さ
れる１合成光Ｌ４は、ミラーＭ２、ミラーＭ３を介し、
偏光ビームスプリッタ５に入射する。ここでも偏光ビー
ムスプリッタ５は水平偏光のみ反射するよう設置されて
いるのでスキャナの面倒れ成分をもつ垂直偏光の光Ｌ５
ａは、偏光ビームスプリッタ５を透過し、センサ６に入
射し、面倒れ成分をもたない水平偏光の光Ｌ５ｂは偏光
ビームスプリッタ５で反射されセンサ７に入射する。セ
ンサ６、及びセンサ７はレーザビームの位置を検出し、
電気信号Ａ、電気信号Ｂとして出力する。出力された電
気信号Ａ及び電気信号Ｂは差動出力回路Ｃに入力され電
気信号Ａと電気信号Ｂの差が最終的な面倒れ信号として
出力される。ここで途中の折返しミラーＭ２及び折返し
ミラーＭ３が振動や温度変化により所定の折返し角より
誤差を持った場合、合成光はその誤差成分により所定の
位置をずれて偏光ビームスプリッタ５及びセンサ６、セ
ンサ７に入力される。このとき合成光Ｌ４のうける誤差
の影響は水平偏光、垂直偏光ともに同じであるのでミラ
ーＭ２及びＭ３の誤差の影響はセンサ６゜７ともに同じ
量だけ検出される。ところがその後の差動出力回路によ
りセンサ６の出力信号Ａとセンサ７の出力信号Ｂとの差
がとられるのでこのときミラーによって生じた垂直偏光
水平偏光ともに同量の誤差成分は差引０となるので出力
されず、垂直偏光と水平偏光で違う成分だけ出力される
。このように途中におかれた折返しミラーＭ２、Ｍ３の
誤差は、出力信号に影響しないのでこのような構成とす
ることにより高精度かつ小型な面倒れ測定装置が実現で
きることになる。
示す、光源１のＨｅ Ｎ ａレーザより出射されたレー
ザービームＬ１はまず、偏光ビームスプリッタ２に入射
する。Ｈｅ Ｎ ｅレーザの偏光方向は水平方向から４
５°傾いた方向にしておき、偏光ビームスプリッタ２は
水平方向の成分と垂直方向の成分とにわけるように設置
されているのでレーザよりきた光Ｌ１は偏光ビームスプ
リッタ２によりほぼ均等に分割される。垂直偏光のレー
ザビームＬ２は回転ポリゴンミラーに入射し、走査され
ると同時に面倒れの影響を受はビームＬ２ａとして図の
右方向に出射する。一方、水平偏光のレーザビームは偏
光ビームスプリッタ２からビームＬ３として図の右方向
に出射され、ミラーＭ１を介しＬ３ａは図の右方向に出
射され、ここでスキャナを介した垂直偏光の光と合成さ
れる１合成光Ｌ４は、ミラーＭ２、ミラーＭ３を介し、
偏光ビームスプリッタ５に入射する。ここでも偏光ビー
ムスプリッタ５は水平偏光のみ反射するよう設置されて
いるのでスキャナの面倒れ成分をもつ垂直偏光の光Ｌ５
ａは、偏光ビームスプリッタ５を透過し、センサ６に入
射し、面倒れ成分をもたない水平偏光の光Ｌ５ｂは偏光
ビームスプリッタ５で反射されセンサ７に入射する。セ
ンサ６、及びセンサ７はレーザビームの位置を検出し、
電気信号Ａ、電気信号Ｂとして出力する。出力された電
気信号Ａ及び電気信号Ｂは差動出力回路Ｃに入力され電
気信号Ａと電気信号Ｂの差が最終的な面倒れ信号として
出力される。ここで途中の折返しミラーＭ２及び折返し
ミラーＭ３が振動や温度変化により所定の折返し角より
誤差を持った場合、合成光はその誤差成分により所定の
位置をずれて偏光ビームスプリッタ５及びセンサ６、セ
ンサ７に入力される。このとき合成光Ｌ４のうける誤差
の影響は水平偏光、垂直偏光ともに同じであるのでミラ
ーＭ２及びＭ３の誤差の影響はセンサ６゜７ともに同じ
量だけ検出される。ところがその後の差動出力回路によ
りセンサ６の出力信号Ａとセンサ７の出力信号Ｂとの差
がとられるのでこのときミラーによって生じた垂直偏光
水平偏光ともに同量の誤差成分は差引０となるので出力
されず、垂直偏光と水平偏光で違う成分だけ出力される
。このように途中におかれた折返しミラーＭ２、Ｍ３の
誤差は、出力信号に影響しないのでこのような構成とす
ることにより高精度かつ小型な面倒れ測定装置が実現で
きることになる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、光源より
でた光が第１の偏光ビームスプリッタに入射し。
でた光が第１の偏光ビームスプリッタに入射し。
分割された一方の光が光偏向器に入射し、残る一方の光
は光偏向器を介さずに第２の偏光ビームスプリッタによ
り光偏向器からの出射光と再び合成され、１枚、又は複
数のミラーを介して第３の偏光ビームスプリッタに入射
し、再び分割され、分割された各々の光がそれぞれ２個
のビーム位置検出センサに入射する構成とし、それぞれ
のセンサ出力の差を取って面倒れ量を求めるようにとし
たのでノイズの影響を受けにくい高精度、かつ小型な面
倒れ測定装置を構成できる。又レーザビーム位置誤差を
出力とするような他の測定システムにも適用可能である
という利点を有する。
は光偏向器を介さずに第２の偏光ビームスプリッタによ
り光偏向器からの出射光と再び合成され、１枚、又は複
数のミラーを介して第３の偏光ビームスプリッタに入射
し、再び分割され、分割された各々の光がそれぞれ２個
のビーム位置検出センサに入射する構成とし、それぞれ
のセンサ出力の差を取って面倒れ量を求めるようにとし
たのでノイズの影響を受けにくい高精度、かつ小型な面
倒れ測定装置を構成できる。又レーザビーム位置誤差を
出力とするような他の測定システムにも適用可能である
という利点を有する。
第１図は本発明の一実施例を示す面倒れ測定装置の構成
図、第２図は従来例を示す面倒れ測定装置の構成図であ
る。 １・・・・・・光源 ２．４．５・・・・・・偏向ビームスプリッタ３・・・
・・・光偏向器 ６．７・・・・・・センサ Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３・・・・・・ミラー Ａ、Ｂ・・・・・・電気信号 Ｃ・・・・・・差動出力回路 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ２ａ、Ｌ３ａ、Ｌ４．Ｌ５ａ。 Ｌ５ｂ・・・・・・ビーム 特許出願人 コパル電子株式会社 第２図
図、第２図は従来例を示す面倒れ測定装置の構成図であ
る。 １・・・・・・光源 ２．４．５・・・・・・偏向ビームスプリッタ３・・・
