JPH0222333B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0222333B2 JPH0222333B2 JP57169355A JP16935582A JPH0222333B2 JP H0222333 B2 JPH0222333 B2 JP H0222333B2 JP 57169355 A JP57169355 A JP 57169355A JP 16935582 A JP16935582 A JP 16935582A JP H0222333 B2 JPH0222333 B2 JP H0222333B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- gas
- cells
- abnormality
- light sources
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はゼロガスと測定ガスとを２つのセルに
交互に流すことにより検出出力を変調し測定ガス
の分析を行なうクロスフロー方式の赤外線ガス分
析計において、光源の劣化、セル窓の汚れ等の光
学系の故障や検出器のコンデンサ膜のシヨート、
印加電圧用電線のシヨート、断線、増幅器の故障
等の電気系の故障に起因した動作異常を判定する
装置に関する。
交互に流すことにより検出出力を変調し測定ガス
の分析を行なうクロスフロー方式の赤外線ガス分
析計において、光源の劣化、セル窓の汚れ等の光
学系の故障や検出器のコンデンサ膜のシヨート、
印加電圧用電線のシヨート、断線、増幅器の故障
等の電気系の故障に起因した動作異常を判定する
装置に関する。
複数台の分析計が一システムとして稼動されて
いる場合、一台の分析計でも動作に異常が発生す
れば緊急にその異常を観測者に知らせることが望
まれると共に、異常を生じている分析計を特定で
きることが迅速な修復を可能とする上で望まれ
る。また、単一の分析計を稼動している場合でも
故障箇所が分析計内にあるか、分析計外のサンプ
リング系にあるかを特定できることが望まれる。
いる場合、一台の分析計でも動作に異常が発生す
れば緊急にその異常を観測者に知らせることが望
まれると共に、異常を生じている分析計を特定で
きることが迅速な修復を可能とする上で望まれ
る。また、単一の分析計を稼動している場合でも
故障箇所が分析計内にあるか、分析計外のサンプ
リング系にあるかを特定できることが望まれる。
本発明は、このうち分析計内に異常箇所がある
場合に限つて警報を発して動作異常の告知と異常
箇所の特定化とを行なおうとするものである。
場合に限つて警報を発して動作異常の告知と異常
箇所の特定化とを行なおうとするものである。
以下、図面に基づき説明する。第１図は本発明
の一実施例を示し、図中１は２つのセル２，３に
ゼロガスと測定ガスを交互に流して検出出力を変
調し測定ガスの分析を行なうクロスフロー方式の
赤外線ガス分析計で、前記セル２，３と、各セル
に光照射する光源４，５と、各セル２，３を透過
した光を検出する検出器として例えばコンデンサ
マイクロフオン型検出器６と、該検出器６の出力
のうちガス流路切換周波数に等しい成分領域の信
号のみ選択的に増幅する選択増幅器７とから成つ
ている。尚、前記ガス流路切換周波数とは２つの
セルに交互に流されるゼロガスと測定ガスの切換
周波数である。
の一実施例を示し、図中１は２つのセル２，３に
ゼロガスと測定ガスを交互に流して検出出力を変
調し測定ガスの分析を行なうクロスフロー方式の
赤外線ガス分析計で、前記セル２，３と、各セル
に光照射する光源４，５と、各セル２，３を透過
した光を検出する検出器として例えばコンデンサ
マイクロフオン型検出器６と、該検出器６の出力
のうちガス流路切換周波数に等しい成分領域の信
号のみ選択的に増幅する選択増幅器７とから成つ
ている。尚、前記ガス流路切換周波数とは２つの
セルに交互に流されるゼロガスと測定ガスの切換
周波数である。
８は前記光源４，５を発光させるための直流電
源、９はこの電源８から各光源４，５に通じられ
る電流を所定の周期で偏倚させる偏倚手段であ
る。図示例においては２つのトランジスタTr1，
Tr2と１個の抵抗Ｒとから構成されている。各ト
ランジスタTr1，Tr2は同期信号発生器１０から
発せられる同期信号によつて交互にオン、オフさ
れる。一方のトランジスタTr1がオンすると、抵
抗Ｒが一方の光源４と並列接続され、光源４に流
れる電流が分流されるため、該光源４の発光エネ
ルギーが減少する。このとき他方の光源５の発光
エネルギーは通常増加する。一方トランジスタ
Tr2が導通すると抵抗Ｒが光源５と並列接続され
るので、該光源５の発光エネルギーが減少する。
各光源４，５の発光エネルギーの減少度合は抵抗
Ｒの値を選ぶことにより適当に定められる。
源、９はこの電源８から各光源４，５に通じられ
