JPH02219603A - セラミックグリーンシートの積層方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層方法Info
- Publication number
- JPH02219603A JPH02219603A JP4262489A JP4262489A JPH02219603A JP H02219603 A JPH02219603 A JP H02219603A JP 4262489 A JP4262489 A JP 4262489A JP 4262489 A JP4262489 A JP 4262489A JP H02219603 A JPH02219603 A JP H02219603A
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- JP
- Japan
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- green sheet
- ceramic green
- laminating
- adhesive
- ceramic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はセラミックグリーンシートの積層方法に関する
。更に詳しくは熱可塑性の乏しいグリーンシートに適す
る積層方法に関するものである。
。更に詳しくは熱可塑性の乏しいグリーンシートに適す
る積層方法に関するものである。
[従来の技術]
従来、複数枚のセラミックグリーンシートを積層する方
法として、熱可塑性の有機バインダを含むグリーンシー
トを複数枚重ね合わせた後、室温或いは必要に応じて加
熱し、200〜500 kg/cm″程度の高圧で熱圧
着している。
法として、熱可塑性の有機バインダを含むグリーンシー
トを複数枚重ね合わせた後、室温或いは必要に応じて加
熱し、200〜500 kg/cm″程度の高圧で熱圧
着している。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、従来の方法はプレス機のプレス面に応じてグリ
ーンシートを切断し、その切断されたシートを重ね合わ
せる必要があるため、積層の作業効率に劣る不具合があ
る。また従来の方法は高圧のため重ね合わせたグリーン
シートが圧着時にずれ易い問題点があり、またグリーン
シートに含まれる有機バインダに熱可塑性が無いか或い
は非常に少ない場合には、セラミックグリーンシートを
加熱しながら加圧してもグリーンシート同士の接着力が
十分でなく、従来の熱圧着の積層方法では積層できない
欠点があった。
ーンシートを切断し、その切断されたシートを重ね合わ
せる必要があるため、積層の作業効率に劣る不具合があ
る。また従来の方法は高圧のため重ね合わせたグリーン
シートが圧着時にずれ易い問題点があり、またグリーン
シートに含まれる有機バインダに熱可塑性が無いか或い
は非常に少ない場合には、セラミックグリーンシートを
加熱しながら加圧してもグリーンシート同士の接着力が
十分でなく、従来の熱圧着の積層方法では積層できない
欠点があった。
本発明の目的は、積層の作業効率が高く、積層したとき
の位置ずれが生じに<<、また熱可塑性が無いか或いは
非常に少ない有機バインダを含むグリーンシートを積層
するに適したセラミックグリーンシートの積層方法を提
供することにある。
の位置ずれが生じに<<、また熱可塑性が無いか或いは
非常に少ない有機バインダを含むグリーンシートを積層
するに適したセラミックグリーンシートの積層方法を提
供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明は、一種又は二種以
上のアルコキシドを加水分解して得られたコロイドに有
機バインダを添加混合してセラミックスリップを調製し
、このスリップを成膜乾燥して成形された第1セラミッ
クグリーンシートをこのグリーンシートと同様に成形さ
れ、このグリーンシートと焼成収縮に大きな差異のない
第2セラミックグリーンシートに積層するセラミックグ
リーンシートの積層方法であって、第1セラミックグリ
ーンシートの片面に接着剤を塗工し、第2セラミックグ
リーンシートを前記接着剤を塗工した第1セラミックグ
リーンシートとともにプレス圧を5〜20 kg/ c
m”に設定した一対のラミネートロールに通して前記第
1セラミックグリーンシートに前記第2セラミックグリ
ーンシートを積層し、この積層前又は積層後に前記第1
セラミックグリーンシートに塗工した接着剤を乾燥する
