JPH02218208A - 弾性表面波素子 - Google Patents

弾性表面波素子

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Publication number
JPH02218208A
JPH02218208A JP3839289A JP3839289A JPH02218208A JP H02218208 A JPH02218208 A JP H02218208A JP 3839289 A JP3839289 A JP 3839289A JP 3839289 A JP3839289 A JP 3839289A JP H02218208 A JPH02218208 A JP H02218208A
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JP
Japan
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surface acoustic
electrodes
output
input
acoustic wave
Prior art date
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Pending
Application number
JP3839289A
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English (en)
Inventor
Kouichi Egara
江柄 光一
Norihiro Mochizuki
望月 規弘
Kenji Nakamura
憲司 中村
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、圧電体基板の物理的非線形効果を利用して、
互いに逆方向に伝搬する2つの弾性表面波信号について
、そのコン、l? IJユニーョン信号を取シ出すよう
にした弾性表面波素子に関する。
(従来の技術) 弾性表面波素子は、スペクトラム拡散通信を行なうにあ
たってのキーデバイスとして、近年、その重要性が増大
しつつある。また、実時間信号処理デバイスとしての応
用も多く、盛んに研究されている。
このような弾性表面波素子としては、第5図に示すよう
な弾性表面波コンデルバが知られている。
ここではYカット(2伝搬)ニオブ酸リチウムなどの圧
電体基板1上に櫛型入力電極2,3を配設し、これに対
応して出力電極4を配設しており、入力電極2,3に電
気信号が入力されると、圧電体基板1に弾性表面波が励
振され、これが出力電極4でコンボリューション信号と
して取り出されるようになっている。なお、符号6は圧
電体基板1上に形成されたグランド電極である。そして
、これら電極はアルミニウムなどの導電性材料から作ら
れ、電極パターンとして、通常、フォトリソグラフィー
技術で形成される。
このような弾性表面波コンデルバを用いて、コンデリュ
ージョン出力を取出す場合には、まず、櫛型入力電極2
,3に各々、搬送角周波数ωの2つの信号を入力し、こ
れらの電気信号を弾性表面波信号に変換する。そして、
これらの弾性表面波を、圧電体基板10表面で互いに反
対方向に伝搬させ、基板の物理的非線形効果を利用して
、出力電極4よυ搬送角周波数2ωのコンゴリーーショ
ン信号をとシ出すのである。
すなわち、2つの弾性表面波を とすると、基板上にはこの基板の非線形効果によが発生
する。この信号は、−様な出力電極を設けることにより
、電極領域内で積分され、相互作用領域長をtとすると
、 で表わされる信号として取出される。とこで、積分範囲
は相互作用長が信号長よシ大きいとき実質となシ、前記
信号は2つの弾性表面波のコン、g IJユニーョンと
なる。
このようなコンがリュージョンのメカニズムは、例えば
「築山、“弾性表面波の応用”テレビジョン、旦0 4
57(1976)Jなどに詳述されている。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、櫛型入力電極では入力電気信号を弾性表
面波信号に変換する際、弾性表面波が入力電極の両側へ
励振される。したがって、従来の弾性表面波コンボルバ
では、2つの入力電極から励振される弾性表面波のうち
、互いに向き合って伝搬される2つの弾性波のみを出力
電極上で衝突させて、コンテリー−ジョン信号を得てい
るため、入力電極の外側へ励振された弾性表面波は利用
されていないことになる。すなわち、コンがり7−ショ
クに用いられる弾性表面波は、2つの入力電極から励振
される弾性波の半分に対応するだけで、これがコンデリ
ュージョン出力が一般に低いという原因になっているの
である。
(発明の目的) 本発明は上記事情にもとづいてなされたもので、入力電
極から両側に励振される弾性表面波を出力電極からのコ
ンプリー−ジョン出力として取出せるようにした弾性表
面波素子を提供し、出力効率を高めようとするものであ
る。
(課題を解決するための手段) このため、本発明では、圧電体基板上に、各々が弾性表
面波信号を励振する2つの入力電極および、上記基板の
非線形効果を利用して、これら励振された信号のコンデ
リュージョン信号を取り出す出力電極とを設けている弾
性表面波素子において、上記2つの入力電極は弾性表面
波信号の伝搬方向を互いに一直線上に並ばないように基
板上に配設されておシ、また、これらに対応する出力電
極はそれぞれの一端を一方の入力電極に対応させかつそ
れぞれの他端を他方の入力電極に対応するように基板上
で曲げられた形となって配設されている。
(作用) このため、入力電極から両側へ励振される弾性表面波は
いづれも、対応する各出力電極においてコンボリューシ
ョン出力として取出されることとなり、出力効率を倍加
できる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照して具体的に説明す
る。第1図において、符号1は、Yカットニオブ酸リチ
