JPH0221585A - フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置 - Google Patents
フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置Info
- Publication number
- JPH0221585A JPH0221585A JP63170275A JP17027588A JPH0221585A JP H0221585 A JPH0221585 A JP H0221585A JP 63170275 A JP63170275 A JP 63170275A JP 17027588 A JP17027588 A JP 17027588A JP H0221585 A JPH0221585 A JP H0221585A
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- Japan
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- adhesive layer
- positive
- adsorption
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はフレキシブル差込み端子ををする静電吸着板
の電極切断防止装置に係り、特に電極が切断される事故
を防止し得て通電不良を回避し得るフレキシブル差込み
端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置に関する。
の電極切断防止装置に係り、特に電極が切断される事故
を防止し得て通電不良を回避し得るフレキシブル差込み
端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置に関する。
従来の静電吸着板において、第３・４図に示す如く、基
盤４上の絶縁性（１０′３〜１０１７Ωｃｍ）の接着剤
層に正負−組の電極８・１０及び吸着層１４を接着して
設けるとともに、前記吸着層１４端部から突出させた吸
着層突出端１６に前記正負電極８・１０端部から突出さ
せた電極突出端１８を取着させて設けたフレキシブル差
込み端子２０を有する静電吸着板２がある。この静電吸
着板２は、差込み端子２０がフレキシブルであることに
より、第５図に示す如く、どのような方向にも指向させ
得て、電線２４により電源２６に接続されたコネクタ２
０を使用し得ることにより電源供給確実である等の特徴
を有している。
盤４上の絶縁性（１０′３〜１０１７Ωｃｍ）の接着剤
層に正負−組の電極８・１０及び吸着層１４を接着して
設けるとともに、前記吸着層１４端部から突出させた吸
着層突出端１６に前記正負電極８・１０端部から突出さ
せた電極突出端１８を取着させて設けたフレキシブル差
込み端子２０を有する静電吸着板２がある。この静電吸
着板２は、差込み端子２０がフレキシブルであることに
より、第５図に示す如く、どのような方向にも指向させ
得て、電線２４により電源２６に接続されたコネクタ２
０を使用し得ることにより電源供給確実である等の特徴
を有している。
ところで、従来の静電吸着板２は、正負電極８・１０等
が基盤４から剥がれて露出することにより安全性が損な
われる不都合を防止するために、接着剤Ｎ６として、例
えばアクリル酸アルキルエステル共重合体等の常態粘着
力が１０００ ｇ／ｃｍ以上のものを使用している。
が基盤４から剥がれて露出することにより安全性が損な
われる不都合を防止するために、接着剤Ｎ６として、例
えばアクリル酸アルキルエステル共重合体等の常態粘着
力が１０００ ｇ／ｃｍ以上のものを使用している。
ところが、差込み端子２０がフレキシブルであることに
より、第５図に示す如く、差込み端子２０に接着剤層６
から剥脱する方向の力が加えられた場合に、差込み端子
２０の吸着層突出端１６に取着された電極突出端１８は
接着剤層６から剥脱する方向に移動される一方、接着剤
層６と吸着層１４との間に接着された正負電極８・１０
は前記の如く接着剤層６の接着力が大であるごとから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層６に残
置されることになる。
より、第５図に示す如く、差込み端子２０に接着剤層６
から剥脱する方向の力が加えられた場合に、差込み端子
２０の吸着層突出端１６に取着された電極突出端１８は
接着剤層６から剥脱する方向に移動される一方、接着剤
層６と吸着層１４との間に接着された正負電極８・１０
は前記の如く接着剤層６の接着力が大であるごとから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層６に残
置されることになる。
このため、第６図に示す如く、差込み端子２０の吸着層
突出端１６に取着された電極突出端１８が接着剤層６と
吸着層１４との間に接着された正負電極８・１０から切
断される事故を生じ、通電不良となる不都合があった。
突出端１６に取着された電極突出端１８が接着剤層６と
吸着層１４との間に接着された正負電極８・１０から切
断される事故を生じ、通電不良となる不都合があった。
〔発明の目的〕
そこでこの発明の目的は、差込み端子に接着剤層から剥
脱する方向の力を加えられた場合に電極が切断される事
故を防止し得て通電不良を回避し得るフレキシブル差込
