JPH02217861A - 有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法 - Google Patents
有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法Info
- Publication number
- JPH02217861A JPH02217861A JP20396489A JP20396489A JPH02217861A JP H02217861 A JPH02217861 A JP H02217861A JP 20396489 A JP20396489 A JP 20396489A JP 20396489 A JP20396489 A JP 20396489A JP H02217861 A JPH02217861 A JP H02217861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drum
- angle
- base material
- organic photoreceptor
- fine grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 claims description 64
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 39
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法
に関するもので、より詳細には、有機感光体層のコーテ
ィング欠陥が確実に検出でき且つ感光体層の密着性にも
優れている有機感光体用基材に関する。
に関するもので、より詳細には、有機感光体層のコーテ
ィング欠陥が確実に検出でき且つ感光体層の密着性にも
優れている有機感光体用基材に関する。
(従来の技術)
電子写真用有機感光体ドラムは、アルミニウムの引き抜
き(EI管)或いは研磨で仕上げられた1表面が鏡面状
態の素管に対して有機感光体の塗布用組成物をコーティ
ングすることにより製造されている。有機感光体のコー
ティングに際しては、空気泡の巻き込みや、ピンホール
或いはクラック、ゴミ等の異物の付着等の欠陥が生じる
場合があり、有機感光体層の前記欠陥を何等かの手段で
検出して検査を行うことが必要となる。従来ドラム表面
の欠陥の検査は、ドラム表面に光を入射させ、その反射
光の変化を検出することにより行われている。
き(EI管)或いは研磨で仕上げられた1表面が鏡面状
態の素管に対して有機感光体の塗布用組成物をコーティ
ングすることにより製造されている。有機感光体のコー
ティングに際しては、空気泡の巻き込みや、ピンホール
或いはクラック、ゴミ等の異物の付着等の欠陥が生じる
場合があり、有機感光体層の前記欠陥を何等かの手段で
検出して検査を行うことが必要となる。従来ドラム表面
の欠陥の検査は、ドラム表面に光を入射させ、その反射
光の変化を検出することにより行われている。
特開昭58−139153号公報には、電解複合加工に
より高周波成分や大きな周期のうねりのない所要の表面
粗さを持つように仕上げられた基体表面に、感光層を付
着させて形成することを特徴とする電子写真用感光体が
記載されている。
より高周波成分や大きな周期のうねりのない所要の表面
粗さを持つように仕上げられた基体表面に、感光層を付
着させて形成することを特徴とする電子写真用感光体が
記載されている。
(発明が解決しようとする問題点)
感光体層の欠陥を前述した光学的手段で検査する際、感
光体層表面からの反射光と基材(素管)からの反射光と
が干渉を起こし、強度の増大乃至強度の減少を生じる可
能性があるために、感光体層の欠陥のみを精度よく検出
することがしばしば困難となる。このような困難性は従
来の鏡面仕上の素管や表面粗さの小さい素管では特に著
しい。
光体層表面からの反射光と基材(素管)からの反射光と
が干渉を起こし、強度の増大乃至強度の減少を生じる可
能性があるために、感光体層の欠陥のみを精度よく検出
することがしばしば困難となる。このような困難性は従
来の鏡面仕上の素管や表面粗さの小さい素管では特に著
しい。
従って、本発明の目的は、有機感光体層における気泡、
ピンホール乃至クラック或いはゴミ付着等の欠陥を光学
的に確実に且つ精度よく検出し得る有機感光体用基材を
提供するにある。
ピンホール乃至クラック或いはゴミ付着等の欠陥を光学
的に確実に且つ精度よく検出し得る有機感光体用基材を
提供するにある。
本発明の他の目的は、有機感光体層の欠陥を光学的に検
