JPS5913666A - セラミツクスグリ−ンシ−トの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、焼成前のセラミックスクリーンシートの製造
方法に一関する。

（従来技術の説明〕 従来のセラミックスシートの製造方法は、無機質固体物
質を原料粉末に調製した後、微粉化−混合一仮焼一粉砕
一混合という操作を数回繰返して得られた微粉末を、可
塑性のあるまたはスラリー状の物質にし、この物質を各
種成形法により一定のシーＩ・状の成形体に加工し、高
温度で加熱焼成してセラミックスシート製品を得ていた
。

しかし従来の製造方法には、 ■　」起重処理方法によっても、最終のセラミックス製
品に部分的に不均質性が残り、製品収率の低下、品質上
の信頼性の低下等を招来し、■　微粉末を得るために多
大の粉砕動力を必要とし、かつ粉砕時にボール、ライナ
等の摩耗による異物の混入に起因して高純度原料が得難
く、■　製造工程の完全な連続化が本質的に困難でプ１
−１七ヌの合理化、自動化が阻害されている等の欠点が
あった。

本１１１願人は、上記種々の欠点を解消Ｊるために、一
種または二種以上の無機質を分散相とするコロイ（を出
発物質とし、前記コロイドより密度が小さくかつ前記コ
ロイドの分散媒を熔解する液体を上層液体とし、前記コ
ロイドより密度が大きい液体を［屓液体とし、前記コロ
イドを前記上層液体と前記上層液体とにより形成される
二層液体の界面周辺に供給し−で、この二層液体の界面
周辺で前記コ１．１イトの／７３敗媒０−＆＋＋または
全部を脱離させ、前記−口」イトに残存する分散相を成
形体として形成さ−Ｕるセラミックス成形体の製造方法
を発明し、特願昭５ｆｉ−１３１３６８により出１１ｉ
１ｊ七た。

また本発明有らは、上記上層液体の代りに固体の担体を
用いることにより成形体の表面平滑性がより−・ＩＦｔ
優れたセラミックス成形体の製造方法を発明し、特願昭
５７−３７８１９により出願した。

上記発明は、いずれも従来の製造方法と比較して、■固
体粉末を経由することなく均質な成形体が得られ、■複
合酸化物等の複雑な組成をもつセラミックスの均質な成
形体を容易に製造することができ、■セラミックス製造
工程の連続プロセス化を実現することができ、■最終的
に表面が平滑でしかも均質な超高純度のセラミ・ノクス
製品を容易に製造することができる優れたセラミックス
成形体の製造方法である。

しかし前記発明は、いずれもコロイドの分散媒の脱離が
進むにつれて、この脱離媒体である上層液体の濃度の希
釈化に起因して脱離媒体の交換を必要とするため、脱離
媒体の使用量が多くなり、特に連続プロセスにより製造
する場合には、脱離媒体の濃度調整が煩雑になる欠点が
あった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記欠点を解消するもので、前記発明の優れ
た点に加え、コロイ］Ｘの分散媒を脱離させる脱離媒体
の濃度調整が簡単で脱離媒体の使用量が少なくて済み、
経済的に製造することができるセラミックスグリーンシ
ートの製造方法を提供することを目的とする。

〔発明の要旨〕

本発明は、一種または二種以上の無機物を分散相とし水
を３）　ｔｉ＆媒とするコロイドに、必要あれば有機Ｗ
４ハ・インダを添加し、ごのコロイＦを固体の１ｕ体に
塗布した後、カルボン酸類、アミン類、またはアンモニ
アの中から選ばれた一種または二種以上の花台物の蒸気
を含む気体雰囲気中に入れて、前記：Ｊ　ＩＩＩイｌＳ
に離漿を生しさせ、この離漿の生した二ＩＩ：Ｊイドを
前記気体雰囲気中または空気雰囲気中ご乾燥してセラミ
ックスグリーンシー１〜を形成させることを特徴とする
。