る電流を所定の周期で偏倚させる偏倚手段であ
る。図示例においては２つのトランジスタTr1，
Tr2と１個の抵抗Ｒとから構成されている。各ト
ランジスタTr1，Tr2は同期信号発生器１０から
発せられる同期信号によつて交互にオン、オフさ
れる。一方のトランジスタTr1がオンすると、抵
抗Ｒが一方の光源４と並列接続され、光源４に流
れる電流が分流されるため、該光源４の発光エネ
ルギーが減少する。このとき他方の光源５の発光
エネルギーは通常増加する。一方トランジスタ
Tr2が導通すると抵抗Ｒが光源５と並列接続され
るので、該光源５の発光エネルギーが減少する。
各光源４，５の発光エネルギーの減少度合は抵抗
Ｒの値を選ぶことにより適当に定められる。
前記トランジスタTr1，Tr2をオン、オフする
周期即ち同期信号の周期はガス流路切換周期と等
しくしてある。そしてガス切換周波数と一致した
信号成分のみ増幅する選択増幅器７を通じて増幅
される。１１は例えば押釦からなる指令部で、こ
の押釦を押したときだけ同期信号発生器１０が動
作して同期信号を発生する。従つて押釦を押さな
い限り光源４，５の電流が偏倚させられることは
ない。１２は所定の判定基準値を記憶しているメ
モリ、１３はこの判定基準値と、前記選択増幅器
７より出力される模擬信号（光源４，５の電流が
偏倚させられているときに得られる信号をいう。）
とを比較し、その比較結果に基づき分析計の動作
の正常、異常を判定する判定器である。この判定
器１３として図示例では電圧信号を周波数変換す
るＶ−Ｆコンバータ１４と、その出力にあらわれ
るパルスをカウントするカウンタ１５と、このカ
ウンタ１５のカウント値と判定基準値とが一致す
るかどうかを判定する一致回路１６とから成つて
いる。この一致回路１６は両方の値の差異が所定
値以内であれば一致したと判別するようにしてあ
る。１７は、判定器１３が動作異常と判定した場
合に警報を発する警報手段で、ランプ等視覚に訴
えるもの、或いはブザー等聴覚に訴えるもの等が
使用される。
周期即ち同期信号の周期はガス流路切換周期と等
しくしてある。そしてガス切換周波数と一致した
信号成分のみ増幅する選択増幅器７を通じて増幅
される。１１は例えば押釦からなる指令部で、こ
の押釦を押したときだけ同期信号発生器１０が動
作して同期信号を発生する。従つて押釦を押さな
い限り光源４，５の電流が偏倚させられることは
ない。１２は所定の判定基準値を記憶しているメ
モリ、１３はこの判定基準値と、前記選択増幅器
７より出力される模擬信号（光源４，５の電流が
偏倚させられているときに得られる信号をいう。）
とを比較し、その比較結果に基づき分析計の動作
の正常、異常を判定する判定器である。この判定
器１３として図示例では電圧信号を周波数変換す
るＶ−Ｆコンバータ１４と、その出力にあらわれ
るパルスをカウントするカウンタ１５と、このカ
ウンタ１５のカウント値と判定基準値とが一致す
るかどうかを判定する一致回路１６とから成つて
いる。この一致回路１６は両方の値の差異が所定
値以内であれば一致したと判別するようにしてあ
る。１７は、判定器１３が動作異常と判定した場
合に警報を発する警報手段で、ランプ等視覚に訴
えるもの、或いはブザー等聴覚に訴えるもの等が
使用される。
次に、この構成の装置によつて分析計の動作異
常を判定する動作を説明する。先ず、セル内の測
定ガスをゼロガスで置換し、各セル２，３ともゼ
ロガスが入つている状態とする。次いで、押釦１
１を押して偏倚手段９を作動させ光源４，５の発
光エネルギーを所定周期で変化させる。このと
き、分析計内の光学系、電気系ともに異常がない
から、各光源４，５の発光エネルギーはそのまま
各セル２，３内を通過して検出器６に入射し、各
光源の発光エネルギーの変化に応じてコンデンサ
膜の蓄積電荷量を変化する。そしてこの蓄積電荷
量の変化に基づく電流を選択増幅器７に入力す
る。この電流は偏倚手段９によつて偏倚された周
波数で変化しており、その周波数はガス流路切換
周波数と同一であるから、選択増幅器７でもその
まま増幅され、模擬信号として判定器１３に加え
られて、判定基準値と比較される。
常を判定する動作を説明する。先ず、セル内の測
定ガスをゼロガスで置換し、各セル２，３ともゼ
ロガスが入つている状態とする。次いで、押釦１
１を押して偏倚手段９を作動させ光源４，５の発
光エネルギーを所定周期で変化させる。このと
き、分析計内の光学系、電気系ともに異常がない
から、各光源４，５の発光エネルギーはそのまま
各セル２，３内を通過して検出器６に入射し、各
光源の発光エネルギーの変化に応じてコンデンサ
膜の蓄積電荷量を変化する。そしてこの蓄積電荷
量の変化に基づく電流を選択増幅器７に入力す
る。この電流は偏倚手段９によつて偏倚された周
波数で変化しており、その周波数はガス流路切換
周波数と同一であるから、選択増幅器７でもその
