JPH02216406A - 立体形状測定装置及び測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、立体物の形状を測定する装置及び方法に関す
るものであ、て、簡単な機構の装置により、容易に立体
形状を測定して、迅速に等高線図や輪郭線図を得ること
のできる手段を提供するものである。

〔従来の技術と解決課題〕

種々の要請から、特定の立体物の形状を測定して、その
結果を等高線図や輪郭線図等として表現することが必要
な場合がある。

従来、立体物の等高線図を描くには、所定間隔だけ離れ
た数個所から対象立体物を撮像し、得られた複数の画像
を立体図化器で処理して等高線図を作成するということ
が行われている。

ところが、従来の立体図化器は、構造が複雑で高価な装
置であるのみならず、取り扱いが難しくてその操作には
熟練を要し、作業時間も長くかかるという欠点がある。

そのため、簡単な機構で、誰にでも容易に立体形状の測
定を行える手段の提供が望まれていた。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記課題に鑑みて創案されたものであって、
簡単且つ安価な装置で、迅速容易に立体の形状を測定で
きる手段を提供せんとするものである。

本発明の実施態様は、四つに大別される。

第一の実施態様の要旨とするところは、被測定物の保持
装置と、光平面の照射装置と、撮像装置と、被測定物に
対する光平面の照射位置の変更手段とからなる測定装置
を用い、所定位置に保持した被測定物の全周に、単一平
面をなす光平面を照射し、光軸が前記光平面に垂直で且
つ前記光平面から所定距離を置いて設置した撮像装置で
被測定物を撮像した後、被測定物を前記光平面に対して
垂直な方向へ所要距離ずつ段階的に移動させながら、前
記撮像装置で順次被測定物の撮像を行うことである。又
は被測定物の位置を固定し、前記光平面と前記撮像装置
とを、両者の間隔を所定距離に保らつつ、当該光平面に
対して垂直な方向へ所要距離ずつ段階的に移動させなが
ら、前記撮像装置で順次被測定物の撮像を行うことであ
る。

第二の実施！３様の要旨とするところは、被測定物の保
持装置と、複数の光平面を照射する多層光平面照射装置
と、撮像装置とを用い、被測定物を所定位置に保持し、
所要間隔を置いて互いに平行に形成された複数の光平面
からなる多層光平面を被測定物の全周に照射し、光軸が
前記多層光平面に垂直で且つ前記多層光平面から所定距
離を置いて設置した撮像装置で被測定物を撮像すること
である。

また、第三の実Ｆｆ！Ｓ様の要旨とするところは、被測
定物を保持すると共に所要角度ずつ回転させることが可
能な回転保持装置と、光平面の照射装置と、１最像装置
とからなる測定装置を用い、所定位置に保持した被測定
物の全周に光平面を照射し、光軸が前記光平面に垂直で
且つ前記光平面から所定距離を置いて設置した撮像装置
で被測定物を撮像した後、被測定物を前記光平面と平行
な軸を中心にして所要角度ずつ段階的に回転させながら
前記撮像装置で順次被測定物の撮像を行うことである。

そして、第四の実施態様の要旨とするところは、撮像装
置を、光軸を光平面又は多層光平面に対して垂直に保ち
つつ、光平面又は光多層平面から所定距離にあって平行
な仮想平面上を移動させて、被測定物の撮像を行うこと
である。

〔作用〕

本発明の営む作用を、実施例を示す図面を参照して説明
する。

第１図乃至第３図に示すように、被測定ｌ＃ｆｆ１ｏの
全周に光平面Ｐを照射すると、被測定物１００表面にお
いて光平面Ｐが交差する個所で光の散乱が生ずる。この
交差部Ｓを、光軸りが光平面Ｐに垂直な撮像装置７で撮
像すると、光平面Ｐの照射位置における被測定物ＩＯの
切断面の輪郭線の画像が得られる０次いで、光平面Ｐと
撮像装置７との間隔を所定距離に保ちつつ、光平面Ｐの
照射位置を該光平面Ｐに垂直な方向へ所要距離だけ移動
させる（第３図参照）。この状態で再び撮像を行うと、
被測定物１０の異なる切断面における輪郭線図が得られ
る。引き続き光平面照射位置を所要距離ずつ段階的に移
動させて順次撮像を行う、こうして得られた複数の画像
を合成すれば、被測定物ｌＯを前記光平面Ｐに垂直な方
向から平面視した場合の等高線図を容易に作成すること
ができる。なお、得られる複数の画像を、一個のｔｉｅ
面に多重露光させて等高線図を１＃ることも可能である
。