なお、上記固体の担体は移動担体であって、かつ−目レ
イ１が連続的に塗布されて気体雰囲気中を通過すること
が好ましい。

また、」−記カルボン酸邦はギ酸または酢酸であること
が好ましい。

また、土、記アミン頬は炭素数６以下のアミンであるこ
とが好ましい。

また、上記コロイドは一種または二種以上のアルニ１キ
ッドを加水分解して得られるコロイドであることが好ま
しい。

さらに、上記コロイドは一種または二種以−ヒのアルコ
キシドを加水分解して得られるコロイドの二種または三
種以上の混合物であることが好ましい。

なお、本明細書において１．、コロイド」とは、１０〜
１０，０００オングストローム（人）　　（１〜１．Ｏ
ＯＯｍｎ）の大きさの固体粒子が液相に分散している系
をいい、ｒｌｉｉｌ漿（ｓｙｎｅｒｓｉｓ）　Ｊとは、
ケルやコロイドがその構造の間隙に含んでいた分散媒の
一部分を放出して体積を減少する現象をいい、さらに「
アルコキシド」とは、金属元素、ケイ素、リン、ヒ素、
セレン、テルル、ホウ素、炭素、またはイオウによりア
ルコール類の水酸基の水素を置換した化合物をいう。

〔補足説明〕

本発明をさらに補足説明すると、固体の担体に塗布され
たコロイドがツル状態のものである場合には、このコロ
イドが前記化合物の蒸気雰囲気中におかれると、コロイ
ドに凝結が起り、急速にケル化する。このように形成さ
れたケル状物質もしくは塗布１；１に既にケル状態であ
ってその状態で塗布されにケル状物質は、前記化合物の
蒸気雰囲気中ζ離漿を生し、ケルの体積が僅かに変化す
るだので、ゲル状物質の表面に分散媒である水を、あた
かも寒天・やチースが汗をかくよ・うに脱離しつつ、さ
らにケル化が進行する。次いでゲル化の進行した：ｌ　
ＩＪイ１は、脱離した水を前記化合物の蒸気雰囲気中に
押敗さ−１ずに物理的に適宜除去し、さらに加ｉｐＨ乾
燥処理を加えるごとによって塗布形状を維持しつつ、固
体の担体に支持されて逐次分散相を主成分とする成形体
となり、クランクの発生や変形を生しることなく目的と
する形状のセラミックスクリーンシートになる。

このときコロイドの塗布される担体を固定担体として、
この固定担体を１個ずつ供給するいわゆるハノチブＩＩ
セスによりセラミックスシートを製造することもてき、
またごの担体を移動担体として連続プロセスによりセラ
ミックスシートを製造することもできる。例えば平板状
の移動担体にコロイドを塗布して連続的にカルホン酸類
、アミン類、またはアンモニアの中から選ばれた一種ま
たは二種以上の化合物の蒸気を含む気体中を連続的に通
過させることにより連続したセフミックスクリーンシー
トを得ることができる。

なお、前記化合物の蒸気を含む気相の塩度は、離漿によ
り脱離した水の氷結またはＷｌｔ騰を防止するため、０
°Ｃ以上１００°Ｃ未満の温度が好ましく、特に２０℃
〜４０℃が好ましい。またその気圧は、離罪時にゲル状
物質の表面に気泡を生しないよ・うに、１気圧もしくは
１気圧より僅かに高い気圧であることが好ましい。

前記コロイドを前記化合物の蒸気を含む気相中に入れて
分散相の水を脱離させる時間は、この化合物の成分およ
び蒸気容積比、さらにコロイドの分散相の成分および組
成比により異なるが、数分〜数時間の範囲である。

Ｉｉｌ！ｔ　ｐｉによりゲル状物質から脱離した水は、
前記化合物の蒸気を含む気体中に揮散させることなく除
去される。例えば、固体担体を僅かに１頃斜さ・ｌるご
とにより、脱離した水はケル状物質の表面を流ドしこ除
去される。

これによりコ（」イトの分散媒である水を脱離させる脱
Ｐｉ１１媒体である前記化合物の蒸気を含む気体の濃度
Ｍｌｌ整が不要で、この気体は上記水により希釈される
ことか殆どないため、気体の使用量が少なく“（済め、
経済的に製造することができる。