出するための検査方法を提供するにある。
出するための検査方法を提供するにある。
(問題点を解決するための手段)
本発明によれば、有機感光体層を表面に形成するための
導電性基材であって、該導電性基材は、谷の角度が90
度以下の微細な溝をドラムの一定方向に延びるように一
定のピッチで表面に設けたドラムから成ることを特徴と
する有機感光体用基材が提供される8本発明においては
、前記導電性基材に設けられた微細な溝がドラムの軸方
向または周方向に設けられていることが好ましい。
導電性基材であって、該導電性基材は、谷の角度が90
度以下の微細な溝をドラムの一定方向に延びるように一
定のピッチで表面に設けたドラムから成ることを特徴と
する有機感光体用基材が提供される8本発明においては
、前記導電性基材に設けられた微細な溝がドラムの軸方
向または周方向に設けられていることが好ましい。
本発明によればまた、谷の角度が90度以下の微細な溝
をドラムの一定方向に延びるように一定のピッチで表面
に形成したドラムと、該ドラム表面に形成した有機感光
体層とから成る有機感光体に、光線を下記式 %式%(1) 式中、θ。は感光体層の垂線からの光線の入射角であり
、θ、は光線を横切る溝の一方の面が感光体層の面との
間になす角度であり、θ2は溝の他方の面が前記垂線と
の間になす角度である。
をドラムの一定方向に延びるように一定のピッチで表面
に形成したドラムと、該ドラム表面に形成した有機感光
体層とから成る有機感光体に、光線を下記式 %式%(1) 式中、θ。は感光体層の垂線からの光線の入射角であり
、θ、は光線を横切る溝の一方の面が感光体層の面との
間になす角度であり、θ2は溝の他方の面が前記垂線と
の間になす角度である。
を満足する角度で入射させ、有機感光体層表面からの反
射光を受光することにより、感光体層の欠陥を検出する
ことから成る有機感光体の検査方法が提供される。この
検査方法においては、谷の角度が”90度以下の微細な
溝をドラムの軸方向または周方向に延びるように一定の
ピッチで°表面に形成したドラムを用いることが好まし
い。
射光を受光することにより、感光体層の欠陥を検出する
ことから成る有機感光体の検査方法が提供される。この
検査方法においては、谷の角度が”90度以下の微細な
溝をドラムの軸方向または周方向に延びるように一定の
ピッチで°表面に形成したドラムを用いることが好まし
い。
(作 用)
本発明の有機感光体用素材は、導電性ドラムから成るが
、該ドラム表面に、谷の角度(α)が90度以下の微細
な溝を一定方向に延びるように一定のピンチで設けたこ
とに顕著な特徴を有するものである。
、該ドラム表面に、谷の角度(α)が90度以下の微細
な溝を一定方向に延びるように一定のピンチで設けたこ
とに顕著な特徴を有するものである。
また、本発明の有機感光体の検査方法は、上記導電性素
材に感光体層を設けたものを用いることと、この感光体
層の光学的検査に際して光線を前記式(1)を満足する
角度(θ0)で入射させることとの組合せに特徴を有す
るものである。
材に感光体層を設けたものを用いることと、この感光体
層の光学的検査に際して光線を前記式(1)を満足する
角度(θ0)で入射させることとの組合せに特徴を有す
るものである。
光学的検査の原理を説明するための第1図において、導
電性素材1の表面に有機感光体層2を設けたものに、光
線りを入射させ、感光体層2からの反射光hrを受光す
る。感光体層2が完全なコーティングから成る場合(1
−A)には、感光体層2の反射率に応じた一定光量の光
が受光されるが、感光体層2に異物付着や気泡3が存在
する場合(1−B)には、この部分で散乱光hdが発生
し、受光光量が減少することにより、欠陥が検出される
。また感光体層2にピンホールや未コーティング部分4
が存在する場合(1−C)には、入射光の反射が強く行
われ、受光光量が異状に増大することにより、やはり欠
陥の検出が行われる。
電性素材1の表面に有機感光体層2を設けたものに、光
線りを入射させ、感光体層2からの反射光hrを受光す
る。感光体層2が完全なコーティングから成る場合(1
−A)には、感光体層2の反射率に応じた一定光量の光
が受光されるが、感光体層2に異物付着や気泡3が存在
する場合(1−B)には、この部分で散乱光hdが発生
し、受光光量が減少することにより、欠陥が検出される
。また感光体層2にピンホールや未コーティング部分4
が存在する場合(1−C)には、入射光の反射が強く行
われ、受光光量が異状に増大することにより、やはり欠
陥の検出が行われる。
ところが、従来の有機感光体では、第2図に示す通り、
実際には、導電性素材lの表面が鏡面仕上され、或いは