また単一な光平面に代え、第１１図及び第１２図に示す
如く、所要間隔を置いて互いに平行に形成した多層光平
面Ｑを被測定物１０に照射し、これを撮像して等高線図
を得ることもできる。この場合、被測定物１０と撮像装
置７との距離が充分に育り且つ操像装＠７の焦点深度が
深ければ、多層光平面Ｑを照射した状態で被測定物１０
を撮像した画像が、そのまま等高線図となる。また、撮
像装置７の焦点深度が浅い場合には、多層光平面Ｑの各
光平面層Ｑｌ−Ｑ６のすべてにピントを合わせるのが難
しいので、各光平面層旧〜Ｑ６を順番に被測定物１０に
照射して順次撮像を行い、得られた複数の画像を合成し
て等高線図を作成する。なおこのとき、被測定物ｌＯと
撮像装置７との距離が短ければ、各光平面層旧〜ａ６そ
れぞれと撮像装置７との距離の違いに応じた距離補正を
各画像に施す、あるいは、撮像装置７を多層光平面Ｑに
垂直な方向へ移動可能であるならば、各光平面層Ｑ１〜
０６と撮像装置７との間隔を所定距離に保つようにして
撮像を行うことにより、上記の距離補正を不要とするこ
とができる。

さらに第１３図に示す如く、所定位置に保持した被測定
物１０に光平面Ｒを照射し、被測定物ＩＯを光平面Ｒと
平行な軸を中心にして所要角度ずつ段階的に回転させな
がら順次ＩＩＡ＠を行った場合には、被測定物ｌＯを様
々な角度から見たときの輪郭線に相当する画像が得られ
る。すなわち、立体形状に関する球座標方式又は極座標
方式の情報を得ることになる。この場合にも、多重露光
により、複数の画像を一個の撮像面に納めることができ
る。

なお、第１４図に例示するように、被測定物１０の表面
にくびれ２０等が有るため、光軸りが被測定物１０を通
るような位置からは光平面Ｐと被測定物１０との交差部
Ｓを撮像できないことがある。このような場合には、撮
像装置７を、光軸りを光平面Ｐに対して垂直に保ちつつ
、前記光平面Ｐから所定距離にある平行な仮想平面Ｍ上
を移動させることにより撮像が可能である。その原理を
簡単に説明すると、被測定物１０にくびれ２０が有る場
合、描像装置７を平面Ｍ上で適当な距離だけ移動させる
ことにより、前記交差部Ｓを撮像できる位置を見いだす
ことができる。このとき、光軸りは光平面Ｐに垂直であ
り、且つ撮像装置７と光平面Ｐとは常に所定距離に保た
れている。それ故、擺像装Ｗ７をいずれの位置へ平行移
動させたとしても、得られる画像Ｇ１ｇは、交差部Ｓの
形状と相イ以な形状となり、しかも両者の相似比は一定
である。言い換えるならば、撮像装置７が平面Ｍ上のど
の位置に有っても、元の画像Ｇと移動後の画像ｇとは合
同である。但し、撮像装置７を平行移動させた場合には
、前記交差部Ｓの一部をｆｌ像した画像しか得られない
、そこで、撮像装置７を光平面Ｐに垂直な適当軸線を中
心に周回移動させ、所要角度ごとに撮像を行う、或いは
、被測定物１０を所要角度ずつ回転させて＃ｉ像を行っ
てもよい。こうして得られた複数の画像を合成すること
により、くびれ２０を有するような被測定物ＩＯでも正
確な等高線図を作成することができる。

〔実施例〕

以下に本発明の詳細を、実施例を示す図面に基づいて説
明する。

（第一実施例） 第１図〜第３図に示す如く、本発明に係る立体形状測定
装置（以下、単に測定装置と言う）は、元手面照射装置
、、被測定物ＩＯを保持する保持装置５及び撮像装置７
から構成されている。

光重面照射装置１は、光源２．光源２から投射される光
線を平面状に拡散させる拡散器３．光平面Ｐを反射させ
て被測定物ＩＯの全周に照射させるように配置した反射
鏡６よりなり、必要に応じ、拡散器３と被測定物１０と
の間へ、拡散された光線から単一光平面Ｐを取り出すス
リット４を設ける。

