JPH0447434B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はフレキシブル差込み端子を有する静
電吸着板の電極切断防止装置に係り、特に電極が
切断される事故を防止し得て通電不良を回避し得
るフレキシブル差込み端子を有する静電吸着板の
電極切断防止装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の静電吸着板において、第３，４図に示す
如く、基盤４上の絶縁性（10¹³〜10¹⁷Ωcm）の接
着剤層に正負一組の電極８，１０及び吸着層１４
を接着して設けるとともに、前記吸着層１４端部
から突出させた吸着層突出端１６に前記正負電極
８，１０端部から突出させた電極突出端１８を取
着させて設けたフレキシブル差込み端子２０を有
する静電吸着板２がある。この静電吸着板２は、
差込み端子２０がフレキシブルであることによ
り、第５図に示す如く、どのような方向にも指向
させ得て、電線２４により電源２６に接続された
コネクタ２０を使用し得ることにより電源供給確
実である等の特徴を有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、従来の静電吸着板２は、正負電極
８，１０等が基盤４から剥がれて露出することに
より安全性が損なわれる不都合を防止するため
に、接着剤層６として、例えばアクリル酸アルキ
ルエステル共重合体等の常態粘着力が1000ｇ／cm
以上のものを使用している。

ところが、差込み端子２０がフレキシブルであ
ることにより、第５図に示す如く、差込み端子２
０に接着剤層６から剥脱する方向の力が加えられ
た場合に、差込み端子２０の吸着層突出端１６に
取着された電極突出端１８は接着剤層６から剥脱
する方向に移動される一方、接着剤層６と吸着層
１４との間に接着された正負電極８，１０は前記
の如く接着剤層６の接着力が大であることから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層
６に残置されることになる。

このため、第６図に示す如く、差込み端子２０
の吸着層突出端１６に取着された電極突出端１８
が接着剤層６と吸着層１４との間に接着された正
負電極８，１０から切断される事故を生じ、通電
不良となる不都合があつた。

〔発明の目的〕

そこでこの発明の目的は、差込み端子に接着剤
層から剥脱する方向の力を加えられた場合に電極
が切断される事故を防止し得て通電不良を回避し
得るフレキシブル差込み端子を有する静電吸着板
の電極切断防止装置を実現することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するために、この発明は、絶縁
性の接着剤層に正負電極及び吸着層を接着して設
けるとともに前記吸着層端部から突出させた吸着
層突出端に前記正負電極端部から突出させた電極
突出端を取着させて設けたフレキシブル差込み端
子を有する静電吸着板において、前記吸着層突出
端及び電極突出端を含み前記差込み端子の設けら
れる部位の吸着層及び正負電極と前記接着剤層と
の間にこの接着剤層との密着力よりも前記吸着層
及び正負電極との密着力が大なる絶縁性の切断防
止層を介設したことを特徴とする。

〔作用〕

この発明の構成によれば、接着剤層との密着力
よりも吸着層及び正負電極との密着力が大なる絶
縁性の切断防止層を、吸着層突出端及び電極突出
端を含み前記差込み端子の設けられる部位の吸着
層及び正負電極と前記接着剤層との間に介設した
ことにより、差込み端子に接着剤層から剥脱する
方向の力が加えられた場合に、接着剤層と吸着層
との間に接着された正負電極は接着剤層に残置さ
れることなく吸着層とともに接着剤層から剥脱さ
れる。

〔実施例〕

次にこの発明の実施例を図に基づいて詳細に説
明する。

第１〜３図は、この発明の実施例を示すもので
ある。図において、２は静電吸着板であり、基盤
４と、絶縁性の接着剤層６と、通電により正負の
電荷を付与される櫛歯状に配設した一組の電極
８，１０と、この一組の電極８，１０により誘電
され静電吸引力により被吸着物１２を吸着保持す
る吸着層１４とを、順次に積層して設けている。
これにより、静電吸着板２は、基盤４上の絶縁性
の接着剤層６に正負一組の電極８，１０及び吸着
層１４を接着して設けている。

この静電吸着板２は、一組の電極８，１０に直
流電源を供給して夫々正負の電荷を付与する。こ
の一組の電極８，１０により吸着層１４は誘電さ
れるので、被吸着物１２を接触させると、被吸着
物１２は前記各電極８，１０と対向する部位に
夫々静電誘導により各電極８，１０の電荷と異な
る極性の電荷が生じる。これにより、被吸着物１
２に生じた電荷と各電極８，１０の電荷との間に
静電的吸引力が作用し、被吸着物１２を吸着層１
４の表面に吸着保持する。

なお、吸着層１４の材料としては、ポリエスト
ル樹脂や塩化ビニル樹脂を、そしてまた、アクリ
ル樹脂等の合成樹脂に導電性添加物を加えてシー
ト状にし、これにより所期の誘電率と抵抗値を発
揮せしめる。

