JPH02218142A - インナーリードボンディング装置 - Google Patents
インナーリードボンディング装置Info
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- JPH02218142A JPH02218142A JP3825589A JP3825589A JPH02218142A JP H02218142 A JPH02218142 A JP H02218142A JP 3825589 A JP3825589 A JP 3825589A JP 3825589 A JP3825589 A JP 3825589A JP H02218142 A JPH02218142 A JP H02218142A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、インナーリードボンディング方法に関する。
（従来の技術）
従来のインナーリードボンダにおいて、デバイス穴のピ
ッチで間欠的に順送りされるキャリアテープの位置ずれ
を検出する方法には、デバイス穴にあらかじめ設けられ
た位置決めマークを認識する方法や、インナーリードの
先端部を認識する方法がある。
ッチで間欠的に順送りされるキャリアテープの位置ずれ
を検出する方法には、デバイス穴にあらかじめ設けられ
た位置決めマークを認識する方法や、インナーリードの
先端部を認識する方法がある。
（発明が解決しようとする課題）
ところがこのうち前者は、キャリアテープに位置決めマ
ークを設ける必要があり、又、後者は、インナーリード
に高い精度が要求される。そしてこの方法は、第４図に
示すように、幅のばらつきに対してはインナーリード１
２．１３の幅方向の中心を求めることで対応できるが、
認識対象１４の中心から求める長さ方向のばらつきはそ
のま）認識精度のばらつき１５となり、又、紙面上下方
向の反りに対しては、対応することができず、更に認識
精度を落とす。すると正確にワークをボンディングでき
ない。
ークを設ける必要があり、又、後者は、インナーリード
に高い精度が要求される。そしてこの方法は、第４図に
示すように、幅のばらつきに対してはインナーリード１
２．１３の幅方向の中心を求めることで対応できるが、
認識対象１４の中心から求める長さ方向のばらつきはそ
のま）認識精度のばらつき１５となり、又、紙面上下方
向の反りに対しては、対応することができず、更に認識
精度を落とす。すると正確にワークをボンディングでき
ない。
そこで本発明の目的は、インナーリードの位置を正確に
検出し、ワークを正確にボンディングすることのできる
インナーリードボンディング方法を得ることである。
検出し、ワークを正確にボンディングすることのできる
インナーリードボンディング方法を得ることである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
本発明は、デバイス穴にＸ方向とＹ方向にインナーリー
ドが形成され間欠的に所定のピッチで順送りされるキャ
リアテープの位置を検出し、この結果を位置ずれ量演算
ユニットに予め入力された基準位置と比較してキャリア
テープの位置を補正するインナーリードボンデインク方
法において、インナーリードのＸ方向とＹ方向の中心位
置を検出し、この結果を位置ずれ伍演算ユニットに予め
入力された基準中心位置と比較して、その差でキャリア
テープの位置ずれを補正することで、インナーリードの
位置を正確に検出しワークを正確にボンディングするイ
ンナーリードボンディング方法である。
ドが形成され間欠的に所定のピッチで順送りされるキャ
リアテープの位置を検出し、この結果を位置ずれ量演算
ユニットに予め入力された基準位置と比較してキャリア
テープの位置を補正するインナーリードボンデインク方
法において、インナーリードのＸ方向とＹ方向の中心位
置を検出し、この結果を位置ずれ伍演算ユニットに予め
入力された基準中心位置と比較して、その差でキャリア
テープの位置ずれを補正することで、インナーリードの
位置を正確に検出しワークを正確にボンディングするイ
ンナーリードボンディング方法である。
（実施例）
以下、本発明のインナーリードボンディング方法の一実
施例を図面を参照して説明する。
施例を図面を参照して説明する。
第１図において、デバイス穴りａ内のＸ方向とＹ方向に
インナーリード４が形成されたキャリアテープ３の側面
には、Ｘ−Ｙテーブル２が設けられ、このＸ−Ｙテーブ
ル２の上面の移動テーブル２ａにはアーム２ｂの右端が
固定され、このアーム２ｂの先端はキャリアテープ３の
上面に突き出ていて、照明位置とカメラ１が下に向けて
取付られ、このカメラ１の出力は別置の位置ずれ量演算
ユニット１１に接続されている。
インナーリード４が形成されたキャリアテープ３の側面
には、Ｘ−Ｙテーブル２が設けられ、このＸ−Ｙテーブ
ル２の上面の移動テーブル２ａにはアーム２ｂの右端が
固定され、このアーム２ｂの先端はキャリアテープ３の
上面に突き出ていて、照明位置とカメラ１が下に向けて