ことを特徴とする。
上のアルコキシドを加水分解して得られたコロイドに有
機バインダを添加混合してセラミックスリップを調製し
、このスリップを成膜乾燥して成形された第1セラミッ
クグリーンシートをこのグリーンシートと同様に成形さ
れ、このグリーンシートと焼成収縮に大きな差異のない
第2セラミックグリーンシートに積層するセラミックグ
リーンシートの積層方法であって、第1セラミックグリ
ーンシートの片面に接着剤を塗工し、第2セラミックグ
リーンシートを前記接着剤を塗工した第1セラミックグ
リーンシートとともにプレス圧を5〜20 kg/ c
m”に設定した一対のラミネートロールに通して前記第
1セラミックグリーンシートに前記第2セラミックグリ
ーンシートを積層し、この積層前又は積層後に前記第1
セラミックグリーンシートに塗工した接着剤を乾燥する
ことを特徴とする。
くセラミックグリーンシート〉
本発明のグリーンシートは、一種又は二種以上のアルコ
キシドを加水分解して得られたコロイドに有機バインダ
を添加混合してセラミックスリップを調製し、このスリ
ップを成膜乾燥して成形されたものである。このスリッ
プを構成するコロイド粒子は数100〜数1000人の
範囲の極めて微小な粒径を有するため、有機バインダは
これらの微粒子を結合させるため、結合力に富んだもの
が用いられ、例えばポリビニルアルコール、ポリビニル
ブチラール、メチルセルロース、ポリアクリル酸、ポリ
メタクリル酸等が挙げられる。
キシドを加水分解して得られたコロイドに有機バインダ
を添加混合してセラミックスリップを調製し、このスリ
ップを成膜乾燥して成形されたものである。このスリッ
プを構成するコロイド粒子は数100〜数1000人の
範囲の極めて微小な粒径を有するため、有機バインダは
これらの微粒子を結合させるため、結合力に富んだもの
が用いられ、例えばポリビニルアルコール、ポリビニル
ブチラール、メチルセルロース、ポリアクリル酸、ポリ
メタクリル酸等が挙げられる。
グリーンシートは水を分散媒とするセラミックスリップ
から作られた水系のもの以外に、水酸基を有するアルコ
ール等を分散媒とするセラミックスリップから作られた
非水系のものを含む。
から作られた水系のもの以外に、水酸基を有するアルコ
ール等を分散媒とするセラミックスリップから作られた
非水系のものを含む。
く積層〉
本発明の積層は、プレス圧を5〜20 kg/ cm2
に設定した一対のラミネートロールの間を複数枚のセラ
ミックグリーンシートを通すことにより行われる。プレ
ス圧を5kg/cm’未満にすると、接着が十分でなく
、20 kg/ cm’を越えると、グリーンシートに
歪みを与える恐れがあるため、この範囲に設定される。
に設定した一対のラミネートロールの間を複数枚のセラ
ミックグリーンシートを通すことにより行われる。プレ
ス圧を5kg/cm’未満にすると、接着が十分でなく
、20 kg/ cm’を越えると、グリーンシートに
歪みを与える恐れがあるため、この範囲に設定される。
積層は、単一のグリーンシート同士を積層する以外に二
層以上のグリーンシートに単一もしくは二層以上のグリ
ーンシートを積層することもできる。これらのグリーン
シートは、焼成後の変形を防止するため、互いに焼成収
縮に大きな差異のないものであることが必要である。
層以上のグリーンシートに単一もしくは二層以上のグリ
ーンシートを積層することもできる。これらのグリーン
シートは、焼成後の変形を防止するため、互いに焼成収
縮に大きな差異のないものであることが必要である。
また本発明は接着剤を塗工した後、積層する前に乾燥す
るドライラミネート法以外に、接着剤を塗工して積層し
た後に乾燥するウェットラミネート法を採用することが
できる。
るドライラミネート法以外に、接着剤を塗工して積層し
た後に乾燥するウェットラミネート法を採用することが
できる。
〈接着剤〉
本発明の接着剤は、その溶剤がグリーンシートに吸収さ
れると、グリーンシートの引張強度が極端に低下し、シ
ートが破断したり、しわやうねりが発生するので、溶剤
がグリーンシートに吸収されるような接着剤は使用でき
ない。すなわち、水系のグリーンシートには非水系の接
着剤、例えばアクリル系樹脂、ブチラール系樹脂、ビニ
ール系樹脂等が用いられ、非水系のグリーンシートには
セルロース誘導体、アクリル系エマルジョン、酢酸ビニ
ルエマルジョン等が用いられる。
れると、グリーンシートの引張強度が極端に低下し、シ
ートが破断したり、しわやうねりが発生するので、溶剤
がグリーンシートに吸収されるような接着剤は使用でき
ない。すなわち、水系のグリーンシートには非水系の接