まま増幅され、模擬信号として判定器１３に加え
られて、判定基準値と比較される。
判定基準値は、分析計の動作が正常である場合
の模擬信号に相当する値に設定されているから、
判定器１３は分析計の動作が正常であると判定す
る。また、このとき分析計外のサンプリング系に
異常があつても、セル内は全てゼロガスが入つて
いるので、サンプリング系の異常が上記判定動作
に影響を及ぼすことはない。
の模擬信号に相当する値に設定されているから、
判定器１３は分析計の動作が正常であると判定す
る。また、このとき分析計外のサンプリング系に
異常があつても、セル内は全てゼロガスが入つて
いるので、サンプリング系の異常が上記判定動作
に影響を及ぼすことはない。
一方、分析計内に異常がある場合、例えば光源
の劣化、セル窓の汚れ等光学系に異常がある場合
その異常によつて検出器６の蓄積電荷量の変化が
正常時に比べて大きくなり、或いは小さくなる。
このためそのときの模擬信号量が判定基準値と一
致しなくなり、判定器１３が動作異常と判定して
警報手段１７により警報が発せられる。同様にコ
ンデンサ膜のシヨートや増幅器の故障等電気系に
異常がある場合、模擬信号が全く発しないか或い
はその信号量が正常時に比べて大きいか小さくな
る。そのため判定器１３が動作異常と判定して警
報手段１７より警報を発する。
の劣化、セル窓の汚れ等光学系に異常がある場合
その異常によつて検出器６の蓄積電荷量の変化が
正常時に比べて大きくなり、或いは小さくなる。
このためそのときの模擬信号量が判定基準値と一
致しなくなり、判定器１３が動作異常と判定して
警報手段１７により警報が発せられる。同様にコ
ンデンサ膜のシヨートや増幅器の故障等電気系に
異常がある場合、模擬信号が全く発しないか或い
はその信号量が正常時に比べて大きいか小さくな
る。そのため判定器１３が動作異常と判定して警
報手段１７より警報を発する。
尚、この実施例では２つの光源４，５を交互に
偏倚させることによつて模擬信号をつくり出して
いるが、模擬信号は、２つの光源の発光エネルギ
ーに差があり、その差が所定の周期で変化するも
のであればつくることができるから、２つの光源
の偏倚が非対称（直流レベルからの偏倚におい
て）な構成のものを採用することもできる。従つ
て、第２図に示す回路構成でも偏倚手段として実
施できるものである。
偏倚させることによつて模擬信号をつくり出して
いるが、模擬信号は、２つの光源の発光エネルギ
ーに差があり、その差が所定の周期で変化するも
のであればつくることができるから、２つの光源
の偏倚が非対称（直流レベルからの偏倚におい
て）な構成のものを採用することもできる。従つ
て、第２図に示す回路構成でも偏倚手段として実
施できるものである。
また、上記判定装置で動作異常と判定された場
合、その装置の設けられている分析計が動作異常
を起していることがわかるが、当該分析計内の光
学系の異常か電気系の異常かまでは判別できな
い。従つてこのような判別が要求される場合は、
上記判定装置に併せて第３図に示す判定装置を設
ければ良い。第３図中、１８は分析計に備わつて
いる検出器印加用の直流高圧電源、１９はこの電
源１８の電圧をガス流路切換周波数と同一周波数
で偏倚させる偏倚手段、２０はこの偏倚手段１９
を偏倚させるための同期信号を発する同期信号発
生器、２１は押釦からなる指令部、２２は判定基
準値を記憶するメモリ、２３は判定器、２４は警
報手段である。この２２，２３，２４は、第１図
に示した１２，１３，１７と同一構成のものを使
用することができるが、判定器２３と警報手段２
４は第１図に示したものを兼用し、メモリ、１
２，２２だけを切換えて使用する構成で実施する
こともできる。この判定装置は、検出器６に印加
される高圧直流電圧を偏倚手段１９により所定周
期で偏倚させ、これによつて検出器のコンデンサ
膜に生じる蓄積電荷量を変化させ、その変化に基
づいて選択増幅器７より出力される模擬信号を判
定基準値と比較するものである。
合、その装置の設けられている分析計が動作異常
を起していることがわかるが、当該分析計内の光
学系の異常か電気系の異常かまでは判別できな
い。従つてこのような判別が要求される場合は、
上記判定装置に併せて第３図に示す判定装置を設
ければ良い。第３図中、１８は分析計に備わつて
いる検出器印加用の直流高圧電源、１９はこの電
源１８の電圧をガス流路切換周波数と同一周波数
で偏倚させる偏倚手段、２０はこの偏倚手段１９
を偏倚させるための同期信号を発する同期信号発
生器、２１は押釦からなる指令部、２２は判定基
準値を記憶するメモリ、２３は判定器、２４は警
報手段である。この２２，２３，２４は、第１図
に示した１２，１３，１７と同一構成のものを使
用することができるが、判定器２３と警報手段２
４は第１図に示したものを兼用し、メモリ、１
２，２２だけを切換えて使用する構成で実施する