取付られ、このカメラ１の出力は別置の位置ずれ量演算
ユニット１１に接続されている。
第２図は、第１図のデバイス穴部の拡大詳細図である。
第２図において、キャリアテープ３のデバイス穴３ａに
は、紙面前後方向にＸ方向の認識対象リド４ａが形成さ
れ、又、紙面左右方向にはＹ方向の認識対象リード４ｂ
が形成されている。
は、紙面前後方向にＸ方向の認識対象リド４ａが形成さ
れ、又、紙面左右方向にはＹ方向の認識対象リード４ｂ
が形成されている。
このような構成のインナーリードボンダにおいて、キャ
リアテープ３は図示しないテープ送り装置で間欠的に所
定のピッチで順送りされ、キャリアテープのパーフォレ
ーションを基準に位置決めされる。又、カメラ１は、先
ずＸ−Ｙテーブル２で第２図の鎖線で示す認識視野９の
位置に移動され、Ｘ方向の認識対象リード４ａの幅方向
の中心位置Ｘを認識し、次にＹ方向の認識対象リード４
ｂの認識対象視野１０の位置に駆動されて、認識対象リ
ード４ｂの幅方向の中心位置ｙ＠：認識する。
リアテープ３は図示しないテープ送り装置で間欠的に所
定のピッチで順送りされ、キャリアテープのパーフォレ
ーションを基準に位置決めされる。又、カメラ１は、先
ずＸ−Ｙテーブル２で第２図の鎖線で示す認識視野９の
位置に移動され、Ｘ方向の認識対象リード４ａの幅方向
の中心位置Ｘを認識し、次にＹ方向の認識対象リード４
ｂの認識対象視野１０の位置に駆動されて、認識対象リ
ード４ｂの幅方向の中心位置ｙ＠：認識する。
次に、上記動作でカメラ］が認識した中心位置Ｘ、ｙは
、位置ずれ開演篩ユニット１１内に入力され、位置ずれ
量演算ユニット１１内に予め登録されたＸ方向基準リー
ド５Ａの幅方向の中心Ｘ。及びＹ方向基準リード５Ｂの
幅方向の中心ｙ。どの差、ΔＸ”＝Ｘ Ｘ□
と Δ’／＝’！ ’１０を演算して、基準キャ
リアテープに対する認識対象キャリアテープ３の位置ず
れ量を検出する。
、位置ずれ開演篩ユニット１１内に入力され、位置ずれ
量演算ユニット１１内に予め登録されたＸ方向基準リー
ド５Ａの幅方向の中心Ｘ。及びＹ方向基準リード５Ｂの
幅方向の中心ｙ。どの差、ΔＸ”＝Ｘ Ｘ□
と Δ’／＝’！ ’１０を演算して、基準キャ
リアテープに対する認識対象キャリアテープ３の位置ず
れ量を検出する。
そして、この結果は、位置ずれ量演算ユニット１１から
図示しない自動微動調整用のモータ駆動装置に送られて
、図示しないキャリアテープの調整台が駆動されてボン
ディング位置が補正される。
図示しない自動微動調整用のモータ駆動装置に送られて
、図示しないキャリアテープの調整台が駆動されてボン
ディング位置が補正される。
この結果、図示しないワークは正確にインナーリードに
ボンディングされる。
ボンディングされる。
第３図は、本発明のインナーリードボンディング方法の
他の実施例を示す。
他の実施例を示す。
第３図においては、第２図の認識対象の対角となる部分
（例えばデバイス穴の対角）に対して同様の認識を行な
い、基準データｘ０１＝ ”０１に対する認識データ×
１．ｙ１得ることで、基準キレリアテープに対する認識
対象キャリアテープの位置ずれ量ΔＸ、Δｙと、回転ず
れ量Δθを検出することができる。
（例えばデバイス穴の対角）に対して同様の認識を行な
い、基準データｘ０１＝ ”０１に対する認識データ×
１．ｙ１得ることで、基準キレリアテープに対する認識
対象キャリアテープの位置ずれ量ΔＸ、Δｙと、回転ず
れ量Δθを検出することができる。
この方法は、第２図のＸ、Ｙ方向のずれ量の検出方法と
併用してもよく、この結果インナーリードの位置を更に
高精度に認識することができ、位置ずれ量演算ユニット
１１で基準値と比較し、その結果でキャリアテープのＸ
、Ｙ方向の位置や角度を補正することで、ワークを正確
にボンディングすることができる。
併用してもよく、この結果インナーリードの位置を更に
高精度に認識することができ、位置ずれ量演算ユニット
１１で基準値と比較し、その結果でキャリアテープのＸ
、Ｙ方向の位置や角度を補正することで、ワークを正確
にボンディングすることができる。
［発明の効果］
以上、本発明によれば、Ｘ方向とＹ方向にインナーリー
ドが形成され間欠的に所定のピッチで順送りされるキャ
リアテープの位置を検出し、位置ずれ量演算ユニットに
予め入力された位置と比較し、キャリアテープの位置を
補正するインナーリードボンディング方法において、Ｘ
方向とＹ方向のインナーリードの中心位置を検出し、こ
の結果を位置ずれ最演算ユニットに予め入力された基準
中心位置と比較して、その差でキャリアテープの位置ず
れ量を補正したので、インナーリードの位置ずれを正確
に補正でき、インナーリードをワークに正確にボンディ
ングすることのできるインナリードボンディング方法を
得ることができる。
ドが形成され間欠的に所定のピッチで順送りされるキャ
リアテープの位置を検出し、位置ずれ量演算ユニットに
予め入力された位置と比較し、キャリアテープの位置を
補正するインナーリードボンディング方法において、Ｘ
方向とＹ方向のインナーリードの中心位置を検出し、こ