み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置を実現す
ることにある。
脱する方向の力を加えられた場合に電極が切断される事
故を防止し得て通電不良を回避し得るフレキシブル差込
み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置を実現す
ることにある。
この目的を達成するために、この発明は、絶縁性の接着
剤層に正負電極及び吸着層を接着して設けるとともに前
記吸着層端部から突出させた吸着層突出端に前記正負電
極端部から突出させた電極突出端を取着させて設けたフ
レキシブル差込み端子を有する静電吸着板において、前
記吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込み端子の
設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接着剤層と
の間にこの接着剤層との密着力よりも前記吸着層及び正
負電極との密着力が大なる絶縁性の切断防止層を介設し
たことを特徴とする。
剤層に正負電極及び吸着層を接着して設けるとともに前
記吸着層端部から突出させた吸着層突出端に前記正負電
極端部から突出させた電極突出端を取着させて設けたフ
レキシブル差込み端子を有する静電吸着板において、前
記吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込み端子の
設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接着剤層と
の間にこの接着剤層との密着力よりも前記吸着層及び正
負電極との密着力が大なる絶縁性の切断防止層を介設し
たことを特徴とする。
この発明の構成によれば、接着剤層との密着力よりも吸
着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切断防止
層を、吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込み端
子の設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接着剤
層との間に介設したことにより、差込み端子に接着剤層
から剥脱する方向の力が加えられた場合に、接着剤層と
吸着層との間に接着された正負電極は接着剤層に残置さ
れることなく吸着層とともに接着剤層から剥脱される。
着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切断防止
層を、吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込み端
子の設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接着剤
層との間に介設したことにより、差込み端子に接着剤層
から剥脱する方向の力が加えられた場合に、接着剤層と
吸着層との間に接着された正負電極は接着剤層に残置さ
れることなく吸着層とともに接着剤層から剥脱される。
次にこの発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
第１〜３図は、この発明の実施例を示すものである。図
において、２は静電吸着板であり、基盤４と、絶縁性の
接着剤層６と、通電により正負の電荷を付与される櫛歯
状に配設した一組の電極８・１０と、この−組の電極８
・１０により誘電され静電吸引力により被吸着物１２を
吸着保持する吸着層１４とを、順次に積層して設けてい
る。これにより、静電吸着板２は、基盤４上の絶縁性の
接着剤層６に正負−組の電極８・１０及び吸着層１４を
接着して設けている。
において、２は静電吸着板であり、基盤４と、絶縁性の
接着剤層６と、通電により正負の電荷を付与される櫛歯
状に配設した一組の電極８・１０と、この−組の電極８
・１０により誘電され静電吸引力により被吸着物１２を
吸着保持する吸着層１４とを、順次に積層して設けてい
る。これにより、静電吸着板２は、基盤４上の絶縁性の
接着剤層６に正負−組の電極８・１０及び吸着層１４を
接着して設けている。
この静電吸着板２は、−組の電極８・１０に直流電源を
供給して夫々正負の電荷を付与する。この−組の電極８
・１０により吸着層１４は誘電されるので、被吸着物１
２を接触させると、被吸着物１２は前記各電極８・１０
と対向する部位に夫々静電誘導により各電極８・１０の
電荷と異なる極性の電荷が生じる。これにより、被吸着
物１２に生じた電荷と各電極８・１０の電荷との間に静
電的吸引力が作用し、被吸着物１２を吸着層１４の表面
に吸着保持する。
供給して夫々正負の電荷を付与する。この−組の電極８
・１０により吸着層１４は誘電されるので、被吸着物１
２を接触させると、被吸着物１２は前記各電極８・１０
と対向する部位に夫々静電誘導により各電極８・１０の
電荷と異なる極性の電荷が生じる。これにより、被吸着
物１２に生じた電荷と各電極８・１０の電荷との間に静
電的吸引力が作用し、被吸着物１２を吸着層１４の表面
に吸着保持する。
なお、吸着層１４の材料としては、ポリニストル樹脂や
塩化ビニル樹脂を、そしてまた、アクリル樹脂等の合成
樹脂に導電性添加物を加えてシート状にし、これにより
所期の誘電率と抵抗値を発揮せしめる。
塩化ビニル樹脂を、そしてまた、アクリル樹脂等の合成
樹脂に導電性添加物を加えてシート状にし、これにより
所期の誘電率と抵抗値を発揮せしめる。
