JPH02227252A - グリーンシートの成形用フィルムおよびグリーンシートの製造方法 - Google Patents
グリーンシートの成形用フィルムおよびグリーンシートの製造方法Info
- Publication number
- JPH02227252A JPH02227252A JP8949589A JP4958989A JPH02227252A JP H02227252 A JPH02227252 A JP H02227252A JP 8949589 A JP8949589 A JP 8949589A JP 4958989 A JP4958989 A JP 4958989A JP H02227252 A JPH02227252 A JP H02227252A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- green sheet
- forming
- forming material
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
グリーンシートの成形用フィルム、および該フィルムを
用いたグリーンシートの製造方法に関し、成形後のグリ
ーンシートが容易に剥離でき、グリーンシートの成形時
の加熱、および引張の工程に於いて変形し難いグリーン
シートの成形用フィルム、およびそのフィルムを用いた
グリーンシートの製造方法を目的とし、 スラリー状のグリーンシート形成用材料をシート状のグ
リーンシートに成形するフィルムであって、 前記スラリー状のグリーンシート形成用材料を載置する
第１のフィルムと、該第１のフィルムに接着層を介して
接着され、前記第１のフィルムより厚さの寸法が大きい
第２のフィルムから構成する。
用いたグリーンシートの製造方法に関し、成形後のグリ
ーンシートが容易に剥離でき、グリーンシートの成形時
の加熱、および引張の工程に於いて変形し難いグリーン
シートの成形用フィルム、およびそのフィルムを用いた
グリーンシートの製造方法を目的とし、 スラリー状のグリーンシート形成用材料をシート状のグ
リーンシートに成形するフィルムであって、 前記スラリー状のグリーンシート形成用材料を載置する
第１のフィルムと、該第１のフィルムに接着層を介して
接着され、前記第１のフィルムより厚さの寸法が大きい
第２のフィルムから構成する。
更に上記フィルムの第１フィルム側表面にスラリー状の
グリーンシート形成材料を所定の厚みで連続的に成層し
た状態で乾燥炉中に導入し、グリーンシートの乾燥工程
を終了した後、第２フィルムを剥離して薄い第１フィル
ム上に支持されたグリーンシートを得ることで構成する
。
グリーンシート形成材料を所定の厚みで連続的に成層し
た状態で乾燥炉中に導入し、グリーンシートの乾燥工程
を終了した後、第２フィルムを剥離して薄い第１フィル
ム上に支持されたグリーンシートを得ることで構成する
。
本発明はグリーンシートの成形用フィルム、および該フ
ィルムを用いたグリーンシートの製造方法に関する。
ィルムを用いたグリーンシートの製造方法に関する。
セラミックと溶融せるガラスとを主成分としたグリーン
シートにスルーホールを設け、該スルーホール内および
グリーンシート上に導体層を形成したプリント基板形成
部材を多層構造に積層後、焼成して形成する多層セラミ
ック基板は、その熱伝導率が半導体素子に略一致し、タ
ブや素子のチップを直接搭載できることにより、より高
密度実装が可能となり、大型電子計算機の電子回路を形
成するプリント基板に用いられている。
シートにスルーホールを設け、該スルーホール内および
グリーンシート上に導体層を形成したプリント基板形成
部材を多層構造に積層後、焼成して形成する多層セラミ
ック基板は、その熱伝導率が半導体素子に略一致し、タ
ブや素子のチップを直接搭載できることにより、より高
密度実装が可能となり、大型電子計算機の電子回路を形
成するプリント基板に用いられている。
このような多層セラミックプリント基板を製造する場合
、第４図に示すようにアルミナと硼珪酸ガラス粉末等を
アセトン等の有機溶剤で混練してスラリー状とした後、
このスラリー状のグリーンシート形成材料１をスラリー
ダム２に供給し、ブレード３で一定の厚さにする。そし
てこの一定の厚さに形成されたグリーンシート形成材料
１を、供給用ローラ５Ａから供給され、第３図に示すポ
リエステルより成るグリーンシート成形用フィルム４の
上に載置する。
、第４図に示すようにアルミナと硼珪酸ガラス粉末等を
アセトン等の有機溶剤で混練してスラリー状とした後、
このスラリー状のグリーンシート形成材料１をスラリー
ダム２に供給し、ブレード３で一定の厚さにする。そし
てこの一定の厚さに形成されたグリーンシート形成材料