こともできる。この判定装置は、検出器６に印加
される高圧直流電圧を偏倚手段１９により所定周
期で偏倚させ、これによつて検出器のコンデンサ
膜に生じる蓄積電荷量を変化させ、その変化に基
づいて選択増幅器７より出力される模擬信号を判
定基準値と比較するものである。
従つて、この判定装置によれば検出器６のコン
デンサ膜のシヨート印加電圧用電線のシヨート、
断線、選択増幅器７の故障等の電気系の異常のみ
を判定することができる。よつてこの判定装置と
第１図に示した判定装置を併用することにより、
分析計内の光学系の異常か、電気系の異常かまで
特定することができる。
デンサ膜のシヨート印加電圧用電線のシヨート、
断線、選択増幅器７の故障等の電気系の異常のみ
を判定することができる。よつてこの判定装置と
第１図に示した判定装置を併用することにより、
分析計内の光学系の異常か、電気系の異常かまで
特定することができる。
本発明は以上説明した如く構成したため、複数
台の分析計が一システムとして稼動されている場
合においては、各分析計に本発明装置をセツトし
ておくことを条件として動作異常を起している分
析計を速やかに発見できるものであるし、また一
台の分析計のみ稼動している場合においても分析
計内の異常であるか分析計外の異常であるかが判
別できるという効果がある。加えて、分析計の動
作異常チエツクを行なうに際してはセル内の測定
ガスをゼロガスで置換するだけでよく、分析計を
稼動停止させる必要がないという効果もある。更
に、光源の電流の偏倚を、半導体素子よりなるス
イツチング素子を含む偏倚手段によつて行つてい
るので、早い周期の連続作用が可能であり、迅速
かつ的確に動作異常を判別することができるとい
つた利点がある。
台の分析計が一システムとして稼動されている場
合においては、各分析計に本発明装置をセツトし
ておくことを条件として動作異常を起している分
析計を速やかに発見できるものであるし、また一
台の分析計のみ稼動している場合においても分析
計内の異常であるか分析計外の異常であるかが判
別できるという効果がある。加えて、分析計の動
作異常チエツクを行なうに際してはセル内の測定
ガスをゼロガスで置換するだけでよく、分析計を
稼動停止させる必要がないという効果もある。更
に、光源の電流の偏倚を、半導体素子よりなるス
イツチング素子を含む偏倚手段によつて行つてい
るので、早い周期の連続作用が可能であり、迅速
かつ的確に動作異常を判別することができるとい
つた利点がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロツク図、
第２図は偏倚手段の他の一具体例を示す図、第３
図は本発明装置と併用することのできる判定装置
を示す図である。 ２，３……セル、４，５……光源、６……検出
器、９……偏倚手段、１３……判定器、１７……
警報手段。
第２図は偏倚手段の他の一具体例を示す図、第３
図は本発明装置と併用することのできる判定装置
を示す図である。 ２，３……セル、４，５……光源、６……検出
器、９……偏倚手段、１３……判定器、１７……
警報手段。
Claims (1)
- １ 測定ガスとゼロガスとが交互に流れる２つの
セルと、これら２つのセルにそれぞれ光を照射す
る２つの光源と、前記２つのセルを透過した光を
受ける検出器を備えたクロスフロー方式の赤外線
ガス分析計において、前記光源を互いに直列に接
続すると共に、前記光源のうち少なくとも一方の
光源の電流を、半導体素子よりなるスイツチング
素子を含む偏倚手段により前記２つのセルに流す
ガスの切換周期と同一の周期で偏倚させ、前記光
源の電流を偏倚させているとき分析計より出力さ
れる模擬信号を所定の基準値と比較して当該分析
計の動作の正常、異常を判定し、異常時警報を発
するようにしたことを特徴とするクロスフロー方
式の赤外線ガス分析計における動作異常判定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169355A JPS5956153A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | クロスフロ−方式の赤外線ガス分析計における動作異常判定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169355A JPS5956153A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | クロスフロ−方式の赤外線ガス分析計における動作異常判定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956153A JPS5956153A (ja) | 1984-03-31 |