表面粗さが小さいものとされていることにより、入射光
りの内、一部は感光体層表面で反射されて反射光hr+
どなるが、残りの入射光h1が導電性素材lの表面で反
射されて反射光tl+rxとなり、その位相差に応じて
強度が強め合い或いは打消しあって干渉を生じる。かく
して。
実際には、導電性素材lの表面が鏡面仕上され、或いは
表面粗さが小さいものとされていることにより、入射光
りの内、一部は感光体層表面で反射されて反射光hr+
どなるが、残りの入射光h1が導電性素材lの表面で反
射されて反射光tl+rxとなり、その位相差に応じて
強度が強め合い或いは打消しあって干渉を生じる。かく
して。
この干渉により第1−A、1−B及びl−0図に示した
光強度の差による感光体層の欠陥の検出が困難となる。
光強度の差による感光体層の欠陥の検出が困難となる。
これに対して1本発明の原理を示すための第3図(感光
体層2での光の屈折は説明の単純化のため省略しである
)において、導電性素材lの表面に、斜面5及び6と、
山7及び谷8とから成る微細な溝を、谷の角度αが90
度以下、−層好適には90度となるように設ける。斜面
5と面Hとがなす角度θ1、斜面6と垂線Vとがなす角
度θ2及び入射光、iihと垂線Vとがなす角度θ。に
関して、式 %式%(1) を満足するように各角度を調節することにより。
体層2での光の屈折は説明の単純化のため省略しである
)において、導電性素材lの表面に、斜面5及び6と、
山7及び谷8とから成る微細な溝を、谷の角度αが90
度以下、−層好適には90度となるように設ける。斜面
5と面Hとがなす角度θ1、斜面6と垂線Vとがなす角
度θ2及び入射光、iihと垂線Vとがなす角度θ。に
関して、式 %式%(1) を満足するように各角度を調節することにより。
干渉の発生を完全に防止することができる。
先ず、θ1がθ。と等しい場合には、斜面5において、
入射光線りと完全に逆向きの反射が生じ、θ、がθ。よ
りも大きいと入射角θ。よりも大きい角度でしかも入射
方向と逆方向に反射が生じる。かくして感光体表面反射
光hrの側には全く反射は生ずることなく、干渉の発生
や、素材表面反射光の受光は全く生じないことになる。
入射光線りと完全に逆向きの反射が生じ、θ、がθ。よ
りも大きいと入射角θ。よりも大きい角度でしかも入射
方向と逆方向に反射が生じる。かくして感光体表面反射
光hrの側には全く反射は生ずることなく、干渉の発生
や、素材表面反射光の受光は全く生じないことになる。
次に02がθ。と等しい場合には、斜面6と入射光線り
とが平行となり、θ、がθ。より小さ(なると、斜面6
は入射光ahに対して影となる。
とが平行となり、θ、がθ。より小さ(なると、斜面6
は入射光ahに対して影となる。
かくして、斜面6からの反射は全く生じなくなる。
谷の角度αは、直角をRとしたとき式
%式%)
で表わされる0式+11から
θ 1−θ、≧0
・−+31
であるから、αの値は直角(R)以下となることが明ら
かであり、谷の角度(α)を直角以下となるように溝を
形成すれば、干渉を完全に防止し得ることが明らかであ
る。
かであり、谷の角度(α)を直角以下となるように溝を
形成すれば、干渉を完全に防止し得ることが明らかであ
る。
(実施例)
本発明においては1mをドラムの一定方向、特にドラム
の軸方向または周方向に設けることが好ましく、このい
ずれの場合においても、前述した検査の原理により反射
光の干渉が防止されて、感光体層の欠陥のみを精度よ(
検出することができるが、検査方法に用いる装置の機構
が若干具なっている。
の軸方向または周方向に設けることが好ましく、このい
ずれの場合においても、前述した検査の原理により反射
光の干渉が防止されて、感光体層の欠陥のみを精度よ(
検出することができるが、検査方法に用いる装置の機構
が若干具なっている。
すなわち、前者の場合では検査方法に用いる装置の概略
は第4−A図のようになっている。第4−A図において
、ドラム状の有機感光体ドラム10は、適当な支持駆動
機構11により回転可能に支持されて°いる。レーザー
光源のような検査用光源12が設けられ、検査用光源1
2からの検査用光13は、ポリゴンミラー14で反射さ
れ、感光体ドラム10表面にその軸方向に検査用光13
がスキャンされるようになっている。感光体ドラム10
からの反射光15は集光レンズ16によりホトマルチプ
ライヤ−のような光検出器17により集光され、反射光
15の光強度変化が検出される。
は第4−A図のようになっている。第4−A図において
、ドラム状の有機感光体ドラム10は、適当な支持駆動
機構11により回転可能に支持されて°いる。レーザー
