JPH0222363U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0222363U JPH0222363U JP9798488U JP9798488U JPH0222363U JP H0222363 U JPH0222363 U JP H0222363U JP 9798488 U JP9798488 U JP 9798488U JP 9798488 U JP9798488 U JP 9798488U JP H0222363 U JPH0222363 U JP H0222363U
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- JP
- Japan
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- transparent plate
- wall
- opening
- double wall
- transparent
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａは本考案装置の断面図、ｂ，ｃはそれ
ぞれ遮蔽板の実施態様を示す図、第２図は本考案
装置の他の実施例を示す図、第３図ａは従来の観
察用窓の見取り図、ｂはａのＡＡ矢視図、第４図
ａ，ｂは遮蔽板を有する従来装置の断面図である
。 １……外壁に装着した透明板、２……内壁開口
部、３……透明な遮蔽板、４……支持腕、５……
真空槽壁、６……回転軸、９……パツキン、１２
……遮蔽板。
ぞれ遮蔽板の実施態様を示す図、第２図は本考案
装置の他の実施例を示す図、第３図ａは従来の観
察用窓の見取り図、ｂはａのＡＡ矢視図、第４図
ａ，ｂは遮蔽板を有する従来装置の断面図である
。 １……外壁に装着した透明板、２……内壁開口
部、３……透明な遮蔽板、４……支持腕、５……
真空槽壁、６……回転軸、９……パツキン、１２
……遮蔽板。
Claims (1)
- 真空蒸着装置の真空槽壁面の１部を二重壁構造
とし、該二重壁に内外貫通する開口部を設け、該
二重壁の外壁開口部には透明板を嵌着し、内壁開
口部と該透明板の間には、該真空槽中の蒸発物質
が該透明板に被着するのを防ぐ透明な遮蔽板を、
スライド可能に介在させたことを特徴とする真空
蒸着装置の内部観察用窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9798488U JPH0222363U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9798488U JPH0222363U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222363U true JPH0222363U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31323846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9798488U Pending JPH0222363U (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0222363U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5135977U (ja) * | 1974-09-10 | 1976-03-17 |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP9798488U patent/JPH0222363U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5135977U (ja) * | 1974-09-10 | 1976-03-17 |