JPH02217263A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
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- JPH02217263A JPH02217263A JP3824989A JP3824989A JPH02217263A JP H02217263 A JPH02217263 A JP H02217263A JP 3824989 A JP3824989 A JP 3824989A JP 3824989 A JP3824989 A JP 3824989A JP H02217263 A JPH02217263 A JP H02217263A
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、感熱印字装置及び感熱転写印字装置に用いる
サーマルヘッドの製造方法に関し、更に詳しくは熱応答
性の優れたサーマルヘッドの保温層の製造方法に関する
ものである。 ［従来の技術］ ノンインパクト方式の代表である感熱印字装置及び感熱
転写印字装置は、印字中の印字音が小さい等の利点を有
することから一般に利用されている。 近年、サーマルヘッドの特性向上、特に低消費電力化と
高速印字化を目指したサーマルヘッドの開発が盛んであ
る。 サーマルヘッドの熱特性は、基板の熱特性によりほぼ支
配されることから、基板の熱特性の改善が望まれている
。 一般にサーマルヘッドにおける保温層は、給電体を介し
て、発熱抵抗体の発熱部に電力が印加されたとき、基板
側へ逃げる熱量を少なくすることで、印字に必要な熱量
を効率的に確保せしめるために設けられている。 従って、保温層の熱伝導率は、発熱抵抗体をはさんで反
対側に位置する保護層の熱伝導率より小さくなるように
すると効果が大きい。 保護層材料としては、二酸化珪素（ＳｉＯ□）や五酸化
タンタル（Ｔａ２０５）などが一般に用いられているが
、それらの熱伝導率は、概ね３〜９ ｘ ｌＮ５ｃａｌ
／ｃｍ、ｓｅｃ、 ’Ｃ程度である。 従来のサーマルヘッドに用いられている保温層の熱伝導
率も、概ね３〜９ Ｘ １Ｏ−３ｃａｌ／ｃｍ、ｓｅｃ
、 ”Ｃ程度であり、印字の際の熱量として必要かつ十
分たらしめるためには、保温層の厚さをある程度以上厚
くしなければならない。逆に保温層の厚さが必要以上に
厚くなると、冷却時の熱抵抗となり、サーマルヘッドが
完全に冷却しきれないうちに次の印字が開始してしまい
、印字を繰り返すたびに徐々に温度が上昇し、そのため
に印字品質が低下する。従って、熱伝導率の低い保温層
が望まれている。 近年この様な要望に応えるために、サーマルヘッドの保
温層を多数の孔を有するガラスより構成したものが知ら
れている。 即ち、特開昭６２−１５５４号公報には、発熱部の下部
に、ガラス粉よりなるガラスペーストを印刷、焼成する
ことによって多数の気泡を有する畜熱体を形成せしめて
なるサーマルヘッドの製造方法において、前記ガラス粉
には中空ガラス粉が含有されていることを特徴とするサ
ーマルヘッドの製造方法。 が開示されている。 このサーマルヘッドは、保温層内部に、多数の孔が存在
しているため、孔を有さないものに比べて熱伝導率は小
さくなっており、また成る温度における蓄熱量も少なく
なっている。従って良好な熱応答性を有することが期待
出来る。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このようなサーマルヘッドの保温層を実
際に得るに際しては、種々の問題点がある。 即ち、−数的に多数の孔を有するガラス層を得る場合に
は、ガラス粉のペースト状物を一定条件のもとて焼成し
、ガラス粉内部よりの気泡発生を利用して得ることが考
えられるが、これをサーマルヘッドの保温層に利用する
となると、その焼成時の制御に際して、例えば焼成温度
を±２〜３℃の範囲内に維持せねばならない等、焼成条
件の制御が技術的に高度且つ困難になるという問題を生