光源のような検査用光源12が設けられ、検査用光源1
2からの検査用光13は、ポリゴンミラー14で反射さ
れ、感光体ドラム10表面にその軸方向に検査用光13
がスキャンされるようになっている。感光体ドラム10
からの反射光15は集光レンズ16によりホトマルチプ
ライヤ−のような光検出器17により集光され、反射光
15の光強度変化が検出される。
これに対し、後者の場合の検査方法に用いる装置の概略
は、第4−B図に示すようなものである。第4−B図に
おいて、ドラム状の有機感光体ドラム10は、適当な支
持駆動機構11により回転可能に支持されている。レー
ザー光源のような検査用光源12がドラムの軸方向に移
動可能に設けられ、この検査用光源12からの検査用光
13が、感光体ドラムlOの表面に照射され、それと同
時に感光体ドラムIOは一回転する。ドラムlOからの
反射光15は第4−A図と同様にドラム軸方向に移動可
能に設置されたホトマルチプライヤ−のような光検出器
17により集光され、反射光15の光強度変化が検出さ
れる1次いで検査用光源12及び光検出器17を溝の幅
の分だけドラム円周方向と平行に移動し、再び同様の操
作を繰り返すことにより反射光15の光強度変化を検出
することが可能となる。
は、第4−B図に示すようなものである。第4−B図に
おいて、ドラム状の有機感光体ドラム10は、適当な支
持駆動機構11により回転可能に支持されている。レー
ザー光源のような検査用光源12がドラムの軸方向に移
動可能に設けられ、この検査用光源12からの検査用光
13が、感光体ドラムlOの表面に照射され、それと同
時に感光体ドラムIOは一回転する。ドラムlOからの
反射光15は第4−A図と同様にドラム軸方向に移動可
能に設置されたホトマルチプライヤ−のような光検出器
17により集光され、反射光15の光強度変化が検出さ
れる1次いで検査用光源12及び光検出器17を溝の幅
の分だけドラム円周方向と平行に移動し、再び同様の操
作を繰り返すことにより反射光15の光強度変化を検出
することが可能となる。
本発明の導電性基体に設けられる溝において。
θ、は、一般に0度〈θ、〈90度の範囲内にあり、特
に入射角と同角となるように設けることが好ましい、こ
のうちでも、αが90度以下であり、特に90度にする
ことが好ましい2また、溝の深さは0.5乃至5μm、
特に2乃至3μmの範囲内にあることが好ましい。
に入射角と同角となるように設けることが好ましい、こ
のうちでも、αが90度以下であり、特に90度にする
ことが好ましい2また、溝の深さは0.5乃至5μm、
特に2乃至3μmの範囲内にあることが好ましい。
導電性基体lは、純アルミニウムやアルミニウム合金か
ら構成されていることが好ましく、微細溝の形成はそれ
自体公知の手段、例えば、感光体ドラムの軸方向に溝を
設ける場合には、アルミニウムの引き抜きによる素管の
製造に際して、引き抜き用ダイスに前述した溝に対応す
る粗面パターンを形成させておき、引き抜き管に粗面パ
ターンに対応する溝を形成することにより行われる。ま
た、感光体ドラムの周方向に溝を設ける場合には、素管
の製造後、旋盤加工等で容易に形成することが可能であ
る。
ら構成されていることが好ましく、微細溝の形成はそれ
自体公知の手段、例えば、感光体ドラムの軸方向に溝を
設ける場合には、アルミニウムの引き抜きによる素管の
製造に際して、引き抜き用ダイスに前述した溝に対応す
る粗面パターンを形成させておき、引き抜き管に粗面パ
ターンに対応する溝を形成することにより行われる。ま
た、感光体ドラムの周方向に溝を設ける場合には、素管
の製造後、旋盤加工等で容易に形成することが可能であ
る。
素材lは勿論、アルミニウムドラムに限定されず、プラ
スチックとアルミニウムの箔や蒸着膜との積層体であっ
てもよい。
スチックとアルミニウムの箔や蒸着膜との積層体であっ
てもよい。
有機感光体層としては、電荷発生顔料と電荷輸送物質と
の分散物から成る単層感光層や、電荷発生層と電荷輸送
層との積層感光層が使用される。
の分散物から成る単層感光層や、電荷発生層と電荷輸送
層との積層感光層が使用される。
有機感光体層の厚みは一般に10乃至50LLm。
特に15乃至25μmの範囲が適当である。
検査用光源としては、任意、の光源が使用されるが、波
長の一定なレーザー光が最も適している。
長の一定なレーザー光が最も適している。
溝をドラムの円周方向に設ける態様においては、光検出
器をドラムの周囲に複数個(n個)設ければ、ドラムの
回転はl / nになり、また、光検出器をドラムの軸
方向に複数個(m個)並べれば光検出器の移動距離は1
7mに短縮することができる。