また１１１体に塗布されたコロイドのｔｉｌｌ！Ｉｌが
進行し、水う）か次第に除去されるに゛つれ、かなりの
外部応力が加え（りれても切断することのないフレキン
プルなセフミックスクリーンシートとなるので、担体よ
り容易に剥離することができる。

」起重セラミックスグリーンシートは、その厚さおよび
焼成前の加工方式に応して、 ■　前記化合物の蒸気を含む気体の中で担体とともに巻
取られ、 ■　または担体から剥離された後に上記気体中て巻取ら
れ、 ■　または担体とともにあるいは担体から剥離された後
に空気中に引き出され、必要あればさらに乾燥処理を施
した後、担体とともにあるいは担体から剥ｈｌｉされた
後に巻取られ、■　乾燥、切断加工、焼成等の次工程に
供され、■　または上述の■〜■で巻取り操作を行うこ
となく連続的に次］二程に供される。

分散媒の水が離罪により除去されたコロイド中には、未
だ僅か−ｍｋ分と前記化合物の蒸気が含まれているため
、乾燥される。この乾燥方法は前記化合物の蒸気を含む
気体中、あるいは空気中に放置して乾燥する。このとき
の気体の条件は雷温當圧下でよいが、必要あれば昇温速
度を遅くして加熱してもよい。この加熱温度の上限温度
は、有機質バインダが加えられる場合には、この有機質
バインダが変質を開始Ｊる温度よりやや低い温度に設定
される。また前記化合物の蒸気を含む気体のその化合物
以外の他成分は、空気の他に窒素等の気体が適宜選択さ
れ、また乾燥速度を速めるために蒸気分圧を僅かに低く
することもできる。

本発明に用いられるコロイドの分散相は、特に限定され
ず、専ら所望の製品の用途および特性により定められる
が、例えば八１、Ｍｇ、　Ｓｔ、　Ｔｉ、　Ｂａ、Ｐｂ
、　７．ｎ、　Ｚｒ、希土類等の金属もしくは非金属の
酸化物、水酸化物、またはその含水化合物などが挙げら
れ、またこれらの混合物であってもよい。特に、　・種
または二ｆ！以上のアルコキシドを加水分解し゛（得ら
れる物質が好ましい。

例えは金属アルミニウムをイソプロピルアルコールと反
１．Ｌ１さｌ゛ζ得たアルミニウムイソプロボキソＩ　
〔八ｌ（１−Ｃ３１１ｖ　Ｏ）　３）１モルに対し１０
０’ｌニールの水を加え、約８０℃で３０分間加水分解
して・・、−マイ１−〔八１００１１　）を生成させ、
これに少量の塩酸を加えて解膠するごとによって安定な
ヘーマ、イ１−ゾルまたは擬ヘーマイトゾルが得られる
。

このツルに必要あれば、有機質バインダを添加混合した
後、担体に塗布し、前記化合物の蒸気を含む気体中に置
くごとにより所望のセラミックスグリーンシートが得ら
れる。

アル１１キノｌ、の加水分解で得られるゾルを出発物質
とする利点は、複合酸化物からなるセラミックス成形体
の製造において一層顕著になる。ずなわら複合酸化物は
、この酸化物を構成する複数の金属元素からなるアルコ
キシドの混合物を加水分解することにより、　１００°
Ｃ以下の低温で容易に合成され、前記ヘーマイトの場合
と同様に適切な解膠処理によってゾル、換言すればコロ
イドを形成することができる。

例えば高誘電率材料として広く利用されているチタン酸
バリウム（ＢａＴｉ０３）の場合には、バリウムイソプ
ロポキシドとチタニウムイソプロポキシドとをモル比で
ｌ＝１の割合になるように秤取し、これをベンゼン溶液
中でよく混合し、６０〜８０°Ｃで十分反応させたのち
、水を添加して加水分解すると白色のＢａＴｉＯ３沈殿
物を得る。この白色沈殿物はアルコキシドの加水分解で
得られる他の化合物の場合と同様に、極めて微細な粒子
からなっていて、解膠処理することにより安定したコロ
イドが容易に得られ、本発明の製造方法にとって極めて
好ましい出発物質が提供される。