・・・光偏向器 ６．７・・・・・・センサ Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３・・・・・・ミラー Ａ、Ｂ・・・・・・電気信号 Ｃ・・・・・・差動出力回路 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ２ａ、Ｌ３ａ、Ｌ４．Ｌ５ａ。 Ｌ５ｂ・・・・・・ビーム 特許出願人 コパル電子株式会社 第２図
Claims (1)
- 光源より出た光が第１の偏光ビームスプリッタに入射し
、分割された一方の光を光偏向器に入射し、他の光は光
偏向器を介さずに第２の偏光ビームスプリッタにより光
偏向器からの出射光と再び合成して、１枚、又は複数の
ミラーを介して第３の偏光ビームスプリッタに入射し、
再び分割され、分割された各々の光が２個のビーム位置
検出センサにそれぞれ入射する構成とし、それぞれのセ
ンサ出力の差を取って面倒れ量を求めるようにしたこと
を特徴とする光偏向器の面倒れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2974889A JPH02210237A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光偏向器の面倒れ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2974889A JPH02210237A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光偏向器の面倒れ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02210237A true JPH02210237A (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=12284720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2974889A Pending JPH02210237A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光偏向器の面倒れ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02210237A (ja) |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP2974889A patent/JPH02210237A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5187543A (en) | Differential displacement measuring interferometer | |
| US5067817A (en) | Method and device for noncontacting self-referencing measurement of surface curvature and profile | |
| US7864336B2 (en) | Compact Littrow encoder | |
| US4746216A (en) | Angle measuring interferometer | |
| US4717250A (en) | Angle measuring interferometer | |
| US5164791A (en) | Minute displacement detector using optical interferometry | |
| CN106767656A (zh) | 一种滚转角测量系统的高精度标定装置及标定方法 | |
| JP2002213913A (ja) | レーザ測長器及びレーザ測長方法 | |
| US5541729A (en) | Measuring apparatus utilizing diffraction of reflected and transmitted light | |
| US5220397A (en) | Method and apparatus for angle measurement based on the internal reflection effect | |
| US7542149B2 (en) | Optics system for an interferometer that uses a measuring mirror, a reference mirror and a beam deflector | |
| US6483593B1 (en) | Hetrodyne interferometer and associated interferometric method | |
| US3773421A (en) | Monitoring relative displacement | |
| JPH02210237A (ja) | 光偏向器の面倒れ測定装置 | |
| JPH11125503A (ja) | ヘテロダイン干渉計 | |
| JP2003232606A (ja) | 角度検出システム、角度検出方法、及びレーザ加工装置 | |
| JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
| US5777745A (en) | Method and apparatus for compensating for noise generated by fluctuation of a medium around an object to be measured | |
| JPH0754802Y2 (ja) | 接触式表面形状測定器 | |
| JPS635208A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPS63243704A (ja) | 変位の光学的測定方法およびその装置 | |
| JPH03235006A (ja) | 移動体の直進性測定方法及び装置 | |
| JP2591143B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| CN119756235A (zh) | 一种集成光路中器件微小角度变化的检测装置及方法 | |
| JPS63196807A (ja) | 光学式変位計測方法 |