器をドラムの周囲に複数個(n個)設ければ、ドラムの
回転はl / nになり、また、光検出器をドラムの軸
方向に複数個(m個)並べれば光検出器の移動距離は1
7mに短縮することができる。
尚1本発明は有機感光体用基材及び有機感光体の検査方
法のみに限定されるものでな(、基材上に薄膜透明層を
形成して成る薄膜透明層の欠陥検査に広く適用できる。
法のみに限定されるものでな(、基材上に薄膜透明層を
形成して成る薄膜透明層の欠陥検査に広く適用できる。
(発明の効果)
本発明によれば、有機感光体層を設ける導電性基材とし
て、特定の形状の微細溝を設けたものを用いることによ
り、素材表面からの光反射の影響を消去することにより
、干渉の発生を防止し、有機感光体層の欠陥を、確実に
且つ精度よく検出することが可能となった。また、上記
微細溝の形成により、感光体層と素材との密着性も著し
く向上した。更に、感光体ドラムの溝加工も容易に行う
ことが可能となった。
て、特定の形状の微細溝を設けたものを用いることによ
り、素材表面からの光反射の影響を消去することにより
、干渉の発生を防止し、有機感光体層の欠陥を、確実に
且つ精度よく検出することが可能となった。また、上記
微細溝の形成により、感光体層と素材との密着性も著し
く向上した。更に、感光体ドラムの溝加工も容易に行う
ことが可能となった。
第1図は、光学的検査の原理を説明するための図であり
、 第2図は、従来の素材を用いた場合の入射光と反射光と
の関係を示す図であり。 第3図は1本発明の詳細な説明するための図であり。 第4−A図及び第4−B図は、本発明の検査方法に用い
る装置の概略図を示す。 (1−A) (1−C) 第4−A図 第 図 第4−B図
、 第2図は、従来の素材を用いた場合の入射光と反射光と
の関係を示す図であり。 第3図は1本発明の詳細な説明するための図であり。 第4−A図及び第4−B図は、本発明の検査方法に用い
る装置の概略図を示す。 (1−A) (1−C) 第4−A図 第 図 第4−B図
Claims (6)
- (1)有機感光体層を表面に形成するための導電性基材
であって、該導電性基材は、谷の角度が90度以下の微
細な溝をドラムの一定方向に延びるように一定のピッチ
で表面に設けたドラムから成ることを特徴とする有機感
光体用基材。 - (2)前記導電性基材が、谷の角度が90度以下の微細
な溝をドラム軸方向に延びるように一定のピッチで表面
に設けられている請求項1記載の有機感光体用基材。 - (3)前記導電性基材が、谷の角度が90度以下の微細
な溝をドラム周方向に延びるように一定のピッチで表面
に設けられている請求項1記載の有機感光体用基材。 - (4)谷の角度が90度以下の微細な溝をドラムの一定
方向に延びるように一定のピッチで表面に形成したドラ
ムと、該ドラム表面に形成した有機感光体層とから成る
有機感光体に、光線を下記式 θ_1≧θ_0≧θ_2 式中、θ_0は感光体層の垂線からの光線 の入射角であり、θ_1は光線を横切る溝 の一方の面が感光体層の面との間になす 角度であり、θ_2は溝の他方の面が前記 垂線との間になす角度である、 を満足する角度で入射させ、有機感光体層表面からの反
射光を受光することにより、感光体層の欠陥を検出する
ことから成る有機感光体の検査方法。 - (5)前記ドラム表面に設けられた谷の角度が90度以
下の微細な溝が、ドラム軸方向に延びるように一定のピ
ッチで形成されている請求項4記載の有機感光体の検査
方法。 - (6)前記ドラム表面に設けられた谷の角度が90度以
下の微細な溝が、ドラム周方向に延びるように一定のピ
ッチで形成されている請求項4記載の有機感光体の検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20396489A JP2763925B2 (ja) | 1988-11-30 | 1989-08-08 | 有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30086888 | 1988-11-30 | ||
| JP63-300868 | 1988-11-30 | ||
| JP20396489A JP2763925B2 (ja) | 1988-11-30 | 1989-08-08 | 有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02217861A true JPH02217861A (ja) | 1990-08-30 |