ウムの単結晶で作られた圧電体基板であり、その上には
、励振された弾性表面波の伝搬方向が並列となるように
、櫛型入力電極2゜3が形成されている。また、上記入
力電極2,3のそれぞれの両端に対して、それぞれ一端
および他端を対応させて、U字形に曲げられた出力電極
4.5が上記基板1上に配設されている。なお、この場
合、出力電極4,5はそれぞれ各入力電極と等距離だけ
、端部が離れている。なお、図中、符号6はグランド電
極である。ここで、入力電極2.3.出力電極4,5.
グランド電極6は、アルミニウムなどの導電材料で作ら
れ、通常フォトリソグラフィー技術を用いて形成される
。また、出力電極4.5の幅は圧電体基板1のカットお
よび弾性表面波の伝搬方向を考慮して任意に決定される
。また、弾性表面波の励振方向も、圧電体基板のに値(
電気機械結合定数)、M値(非線形性能指数)を考慮し
て決定される。
しかして、入力電極2によシ励振された弾性表面波は両
側へ伝搬され、出力電極4,5上を導波される。また、
入力電極3により励振された弾性表面波も、同様に両側
へ伝搬され、出力電極4゜5上を、先きの入力電極2か
ら励振された弾性波とは逆方向から進行する。そして、
出力電極45上で、それぞれ、重なυ合一)た弾性波と
なシ、基板1の非線形効果によシコンボリューション信
号を発生させる。
なお、この実施例では、2つの出力電極4,5の相互作
用長および形状は同一であシ、同時に同じコンゴリーー
ション信号を発生する。従って、この2つのコンゴリー
ーション信号を同相で取シ出せば、従来のコンデルパに
比べて、同じ入力電力から2倍のコンポリー−ション信
号を出力できることになる。
第2図ないし第4図の実施例は、本発明の弾性表面波素
子の変形例を示したものであり、第1図と同一の部材に
ついては同一符号を付けて説明を省略する。ここで出力
電極4,5が1字型であシ、入力電極2,3がたてに並
べられている。
第3図の実施例では、とくに、出力電極4,5の曲線部
分が3ケ所になっている例を示している。
この他、第4図の実施例では、出力電極4,5が内廻シ
と外廻りとに分けて形成されている。
なお、上記実施例では入・出力電極間は左右、等距離で
、コン?リュージョン出力を同相で取り出しているが左
右について、その距離の和を、出力信号の1/2波長分
だけずらせて、出力を逆相として、差分を検出するよう
にしてもよい。
なお、本発明は上記実施例に限られることなく、種々の
変形が可能である。
例えば、上記実施例では圧電体基板1としてYカットニ
オブ酸すチクムを用いているが、他のカット面、例えば
128°回転Yカット面の基板あるいは他の弾性表面波
デバイス用圧電基板を用いてもよいことは勿論である。
また、前述の実施例では、櫛型入力電極として、通常の
シングル電極を示しているが、弾性表面波の電極間の反
射の影響を低減するために、ダブル電極としてもよい。
また、ホーン型導波路や、マルチ・ストリップ・カゾラ
を応用した圧縮器などを用いることによシ、弾性表面波
のビーム幅を圧縮したものについても、本発明は適用可
能である。
(発明の効果) 本発明は以上説明したように、弾性表面波素子が従来と
同じ入力電力で2倍のフンボリューション出力を得られ
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図ないし
第4図はそれぞれ別の実施例の平面図、第5図は従来例
を示す平面図である。 1・・・圧電体基板、2,3・・・櫛型入力電極、4,
5・・・出力電極、6・・・グランド電極。 代理人 弁理士 山 下 穣 平 手続補正書 平成 1年 4月11日 特許庁長官  吉 1)文 #  殿 1、事件の表示 特願平1−38392号 2、発明の名称 弾性表面波素子 3、補fをする者 事件との関係    特許出願人 名 称  (100)キャノン株式会社4、代理人 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄及び図面6、補正の内容 (1)願書添付の明細書中、第7頁6行目ないし同頁7
行口の「なお、間中・・・グランド電極である。」を抹
消し、同頁8行口の「、グランド電極6」を抹消する。 (2)願書添付の明細書r4ff、第8頁15行目の「
ここで」を「第2図の実施例では」と訂正し、「T字」
とあるを「3字」と訂正する。 (3)願書添付の明細書中、第8頁16行目の「いる。 」を「いない例を示している。」と訂正する。 (4)願書添付の図面中、第5図を別紙の通り訂正する

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 圧電体基板上に、各々が弾性表面波信号を励振する2つ
    の入力電極および、上記基板の非線形効果を利用して、
    これら励振された信号のコンボリューション信号を取り
    出す出力電極とを設けている弾性表面波素子において、
    上記2つの入力電極は弾性表面波信号の伝搬方向を互い
    に一直線上に並ばないように基板上に配設されており、
    また、これらに対応する出力電極はそれぞれの一端を一
    方の入力電極に対応させかつそれぞれの他端を他方の入
    力電極に対応するように基板上で曲げられた形となって
    配設されていることを特徴とする弾性表面波素子
JP3839289A 1989-02-20 1989-02-20 弾性表面波素子 Pending JPH02218208A (ja)

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JP3839289A JPH02218208A (ja) 1989-02-20 1989-02-20 弾性表面波素子

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JPH02218208A true JPH02218208A (ja) 1990-08-30

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