光′ｆＥ２には指向性の良いレーザーを用いるのが望ま
しいが、限定的なものではない。

光線の拡散器３とは、例えば光源１がレーザーの場合に
は、図示の如き柱状レンズや柱状の平凸レンズ或いはポ
リゴンミラーを用いればよい、レーザー光を上記レンズ
を通過させたり、ミラーに反射させたりすることにより
、容易に光平面Ｐを発生させることができる。なお、こ
の場合、光平面Ｐも指向性が高いから、前記スリット４
は必ずしも必要ではない。また、光源ｌとして電球等の
通常光源を使用する場合には、凹面鏡やレンズ等を用い
て集光したのち、図示したスリット４を通過させて光平
面を得ることができる。このように、拡散器３の種類は
、用いられる光源１の種類によって適宜のものがｉ！訳
される。さらに図面では、一個の光源２と複数の反射鏡
６とで、被測定物１０の全周に光平面Ｐが照射されるよ
うに構成したが、複数の光源２を使用することも勿論可
能である。

反射鏡６には平面鏡のほか、第４図に示す凸面鏡６　（
６０）、第５図の凹面５Ｊ１６　（６１）のいずれでも
用いることができる。さらには第６図（ａｌ及び（ｂ）
に示す如き、平面鏡６３の表面に柱状の平凸レンズ６４
を取着したような反射ｉ　６　（６２）も使用可能であ
る。

この反射＆＃Ｉ８２は、拡散光Ｊを反射する際に、第６
図ｆｂｌに示す如く、平凸レンズ６４部分がさらに広角
度に光をｆＪ２；Ｍさせる作用を有している。

反射鏡６の配置は、第７ｒｙＪ〜第１０図に例示するよ
うに、被測定物１０の全周を隙間無く取り囲むように設
置するか、又は全周に適宜の間隔を置いて多数配置する
のが好ましい、なお、全周に適宜間隔を置いて多数の反
射鏡６を配置するときには、第１Ｏ図の如く、各反射鏡
６に角度調節機構７０を取りつけ、それぞれの面角度を
、被測定物１０の形状等に応じて変更できるようにする
とよい。

このように、光源２の数、反射鏡６の数及び配置等は、
決して限定されるものではない。勿論、使用する光の波
長や強度等も、測定条件に応じて適宜設定される。いず
れにしても、被測定物ｌＯの全周に光平面Ｐが確実に照
射されるようにすることが肝要である。

前記保持装置５は、被測定物１０を保持すると共に、被
測定物１０を光平面照射装置１により形成される元手面
Ｐに対して垂直な方向へ所要距離ずつ段階的に移動させ
ることができるようになされている。移動距離は一定で
あっても、変更可能であってもよい。

前記撮像装置７は、その光軸りが元手面Ｐに対して垂直
であって、且つ元手面Ｐ上の像に焦点が合う距離に設置
されている。この撮像装置７の例としては、光学レンズ
とフィルムとを備えた通常のカメラの他、ＣＣＤ素子を
用いたＣＣＤカメラとフロッピィディスクや磁気テープ
等の記録媒体との組合せ等を採用することができる。

次に、上述の測定装置により、被測定物１０の等高線図
を作成する手順を説明する。

はじめに、保持装置５により被測定物１０を保持せしめ
、元手面Ｐが被測定物１０の測定基準位置を通るように
設定する。次いで、光平面照射装置１から元手面Ｐを被
測定物１０に向けて照射する。被測定物１０における光
源２側は直接光で照射されるが、反対側及び側方は、反
射鏡６で反射された二次光で照射され、結果的に被測定
物ｌＯの全周が元手面Ｐにより照射される。この状態で
、描像装置７により、元手面Ｐと被測定物ｌＯとの交差
部Ｓを撮像する。前記交差部Ｓでは、被測定物ＩＯの表
面に沿って光が散乱しており、これが第２図に示す如く
、元手面Ｐの位置における被測定物１０の断面の輪郭線
として撮像される。続いて保持装置５を操作し、第３図
に示すように、被測定物１０を元手面Ｐに対して垂直な
方向へ所要距離だけ移動させる。移ωＪ距離は、作成し
ようとする等高線図の間隔に応じて適宜設定される。被
測定物ＩＯの移動が終わったならば、上述と同様にして
撮像を行う。

このようにして、被測定物１０を所要距離ずつ移動させ
ては順次撮像を行うことにより、被測定物ＩＯを所要間
隔ごとに断面した図形の輪郭線の画像がｉ写られる。そ
して、得られた複数の画像を重ね合わせれば、目的とす
る被測定物１０の等高線図を作成することができる。ま
た、複数の画像を一枚のフィルムに多重露光して、等高
線図を作成することも可能である。