１を、供給用ローラ５Ａから供給され、第３図に示すポ
リエステルより成るグリーンシート成形用フィルム４の
上に載置する。
そしてこのグリーンシート形成材料１を載置したグリー
ンシート成形用フィルム４を回転ローラ５Ｂ、５Ｃを用
いて乾燥炉６内部を通過させ、上記スラリー状のグリー
ンシート形成材料を乾燥させてシート状にした後、更に
回転ローラ５Ｄを用いて移動させ、グリーンシート成形
用フィルムと一体化された乾燥されたシート状のグリー
ンシートを得ている。
ンシート成形用フィルム４を回転ローラ５Ｂ、５Ｃを用
いて乾燥炉６内部を通過させ、上記スラリー状のグリー
ンシート形成材料を乾燥させてシート状にした後、更に
回転ローラ５Ｄを用いて移動させ、グリーンシート成形
用フィルムと一体化された乾燥されたシート状のグリー
ンシートを得ている。
ところで、上記したスラリー状のグリーンシート形成用
材料１を載置したフィルム４を乾燥炉６内を通過させる
時、このフィルムが乾燥炉内で加熱されるとともに、こ
のフィルムに回転ローラの張力が掛かるようになり、こ
の加熱温度および張力に耐えるようにするために、フィ
ルムの厚さは通常１００μ閘以上必要としている。
材料１を載置したフィルム４を乾燥炉６内を通過させる
時、このフィルムが乾燥炉内で加熱されるとともに、こ
のフィルムに回転ローラの張力が掛かるようになり、こ
の加熱温度および張力に耐えるようにするために、フィ
ルムの厚さは通常１００μ閘以上必要としている。
然し、高密度に電子部品を搭載する多層セラミック基板
を形成する場合には、グリーンシートの厚さは、益々薄
く形成することが要求されるように成っており、このよ
うな厚さの薄いグリーンシートを成形する場合には、成
形用フィルムの厚さも、その上に載置されるグリーンシ
ート形成材料の厚さ以下にしないと、成形されたグリー
ンシートを、フィルムより剥離する際にフィルムの応力
がグリーンシートに掛かってグリーンシートに歪やクラ
ックが発生し、極端な場合はグリーンシートが破れると
いう問題がある。
を形成する場合には、グリーンシートの厚さは、益々薄
く形成することが要求されるように成っており、このよ
うな厚さの薄いグリーンシートを成形する場合には、成
形用フィルムの厚さも、その上に載置されるグリーンシ
ート形成材料の厚さ以下にしないと、成形されたグリー
ンシートを、フィルムより剥離する際にフィルムの応力
がグリーンシートに掛かってグリーンシートに歪やクラ
ックが発生し、極端な場合はグリーンシートが破れると
いう問題がある。
本発明は上記した問題点を解決し、乾燥炉内を通過する
際の耐熱性が有り、かつ成形されたグリーンシートにク
ラックを発生しない状態で容易に剥離できるようにした
グリーンシート成形用フィルムの提供を目的とする。
際の耐熱性が有り、かつ成形されたグリーンシートにク
ラックを発生しない状態で容易に剥離できるようにした
グリーンシート成形用フィルムの提供を目的とする。
更に前記成形用フィルムを用いたグリーンシートの製造
方法の提供を目的とする。
方法の提供を目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成する本発明のグリーンシートの成形用フ
ィルムは、第１図に示すようにスラリー状のグリーンシ
ート形成用材料を載置する第１のフィルム１１と、該第
１のフィルムに接着層１２を介して接着され、前記第１
のフィルムより厚さの寸法が大きい第２のフィルム１３
から構成する。
ィルムは、第１図に示すようにスラリー状のグリーンシ
ート形成用材料を載置する第１のフィルム１１と、該第
１のフィルムに接着層１２を介して接着され、前記第１
のフィルムより厚さの寸法が大きい第２のフィルム１３
から構成する。
更に上記フィルムを用いたグリーンシートの製造方法は
第２図に示すように、上記フィルムの第１フィルム１１
側の表面にスラリー状のグリーンシート形成材料ｌを所
定の厚みで連続的に成層した状態で乾燥炉６中に導入し
、グリーンシートの乾燥工程を終了した後、第２フィル
ム１３を剥離して薄い第１フィルム１１上に支持された
グリーンシートを得ることである。
第２図に示すように、上記フィルムの第１フィルム１１
側の表面にスラリー状のグリーンシート形成材料ｌを所
定の厚みで連続的に成層した状態で乾燥炉６中に導入し
、グリーンシートの乾燥工程を終了した後、第２フィル
ム１３を剥離して薄い第１フィルム１１上に支持された
グリーンシートを得ることである。
本発明のグリーンシート成形用フィルムは、第１図に示
すように、厚さが３８μ−程度の薄い第１のフィルム１
１と、該第１のフィルムに接着層１２を介して接着され
、厚さが約１００μ−の分厚い第２のフィルム１３で構
成された３層構造のフィルムである。