また、前記静電吸着板２は、吸着層１４端部がら吸着層
突出端１６を突出させて設け、正負電極８・１０端部か
ら電極突出端１８を突出させて設ける。この吸着層突出
端１６に電極突出端１８を取着させてフレキシブルの差
込み端７’２０を形成して設ける。このとき、電極突出
端１８は、吸着層突出端１６の裏面に露出させて電気的
な結合が可能なように構成する。この差込み端子２０を
受納し、電気的結合を果すべく、第５図の如くコネクタ
２２を電線２４により電源２６に接続して設けている。
突出端１６を突出させて設け、正負電極８・１０端部か
ら電極突出端１８を突出させて設ける。この吸着層突出
端１６に電極突出端１８を取着させてフレキシブルの差
込み端７’２０を形成して設ける。このとき、電極突出
端１８は、吸着層突出端１６の裏面に露出させて電気的
な結合が可能なように構成する。この差込み端子２０を
受納し、電気的結合を果すべく、第５図の如くコネクタ
２２を電線２４により電源２６に接続して設けている。
このようなフレキシブルの差込み端子２０を有する静電
吸着板２において、第１・２図に示す如く、差込み端子
２０の吸着層突出端１６及び電極突出端１８を含み差込
み端子２０の設けられる部位の吸着層１４及び正負−組
の電極８・１０と接着剤層６との間に、この接着剤層６
との密着力よりも吸着層１４及び正負−組の電極８・１
０との密着力が大なる絶縁性の切断防止層２８を介設す
る。この切断防止層２８は、体積固有抵抗値が１０１３
〜１０１’７Ωｃｎ＋程度の絶縁性を有するウレタン系
、アクリル系、フェノール系等の材料から形成される。
吸着板２において、第１・２図に示す如く、差込み端子
２０の吸着層突出端１６及び電極突出端１８を含み差込
み端子２０の設けられる部位の吸着層１４及び正負−組
の電極８・１０と接着剤層６との間に、この接着剤層６
との密着力よりも吸着層１４及び正負−組の電極８・１
０との密着力が大なる絶縁性の切断防止層２８を介設す
る。この切断防止層２８は、体積固有抵抗値が１０１３
〜１０１’７Ωｃｎ＋程度の絶縁性を有するウレタン系
、アクリル系、フェノール系等の材料から形成される。
このように、フレキシブルの差込み端子２０を有する静
電吸着板２において、差込み端子２０に接着剤層６から
剥脱する方向の力が加えられた場合に、従来は、差込み
端子２０の吸着層突出端１８に取着された電極突出端１
８は接着剤層６から剥脱する方向に移動される一方、接
着剤層６と吸着層１２との間に接着された正負−組の電
極８・１０は接着剤層６の接着力が大であることから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層６に残
置される結果、電極突出端１８が正負−組の電極８・ｌ
Ｏから切断される事故を生じ、通電不良となる不都合が
あった。
電吸着板２において、差込み端子２０に接着剤層６から
剥脱する方向の力が加えられた場合に、従来は、差込み
端子２０の吸着層突出端１８に取着された電極突出端１
８は接着剤層６から剥脱する方向に移動される一方、接
着剤層６と吸着層１２との間に接着された正負−組の電
極８・１０は接着剤層６の接着力が大であることから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層６に残
置される結果、電極突出端１８が正負−組の電極８・ｌ
Ｏから切断される事故を生じ、通電不良となる不都合が
あった。
この発明のフレキシブルの差込み端子２０を有する静電
吸着板２においては、前述のごとく、接着剤層６との密
着力よりも吸着層１４及び正負−組の電極８・１０との
密着力が大なる絶縁性の切断防止層２８を、差込み端子
２０の吸着層突出端１６及び電極突出端１８を含み差込
み端子２０の設けられる部位の吸着層１４及び正負−組
の電極８・１０と接着剤層６との間に介設して設けたこ
とにより、接着剤層６と吸着層１４との間に接着された
正負−組の電極８・１０は接着剤層６に残置されること
なく、吸着層１４とともに接着剤層６から剥脱される。
吸着板２においては、前述のごとく、接着剤層６との密
着力よりも吸着層１４及び正負−組の電極８・１０との
密着力が大なる絶縁性の切断防止層２８を、差込み端子
２０の吸着層突出端１６及び電極突出端１８を含み差込
み端子２０の設けられる部位の吸着層１４及び正負−組
の電極８・１０と接着剤層６との間に介設して設けたこ
とにより、接着剤層６と吸着層１４との間に接着された
正負−組の電極８・１０は接着剤層６に残置されること
なく、吸着層１４とともに接着剤層６から剥脱される。
このため、差込み端子２０の電極突出端１８が、接着剤
層６と吸着層１４との間に接着された正負−組の電極８
・ＩＯから切断される事故を防止することができ、通電
不良を回避することができるものであり、実用工大なる
効果を奏し得るものである。
層６と吸着層１４との間に接着された正負−組の電極８
・ＩＯから切断される事故を防止することができ、通電
不良を回避することができるものであり、実用工大なる
効果を奏し得るものである。
このようにこの発明によれば、接着剤層との密着力より
も吸着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切断
防止層を、吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込
み端子の設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接
