JPH0222521B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0222521B2 JPH0222521B2 JP55016807A JP1680780A JPH0222521B2 JP H0222521 B2 JPH0222521 B2 JP H0222521B2 JP 55016807 A JP55016807 A JP 55016807A JP 1680780 A JP1680780 A JP 1680780A JP H0222521 B2 JPH0222521 B2 JP H0222521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- present
- properties
- shaped body
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 8
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/34—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites
- H01F1/342—Oxides
- H01F1/344—Ferrites, e.g. having a cubic spinel structure (X2+O)(Y23+O3), e.g. magnetite Fe3O4
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気特性の劣化や回復を目的とした処
理方法に関する。
理方法に関する。
従来より、軟磁性材料の磁気特性は、材料の機
械加工などの影響により大巾に変化することが知
られており、その対策に種々の検討がなされてい
る。例えば、磁気ヘツド用材料では機械加工によ
り透磁率が大巾に劣化し、それを回復させるため
に表面をエツチングするとか、焼鈍するとか、又
は、非常に長時間(1〜2時間)かけて、特性の
劣化の生じないような微少加工を行うなどをして
おり、磁気ヘツド用フエライト等の加工において
はかかる点に対する改善が強く望まれていた。
械加工などの影響により大巾に変化することが知
られており、その対策に種々の検討がなされてい
る。例えば、磁気ヘツド用材料では機械加工によ
り透磁率が大巾に劣化し、それを回復させるため
に表面をエツチングするとか、焼鈍するとか、又
は、非常に長時間(1〜2時間)かけて、特性の
劣化の生じないような微少加工を行うなどをして
おり、磁気ヘツド用フエライト等の加工において
はかかる点に対する改善が強く望まれていた。
本発明は、このような欠点を改良するとともに
磁気特性に対する制御を容易にならしめるもので
ある。
磁気特性に対する制御を容易にならしめるもので
ある。
本発明は、機械加工などの終了した軟磁性材料
の表面に強力に光エネルギー等のエネルギー線投
入し、瞬間的に表面を加熱し、又、冷却し、その
瞬間的な熱変化により、磁気特性を制御するもの
である。
の表面に強力に光エネルギー等のエネルギー線投
入し、瞬間的に表面を加熱し、又、冷却し、その
瞬間的な熱変化により、磁気特性を制御するもの
である。
最近、特に半導体のSi単結晶の表面処理法とし
て注目されているレーザーアニーリング法があ
る。このようなレーザーアニーリング法では、単
結晶表面の再結晶化を行い、Si単結晶の表面の結
晶性を改善するのが目的であるのに対し、本発明
は軟磁性材料表面に近在するストレス層の解除に
より、軟質磁性材料のバルク全体の磁気特性を制
御するものであり、基本的に異なつた技術思想で
ある。
て注目されているレーザーアニーリング法があ
る。このようなレーザーアニーリング法では、単
結晶表面の再結晶化を行い、Si単結晶の表面の結
晶性を改善するのが目的であるのに対し、本発明
は軟磁性材料表面に近在するストレス層の解除に
より、軟質磁性材料のバルク全体の磁気特性を制
御するものであり、基本的に異なつた技術思想で
ある。
以下に実施例を交えながら本発明の特徴を述べ
る。
る。
Mn−Znフエライト(HPF4M2)より、厚さ
0.2mm、外径8mm、内径4mmのリング状体を加工
形成した。最終的には3μmのダイヤモンドペー
ストを用いて鏡面仕上げを行なつた。この時の透
磁率(0.1MHz)は約2300であつた。これのリン
グ状体の表面を60℃の熱リン酸で約1μmをエツ
チングした所、透磁率は4100に回復した。しか
し、この方法では表面の凹凸は約0.3μmと大き
く、最初の凹凸0.05μm以下の鏡面状からみると
非常に荒れており、磁気ヘツド等にとつては不都
合な表面となつていた。
0.2mm、外径8mm、内径4mmのリング状体を加工
形成した。最終的には3μmのダイヤモンドペー
ストを用いて鏡面仕上げを行なつた。この時の透
磁率(0.1MHz)は約2300であつた。これのリン
グ状体の表面を60℃の熱リン酸で約1μmをエツ
チングした所、透磁率は4100に回復した。しか
し、この方法では表面の凹凸は約0.3μmと大き
く、最初の凹凸0.05μm以下の鏡面状からみると
非常に荒れており、磁気ヘツド等にとつては不都
合な表面となつていた。
一方、上記と同様の同一形状のリング状体を、
3μmのダイヤモンドペーストで鏡面仕上げした
