JPS6321885A - 放電型ガスレ−ザ−装置 - Google Patents
放電型ガスレ−ザ−装置Info
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- JPS6321885A JPS6321885A JP16725386A JP16725386A JPS6321885A JP S6321885 A JPS6321885 A JP S6321885A JP 16725386 A JP16725386 A JP 16725386A JP 16725386 A JP16725386 A JP 16725386A JP S6321885 A JPS6321885 A JP S6321885A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- discharge
- electrode
- shape
- electric field
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は放電型ガスレーザー装置に関する。
（従来の技術）
周知のようにこの種放電型ガスレーザー装置。
たとえばエキシマレーザ−装置は、一対の放電電極間に
レーザーガスを満たしておき、その放電電極間でグロー
放電を発生させてレーザーを出力するように構成されて
ある。
レーザーガスを満たしておき、その放電電極間でグロー
放電を発生させてレーザーを出力するように構成されて
ある。
第２図は通常のこの種装置における回路図を示し、レー
ザー管１内に一対の放電電極２，３を配置するとともに
、ピーキングコンデンサ４および予備電離電極５の直列
回路を並列に接続して、前記放電電極２，３の両側に配
置する。またレーザー管１にはレーザーガスが封入され
てある。
ザー管１内に一対の放電電極２，３を配置するとともに
、ピーキングコンデンサ４および予備電離電極５の直列
回路を並列に接続して、前記放電電極２，３の両側に配
置する。またレーザー管１にはレーザーガスが封入され
てある。
当初スイッチ素子６（たとえばサイラトロン）はオフと
されており、この状態で電源端子７からの電圧によって
コンデンサ８がリアクトル９を介して充電される。所定
電圧まで充電された時点でスイッチ素子６をオンとする
と、コンデンサ８はピーキングコンデンサ４および予備
電離電極５を介して放電される。
されており、この状態で電源端子７からの電圧によって
コンデンサ８がリアクトル９を介して充電される。所定
電圧まで充電された時点でスイッチ素子６をオンとする
と、コンデンサ８はピーキングコンデンサ４および予備
電離電極５を介して放電される。
このときの予備電離電極５での放電により紫外線が発生
し°、これによって放電電極２，３間でレーザーガスが
電離する。そしてピーキングコンデンサ４が充電され、
放電電極２，３間の放ｆ＄！電圧に達すると、放電電極
２，３間で主放電が開始する。この放電によって紫外線
レーザーが発生する。
し°、これによって放電電極２，３間でレーザーガスが
電離する。そしてピーキングコンデンサ４が充電され、
放電電極２，３間の放ｆ＄！電圧に達すると、放電電極
２，３間で主放電が開始する。この放電によって紫外線
レーザーが発生する。
第３図は従来のレーザー管１の内部構造を示し、放電電
極２，３の両側に多数の子ｌｎｎ電電電極と、これに直
列のピーキングコンデンサ４を配置して構成されている
。
極２，３の両側に多数の子ｌｎｎ電電電極と、これに直
列のピーキングコンデンサ４を配置して構成されている
。
ところでこのようなレーザー発生のためには。
放電電極２，３間で均一なグロー放電が発生することが
必要である。そのため通常はこの種放電電極として５３
図に示すように、表面を凸面としたカマボコ型の形状を
したものを使用するのを普通としている。
必要である。そのため通常はこの種放電電極として５３
図に示すように、表面を凸面としたカマボコ型の形状を
したものを使用するのを普通としている。
この表面形状としては通常チャン（Ｃｈａｎｇ）形が使
用されるが、これは放電電極２，３間で平等電界分布を
得る解析解のもとに得られた形状である。
用されるが、これは放電電極２，３間で平等電界分布を
得る解析解のもとに得られた形状である。
しかしこの解析解は放電電極の周囲に他の構成物が存在
していない場合のものである。実際には前記のように周
囲に予備電離電極５．ピーキングコンデンサ４が存在し
ているため、このような表面形状では理論どうりの平等
電界分布は得られない。
していない場合のものである。実際には前記のように周
囲に予備電離電極５．ピーキングコンデンサ４が存在し
ているため、このような表面形状では理論どうりの平等
電界分布は得られない。
特に周囲にピーキングコンデンサ４のようなコンデンサ
が存在していると、その電極は成る電位を持っている関
係上９図中点線で示すように等電位線は、コンデンサに
引きこまれ易くなり、そのため放電電極３の両側の付近
での電界は、衝めて弱くなってしまう。
が存在していると、その電極は成る電位を持っている関
係上９図中点線で示すように等電位線は、コンデンサに
引きこまれ易くなり、そのため放電電極３の両側の付近
での電界は、衝めて弱くなってしまう。
このように周囲の構成物によって電界分布は強く影響さ
れるため、実際の平等電界領域は理論値よりも狭くなる
のが普通である。そしてこのように平等電界領域が狭く
なれば、放電領域がそれだけ狭くなるとともに、レーザ
ー発振パターンも縮小されてしまう。
れるため、実際の平等電界領域は理論値よりも狭くなる
のが普通である。そしてこのように平等電界領域が狭く
なれば、放電領域がそれだけ狭くなるとともに、レーザ
ー発振パターンも縮小されてしまう。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明はレーザー発生のための放電を起す放電電極の
周囲に、コンデンサその他の構成物が存在していても、
これらの存在の影響を回避して、この放電電極間に広い
平等電界領域を形成することを目的とする。
周囲に、コンデンサその他の構成物が存在していても、
これらの存在の影響を回避して、この放電電極間に広い
平等電界領域を形成することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
