JPH0222599A - 放射線像拡大観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は紫外線、Ｘ線などの放射線によって試料を拡大
観察する装置に係り、特に明瞭な試料拡大像を得ること
が可能な放射線像拡大観察装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の放射線像拡大観察装置を第４図に示す。

これは、所定波長領域の放射線を出射する放射線源１と
、試料２が試料セット位置に取り付けられる試料セット
部材３と、入射窓４が開口され試料セット位置を通過し
た放射線が入射される放射線像拡大部５を備えている。

放射線源１は例えばシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）
を出射するシンクロトロン放射型の光源が使用され、こ
のＳＯＲ光は可視光からＸ線に至る波長分布を有してお
り、紫外線、Ｘ線などの特定波長領域の放射線のみを選
択透過させる必要がある場合には、放射線源１の出射端
に適宜の光フィルタ（図示せず）などが設けられる。こ
の放射線源１から出射した放射線（例えばＸ線）は試料
セット位置に設けられた試料２に照射され、放射線が試
料２を透過すると放射線像が形成されて放射線像拡大部
５に入射する。

放射線像拡大部５は真空状態を維持されたケース６内に
斜入射反射鏡７と、ストッパ８と、フィルム９とが放射
線の光路上に順に配設されて構成される。この放射線像
拡大部５に入射した放射線は斜入射反射鏡７で反射され
、これによって放射線の波長領域にかかわりなく放射線
像は拡大される。

そして、不要な放射線がストッパ８でカットされたのち
、拡大放射線像がフィルム９に結像される。

このような観察装置によれば、放射線によって感光した
フィルム９をケース６から取り出して、試料２の拡大像
を観察することができる。しかし、この装置ではフィル
ム９を介して試料の拡大像を観察するものであり、試料
の拡大像を直接、目で見ることができず、・観察が不便
となっている。

そこで出願人は試料の拡大像の直接、観察を可能とした
放射線像拡大観察装置を開発して、先に提案した（特願
昭６２−２７．４８６３号；未公開）。第５図はこの観
察装置を示し、放射線像拡大部５に電子像拡大部１０が
付設された構造となっている。そして、放射線像拡大部
５における放射線の結像位置には光電面１１が設けられ
ると共に、電子像拡大部１０内にはマイクロチャンネル
プレート１２および螢光面１３が設けられ、さらに電子
像拡大部１０の外側にコイル１４．１５が巻装されてい
る。このような構成では拡大放射線像が光電面１１に結
像され、これに対応した光電子が光電面１１から電子像
拡大部１０に放出される。この電子像はコイル１４．１
５によって拡大され、拡大された電子像はマイクロチャ
ンネルプレート１２で増倍された後、螢光面１３に結像
されて光学像を形成する。従って、螢光面１３上の光学
像をＣＲＴなどのモニタを介して直接、観察することが
できる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし第５図の観察装置では、光学像が明瞭に得られな
い不都合がある。これは、光電面１１における放射線像
の視野が大きすぎると、これが光電面１１から視野外の
光電子を生成させ、これによって第６図に示すような散
乱電子を生じさせるからである。また、光電面１１には
拡大放射線像が結像するだけでなく、放射線像拡大部５
内で反射した散乱放射線が入射し、この入射によって不
要な光電子が放出されることもある。このような不要な
光電子の影響をなくすためには、第６図に点線で示・す
ような視野絞りを設けることが考えられる。しかし、視
野の大きさは観察対象の試料によって異なるものであり
、従って一定開口の絞りとすることはできない。また、
従来の技術（カメラの絞り技術など）によって絞り開口
を可変にすると構造が複雑になりがちである。

そこで本発明は、再現性が良好で、明瞭な光学像を得る
ことができ、しかも視野絞りの調整が容品にできる放射
線像拡大観察装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る放射線像拡大観察装置は、放射線を試料セ
ット位置に向けて出射する放射線源と、試料セット位置
を通過することにより形成された放射線像を拡大する放
射線像拡大部と、拡大された放射線像の結像位置に配設
されて電子像を形成する光電変換手段とを備える放射線
像拡大観察装置において、光電変換手段の前面に、放射
線の光軸上に開ｐが形成され少なくとも光軸方向に移動
調整が可能な遮光部材を有する視野絞り手段が設けられ
ていることを特徴とする。

ここで視野絞り手段の調整は、装置外部から操作可能と
なっているのが好ましく、これにより操作性が向上する
。また、遮光部材は光軸と直交する方向に操作可能にな
ってもよい。

〔作用〕

上記構成によれば、光軸上に開口を有する遮光部材の光
軸方向の位置を調整することにより、散電電子の発生が
防止されかつ散乱放射線が遮断され、光電面には試料か
らの所望の視野の拡大放射線のみが入射する。

〔実施例〕

以下、添付図面により本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る放射線像拡大観察装置
を示し、従来例と同一の要素には同一の符号を付しであ
る。すなわち、この装置は紫外線、Ｘ線などの放射線を
出射する放射線源１と、試料２が試料セット位置に取り
付けられる試料セット部材３と、斜入射反射鏡７、スト
ッパ８が内部に配設された放射線像拡大部５と、放射線
像拡大部５の結像位置に設けられた光電変換手段として
の光電面１１と、マイクロチャンネルプレート１２およ
び螢光面１３を有して放射線拡大部に連設された電子像
拡大部１０とを備える。また、電子像拡大部１０の外側
にはコイル１４．１５が巻装されている。このような構
成では、放射線源１から出射した放射線は試料２を透過
し、その拡大像が放射線像拡大部５の光電面１１に結像
し、これにより光電面１１から放出された光電子（ｅ　
　）が電子像拡大部１０で拡大されて螢光面１３で結像
する。そして、この螢光面１３の光学像はリレーレンズ
１７を介して撮像管１８に取り込まれ、モニタ等で表示
される。