後、いわゆるメカノケミカルラツピング(SiO2
使用)を約2.5時間かけて処理し、仕上げたもの
の特性は約4050で秀れていたが、この方法は非常
に長時間かかることが欠点である。このように、
従来の方法では、磁気特性の回復はできるが他に
不都合が発生していた。
3μmのダイヤモンドペーストで鏡面仕上げした
後、いわゆるメカノケミカルラツピング(SiO2
使用)を約2.5時間かけて処理し、仕上げたもの
の特性は約4050で秀れていたが、この方法は非常
に長時間かかることが欠点である。このように、
従来の方法では、磁気特性の回復はできるが他に
不都合が発生していた。
次に、本発明の方法を適用した例を述べる3μ
mのダイヤモンドペーストで仕上げた磁気材料の
リング状体を、N2気流中に保持した後、300Wの
ハロゲンランプ二本で両側より同時に1.5秒照射
した所、透磁率は2100から4500に回復した。この
とき表面の劣化は認められなかつた。さらに、こ
のリング状体を空気中に保持し、100Wのハロゲ
ンランプで2分照射を行つた所、透磁率は3700、
4分行つた所2200と減少し、透磁率の制御が簡単
にできた。従つて、適正な雰囲気下で短時間、4
〜5分以下の処理で終り、従来のように長時間か
かることがなくなる。このため、制御も楽で、正
確になつた。
mのダイヤモンドペーストで仕上げた磁気材料の
リング状体を、N2気流中に保持した後、300Wの
ハロゲンランプ二本で両側より同時に1.5秒照射
した所、透磁率は2100から4500に回復した。この
とき表面の劣化は認められなかつた。さらに、こ
のリング状体を空気中に保持し、100Wのハロゲ
ンランプで2分照射を行つた所、透磁率は3700、
4分行つた所2200と減少し、透磁率の制御が簡単
にできた。従つて、適正な雰囲気下で短時間、4
〜5分以下の処理で終り、従来のように長時間か
かることがなくなる。このため、制御も楽で、正
確になつた。
本発明の方法は、ハロゲンランプに限らず、レ
ザーや赤外線ランプあるいは電子ビーム等によつ
ても行える。又、既に説明したようにストレス層
の制御により、磁気特性を変化させること(例え
ばエツチング)は、一般に公知であり、従つて本
発明を上記フエライト以外の軟磁性材料にも応用
できるのは明らかである。
ザーや赤外線ランプあるいは電子ビーム等によつ
ても行える。又、既に説明したようにストレス層
の制御により、磁気特性を変化させること(例え
ばエツチング)は、一般に公知であり、従つて本
発明を上記フエライト以外の軟磁性材料にも応用
できるのは明らかである。
ところで、側面鏡面に仕上げて形成された
VTR用の磁気ヘツドの特性は、上記のリング状
体と同様に劣化したものである。そしてこの
VTR用磁気ヘツドは一部にギヤツプがあり、こ
のギヤツプにガラスが入つている。したがつてこ
の特性の回復は、ギヤツプにガラスが入つている
ため、エツチングや高温の熱処理が難しく、約
400℃での熱処理がなされているが特性のバラツ
キが大きかつた。またダイヤモンド刃で切断した
ままのVTR用磁気ヘツドにおいても同じような
特性バラツキや劣化が認められて、この改善が望
まれていた。本発明の方法を適用すると、このよ
うなVTR用磁気ヘツドにおいても前記のリング
状体とほぼ同一条件で、ヘツドの特性が制御で
き、特性の均質化が行え、ペアーリングが容易に
なるなどの効果が発揮される。本発明を用いれば
磁気ヘツド側面の表面性の変化はなく、ギヤツプ
部のガラスは光を透過しここでの昇温が起らない
ため、ギヤツプの変化も認められず極めて好都合
である。
VTR用の磁気ヘツドの特性は、上記のリング状
体と同様に劣化したものである。そしてこの
VTR用磁気ヘツドは一部にギヤツプがあり、こ
のギヤツプにガラスが入つている。したがつてこ
の特性の回復は、ギヤツプにガラスが入つている
ため、エツチングや高温の熱処理が難しく、約
400℃での熱処理がなされているが特性のバラツ
キが大きかつた。またダイヤモンド刃で切断した
ままのVTR用磁気ヘツドにおいても同じような
特性バラツキや劣化が認められて、この改善が望
まれていた。本発明の方法を適用すると、このよ
うなVTR用磁気ヘツドにおいても前記のリング
状体とほぼ同一条件で、ヘツドの特性が制御で
き、特性の均質化が行え、ペアーリングが容易に
なるなどの効果が発揮される。本発明を用いれば
磁気ヘツド側面の表面性の変化はなく、ギヤツプ
部のガラスは光を透過しここでの昇温が起らない
ため、ギヤツプの変化も認められず極めて好都合
である。
以上の説明で明らかなように本発明の方法によ
れば、従来難しかつた軟磁性材料の磁気特性の制
御を容易に行うことができ、軟磁性材料の処理に
すぐれた工業的価値を発揮するものである。
れば、従来難しかつた軟磁性材料の磁気特性の制
御を容易に行うことができ、軟磁性材料の処理に
すぐれた工業的価値を発揮するものである。
Claims (1)
- 1 フエライト材料の表面層のみに光エネルギー
線を短時間注入することにより、表面層のみを加
熱し、前記フエライト材料の磁気特性を変化させ