なお、被測定物１０を移動させる代わりに、光平面照射
装置ｌと描像装置７とを、両者の相互位置関係は変更し
ないようにして、元手面Ｐに対して垂直な方向へ所要距
離ずつ段階的に移動させることにより、元手面Ｐの照射
位置を変更するようにしても全く差し支えない。

（第二実施例） 前記第一実施例は、単一な元手面Ｐを被測定物１０に照
射するというものであったが、これに代えて、複数の元
手面を用いることも可能である。

第１１図及び第１２図は、所要間隔を置いて互いに平行
な複数の元手面からなる多層光平面Ｑを用いて等高線図
を作成する実施例を示すものである。

当該実施例において、多層光平面Ｑを形成する多層光平
面照射装置１１は、光源１２と、該光Ｒ１２から投射さ
れる光線を所要間隔をおいて平行な複数の光線に分割す
る光線分割器１８と、複数の光線それぞれを平面状に拡
散する拡散器１３と、反射鏡１６とからなっている。こ
の場合、所望により、各光平面層Ｑｌ−０６相互の間隔
を調節できるようにしてもよい。また、この実施例では
、拡散器１３として柱状の平凸レンズを使用しである。

さらに、光平面層を選択的に被測定物１０へ照射できる
ようにすると至便である。

次に、上記多層光平面照射装置１１を用いた等高線図の
作成要領を説明する。

撮像装面７の焦点深度が充分に深く、且つ多層元手面Ｑ
から描像装置７までの距離が充分にある場合には、所定
位置に保持した被測定物１０に多層光平面Ｑを照射し、
各光平面層Ｑ１〜０６と被測定物１０との各交差部Ｔ１
〜Ｔ６を、多層光平面Ｑに対して光軸りを垂直に保持し
た墨像装置７で撮像すればよい。この場合、−度の撮像
で、目的とする等高線図を得ることができる。

それ以外の場合、例えば撮像装置７の焦点深度が浅いと
きには、全光平面層Ｏ１〜０６に同時にピントを合わせ
るのが難しい。そこで光平面層０１〜口６・を順番に被
測定物１０へ照射し、形成される各交差部ＴＩ−Ｔ６に
その都度ピントを合わせて撮像を行う。

そして、得られた複数の画像を合成するか又は−枚のフ
ィルムに多重露光することにより、等高線図を得ること
ができる。

さらに、多層光平面Ｑと撮像装置７との距離が短い場合
には、撮像装置７に近い光垂直１３ｉ　Ｑ　１と則れた
光平面層Ω６とで、得られる画像の縮倍率が大きく異な
る。そこで、通常は、等高線図を作成するにあたり、得
られた各画像に距離補正を施すことが必要である。しか
し、撮像装置７を、多層光平面Ｑに対して垂直方向に移
動させることができるときには、各光平面層（１１−０
６からの距離が一定となるように撮像装置７を移動させ
て順次撮像を行えばよい。このようにすれば、得られる
画像の縮倍率が常に一定となるから、上記の距離補正は
不要となる。

（第三実施例） 本発明に係る測定装置は、等高線図を作成するためばか
りでなく、極座標方式又は球座標方式の輪！１−線図を
得る場合にも通用される。これを、第１３図を用いて説
明する。

同図に示す測定装置において、前述の実施例と大きく異
なるところは、被測定物１０を光垂直Ｒと平行な軸の回
りに所要角度ずつ回転させるように構成されていること
である６図示した測定装置の基本的構成は前記実施例と
同様である。但し、被測定物１０を保持すると共に所要
角度ずつ回転させる回転保持装置２５が用いられ、光平
面照射装置１は被測定物１０の鉛直上方に配置され、こ
れによって形成される光垂直Ｒに対して光軸りが垂直と
なるように撮像装置７が設置されている。そして、回転
１ｙ持装置２５の回転軸は、光垂直Ｒと平行になされて
いる。

このように構成された測定装置により、被測定物ｌＯに
光垂直Ｒを照射し、被測定物１０を所要角度ずつ段階的
に回転させながら、光垂直Ｒとの交差部Ｕを撮像装置７
で順次撮像する。これにより、回転角度に対応した輪郭
線の画像が得られる。即ち、被測定物１０の立体形状に
関する極座標方式で表された情報を得ることができる。