着剤層との間に介設したことにより、差込み端子に接着
剤層から剥脱する方向の力が加えられた場合に、接着剤
層と吸着層との間に接着された正負電極は接着剤層に留
置されることなく、吸着層とともに接着剤層から剥脱さ
れる。
も吸着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切断
防止層を、吸着層突出端及び電極突出端を含み前記差込
み端子の設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接
着剤層との間に介設したことにより、差込み端子に接着
剤層から剥脱する方向の力が加えられた場合に、接着剤
層と吸着層との間に接着された正負電極は接着剤層に留
置されることなく、吸着層とともに接着剤層から剥脱さ
れる。
このため、差込み端子の吸着層突出端に取着された電極
突出端が接着剤層と吸着層との間に接着された正負電極
から切断される事故を防止し得て、通電不良を回避する
ことができる。
突出端が接着剤層と吸着層との間に接着された正負電極
から切断される事故を防止し得て、通電不良を回避する
ことができる。
第１〜３図はこの発明の実施例を示し、第１図は差込み
端子の拡大平面図、第２図は第１図の■■線断面図、第
３図は静電吸着板の平面図である。 第４〜６図は、夫々従来の差込み端子の拡大断面図であ
る。 図において、２は静電吸着板、４は基盤、６は絶縁性の
接着剤層、８・１０は電極、１２は被吸着物、１４は吸
着層、１６は吸着層突出端、１８は電極突出端、２０は
差込み端子、２２はコネクタ、２４は電線、２６は電源
、２８は切断防止用接着剤層である。 特許出願人 株式会社 アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 美 手続補正盲動式） １．事件の表示 特願昭６３−１７０２７５号 ２、発明の名称 フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断
防止装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市領家８６４番地の１名称株式会
社アビサレ 代表者 笠原敬次
端子の拡大平面図、第２図は第１図の■■線断面図、第
３図は静電吸着板の平面図である。 第４〜６図は、夫々従来の差込み端子の拡大断面図であ
る。 図において、２は静電吸着板、４は基盤、６は絶縁性の
接着剤層、８・１０は電極、１２は被吸着物、１４は吸
着層、１６は吸着層突出端、１８は電極突出端、２０は
差込み端子、２２はコネクタ、２４は電線、２６は電源
、２８は切断防止用接着剤層である。 特許出願人 株式会社 アビサレ 代理人 弁理士 西 郷 義 美 手続補正盲動式） １．事件の表示 特願昭６３−１７０２７５号 ２、発明の名称 フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断
防止装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県掛用市領家８６４番地の１名称株式会
社アビサレ 代表者 笠原敬次
Claims (1)
- １、絶縁性の接着剤層に正負電極及び吸着層を接着して
設けるとともに前記吸着層端部から突出させた吸着層突
出端に前記正負電極端部から突出させた電極突出端を取
着させて設けたフレキシブル差込み端子を有する静電吸
着板において、前記吸着層突出端及び電極突出端を含み
前記差込み端子の設けられる部位の吸着層及び正負電極
と前記接着剤層との間にこの接着剤層との密着力よりも
前記吸着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切
断防止層を介設したことを特徴とするフレキシブル差込
み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63170275A JPH0221585A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63170275A JPH0221585A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221585A true JPH0221585A (ja) | 1990-01-24 |
| JPH0447434B2 JPH0447434B2 (ja) | 1992-08-03 |
Family
ID=15901927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63170275A Granted JPH0221585A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | フレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221585A (ja) |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP63170275A patent/JPH0221585A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447434B2 (ja) | 1992-08-03 |
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