一方従来法によるＢａＴｉＯ３の合成は、炭酸バリウム
（ＢａＣ０３）と二酸化チタン（Ｔｉｆｂ　）の粉末を
出発原料とし、十分混合したのち加圧成形し焼成するも
のであるが、ＢａＴｉＯ３の生成は７００°Ｃ以上に加
熱”」るごとにより初めて起り、少なくともＩＨＩＯ°
Ｃ程度まで加熱しないと、この反応は完結セ４゛、ざら
に焼結を十分行わせるには１３５０℃ないしそれ以上の
高温処理が必要である。この方法においてはかかる焼成
過程において顕著な膨張、収縮が生し製品に機械的な応
力が加わる結果、歪やクラックが発生゛Ｊるなどの悪影
響がでる。

これに対し本発明の製造方法で前記アルコキシｌを出発
原料とすれば、　１００℃以下の温度でＢａＴｉＯ３が
生成され、セラミックスグリーンシートの焼成温度を１
２００℃前後の低温度まで下げても、従来広原１−の焼
結度のセラミックス製品が得られ、しかも焼成温度にお
いても相変化を伴わないため、均質で緻密なしかも超高
純度のＢａＴｉＯ３セラミ’７クス製品を容易に得るこ
とができる。

さらに複雑な組成のセラミックス製品を製造する場合に
も、一種または二種以上のアルコキシドの混合物を加水
分解して得られたコロイドを二種以上均質に混合して用
いることにより、均質な特性の優れた製品を安定してか
つ高い収率で製造することができる。上記方法は、例え
ば組成の厳密な制御と均質化が必要な正温度特性（ＰＴ
ｃ）サーミスタの製造などに適用すると極めてリノ果的
である。

またアルコキシドを出発原料に用いることは、有機溶媒
中で各成分の混合が行われる結果、均質化が極めて容易
に行われ、しかも石浦化学上業におりる諸反応と同様に
パイプラインおよび反応塔よりなる完全自動連続システ
ムによって、出発物質（コロイド）を作成できる利点が
あり、これに続く成形工程さらには焼成工程までセラミ
ックスの連続製造ラインを形成できる特長がある。

なお本発明の製造方法の出発原料としては、前記アルコ
キシドの加水分解と解膠操作によって得られるものに限
定されず、例えば金属塩にアンモニア水を添加して金属
の水酸化物となし、この水酸化物を水を分散媒としたコ
ロイドになすなど種々の手法によることができる。

まノコ層間に置換イオンを含む膨潤性粘土鉱物、例えは
天然スメクタイトや人工フッ素雲母系鉱物などを分散媒
中に投入し、膨潤崩壊させて得られる微粒子を分！１＆
相とするコ［１イドも本発明の製造方法の出発原料とし
て好適である。

さらに：１１コイト−化の手法を異にする複数のこ１０
イ］から容易に均質な混合、１０イドを作製でき、この
混合−月、ｔイトも本発明の出発物質として利用するご
ともできる。

ま人−次の成分１１＆媒工程および成形工程、あるいは
それ以降の焼成」二程に至るまでの過程において柔軟性
に冨んたセラミックスシートを必要とする場合にＩＪＨ
，＝ｒ　＋ｌＪイドに可撓性のある有Ｒ質ハインクを予
め適量混合しておき、その後に成形するごとによってそ
の目的を達成することができる。この自（幾隻１バイン
ダとしては、１列えばボリヒニールアルー１−ル、ポリ
酢酸ヒニル、メチルセルロース、ポリアクリル酸、ポリ
メタクリル酸またはこれらの共重合体、混合物等が挙げ
られる。さらにコロイ１を成形するに先立ち、このコｄ
イドの粘性を成形に好適な範囲に調節する目的で各種増
粘剤または分散剤等を添加混合することもできる。