ずる。 また適当な焼成条件が設定出来ないと、ガラス粉内部よ
り発生した気泡の孔径が大きくばらつくために、サーマ
ルヘッドとしての熱応答性にばらつきを生じ、また異状
に大きな孔径の気泡が発生して保温層の機械的強度を弱
め、さらには気泡が保温層内部のみにとどまらずその表
面にまで露出し、表面が凹凸状を呈することによって、
発熱抵抗体や給電体の微細パターンの形成（フォトリソ
技術を用いる）を困難にしたり、印字品質に悪影響を及
ぼすなどの問題を生ずる。 本発明は、以上述べた問題点を除去し、熱応答性の優れ
たサーマルヘッドの保温層の製造方法を提供することを
目的とするものである。 ［課題を解決するための手段］ 本発明は、サーマルヘッドの保温層の製造方法において
、 基板表面に媒液を含む酸化物超微粉末のペースト状物を
塗布し、次いで一定条件のもとて焼成し、多孔質の酸化
物膜を得るようにしたものである。 より具体的には、前記ペースト状物を形成する酸化物の
超微粉末がγ−アルミナ、アルミナ、シリカ、チタンホ
ワイト及びジルコニアから選ばれた１種であり、また媒
液がα−オレフィン・オリゴマ、流動パラフィン、ブタ
ノール、シリコン油、グリセリン、エチレングリコール
及びエチルセルロース溶液から選ばれた１種であるサー
マルヘッドの製造方法である。 ［作用］ 本発明のサーマルヘッドの製造方法においては、α−オ
レフィン・オリゴマ、流動パラフィン、ブタノール、シ
リコン油、グリセリン、エチレングリコール及びエチル
セルロース溶液から選ばれた１種を媒液として用い、γ
−アルミナ、アルミナ、シリカ、チタンホワイト及びジ
ルコニアから選ばれた１種の酸化物超微粉末を用いたの
で、高気孔率でかつ微細気孔の多孔質酸化物膜が得られ
、熱伝導率も低くかつ均質な保温層が得られる。 媒液の量は後述する実施例に示す如く、酸化物超微粉末
１ｇに対し２ｇ未満では、上記のような作用効果が得ら
れない。 また本発明のペースト状の酸化物の気孔径が微細である
ため、機械的強度が比較的強く、表面が比較的平滑であ
り、微細パターンの形成を困難にしたり、印字品質に悪
影響を及ぼす等の危惧は解消出来る。 加えて酸化物であるため焼成条件が比較的広範囲にとれ
るため、製造が容易である。 次に本発明の実施例について述べる。 ［実施例］ 第１図は本発明の実施例を示す模式図である。 図に基づいて説明する。第１図において、１は基板、２
は基板１上に形成された保温層、３は保温層２上に形成
された発熱抵抗体、４ａと４ｂは発熱抵抗体３上に形成
された給電体、５は発熱抵抗体３及び給電体４ａ、４ｂ
上に形成された保護層である。 ［実施例１］ 平均粒径的０．０４ ｕｓのγ−アルミナ超微粉末（住
友セメント観製）１ｇに対し、媒液としてα−オレフィ
ン・オリゴマ（ライオン■製、商品名ＬＩＰＯＬＵＢＥ
６０）を２ｇを加え、良く混合した後、−軸加工式プレ
スを用いて、４００ｋｇ／ｃｊの圧力で１分間加圧して
成形した。 次に電気炉を用いて、大気中で室温から９００℃まで２
００℃／ｈの速度で加熱した。 ９００℃で２時間保持した後室温まで炉冷し、アルミナ
焼結体の試料Ａを得た。 γ−アルミナ超微粉末１ｇに対し、５重量％のエチルセ
ルロース溶液（溶媒ニジエチレングリコール七）−〇−
ブチルエーテル）を２ｇを加え、良く混合した後、試料
Ａと同様に成形、焼成したものを試料Ｂとした。 γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平均粒径的０．５μ
園のアルミナ微粉末を用いること以外は、試料Ａと同様
になしたものを試料Ｃとし、試料Ｂと同様になしたもの
を試料りとした。 試料Ａ−Ｄについて、水銀圧入法により気孔率及び気孔
径分布を測定し、レーザフラッシュ法により熱伝導率を
測定した。その結果を第１表に示した。 第 １ 表 第１表から理解されるように、超微粉末と媒液を用いる
ことにより高気孔率でかつ低熱伝導率の焼結体が得られ
、更に気孔径も微細である。 ［実施例２］ γ−アルミナ超微粉末１ｇに対し、２ｇのαオレフィン