この発明は一対の放電電極のうちのピーキングコンデン
サから離れた側の表面を凹面形状に、また他方の表面を
凸面形状とすることにより、面放電電極の表面形状を非
対称とし、これによって放電電極間に広い平等電界領域
を形成するようにしたことを特徴とする。
サから離れた側の表面を凹面形状に、また他方の表面を
凸面形状とすることにより、面放電電極の表面形状を非
対称とし、これによって放電電極間に広い平等電界領域
を形成するようにしたことを特徴とする。
（実施例）
この発明の実施例を第１図によって説明する。
なお第３図と同じく符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。この発明にしたがい放電電極２，３
のうちの、ピーキングコンデンサ４から離れた側の放電
電極３の表面を凹面形状とする。また他方の放電電極２
表面を凸面形状とする。
応する部分を示す。この発明にしたがい放電電極２，３
のうちの、ピーキングコンデンサ４から離れた側の放電
電極３の表面を凹面形状とする。また他方の放電電極２
表面を凸面形状とする。
これにより面放電電極２，３の表面形状は非対称とされ
ることになる。
ることになる。
このように構成すると、各放電電極の表面付近の等電位
線は図中点線で示すように、放電電極に引き込まれ、そ
のため放電電極の幅方向に沿う中央部分では、その表面
に広く平行するような形状となる。その結果放電電極の
表面での平等電界領域は、従来構成よりも広くなる。
線は図中点線で示すように、放電電極に引き込まれ、そ
のため放電電極の幅方向に沿う中央部分では、その表面
に広く平行するような形状となる。その結果放電電極の
表面での平等電界領域は、従来構成よりも広くなる。
なおこの場合の放電電極の具体的な表面の曲率は、放電
電極の間隔、周囲の構成物の位置関係その他すべてを考
慮して、コンピュータにより数値計算して最適なものを
得ることが望ましい。また放電電極２の表面形状を凸面
としているが、これはチャン形である必要はなく、これ
もコンピュータにより数値計算して最適なものを得るよ
うにするとよい。
電極の間隔、周囲の構成物の位置関係その他すべてを考
慮して、コンピュータにより数値計算して最適なものを
得ることが望ましい。また放電電極２の表面形状を凸面
としているが、これはチャン形である必要はなく、これ
もコンピュータにより数値計算して最適なものを得るよ
うにするとよい。
（発明の効果）
以上詳述したようにこの発明によれば、放電電極の表面
における平等電界領域を、従来よりも充分に広くするこ
とができ、したがってレーザー発振パターンを確実に広
げることができるし、またコンパクトな放電電極によっ
ても大きなレーザー発振パターンが得られるようになる
といった効果を奏する。
における平等電界領域を、従来よりも充分に広くするこ
とができ、したがってレーザー発振パターンを確実に広
げることができるし、またコンパクトな放電電極によっ
ても大きなレーザー発振パターンが得られるようになる
といった効果を奏する。
第１図はこの発明の実施例を示す正面図、第２図は放電
回路図、第３図は従来例を示す正面図である。
回路図、第３図は従来例を示す正面図である。
Claims (1)
- レーザーガスを励起するグロー放電を発生させるための
一対の放電電極と、前記放電電極の両側に配置されてあ
る予備電離電極および前記予備電離電極に直列に接続さ
れてあるピーキングコンデンサとをレーザー管内に設置
するとともに、前記放電電極のうちのピーキングコンデ
ンサから離れた側の表面形状を凹面状に、また他方の表
面形状を凸面状としてなる放電型ガスレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16725386A JPS6321885A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 放電型ガスレ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16725386A JPS6321885A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 放電型ガスレ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321885A true JPS6321885A (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=15846300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16725386A Pending JPS6321885A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 放電型ガスレ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321885A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04139778A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Toshiba Corp | パルスレーザ装置 |
| JPH04139777A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Toshiba Corp | パルスレーザ装置 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP16725386A patent/JPS6321885A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04139778A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Toshiba Corp | パルスレーザ装置 |
| JPH04139777A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Toshiba Corp | パルスレーザ装置 |
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