前記担体に塗布されたコロイドの離漿をもたらす化金物
としては、カルボン酸類、−アミン類、またはアンモニ
アが挙げられ、前述したように０°Ｃ以上１００℃未満
の温度範囲で前記離漿が起る十分な蒸気圧を有するもの
でなければならなず、特にカルボン酸類およびアミン類
の場合には、後述するように炭素数の少ないものが好ま
しい。

前記カルボン酸類としては、ギ酸、酢酸、またはこれら
の化合物の異性体が挙げられる。

また前記アミン類としては、炭素数６以下の化金物が好
ましく、例えばメチルアミン、エチルアミン、プロピル
アミン、ブチルアミン、アミルアミン、ジメチルアミン
、ジメチルアミン、ジプロピルアミン、トリメチルアミ
ン、１−リエチルアミン、アリルアミン、およびこれら
の化合物の異性体が挙げられる。

前記各種化合物は単独で供用される以外に、前記化合物
を複数混合して用いてもよい。

なお、前記化合物以外の他の塩基類、酸類の化合物であ
って、本発明に使用するときの温度条件−Ｆでその蒸気
圧が１５ｓｎｌ１ｇ以上の化合物は前記化合物と同様に
本発明を実施することができる。

また前記化合物の選択は、コロイドの中の水分含有量、
−１ｕイ１を塗布した担体の供給速度、成形体の厚さお
よび幅、脱水乾燥速度等の各種条件を勘案して行われ、
また気相中の各化合物の蒸気分圧も」−記と同様の各種
条件を勘案して決定される。

さらに前記二ｌ　ｌ：Ｊイドを塗布する方法としては、
ハソチゾＩＩセスにより製造する場合には、固定担体と
してガラス坂、金属板、有機高分子板等を用いて、この
固定１１１体に対して吹付り、流込み等のＪ−ティング
法が採られる。また連続プロセスにより製造する場合に
は、移動担体として連続した金属フィルム、有機高分子
フィルム等を用いて、この移動担体に対して吹付け、デ
ィッピング、ドクターブレード、リバースロール、また
はパン等の一般に用いられζいるコーティング法が採ら
れる。特に移動担体としてステンレス合金、ニッケル、
クロム等の金属フィルムやボリプＵピレン、ポリエチレ
ン、ポリエステル、ソノ素樹脂等の有機高分子フィルム
が好ましい。

なお固定および移動担体の表面にシリコーン処理、金属
メッキ処理を施すことにより、剥離性、表面平滑性の優
れた担体を得ることもできる。

連続プロセスにより製造する一例を以下に述べると、移
動担体の表面に連続的に塗布された」ロイドは、移動担
体とともに前記化合物の蒸気を含む気体中に供給され、
コロイドの分散媒である水の一部または全部がＩｉｌ！
ｔ！Ｉｉにより脱離されて、コロイドのゲル化とそれに
伴う凝結作用によって、移動担体に支持された状態でグ
リーンシートに形成され、前記気体容器の外に置かれた
巻取り装置、ガイドローラ等によって連続的に系外に搬
出される。次いでこの搬出されたグリーンシートを移動
担体より剥離し、必要あればグリーンシートに残存する
分散媒を乾燥機により除去した後、トンネルキルン等を
用いて焼成することにより所望のセラミツタ７、ソート
製品が得られる。

なオ９ＩＡＩＬ成工稈に先立ら、すＪ凹加工を施ゼば高
性能セラミックスソー］・製品が連続的に能率よく製造
される。

また前述した可撓性バインダを加えたグリーンジー１に
＃ｔいては、種々の加工を施されたグリーンソー１を１
μ数枚重ね合・Ｕてプレス加工することにより種々の１
ｕ「面形状のセラミックス製品を得ることも可能である
。

参考までに本発明の原料」ロイドの分散相を形成する物
質と同等物質を粉末原料とし゛Ｃ１従来法に基づい−（
ｔｏｏｏ°Ｃ程度の温度で仮焼した後、有機質ハイツタ
を添力１「シてテープ成形して焼成後に得られた成形体
は、本発明の成形体に比較して表面ｉｔ２湯性が悪く、
機械的強度が著しく弱いものであ′った。