着剤、例えばアクリル系樹脂、ブチラール系樹脂、ビニ
ール系樹脂等が用いられ、非水系のグリーンシートには
セルロース誘導体、アクリル系エマルジョン、酢酸ビニ
ルエマルジョン等が用いられる。
またドライラミネート法には乾燥後接着するタイプのも
のが用いられ、ウェットラミネート法には接着後乾燥す
るタイプのものが用いられる。この接着剤は塗工厚がド
ライラミネート法では30〜100μmの範囲に、また
ウェットラミネート法ではこれより少ない5〜30μm
の範囲になるように塗工される。これらの下限値より薄
いと塗膜の欠陥が発生しやすく、上限値を越えるとグリ
ーンシート同士の間隔が大きくなりすぎて、焼成後に積
層したグリーンシートが剥離する恐れがある。
のが用いられ、ウェットラミネート法には接着後乾燥す
るタイプのものが用いられる。この接着剤は塗工厚がド
ライラミネート法では30〜100μmの範囲に、また
ウェットラミネート法ではこれより少ない5〜30μm
の範囲になるように塗工される。これらの下限値より薄
いと塗膜の欠陥が発生しやすく、上限値を越えるとグリ
ーンシート同士の間隔が大きくなりすぎて、焼成後に積
層したグリーンシートが剥離する恐れがある。
く乾燥〉
本発明の乾燥は、グリーンシートの走行速度が1〜am
/分程度の遅い速度である場合には、特別に加熱する必
要はなく室温乾燥で足りるが、これより高速にする場合
には40〜50℃程度の温風乾燥することが望ましい。
/分程度の遅い速度である場合には、特別に加熱する必
要はなく室温乾燥で足りるが、これより高速にする場合
には40〜50℃程度の温風乾燥することが望ましい。
く積層後の工程〉
積層されたグリーンシートは、必要に応じてカッティン
グ、巻き取りが行われ、更に所定の形状に打ち抜かれ、
或いはカッティングされた後、焼成されて所望の製品と
なる。
グ、巻き取りが行われ、更に所定の形状に打ち抜かれ、
或いはカッティングされた後、焼成されて所望の製品と
なる。
[発明の効果]
以上述べたように、従来のセラミックグリーンシートの
積層方法はプレス加工によるバッチ操作であったものが
、本発明によればシートの状態で積層できるため、連続
生産が可能となり、積層の作業効率が高い。特に、熱圧
着によらないため、積層したときの位置ずれが生じにく
く、また熱可塑性が無いか或いは非常に少ない有機バイ
ンダを含むグリーンシートを積層することができる。
積層方法はプレス加工によるバッチ操作であったものが
、本発明によればシートの状態で積層できるため、連続
生産が可能となり、積層の作業効率が高い。特に、熱圧
着によらないため、積層したときの位置ずれが生じにく
く、また熱可塑性が無いか或いは非常に少ない有機バイ
ンダを含むグリーンシートを積層することができる。
また従来のセラミックグリーンシートでは数1000Å
以上の粒径のセラミックス粉体を含有するため、一対の
ラミネートロールによる積層では、接合界面におけるセ
ラミックス粒子同士の接触率が低く、焼結が不十分で積
層したシートが剥離する恐れがあったものが、本発明で
はグリーンシートを構成する粒子の径が極めて小さいた
め、焼結が良好で剥離しにくい利点がある。
以上の粒径のセラミックス粉体を含有するため、一対の
ラミネートロールによる積層では、接合界面におけるセ
ラミックス粒子同士の接触率が低く、焼結が不十分で積
層したシートが剥離する恐れがあったものが、本発明で
はグリーンシートを構成する粒子の径が極めて小さいた
め、焼結が良好で剥離しにくい利点がある。
更に従来のセラミックグリーンシートはバインダの粒子
結合力が十分に高くないため、シート状で引張ると伸び
やすく、本発明の方法を用いることができないが、本発
明のグリーンシートは粒径の微小の程度に応じて強度の
ある有機バインダを使用しているため、シート状に張設
して巻き取っても、伸びが小さく焼成後の変形を十分に
小さく押えることができる。
結合力が十分に高くないため、シート状で引張ると伸び
やすく、本発明の方法を用いることができないが、本発
明のグリーンシートは粒径の微小の程度に応じて強度の
ある有機バインダを使用しているため、シート状に張設
して巻き取っても、伸びが小さく焼成後の変形を十分に
小さく押えることができる。
[実施例]
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳しく説明する。
〈実施例1〉
第1図に示すように、この例はドライラミネート法であ
る。第10−ル11には第1セラミックグリーンシート
10が巻取られ、第20−ル21には第2セラミックグ