・オリゴマを加え、さらに２．５重量％のエチルセルロ
ース溶液を１０ｇ加え、良く混合した後、アルミナ基板
（純度９７％、厚さ １ｍｍ、片面研摩、仲高純度化学
研究所製）１上にスクリーン印刷した。 次に電気炉を用いて、大気中で室温から９００℃まで２
００”Ｃ／ｈの速度で加熱した。 ９００℃で２時間保持した後室温まで炉冷し、厚さｌＯ
−のアルミナ焼結膜をアルミナ基板１上に形成し保温層
２とした。 次に保温層２上に発熱抵抗体３としてＴ ａ ２ Ｎを
スパッタ法で形成し、フォトリソによりバタン化した。 次に給電体４ａ、４ｂとしてＮｉＣｒ−Ａｕを蒸着法及
びメツキ法にて形成し、フォトリソによりパターン化し
た。 更に保護層５としてＳ ｉｏ ２をスパッタ法により形
成し、サーマルヘッドを得た。 ［実施例３］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０．０２１
Ｊｍのシリカ超微粉末（Ｓ ｔ ０２ ）とした以外は
、実施例２と同様になしたものを実施例３とした。 ［実施例４］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０．０２ｔ
ａ＊のチタンホワイト超微粉末（Ｔ ｉＯ２）とした以
外は、実施例２と同様になしたものを実施例４とした。 ［実施例５］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０、Ｏｌ−
のジルコニア超微粉末（Ｚ ｒ Ｏ２）とし、焼成温度
を１３００℃とした以外は、実施例２と同様になしたも
のを実施例５とした。 以上の実施例２〜５で得られたサーマルヘッドについて
、パルス、幅０．３ｍｓ ｓパルス周期０．６ｍｓで印
字試験を行ったところ、０．２ｖａｔｔ／ｄｏｔで、保
温層２として従来のグレーズガラスを使用したサーマル
ヘッドに比して、約２倍の印字濃度が得られた。 尚、α−オレフィンφオリゴマ以外の媒液としては、流
動パラフィン、ブタノール、シリコン油、グリセリン、
エチレングリコールなどが使用可能である。
サーマルヘッドの製造方法に関し、更に詳しくは熱応答
性の優れたサーマルヘッドの保温層の製造方法に関する
ものである。 ［従来の技術］ ノンインパクト方式の代表である感熱印字装置及び感熱
転写印字装置は、印字中の印字音が小さい等の利点を有
することから一般に利用されている。 近年、サーマルヘッドの特性向上、特に低消費電力化と
高速印字化を目指したサーマルヘッドの開発が盛んであ
る。 サーマルヘッドの熱特性は、基板の熱特性によりほぼ支
配されることから、基板の熱特性の改善が望まれている
。 一般にサーマルヘッドにおける保温層は、給電体を介し
て、発熱抵抗体の発熱部に電力が印加されたとき、基板
側へ逃げる熱量を少なくすることで、印字に必要な熱量
を効率的に確保せしめるために設けられている。 従って、保温層の熱伝導率は、発熱抵抗体をはさんで反
対側に位置する保護層の熱伝導率より小さくなるように
すると効果が大きい。 保護層材料としては、二酸化珪素（ＳｉＯ□）や五酸化
タンタル（Ｔａ２０５）などが一般に用いられているが
、それらの熱伝導率は、概ね３〜９ ｘ ｌＮ５ｃａｌ
／ｃｍ、ｓｅｃ、 ’Ｃ程度である。 従来のサーマルヘッドに用いられている保温層の熱伝導
率も、概ね３〜９ Ｘ １Ｏ−３ｃａｌ／ｃｍ、ｓｅｃ
、 ”Ｃ程度であり、印字の際の熱量として必要かつ十
分たらしめるためには、保温層の厚さをある程度以上厚
くしなければならない。逆に保温層の厚さが必要以上に
厚くなると、冷却時の熱抵抗となり、サーマルヘッドが
完全に冷却しきれないうちに次の印字が開始してしまい
、印字を繰り返すたびに徐々に温度が上昇し、そのため
に印字品質が低下する。従って、熱伝導率の低い保温層
が望まれている。 近年この様な要望に応えるために、サーマルヘッドの保
温層を多数の孔を有するガラスより構成したものが知ら
れている。 即ち、特開昭６２−１５５４号公報には、発熱部の下部
に、ガラス粉よりなるガラスペーストを印刷、焼成する
