JPH0221544U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0221544U JPH0221544U JP10106188U JP10106188U JPH0221544U JP H0221544 U JPH0221544 U JP H0221544U JP 10106188 U JP10106188 U JP 10106188U JP 10106188 U JP10106188 U JP 10106188U JP H0221544 U JPH0221544 U JP H0221544U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- piston
- rotary
- vacuum
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
第１図は本考案実施例装置の断面図、第２図は
その正面図、第３図は本考案実施例装置を用いた
ＣＶＤ装置の構成図、第４図は本考案実施例装置
の説明図である。 １：ＣＶＤ装置、２：ガス採取装置、２０１：
シリンダ・チユーブ、２０２：ピストン、２０２
ａ：外ピストン、２０２ｂ：内ピストン、２０３
：螺子キヤツプ、２０４：回転チユーブ、２０４
ａ：回転つまみ、２０４ｂ：スラスト・ベアリン
グ、２０５：金属チユーブ、２０６：回転つまみ
、２０７：キヤピラリチユーブ、３：ガス分析装
置、４：キヤピラリチユーブ。
その正面図、第３図は本考案実施例装置を用いた
ＣＶＤ装置の構成図、第４図は本考案実施例装置
の説明図である。 １：ＣＶＤ装置、２：ガス採取装置、２０１：
シリンダ・チユーブ、２０２：ピストン、２０２
ａ：外ピストン、２０２ｂ：内ピストン、２０３
：螺子キヤツプ、２０４：回転チユーブ、２０４
ａ：回転つまみ、２０４ｂ：スラスト・ベアリン
グ、２０５：金属チユーブ、２０６：回転つまみ
、２０７：キヤピラリチユーブ、３：ガス分析装
置、４：キヤピラリチユーブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空室内に導かれたガスによつて基板上に薄膜
を形成する真空装置のガス採取装置であつて、 ａ 前記基板面と平行に前記真空装置の壁面に取
付けられたシリンダ・チユーブと、 ｂ このシリンダ・チユーブ内の内周面とシール
状態で接触する外ピストンと、このピストンの軸
心部に旋回可能に取付けられた内ピストンとより
なるピストンと、 ｃ 一端が前記外ピストンに接し、他端に回転操
作手段が設けられ、前記シリンダ・チユーブに固
定された螺子キヤツプと螺合する回転チユーブと
、 ｄ 前記真空室側の先端部が折曲げられ、前記シ
リンダ・チユーブ、前記ピストン、及び前記回転
チユーブ内を挿通し、前記内ピストンに固定され
ると共に、前記回転チユーブに回転自在に固定さ
れた金属チユーブと、 ｅ この金属チユーブの他端に固定された旋回付
与手段と、 ｆ 前記金属チユーブ内に挿入され、端部が気密
状態でこのチユーブより引出されたキヤピラリチ
ユーブ とを具備し、前記キヤピラリチユーブを分析装
置に接続すると共に、前記回転チユーブを回転さ
せて前記真空室内において前記金属チユーブの先
端部を前進・後退させ、前記旋回付与手段によつ
てこの先端部を回動させ、前記キヤピラリチユー
ブより前記基板上の所望の空間位置のガスを採取
するようにした真空装置用ガス採取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10106188U JPH0221544U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10106188U JPH0221544U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221544U true JPH0221544U (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=31329709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10106188U Pending JPH0221544U (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221544U (ja) |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP10106188U patent/JPH0221544U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0221544U (ja) | ||
| JPS5884555U (ja) | ガス吸出器 | |
| JPS58131802U (ja) | 呼気サンプリング弁 | |
| US3962788A (en) | Dental handpiece | |
| JPS6373854U (ja) | ||
| JPH0380347U (ja) | ||
| JPH0165854U (ja) | ||
| JPH0464744U (ja) | ||
| JPH05281009A (ja) | 粉体体積測定装置 | |
| JPS625156A (ja) | グロ−放電を用いた発光分析における試料交換装置 | |
| JPS5854781Y2 (ja) | 真空バルブ装置 | |
| JPS6375843U (ja) | ||
| JPH02129661U (ja) | ||
| JPS63136730U (ja) | ||
| JPS5823883B2 (ja) | 平衡型試料採取管 | |
| JPH029395U (ja) | ||
| JPH0374343U (ja) | ||
| JPH01120593U (ja) | ||
| JPS6259839U (ja) | ||
| JPS6233158U (ja) | ||
| JPS6029167U (ja) | エッチング装置等用試料駆動装置 | |
| JPH0454887U (ja) | ||
| JPS6437648U (ja) | ||
| JPS5835305U (ja) | 化粧用筆 | |
| JPH01147232U (ja) |