リーンシート20が巻取られる。一対のコーティングロ
ール12及び13と一対のラミネートロール14及び1
5の間には乾燥機16が配置される。17はグラビアロ
ールであって、接着剤槽18の接着剤Aをドクタブレー
ド19によりコーティングロール12に均一に塗布する
。接着剤Aは酢酸エチルを溶剤とするアクリル系樹脂か
らなる。
る。第10−ル11には第1セラミックグリーンシート
10が巻取られ、第20−ル21には第2セラミックグ
リーンシート20が巻取られる。一対のコーティングロ
ール12及び13と一対のラミネートロール14及び1
5の間には乾燥機16が配置される。17はグラビアロ
ールであって、接着剤槽18の接着剤Aをドクタブレー
ド19によりコーティングロール12に均一に塗布する
。接着剤Aは酢酸エチルを溶剤とするアクリル系樹脂か
らなる。
この例ではセラミックグリーンシート10及び20はと
もに次の製法によって得られたグリーンシートである。
もに次の製法によって得られたグリーンシートである。
すなわち、アルミニウムイソプロポキシド[Al(CI
H,O)、]を加水分解してベーマイト[A100旧を
生成させ、これにpH2〜4に調整した水を加えて解膠
することによって、安定な擬ベーマイトゾルを得る。ま
た一方、マグネシウムメトキシドを加水分解してブルー
サイドシルを得る。
H,O)、]を加水分解してベーマイト[A100旧を
生成させ、これにpH2〜4に調整した水を加えて解膠
することによって、安定な擬ベーマイトゾルを得る。ま
た一方、マグネシウムメトキシドを加水分解してブルー
サイドシルを得る。
この両者をモル比で、
A1*Os : MgO= 98 : 2の割合
で混合して原料コロイドを調製する。
で混合して原料コロイドを調製する。
この原料コロイドに、親水性有機バインダとしてポリビ
ニルアルコールとポリ酢酸ビニルとの共重合体をコロイ
ドの分散相100重回%に対して40重量%添加混合し
た後、この原料コロイドを分散相15重量%、有機バイ
ンダ6重量%及び分散媒である水79重量%になるまで
濃縮してセラミックスリップを得る。
ニルアルコールとポリ酢酸ビニルとの共重合体をコロイ
ドの分散相100重回%に対して40重量%添加混合し
た後、この原料コロイドを分散相15重量%、有機バイ
ンダ6重量%及び分散媒である水79重量%になるまで
濃縮してセラミックスリップを得る。
このセラミックスリップを移動担体である高密度ポリエ
チレンテープ上にドクターブレードキャスティングによ
り厚さ1.2mmになるようにコーティングし、このポ
リエチレンテープを乾燥してセラミックスリップの分散
媒である水を脱離させて厚さ0.1mmのグリーンシー
トを得る。
チレンテープ上にドクターブレードキャスティングによ
り厚さ1.2mmになるようにコーティングし、このポ
リエチレンテープを乾燥してセラミックスリップの分散
媒である水を脱離させて厚さ0.1mmのグリーンシー
トを得る。
上記製法で作られた第1セラミックグリーンシート10
を第10−ル11から巻き戻して一対のコーティングロ
ール12及び13の間を通し、更に30℃に温度設定さ
れた乾燥機16に2m/分の速度で通す。一対のコーテ
ィングロール12及び13で接着剤Aをグリーンシート
10の片面に均一に塗工厚60μmで塗工する。
を第10−ル11から巻き戻して一対のコーティングロ
ール12及び13の間を通し、更に30℃に温度設定さ
れた乾燥機16に2m/分の速度で通す。一対のコーテ
ィングロール12及び13で接着剤Aをグリーンシート
10の片面に均一に塗工厚60μmで塗工する。
上記製法で作られた第2セラミックグリーンシート20
を第20−ル21から巻き戻し、接着剤へを塗工した第
1セラミックグリーンシート10とともにプレス圧を1
0 kg/ cm”に設定した一対のラミネートロール
14及び15に通して第1セラミックグリーンシート1
0に第セラミック2グリーンシート20を積層する。積
層したグリーンシー)30はロール31に巻き取られる
。
を第20−ル21から巻き戻し、接着剤へを塗工した第
1セラミックグリーンシート10とともにプレス圧を1
0 kg/ cm”に設定した一対のラミネートロール
14及び15に通して第1セラミックグリーンシート1
0に第セラミック2グリーンシート20を積層する。積
層したグリーンシー)30はロール31に巻き取られる
。
なお、三層以上の積層グリーンシートを作る場合には、
ロール31に巻き取ったグリーンシートを第10−ル1
1又は第20−ル21のいずれか一方、又は双方にセッ
トし、上記積層操作を必要回数繰り返せばよい。