（第四実施例） 第１４図に例示する如く、被測定物１０の表面にくびれ
２０が有るために、撮像装置７の光軸りが被測定物ｌＯ
のほぼ中心を通るような位置からは、光垂直Ｐと被測定
物１０との交差部Ｓを撮像することができないことがあ
る。そのような場合には、次のようにして等高線図等を
作成する。

まず撮像装置７を、光軸りを光垂直Ｐに対して垂直に保
ちつつ、光垂直Ｐから一定の距離にある平行な仮想乎面
Ｍ上を適当距離だけ移動させ、前記交差部Ｓを撮像でき
る位置を見いだす。このとき得られる画像ｇは、元の位
置における画像Ｇと合同である。その理由を以下に説明
する０図面において、交差部Ｓを線分ＡＢ、画＠Ｇを線
分８Ｆ画像ｇを線分ｅ〔で表し、ＡＦとＢＥとが平面Ｍ
上で交わる点をり、ＡｆとＢｅとが平面Ｍ上で交わる点
をｄとする。但し、画１ｊＪＧ、ｇはいずれも、光垂直
Ｐに対して平行な仮想平面Ｎ上にある。図面から容易に
わかるように、△ＤＡＢとへＤＦＥとは相似であり、△
ｄＡＢと△ｄｆｅもまた相似である。ところで、それぞ
れの相似比は、いずれも各三角形の高さの比、つまり光
垂直Ｐと平面Ｍとの距離Ｉ（に対する平面Ｍと平面Ｎと
の距１ｈの比であるから、互いに等しい。故に、線分Ａ
Ｂに共１ＪＩｌシて対応する線分ＦＢと線分「ｅの長さ
は等しくなる。従って、撮像装置７が平面Ｍ上を平行移
動する限りは、ｉｌられる画像はすべて合同である。

（ＩＩＬ、撮像装置７を平行移動させたときの画像ｇの
結像位置は、もとの画＠！Ｇの位置とは異なる。

そこで、撮像装Ｗ７に蛇腹機構８を設け、光学レンズ７
ａとフィルム、　ＣＣＯ素子等のｌ！像面７ｂとを相対
移動できるように構成する。こうずれば、撮像面７ｂに
おける結像位置を一定に保つことができる。

また実際に撮像し得る画像は、交差部Ｓのうちの一部で
ある。そこで、撮像装置７を、平面Ｍ上において光垂直
Ｐに垂直な軸の回りを適当角度ずつ周回させなから描像
を行い、得られた複数枚の画像を合成すれば目的の等高
線図を得ることができる。

なお１１６像装置７を周回させるのに代え、描像装置７
を平面Ｍ上で適当距離だけ平行移動させたのち、被測定
物ｌＯを光平面Ｐに垂直な軸の回りに適当角度ずつ回転
さセながら撮像することにより、等高線図を作成しても
よい。

本発明の実施例は、以上のものに限定されるものではな
く、実施のｆ！様に応じて適宜変更することが可能であ
る。

（発明の効果） 本発明に係る立体形状測定装置は、構成が簡単であるか
ら、安価に提供することができる。そして、その操作が
非常に容易であるから、本発明に係る立体形状測定方法
を用いれば、等高線図や極座標方式の輪郭線図等を、熟
練を要することなく迅速に作成することができる。