このような構成に加えて、本実施例では視野絞り手段２
０が設けられている。視野絞り手段２０は試料２の放射
線拡大像が結像する光電面１１の前面側に位置するよう
に設けられる。この視野絞り手段２０は放射線が通過す
る位置（光軸上の位置）に開口２１を形成した遮光板２
２を有すると共に、遮光板２２の光軸方向の位置が：Ａ
整可能となっており、従って光電面１１へ入射する放射
線の絞り調整が可能となっている。この遮光板２２の位
置調整は直線導入端子２３の操作によりなされる。この
遮光板２２の位置調整により、放射線像拡大部５内で散
乱して結像に関与しない放射線が遮断されるため、光電
面１１には結像のための放射線のみが入射する。また、
視野が適宜に調整されるので、第６図に示すような散乱
電子の発生も防止される。従って、光電面１１から放出
される光電子（ｅ″″）は試料２の拡大像のうち、所定
の視野に対応した電子だけとなるため、鮮明な光学像を
螢光面１３に形成することができる。

上記のように鮮明な像が得られる事情を、第２図および
第３図により説明する。

第２図は放射線の光束と遮光板゛２２の位置関係を示し
ている。遮光板２２が光電面１１の直前（第２図中の（
Ａ）の位置）にあるときには、試料面のＳ−３の位置を
通過した放射線は結像面の１−３の位置に結像する。こ
れに対し、遮光板２２が光電面１１から離れて同図中の
（Ｂ）の位置にきたときには、試料面のＳ−３の位置を
通過した放射線の一部は結像面上に届かず、遮光板２２
によって遮断される。この場合、結像面に結像されるの
は試料面のＩ−２の位置の放射線までである。更に、遮
光板２２が同図中の（Ｃ）の位置まで光電面１１から離
れたときは、試料面の！−２から１−３の放射線の一部
は共に遮光板２２で遮断され、■−２から１−１までの
間の放射線が結像面に届く。このように、遮光板２２を
光軸方向に移動させることで放射線の視野を調整できる
ので、第６図に示すような散乱電子の発生を任意に制御
できる。また、遮光板２２は散乱放射線が光電面１１に
入射するのを防止する機能をも有しているので、更に明
瞭な試料の放射線像を得ることができる。

ここにおいて、本発明において特に重要なことは、上記
のような視野の絞り調整が、遮光板２２を光軸方向に移
動させるという簡単な操作のみで実現でき、かつその調
整を極めて微妙に行なえることである。また、遮光板２
２はマニュピレータ等により光軸と直交する方向に位置
調整しうるようにてもよい。このようにすれば、視野の
広さの調整だけでなく、光電面１１上での視野の位置の
：ｊｓｆｌｉも可能になる。

出願人は本発明の有用性を確認するために、下記のよう
な実験（シュミレーション）を行なった。

まず、遮光板２２の開口を直径２龍とし、光電面１１の
直前に遮光板２２を位置させたとき、光電面１１の５０
ｍ１１および１５０龍前方に遮光板２２を位置させたと
きのそれぞれについて、結像面上でのＸ線の強度分布を
調べた。なお、試料面上には１０μｍの間隔で点光源を
配置した。その結果を第３図に示す、図示の通り、遮光
板２２を５０ｍｍ、　１５０ｗｍという大きい単位で移
動させることにより、視野周辺のＸ線量が減少し、従っ
て視野が微妙に限定されていることがわかる。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように本発明では、光軸上に開口
を有する遮光部材の光軸方向の位置を調整することによ
り、散乱電子の発生が防止されかつ散乱放射線が遮断さ
れ、光電面には試料からの所望の視野の拡大放射線のみ
が入射することになる。従って、再現性が良好で、明瞭
な光学像を得ることができ、しかも視野絞りの調整が容
易にできる放射線像拡大観察装置を提供することが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例に係る放射線像拡大観察装置
を示す構成図、第２図は、遮光板と光束の位置関係を示
す構成図、第３図は、本発明による視野絞りの効果を示
す図、第４図は、従来装置を示す構成図、第５図は、改
良された先願に係る拡大観察装置を示す構成図、第６図
は、遮光板が必要な理由を説明する図である。 １・・・放射線源、２・・・試料、３・・・試料セット
部材、５・・・放射線像拡大部、１１・・・光電面（光
電変換手段）、２０・・・視野絞り手段、２１・・・開
口、２２・・・遮光板、２３・・・直線導入端子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、放射線を試料セット位置に向けて出射する放射線源
   と、 前記試料セット位置を通過することにより形成された放
   射線像を拡大する放射線像拡大部と、拡大された放射線
   像の結像位置に配設されて電子像を形成する光電変換手
   段とを備える放射線像拡大観察装置において、 前記光電変換手段の前面に、前記放射線の光軸上に開口
   が形成され少なくとも前記光軸方向に移動調整が可能な
   遮光部材を有する視野絞り手段が設けられていることを
   特徴とする放射線像拡大観察装置。 ２、前記視野絞り手段は、前記遮光部材の移動調整が遠
   隔操作によって行なわれる請求項１記載の放射線像拡大
   観察装置。 ３、前記遮光部材が前記光軸方向およびこれと直交する
   方向に移動調整可能になっている請求項１記載の放射線
   像拡大観察装置。