また、前記静電吸着板２は、吸着層１４端部か
ら吸着層突出端１６を突出させて設け、正負電極
８，１０端部から電極突出端１８を突出させて設
ける。この吸着層突出端１６に電極突出端１８を
取着させてフレキシブルの差込み端子２０を形成
して設ける。このとき、電極突出端１８は、吸着
層突出端１６の裏面に露出させて電気的な結合が
可能なように構成する。この差込み端子２０を受
納し、電気的結合を果すべく、第５図の如くコネ
クタ２２を電線２４により電源２６に接続して設
けている。

このようなフレキシブルの差込み端子２０を有
する静電吸着板２において、第１，２図に示す如
く、差込み端子２０の吸着層突出端１６及び電極
突出端１８を含み差込み端子２０の設けられる部
位の吸着層１４及び正負一組の電極８，１０と接
着剤層６との間に、この接着剤層６との密着力よ
りも吸着層１４及び正負一組の電極８，１０との
密着力が大なる絶縁性の切断防止層２８を介設す
る。この切断防止層２８は、体積固有抵抗値が
10¹³〜10¹⁷Ωcm程度の絶縁性を有するウレタン系、
アクリル系、フエノール系等の材料から形成され
る。

このように、フレキシブルの差込み端子２０を
有する静電吸着板２において、差込み端子２０に
接着剤層６から剥脱する方向の力が加えられた場
合に、従来は、差込み端子２０の吸着層突出端１
８に取着された電極突出端１８は接着剤層６から
剥脱する方向に移動される一方、接着剤層６と吸
着層１２との間に接着された正負一組の電極８，
１０は接着剤層６の接着力が大であることから、
吸着層１４が剥脱されるにもかかわらず接着剤層
６に残置される結果、電極突出端１８が正負一組
の電極８，１０から切断される事故を生じ、通電
不良となる不都合があつた。

この発明のフレキシブルの差込み端子２０を有
する静電吸着板２においては、前述のごとく、接
着剤層６との密着力よりも吸着層１４及び正負一
組の電極８，１０との密着力が大なる絶縁性の切
断防止層２８を、差込み端子２０の吸着層突出端
１６及び電極突出端１８を含み差込み端子２０の
設けられる部位の吸着層１４及び正負一組の電極
８，１０と接着剤層６との間に介設して設けたこ
とにより、接着剤層６と吸着層１４との間に接着
された正負一組の電極８，１０は接着剤層６に残
置されることなく、吸着層１４とともに接着剤層
６から剥脱される。

このため、差込み端子２０の電極突出端１８
が、接着剤層６と吸着層１４との間に接着された
正負一組の電極８，１０から切断される事故を防
止することができ、通電不良を回避することがで
きるものであり、実用上大なる効果を奏し得るも
のである。

〔発明の効果〕

このようにこの発明によれば、接着剤層との密
着力よりも吸着剤及び正負電極との密着力が大な
る絶縁性の切断防止層を、吸着層突出端及び電極
突出端を含み前記差込み端子の設けられる部位の
吸着層及び正負電極と前記接着剤層との間に介設
したことにより、差込み端子に接着剤層から剥脱
する方向の力が加えられた場合に、接着剤層と吸
着層との間に接着された正負電極は接着剤層に留
置されることなく、吸着層とともに接着剤層から
剥脱される。

このため、差込み端子の吸着層突出端に取着さ
れた電極突出端が接着剤層と吸着層との間に接着
された正負電極から切断される事故を防止し得
て、通電不良を回避することができる。

【図面の簡単な説明】

第１〜３図はこの発明の実施例を示し、第１図
は差込み端子の拡大平面図、第２図は第１図の
−線断面図、第３図は静電吸着板の平面図であ
る。第４〜６図は、夫々従来の差込み端子の拡大
断面図である。 図において、２は静電吸着板、４は基盤、６は
絶縁性の接着剤層、８，１０は電極、１２は被吸
着物、１４は吸着層、１６は吸着層突出端、１８
は電極突出端、２０は差込み端子、２２はコネク
タ、２４は電線、２６は電源、２８は切断防止用
接着剤層である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 絶縁性の接着剤層に正負電極及び吸着層を接
   着して設けるとともに前記吸着層端部から突出さ
   せた吸着層突出端に前記正負電極端部から突出さ
   せた電極突出端を取着させて設けたフレキシブル
   差込み端子を有する静電吸着板において、前記吸
   着層突出端及び電極突出端を含み前記差込み端子
   の設けられる部位の吸着層及び正負電極と前記接
   着剤層との間にこの接着剤層との密着力よりも前
   記吸着層及び正負電極との密着力が大なる絶縁性
   の切断防止層を介設したことを特徴とするフレキ
   シブル差込み端子を有する静電吸着板の電極切断
   防止装置。