| JPH0222333B2 true JPH0222333B2 (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=15885032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57169355A Granted JPS5956153A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | クロスフロ−方式の赤外線ガス分析計における動作異常判定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956153A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60250233A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-10 | Shimadzu Corp | 赤外線ガス分析計 |
| JP2009150828A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Dkk Toa Corp | 赤外線ガス分析装置の赤外線制御システム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52152273A (en) * | 1976-06-11 | 1977-12-17 | Matsushita Electric Works Ltd | Action checking method of light dimming type smoke sensor |
| JPS5494387A (en) * | 1978-01-10 | 1979-07-26 | Horiba Ltd | Gas analyzer |
-
1982
- 1982-09-25 JP JP57169355A patent/JPS5956153A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5956153A (ja) | 1984-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11215362B2 (en) | Flame detection system and flame level detection method | |
| US3491234A (en) | Ultraviolet irradiation detection system | |
| US4381455A (en) | Flame detector including detector testing apparatus | |
| JPH0222333B2 (ja) | ||
| JPS6139065B2 (ja) | ||
| JPH023469B2 (ja) | ||
| JP2021125312A (ja) | 質量分析装置および質量分析方法 | |
| US20020150139A1 (en) | Solid-state laser device | |
| JP2000286480A (ja) | パルスレーザ診断システム及び方法 | |
| JPH0878185A (ja) | Ｘ線管の交換時期検知方法およびこれに用いる装置 | |
| JPH059919B2 (ja) | ||
| US5122752A (en) | Method of and apparatus for analyzing granular materials | |
| JPH10107341A (ja) | レーザ装置 | |
| EP1720001A1 (en) | Gas sensor arrangement with improved long-term stability and measuring method | |
| JP2639903B2 (ja) | 放射線検出装置 | |
| JP3155000B2 (ja) | センサの診断装置 | |
| JP2639904B2 (ja) | 放射線計測装置 | |
| JP7232104B2 (ja) | 火炎検出システムおよび故障診断方法 | |
| JPS5956152A (ja) | 赤外線ガス分析計の動作異常判定装置 | |
| JPS5721100A (en) | X-ray generator | |
| CN121394278B (zh) | 应用于等离子刻蚀机的异常监控系统 | |
| JPH0623958Y2 (ja) | 赤外線分析計 | |
| JPH0524205Y2 (ja) | ||
| JPS59128432A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JP3342266B2 (ja) | 赤外線ガス分析装置における光源の断線検出方法および装置 |