ことによって多数の気泡を有する畜熱体を形成せしめて
なるサーマルヘッドの製造方法において、前記ガラス粉
には中空ガラス粉が含有されていることを特徴とするサ
ーマルヘッドの製造方法。 が開示されている。 このサーマルヘッドは、保温層内部に、多数の孔が存在
しているため、孔を有さないものに比べて熱伝導率は小
さくなっており、また成る温度における蓄熱量も少なく
なっている。従って良好な熱応答性を有することが期待
出来る。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このようなサーマルヘッドの保温層を実
際に得るに際しては、種々の問題点がある。 即ち、−数的に多数の孔を有するガラス層を得る場合に
は、ガラス粉のペースト状物を一定条件のもとて焼成し
、ガラス粉内部よりの気泡発生を利用して得ることが考
えられるが、これをサーマルヘッドの保温層に利用する
となると、その焼成時の制御に際して、例えば焼成温度
を±２〜３℃の範囲内に維持せねばならない等、焼成条
件の制御が技術的に高度且つ困難になるという問題を生
ずる。 また適当な焼成条件が設定出来ないと、ガラス粉内部よ
り発生した気泡の孔径が大きくばらつくために、サーマ
ルヘッドとしての熱応答性にばらつきを生じ、また異状
に大きな孔径の気泡が発生して保温層の機械的強度を弱
め、さらには気泡が保温層内部のみにとどまらずその表
面にまで露出し、表面が凹凸状を呈することによって、
発熱抵抗体や給電体の微細パターンの形成（フォトリソ
技術を用いる）を困難にしたり、印字品質に悪影響を及
ぼすなどの問題を生ずる。 本発明は、以上述べた問題点を除去し、熱応答性の優れ
たサーマルヘッドの保温層の製造方法を提供することを
目的とするものである。 ［課題を解決するための手段］ 本発明は、サーマルヘッドの保温層の製造方法において
、 基板表面に媒液を含む酸化物超微粉末のペースト状物を
塗布し、次いで一定条件のもとて焼成し、多孔質の酸化
物膜を得るようにしたものである。 より具体的には、前記ペースト状物を形成する酸化物の
超微粉末がγ−アルミナ、アルミナ、シリカ、チタンホ
ワイト及びジルコニアから選ばれた１種であり、また媒
液がα−オレフィン・オリゴマ、流動パラフィン、ブタ
ノール、シリコン油、グリセリン、エチレングリコール
及びエチルセルロース溶液から選ばれた１種であるサー
マルヘッドの製造方法である。 ［作用］ 本発明のサーマルヘッドの製造方法においては、α−オ
レフィン・オリゴマ、流動パラフィン、ブタノール、シ
リコン油、グリセリン、エチレングリコール及びエチル
セルロース溶液から選ばれた１種を媒液として用い、γ
−アルミナ、アルミナ、シリカ、チタンホワイト及びジ
ルコニアから選ばれた１種の酸化物超微粉末を用いたの
で、高気孔率でかつ微細気孔の多孔質酸化物膜が得られ
、熱伝導率も低くかつ均質な保温層が得られる。 媒液の量は後述する実施例に示す如く、酸化物超微粉末
１ｇに対し２ｇ未満では、上記のような作用効果が得ら
れない。 また本発明のペースト状の酸化物の気孔径が微細である
ため、機械的強度が比較的強く、表面が比較的平滑であ
り、微細パターンの形成を困難にしたり、印字品質に悪
影響を及ぼす等の危惧は解消出来る。 加えて酸化物であるため焼成条件が比較的広範囲にとれ
るため、製造が容易である。 次に本発明の実施例について述べる。 ［実施例］ 第１図は本発明の実施例を示す模式図である。 図に基づいて説明する。第１図において、１は基板、２
は基板１上に形成された保温層、３は保温層２上に形成
された発熱抵抗体、４ａと４ｂは発熱抵抗体３上に形成
された給電体、５は発熱抵抗体３及び給電体４ａ、４ｂ
上に形成された保護層である。 ［実施例１］ 平均粒径的０．０４ ｕｓのγ−アルミナ超微粉末（住
友セメント観製）１ｇに対し、媒液としてα−オレフィ
ン・オリゴマ（ライオン■製、商品名ＬＩＰＯＬＵＢＥ
６０）を２ｇを加え、良く混合した後、−軸加工式プレ
スを用いて、４００ｋｇ／ｃｊの圧力で１分間加圧して