ることを特徴とする磁性材料の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1680780A JPS56114305A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Treating method for magnetic material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1680780A JPS56114305A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Treating method for magnetic material |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56114305A JPS56114305A (en) | 1981-09-08 |
| JPH0222521B2 true JPH0222521B2 (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=11926414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1680780A Granted JPS56114305A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Treating method for magnetic material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56114305A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101071904B1 (ko) * | 2009-05-18 | 2011-10-11 | 한국수력원자력 주식회사 | 전자선 조사에 의한 연자성 재료의 전자기적 물성의 개선 방법 |
-
1980
- 1980-02-13 JP JP1680780A patent/JPS56114305A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56114305A (en) | 1981-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60138708A (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造法 | |
| JPS6445126A (en) | Manufacture of gaas compound semiconductor substrate | |
| JPS60138710A (ja) | 磁気ヘツド用コア及びその製造方法 | |
| JPH02153849A (ja) | ガラス含有物質およびガラス非含有物質から構成される複合体およびその形成方法 | |
| US20030230114A1 (en) | Method for producing glass member | |
| JPS63274694A (ja) | 高品質チタンサフアイヤ単結晶の製造方法 | |
| RU2045118C1 (ru) | Способ изготовления активных лазерных элементов из монокристаллов алюмината иттрия | |
| JPH02111871A (ja) | 酸化タンタルと酸化シリコンとの混合膜の製造方法 | |
| JP2735422B2 (ja) | ルチル単結晶の処理方法 | |
| JP3077001B2 (ja) | 磁気光学材料及びその製造方法 | |
| JPH01200615A (ja) | 薄い単結晶半導体材料層を絶縁体に形成する方法 | |
| JPH04259269A (ja) | 固体レーザーロッドの製造方法 | |
| JPS6188991A (ja) | レ−ザ光線によるガラス加工法 | |
| JPH04324622A (ja) | 薄膜半導体装置 | |
| JPS58153918A (ja) | 磁気光学効果素子の製造方法 | |
| SU1482768A1 (ru) | Способ изготовлени марганец-цинковых ферритов дл сердечников магнитных головок | |
| JPS63259806A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS62145517A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS5943815B2 (ja) | エピタキシヤル成長法 | |
| JPH01242499A (ja) | ZnSe単結晶の転位減少法 | |
| JPH07100671A (ja) | シリカガラス体の加工方法 | |
| JP3649283B2 (ja) | 紫外レーザ光用光学材の製造方法 | |
| JPS61118290A (ja) | 光記録材料の製造方法 | |
| Walker et al. | Annealing of a unique structural defect in crystalline PbF2 near the sublattice melting temperature | |
| JPS60211822A (ja) | Soi結晶形成法 |