ロール31に巻き取ったグリーンシートを第10−ル1
1又は第20−ル21のいずれか一方、又は双方にセッ
トし、上記積層操作を必要回数繰り返せばよい。
〈実施例2〉
第2図に示すように、この例はウェットラミネート法で
ある。第1図と同一符号は同一の構成部品を示す。この
例では一対のラミネートロール32及び33のうちロー
ル32がコーティングロールの機能を兼ねる。
ある。第1図と同一符号は同一の構成部品を示す。この
例では一対のラミネートロール32及び33のうちロー
ル32がコーティングロールの機能を兼ねる。
接着剤Aはエタノールを溶剤とするブチラール系樹脂か
らなり、セラミックグリーンシート10及び20はとも
に次の製法によって得られたグリーンシートである。す
なわち実施例1で得られた擬ベーマイトゾルを原料コロ
イドとして、この擬ベーマイトゾルにポリビニルアルコ
ールをコロイドの分散相100重量%に対して40重量
%添加混合した後、固形分が15重量%になるように濃
縮してセラミックスリップを得る。このセラミックスリ
ップを実施例1と同一方法で成膜乾燥し、厚さ0.1m
mのグリーンシートを得る。
らなり、セラミックグリーンシート10及び20はとも
に次の製法によって得られたグリーンシートである。す
なわち実施例1で得られた擬ベーマイトゾルを原料コロ
イドとして、この擬ベーマイトゾルにポリビニルアルコ
ールをコロイドの分散相100重量%に対して40重量
%添加混合した後、固形分が15重量%になるように濃
縮してセラミックスリップを得る。このセラミックスリ
ップを実施例1と同一方法で成膜乾燥し、厚さ0.1m
mのグリーンシートを得る。
上記製法で作られた第1セラミックグリーンシート10
を第10−ル11から巻き戻し、同時に第20−ル21
から第2セラミツクグリーンシー)20を巻き戻してそ
れぞれ一対のラミネートロール32及び33の間を通し
、更にガイドロール34を介して30℃に温度設定され
た乾燥機16に2m/分の速度で通す。ロール17がコ
ーティングロール32上のグリーンシート10の片面に
接着剤Aを均一に塗工厚10μmで塗工し、一対のロー
ル32及び33が同時にグリーンシート10にグリーン
シート20を積層する。
を第10−ル11から巻き戻し、同時に第20−ル21
から第2セラミツクグリーンシー)20を巻き戻してそ
れぞれ一対のラミネートロール32及び33の間を通し
、更にガイドロール34を介して30℃に温度設定され
た乾燥機16に2m/分の速度で通す。ロール17がコ
ーティングロール32上のグリーンシート10の片面に
接着剤Aを均一に塗工厚10μmで塗工し、一対のロー
ル32及び33が同時にグリーンシート10にグリーン
シート20を積層する。
接着剤が乾燥された積層グリーンシート30はロール3
5及び36で引き取られ、ロール31に巻き取られる。
5及び36で引き取られ、ロール31に巻き取られる。
実施例1及び実施例2で得られた積層グリーンシート3
0は、積層前のグリーンシート10及び20が粒径数1
00〜数1000人の原料コロイドから作られているた
め、プレス圧が低くても接合界面における粒子同士の接
触率が高く、後工程の焼成工程で十分に接着し、焼結状
態が良好で両シートは剥離しない。また上記有機バイン
ダはセラミックスリップを構成する微粒子の粒径に対応
して強い粒子結合力を有しているため1.積層中にグリ
ーンシート10及び20に無用の伸びを与えず、焼成後
の予期しない変形を防止する。
0は、積層前のグリーンシート10及び20が粒径数1
00〜数1000人の原料コロイドから作られているた
め、プレス圧が低くても接合界面における粒子同士の接
触率が高く、後工程の焼成工程で十分に接着し、焼結状
態が良好で両シートは剥離しない。また上記有機バイン
ダはセラミックスリップを構成する微粒子の粒径に対応
して強い粒子結合力を有しているため1.積層中にグリ
ーンシート10及び20に無用の伸びを与えず、焼成後
の予期しない変形を防止する。
第1図は本発明実施例のセラミックグリーンシート積層
装置の構成図。 第2図は本発明の別の実施例のセラミックグリーンシー
ト積層装置の構成図。 A:接着剤 10:第1セラミックグリーンシート°、14.15,
32,33:ラミネートロール、16:乾燥機、 20:第2セラミックグリーンシート、30:積層セラ
ミックグリーンシート。
装置の構成図。 第2図は本発明の別の実施例のセラミックグリーンシー
ト積層装置の構成図。 A:接着剤 10:第1セラミックグリーンシート°、14.15,
32,33:ラミネートロール、16:乾燥機、 20:第2セラミックグリーンシート、30:積層セラ