〔発明の効果〕

以」、述べたように、本発明によれば、前記コロイドを
固体ｌｉｄ体上に塗布した後、前記化合物の蒸気を含む
気体中に入れてＭｌｌ漿させコロイドの分散媒である水
を脱離させることにより、前記従来発明の利点に加えて
、 コロイドの分散媒を脱離させる脱離媒体である前記化合
物の蒸気を含む気体の濃度調整が不要で、この気体の使
用量が少なくて済め、経済的に製造することができる優
れた効果がある。

〔実施例による説明〕

次に本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、
本発明はその要旨を以下の実施例に限定するものではな
い。

（実施例■） 市販のシリカゾルを用い、ハッチプし１セスにより処理
するために、シリカツルの粘性を調節し、これを固定担
体のガラス板上にアプリケーターで厚みｌ　ｍｍになる
ように塗布する。次にこのシリカゾルが塗布されたガラ
ス板を２０℃ｌ気圧のアンモニアガスと空気の混合雰囲
気中に放置してシリカゾルの分散媒である水を離りｎさ
−Ｕ、シリカゾルをケル化させた後、ガラス板を傾斜さ
せ−ζ遊離した水を除去する。次にガラス板を１−配器
囲気中より取り出し、カラス板上のシート状のゲルをガ
ラス板から剥離さ−Ｕ、５０’Ｃｌ気圧の空気中に放置
して乾燥さｌｂラミックスゲリーンシートを得た。

このグリーンソートを１０００℃で焼成して焼成後の厚
さが５０μｍのシリカガラスシートを得た。

（実施例■） 金属マクネンウムとメタノールとを反応させて得られた
一７グネシウムメトキシドに水を加えて加水５ｒ　Ｉｌ
・ｒさ−Ｕツルーサイトゾルを得た。

このフルの固形分に対し３０重量％のポリビニールアバ
ξ１−ルを添加し、ドクタープレー１−コーチインク法
に基づくテープキャスティングにより移動担体のポリコ
ースチルフィルムに厚さｌ　ｍｍになるように塗布する
。次にこのポリエステルフィルムを酢酸の飽和蒸気雰囲
気に保たれた７０°Ｃの容器内にａ’ｌｌｋ的に挿入し
、ブルーサイ１−ゾルの分散媒である水を酢酸蒸気で離
漿させ、上記ブルーサイドシルをゲル化さ〜Ｕた後、酢
酸蒸気雰囲気の容器より引き出］。なお分散媒である水
は成形されたフルーリ“イ１−ゾルの表面にＭ離するの
で、連続的に容器外に排出させた。次いでポリエステル
フィルム」二のシート状のゲルをポリコースチルフィル
ムら剥離させ、８０℃の空気中を通過さ・Ｕてソート状
ゲルに残存する酢酸と水とを連続的に除去し、厚さ　１
００μｍのブルーザイトクリーンシーＩ・を得た。

このグリーンシートを１５００℃で焼成して焼成後の厚
さが４０μｍのマグネシアセラミックスシートを得た。

　このマグネシアセラミックスシートは均質で表面粗さ
０．５μｍ以下であり、貫通空孔は全く存在しなかった
。また鉱物組成は超高純度のマグネシアのみからなるこ
とを化学分析およびＸ線回折装置で確認した。

（実施例■） 金属アルミニウムをイソプロピルアルコールと反応させ
て得られたアルミニウムイソプロポキシドにＩＩＨ２〜
４に調整した水を加え加水分解しベーマイトブルを得た
。

これに実施例■で得たブルーサイドシルをモル比で　Ａ
ｔ２　　０３　　：ＭｇＯ　　＝　　９８：　２の割合
で混合して原料コロイドを調製する。

このＩＥ４１１コロイドをリバースロールコーティング
法に基づくテープキャスティングにより移動担体の高密
度ポリエチレンテープに厚さ　０．３１のコーチインク
を行う。次にコーティングの施されたポリ１チレンテー
プをイソプロピルアミン蒸気雰囲気６ご保たれた２５°
Ｃの容器に連続的に挿入し、原料Ｕ　ｌ：＋　４　１の
分散媒である水がＩｉＩｌｔ漿し、上記原料Ｊ　ＩＩイ
１，がゲル化した後、蒸気雰囲気より連続的に引き出す
。　次いで高密度ポリエチレンテープにより剥１ｉｓ１
１さーけ、５０’Ｃ　　Ｏ．９気圧の空気中を通過さ・
Ｕて厚さ１０Ｉｔｍの乾燥したグリーンシートを得た。