要するに、本発明は、立体物の形状測定を容易且つ確実
に行える実用性に冨んだ手段を提供するものである。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本発明に係るものであって、第１図乃至
第３図は第−実施例を示す斜視図、平面図、　１ｌｌ１
面図、第４図及び第５図は反射鏡の実施例を示す斜視図
、第６図ｆａｔ及び（ｂ）は反射鏡のその他の実施例を
示す斜視図及び平面図、第７図乃至第１θ図は反射鏡の
配置例を示す平面図である。第１１図及び第１２図は第
二実施例を示す斜視図及び側面図、第１３図は第三実施
例を示す斜視図、第１４図は第四実施例を示す側面図で
ある。 Ｐ・光平面　Ｑ−多層光平面　Ｑｌ−０２−・−光平面
層Ｒ−・光平面　Ｓ−交差部　Ｔ　（Ｔｌ〜Ｔ６）・−
交差部Ｕ−交差部　Ｌ−光軸 ｌ−先手面照射装置　２−光源　３・−拡散器４−スリ
ット　５−保持装置　６−反射鏡７−・撮像装置　ｌ〇
−被測定物 １１−一多層光平面照射装置　１２−・光ｍ　　１３−
・拡散器１４・−スリット　１６−反射ｉ１　１Ｂ−光
線分割器２５一回転保持装置 特許出願人　鐘淵化学工業株式会社 出願代理人　　弁理士　内　田敏彦 ・−一 区 一一−ノ 第 図（ｂ） 第１０図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物を保持する保持装置と、被測定物の全周に
   光平面を照射する光平面照射装置と、光軸が前記光平面
   照射装置の形成する光平面に垂直で且つ該光平面から所
   定距離を置いて設置された撮像装置と、被測定物に対す
   る前記光平面の照射位置を前記光平面に対して垂直な方
   向に所要距離ずつ変更する照射位置変更手段とからなる
   ことを特徴とする立体形状測定装置。 ２、被測定物を保持する保持装置と、被測定物の全周に
   所要間隔を置いて互いに平行に形成された複数の光平面
   を照射する多層光平面照射装置と、光軸が多層光平面照
   射装置により形成される多層光平面に垂直で且つ該多層
   光平面から所定距離を置いて設置された撮像装置とから
   なることを特徴とする立体形状測定装置。 ３、被測定物を保持すると共に所要角度ずつ回転させる
   ことが可能な回転保持装置と、被測定物の回転軸に平行
   な光平面を被測定物の全周に照射する光平面照射装置と
   、光軸が前記光平面照射装置により形成される光平面に
   垂直で且つ該光平面から所定距離を置いて設置される撮
   像装置とからなることを特徴とする立体形状測定装置。 ４、、記光平面照射装置は、一個の光源と、該光源から
   投射される光線を平面状に拡散する拡散器と、反射鏡と
   からなる請求項第１項又は第３項に記載の立体形状測定
   装置。 ５、前記多層光平面照射装置は、一個の光源と、該光源
   から投射される光線を複数の平行光線に分割する光線分
   割器と、前記複数光線それぞれを平面状に拡散する拡散
   器と、反射鏡とからなる請求項第２項に記載の立体形状
   測定装置。 ６、、前記撮像装置は、光平面照射装置により形成され
   る光平面又は多層光平面照射装置により形成される多層
   光平面に対して光軸を垂直に保ちつつ、前記光平面又は
   多層光平面と所定距離にあって平行な仮想平面上を移動
   可能になされている請求項第１項乃至第５項のいずれか
   一項に記載の立体形状測定装置。 ７、被測定物を所定位置に保持し、単一平面をなす光平
   面を被測定物の全周に照射し、光軸が前記光平面に垂直
   で且つ前記光平面から所定距離を置いて設置された撮像
   装置で被測定物を撮像した後、被測定物を前記光平面に
   対して垂直な方向へ所要距離ずつ段階的に移動させなが
   ら前記撮像装置で順次被測定物の撮像を行うことを特徴
   とする立体形状測定方法。 ８、被測定物の位置を固定し、前記光平面と前記撮像装
   置とを、両者の間隔を所定距離に保ちつつ、前記光平面
   に対して垂直な方向へ所要距離ずつ段階的に移動させな
   がら前記撮像装置で順次被測定物の撮像を行う請求項第
   ７項に記載の立体形状測定方法。 ９、被測定物を所定位置に保持し、所要間隔を置いて互
   いに平行に形成された多層光平面を被測定物の全周に照
   射し、光軸が前記多層光平面に垂直で且つ前記多層光平
   面から所定距離を置いて設置した撮像装置で被測定物を
   撮像することを特徴とする立体形状測定方法。 １０、被測定物を所定位置に保持し、光平面を被測定物
   の全周に照射し、光軸が前記光平面に垂直で且つ前記光
   平面から所定距離を置いて設置された撮像装置で被測定
   物を撮像した後、被測定物を前記光平面と平行な軸を中
   心にして所要角度ずつ段階的に回転させながら前記撮像
   装置で順次被測定物の撮像を行うことを特徴とする立体
   形状測定方法。 １１、得られる複数の画像を一個の撮像面に多重露光す
   る請求項第７項、第８項又は第１０項のいずれか一項に
   記載の立体形状測定方法。 １２、前記撮像装置を、光軸を前記光平面又は多層光平
   面に対して垂直に保ちつつ、前記光平面又は多層光平面
   から所定距離にあって平行な仮想平面上を移動させて、
   被測定物の撮像を行う請求項第７項乃至第１１項のいず
   れか一項に記載の立体形状測定方法。