| JP2763925B2 JP2763925B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=26514202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20396489A Expired - Lifetime JP2763925B2 (ja) | 1988-11-30 | 1989-08-08 | 有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2763925B2 (ja) |
-
1989
- 1989-08-08 JP JP20396489A patent/JP2763925B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2763925B2 (ja) | 1998-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5521607B2 (ja) | 膜厚測定方法、膜厚測定装置および該膜厚測定装置を有する画像形成装置、並びに光導電性感光体の製造方法および光導電性感光体 | |
| JPS60168156A (ja) | 光受容部材 | |
| TWI634226B (zh) | 光學檢查系統、用於處理在可撓性基板上之材料的處理系統、以及一種檢查可撓性基板的方法 | |
| JPH08210989A (ja) | 微小欠陥検出方法及びその装置 | |
| CN105181144B (zh) | 含阿基米德螺旋线的亚波长圆偏振光检偏器及其制备方法 | |
| TW200423278A (en) | Method and device for surface inspection | |
| JPS58162975A (ja) | 電子写真感光体 | |
| US5635324A (en) | Multilayered photoreceptor using a roughened substrate and method for fabricating same | |
| CA2044340C (en) | Novel photosensitive imaging member | |
| JPH02217861A (ja) | 有機感光体用基材及び有機感光体の検査方法 | |
| JP2009139360A (ja) | 膜厚測定方法および膜厚測定装置および膜厚測定装置を有する画像形成装置、感光体および感光体の製造方法 | |
| Van Wingerden et al. | Production and measurement of superpolished surfaces | |
| JP5935266B2 (ja) | キズ欠点検査方法およびシートの製造方法 | |
| JP2712940B2 (ja) | 表面層欠陥検出装置 | |
| JPS58223101A (ja) | 多面鏡の製造方法 | |
| EP0093921B1 (en) | Polygonal mirror and method of manufacturing the same | |
| JPS60112049A (ja) | 電子写真用感光体 | |
| JP4481850B2 (ja) | 表面状態測定方法及び表面状態測定装置 | |
| JPH06123707A (ja) | 表面欠陥検査方法およびその装置 | |
| JPH01202684A (ja) | 放射線検出器 | |
| JPS60213956A (ja) | 光受容部材 | |
| Herffurth et al. | Assessment of Surface Roughness, Homogeneity, and Defects of Substrates and Coatings for Space Applications | |
| JPH0833679B2 (ja) | 電子写真用感光体 | |
| JPH03291552A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| Herrmann et al. | Measurement of the thickness of thin films with rough surfaces by a modified Michelson interferometer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100327 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100327 Year of fee payment: 12 |