、二のクリーンソートを１６００°Ｃで焼成して焼成後
の厚さが２０μｍのαアルミナを主成分とするセラミッ
クスソー１−を得た。

このセラミックスシートは均質で表面粗さ０．３μｍ以
１であり、貫通空孔は全く存在せず、集積回路基板もし
くは蒸着基板として研磨なしに使用するに１−分な表面
１１１さであった。

（実施例ＩＶ） アルミニウムイソプロポキシドとナトリウムイソブロボ
キシトとをβアルミナ組成（原子比でＡｔ：　Ｎａ＝　
１０：　１　）に混合した混合アルコキシドを加水分解
させて原料コロイドを得た。

この原料コロイド°を連続プロセスにより処理して、得
られるグリーンシートの剥離、切断等の加工を容易にす
るために、この原料」ｕイドの固形５（に対し２５重量
％のポリアクリルアミドを原料コロイドに添加し、ドク
ターブレード」−ティング法に基づきポリエステルテー
プ上にテープキャスティングにより移動担体に厚さＩＩ
ＩＴＩのコーティングを行う。次にコーチインクの施さ
れたポリエステルテープをアンモニアとブチルアミンの
容積比１：ｌの混合気体雰囲気の４０℃に保たれた容器
に連続的に挿入し、上記原料コロイドの分散媒である水
を離漿させ、上記原料コ１ノイドがゲル化した後、雰囲
気より連続的に引き出す。　次いで６０℃１気圧の空気
中を通過させて、残存する水、アンモニア、およびブチ
ルアミンを連続的に除去した後、ポリエステルテープよ
りグリーンシートを剥離させ、厚さ８０μｍの乾燥した
グリーンソートをｉ′Ｉた。このグリーンシートを１２
００℃で焼成して焼成後の厚さが２５μｍのβアルミナ
シートを得た。

特詐出＋ｔｊｉ人　三菱鉱業セメント株式会社。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　一種または二種以上の無機物を分散相とし水
   を分散媒とするコロイドに、必要あれば有機質バインダ
   を添加し、このコロイ（′を固体の担体に塗布した後、
   カルボン酸類、アミン類、またはアンモニアの中から選
   ばれた一種または二種以上の化合物の蒸気を含む気体雰
   囲気す弓こ入れて、前記コロイドに離漿を生じさせ、こ
   の離漿の生じたコロイドを前記気体雰囲気中または空気
   雰囲気中で乾燥してセラミックスグリーンシートを形成
   さセるセラミックスグリーンシートの製造力ｌ去。
2. （２）　　固体の担体ば移動担体であっ一ζ、かつコロ
   イドが連続的に塗布されて気体雰囲気中を通過する特許
   請求の範囲第（１）項記載のセラミックスクリーンシー
   トの製造方法。
3. （３）　　カルボン酸類はギ酸または酢酸である特許請
   求の範囲第（１）項または第（２）項記載のセラミック
   スグリーンシートの製造方法。
4. （４）　　アミン類は炭素数６以下のアミンである特許
   請求の範囲第（１１項または第（２）項記載のセラミッ
   クスクリーンシートの製造方法。
5. （５）　　コＩＪイＦは一種または二種以上のアルコキ
   シドを加水分解して得られるコロイドである特許請求の
   範囲第ｆｌ）項ないし第（４）項のいずれかに記載のセ
   ラミックスクリーンシートの製造方法。 ｔ６）　　：＋　１１イトは一種または二種以上のアル
   コキシドを加水分解して得られるコロイドの二種または
   三種以」−の混合物である特許請求の範囲第（１１項な
   いし第（４）項のいずれかに記載のセラミックスグリー
   ンソー１・の製造方法。