成形した。 次に電気炉を用いて、大気中で室温から９００℃まで２
００℃／ｈの速度で加熱した。 ９００℃で２時間保持した後室温まで炉冷し、アルミナ
焼結体の試料Ａを得た。 γ−アルミナ超微粉末１ｇに対し、５重量％のエチルセ
ルロース溶液（溶媒ニジエチレングリコール七）−〇−
ブチルエーテル）を２ｇを加え、良く混合した後、試料
Ａと同様に成形、焼成したものを試料Ｂとした。 γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平均粒径的０．５μ
園のアルミナ微粉末を用いること以外は、試料Ａと同様
になしたものを試料Ｃとし、試料Ｂと同様になしたもの
を試料りとした。 試料Ａ−Ｄについて、水銀圧入法により気孔率及び気孔
径分布を測定し、レーザフラッシュ法により熱伝導率を
測定した。その結果を第１表に示した。 第 １ 表 第１表から理解されるように、超微粉末と媒液を用いる
ことにより高気孔率でかつ低熱伝導率の焼結体が得られ
、更に気孔径も微細である。 ［実施例２］ γ−アルミナ超微粉末１ｇに対し、２ｇのαオレフィン
・オリゴマを加え、さらに２．５重量％のエチルセルロ
ース溶液を１０ｇ加え、良く混合した後、アルミナ基板
（純度９７％、厚さ １ｍｍ、片面研摩、仲高純度化学
研究所製）１上にスクリーン印刷した。 次に電気炉を用いて、大気中で室温から９００℃まで２
００”Ｃ／ｈの速度で加熱した。 ９００℃で２時間保持した後室温まで炉冷し、厚さｌＯ
−のアルミナ焼結膜をアルミナ基板１上に形成し保温層
２とした。 次に保温層２上に発熱抵抗体３としてＴ ａ ２ Ｎを
スパッタ法で形成し、フォトリソによりバタン化した。 次に給電体４ａ、４ｂとしてＮｉＣｒ−Ａｕを蒸着法及
びメツキ法にて形成し、フォトリソによりパターン化し
た。 更に保護層５としてＳ ｉｏ ２をスパッタ法により形
成し、サーマルヘッドを得た。 ［実施例３］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０．０２１
Ｊｍのシリカ超微粉末（Ｓ ｔ ０２ ）とした以外は
、実施例２と同様になしたものを実施例３とした。 ［実施例４］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０．０２ｔ
ａ＊のチタンホワイト超微粉末（Ｔ ｉＯ２）とした以
外は、実施例２と同様になしたものを実施例４とした。 ［実施例５］ γ−アルミナ超微粉末の代わりに、平粒径約０、Ｏｌ−
のジルコニア超微粉末（Ｚ ｒ Ｏ２）とし、焼成温度
を１３００℃とした以外は、実施例２と同様になしたも
のを実施例５とした。 以上の実施例２〜５で得られたサーマルヘッドについて
、パルス、幅０．３ｍｓ ｓパルス周期０．６ｍｓで印
字試験を行ったところ、０．２ｖａｔｔ／ｄｏｔで、保
温層２として従来のグレーズガラスを使用したサーマル
ヘッドに比して、約２倍の印字濃度が得られた。 尚、α−オレフィンφオリゴマ以外の媒液としては、流
動パラフィン、ブタノール、シリコン油、グリセリン、
エチレングリコールなどが使用可能である。
以上のように本発明のサーマルヘッドの製造方法によれ
ば、 （１）基板表面に媒液を含む酸化物超微粉末のペースト
状物を塗布するようにしたので、高気孔率でかつ微細気
孔の多孔質酸化物膜が得られる。 （２）従って、低熱伝導率の、均質な、良好な表面平滑
性を有する保温層が形成できる。 （３）さらに焼成条件の範囲が広く、製造が技術的に容
易である。 （４）低消費電力サーマルヘッドや高速印字サーマルヘ
ッドに適用可能である、 等の効果を奏するものである。
ば、 （１）基板表面に媒液を含む酸化物超微粉末のペースト
状物を塗布するようにしたので、高気孔率でかつ微細気
孔の多孔質酸化物膜が得られる。 （２）従って、低熱伝導率の、均質な、良好な表面平滑
性を有する保温層が形成できる。 （３）さらに焼成条件の範囲が広く、製造が技術的に容
易である。 （４）低消費電力サーマルヘッドや高速印字サーマルヘ