の結果を位置ずれ最演算ユニットに予め入力された基準
中心位置と比較して、その差でキャリアテープの位置ず
れ量を補正したので、インナーリードの位置ずれを正確
に補正でき、インナーリードをワークに正確にボンディ
ングすることのできるインナリードボンディング方法を
得ることができる。
第１図は本発明のインナーリードボンディング方法の一
実施例を示す斜視図、第２図は本発明のインナーリード
ボンディング方法の要部を示す部分詳細図、第３図は本
発明のインナーリードボンディング方法の他の実施例を
示す図、第４図は従来のインナーリードボンディング方
法を示す図である。 ３・・・キャリアテープ ３ａ・・・デバイス穴 ４ａ・・・Ｘ方向のインナーリード ４ｂ・・・Ｙ方向のインナーリード １１・・・位置ずれ量演痒ユニット （８７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか
１名） 第 第２図 第
実施例を示す斜視図、第２図は本発明のインナーリード
ボンディング方法の要部を示す部分詳細図、第３図は本
発明のインナーリードボンディング方法の他の実施例を
示す図、第４図は従来のインナーリードボンディング方
法を示す図である。 ３・・・キャリアテープ ３ａ・・・デバイス穴 ４ａ・・・Ｘ方向のインナーリード ４ｂ・・・Ｙ方向のインナーリード １１・・・位置ずれ量演痒ユニット （８７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか
１名） 第 第２図 第
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 デバイス穴にＸ方向とＹ方向のインナーリードが形成さ
れ間欠的に所定のピッチで順送りされるキャリアテープ
の位置を検出し、その位置データを位置ずれ量演算ユニ
ットの基準位置と比較して前記キャリアテープの位置を
補正するインナーリードボンディング方法において、 前記Ｘ方向とＹ方向のインナーリードの中心位置を検出
し、この結果を前記位置ずれ量演算ユニットに予め入力
された基準中心位置と比較して、その差で前記キャリア
テープの位置ずれを補正したことを特徴とするインナー
リードボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038255A JP2704426B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | インナーリードボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038255A JP2704426B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | インナーリードボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02218142A true JPH02218142A (ja) | 1990-08-30 |
| JP2704426B2 JP2704426B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=12520205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1038255A Expired - Fee Related JP2704426B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | インナーリードボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2704426B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6220339A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Marine Instr Co Ltd | テ−プボンデイング装置 |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP1038255A patent/JP2704426B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6220339A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Marine Instr Co Ltd | テ−プボンデイング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2704426B2 (ja) | 1998-01-26 |
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Legal Events
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