ミックグリーンシート。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)一種又は二種以上のアルコキシドを加水分解して得
られたコロイドに有機バインダを添加混合してセラミッ
クスリップを調製し、このスリップを成膜乾燥して成形
された第1セラミックグリーンシートを前記第1セラミ
ックグリーンシートと同様に成形され前記第1セラミッ
クグリーンシートと焼成収縮に大きな差異のない第2セ
ラミックグリーンシートに積層するセラミックグリーン
シートの積層方法であって、 前記第1セラミックグリーンシートの片面に接着剤を塗
工し、 前記第2セラミックグリーンシートを前記接着剤を塗工
した第1セラミックグリーンシートとともにプレス圧を
5〜20kg/cm^2に設定した一対のラミネートロ
ールに通して前記第1セラミックグリーンシートに前記
第2セラミックグリーンシートを積層し、 この積層前又は積層後に前記第1セラミックグリーンシ
ートに塗工した接着剤を乾燥する ことを特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法
。 2)非水系のセラミックグリーンシートを水系の接着剤
により積層する請求項1記載のセラミックグリーンシー
トの積層方法。 3)水系のセラミックグリーンシートを非水系の接着剤
により積層する請求項1記載のセラミックグリーンシー
トの積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042624A JPH072327B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042624A JPH072327B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02219603A true JPH02219603A (ja) | 1990-09-03 |
| JPH072327B2 JPH072327B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12641173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1042624A Expired - Lifetime JPH072327B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH072327B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6527890B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-03-04 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
| US6592696B1 (en) * | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
| US7318874B2 (en) * | 2001-03-20 | 2008-01-15 | Tesa Ag | Method for joining ceramic green bodies using a transfer tape and conversion of bonded green body into a ceramic body |
| US8696841B2 (en) * | 2007-11-16 | 2014-04-15 | Denso Corporation | Bonding material with increased reliability and method of manufacturing ceramic bonded body |
| JP2023183686A (ja) * | 2022-06-16 | 2023-12-28 | 株式会社トクヤマ | セラミックグリーンシート積層体の製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
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|---|---|
| JPH072327B2 (ja) | 1995-01-18 |
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