ッドに適用可能である、 等の効果を奏するものである。
第１図は本発明の実施例を示すサーマルヘッドの要部の
断面模式図である。 図において、１：基板、２：保温層、３：発熱抵抗体、
４ａ、４ｂ：給電体、５：保護層。 リーマルヘッドの要イ甲廖丁狛囚 ｆｓＩ図 １、事件の表示 特願平１−３８２４９号 ２、発明の名称 サーマルヘッドの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２号名
称 （０２９）沖電気工業株式会社代表者 小杉
信光 ４、代理人 住 所 東京都港区芝浦４丁目１０番３号５、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容
断面模式図である。 図において、１：基板、２：保温層、３：発熱抵抗体、
４ａ、４ｂ：給電体、５：保護層。 リーマルヘッドの要イ甲廖丁狛囚 ｆｓＩ図 １、事件の表示 特願平１−３８２４９号 ２、発明の名称 サーマルヘッドの製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目７番１２号名
称 （０２９）沖電気工業株式会社代表者 小杉
信光 ４、代理人 住 所 東京都港区芝浦４丁目１０番３号５、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容
Claims (3)
- （１）基板上に媒液を含む酸化物の超微粉末ペースト状
物を塗布し、次いで焼成する工程を施してなる保温層で
あることを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - （２）前記酸化物の超微粉末がγ−アルミナ、アルミナ
、シリカ、チタンホワイト及びジルコニアから選ばれた
１種である請求項１記載のサーマルヘッドの製造方法。 - （３）前記媒液がα−オレフィン・オリゴマ、流動パラ
フィン、ブタノール、シリコン油、グリセリン、エチレ
ングリコール及びエチルセルロース溶液から選ばれた１
種である請求項１記載のサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3824989A JPH02217263A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3824989A JPH02217263A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02217263A true JPH02217263A (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=12520034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3824989A Pending JPH02217263A (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02217263A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022017827A (ja) * | 2020-07-14 | 2022-01-26 | 八木野 正典 | サーマルヘッド用基板、及びサーマルヘッド用基板の製造方法 |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP3824989A patent/JPH02217263A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022017827A (ja) * | 2020-07-14 | 2022-01-26 | 八木野 正典 | サーマルヘッド用基板、及びサーマルヘッド用基板の製造方法 |
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