すように、厚さが３８μ−程度の薄い第１のフィルム１
１と、該第１のフィルムに接着層１２を介して接着され
、厚さが約１００μ−の分厚い第２のフィルム１３で構
成された３層構造のフィルムである。
この３層構造のフィルムは全体の厚さが厚いために、乾
燥炉内を通過しても、乾燥炉内の加熱温度で変形するこ
とは無く、また３層構造のフィルムの第１の薄いフィル
ムｌｌ上にスラリー状のグリーンシート形成用材料を載
置して乾燥炉を通過させた後、接着層１２と第２の分厚
いフィルム１３を剥離することで、第１の薄いフィルム
１１とその上に乾燥成形されたグリーンシートを取り出
すことができる。
燥炉内を通過しても、乾燥炉内の加熱温度で変形するこ
とは無く、また３層構造のフィルムの第１の薄いフィル
ムｌｌ上にスラリー状のグリーンシート形成用材料を載
置して乾燥炉を通過させた後、接着層１２と第２の分厚
いフィルム１３を剥離することで、第１の薄いフィルム
１１とその上に乾燥成形されたグリーンシートを取り出
すことができる。
そしてこの第１の薄いフィルム１１と、その上に設置さ
れている乾燥成形されたグリーンシートを剥離する場合
には、第１のフィルム１１の厚さが薄いので剥離するグ
リーンシートに掛かる応力が小さく、グリーンシートに
クランクを発生させない状態で容易に第１のフィルムと
剥離できる。
れている乾燥成形されたグリーンシートを剥離する場合
には、第１のフィルム１１の厚さが薄いので剥離するグ
リーンシートに掛かる応力が小さく、グリーンシートに
クランクを発生させない状態で容易に第１のフィルムと
剥離できる。
このようにして乾燥炉をグリーンシート成形用フィルム
が通過する迄は、薄い第１フィルムと厚い第２フィルム
でグリーンシート形成材料が支持されるようにして乾燥
炉の熱によって成形用フィルムが変形するのを防ぎ、乾
燥炉を通過した後は厚い第２フィルムを接着層１２より
剥がして、薄い第１フィルムにグリーンシートが保持さ
れるようにし、グリーンシートが破損することなく成形
用フィルムより容易に剥離できるようになる。
が通過する迄は、薄い第１フィルムと厚い第２フィルム
でグリーンシート形成材料が支持されるようにして乾燥
炉の熱によって成形用フィルムが変形するのを防ぎ、乾
燥炉を通過した後は厚い第２フィルムを接着層１２より
剥がして、薄い第１フィルムにグリーンシートが保持さ
れるようにし、グリーンシートが破損することなく成形
用フィルムより容易に剥離できるようになる。
以下、図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明のグリーンシートの成形用フィルムの断
面図である。
面図である。
図示するように本発明のグリーンシートの成形用フィル
ムは、ポリエステルより成り、厚さが３８μｍの薄い第
１のフィルム１１と、該第１のフィルム１１に接着層１
２を介して接着され、ポリエステルよりなり厚さが１０
０μ−の第２のフィルム１３とで構成された３層構造の
フィルムである。
ムは、ポリエステルより成り、厚さが３８μｍの薄い第
１のフィルム１１と、該第１のフィルム１１に接着層１
２を介して接着され、ポリエステルよりなり厚さが１０
０μ−の第２のフィルム１３とで構成された３層構造の
フィルムである。
上記接着層１２はアクリル製の有機樹脂材料で形成され
ている。
ている。
このような本発明のグリーンシート成形用フィルムを用
いてスラリー状のグリーンシート形成材料をグリーンシ
ートに形成する方法に付いて述べると、第２図で示すよ
うにスラリーダム２に供給されたスラリー状のグリーン
シート形成材料１を供給ローラ５Ａから供給された３層
構造フィルムの厚さの薄い第１のフィルムｌｌ上に前記
したブレード３を用いて所定の厚さに塗布する。
いてスラリー状のグリーンシート形成材料をグリーンシ
ートに形成する方法に付いて述べると、第２図で示すよ
うにスラリーダム２に供給されたスラリー状のグリーン
シート形成材料１を供給ローラ５Ａから供給された３層
構造フィルムの厚さの薄い第１のフィルムｌｌ上に前記
したブレード３を用いて所定の厚さに塗布する。
次いで回転ローラ５Ｂ、５Ｃを用いて５０°Ｃ程度の温
度に加熱された乾燥炉６の内部を通過させる。するとこ
の３層構造の成形用フィルムは、厚さが厚いのでこの乾
燥炉の温度に充分耐えるので変形しない。
度に加熱された乾燥炉６の内部を通過させる。するとこ
の３層構造の成形用フィルムは、厚さが厚いのでこの乾
燥炉の温度に充分耐えるので変形しない。
次いで乾燥したグリーンシートを載置した３層構造のフ
ィルムを回転ローラ５Ｄ、５Ｅを用いて、グリーンシー
ト形成材料１が！！置された第１のフィルム１１と、接
着層１２に接着された厚さの厚い第２のフィルム１３と
に分離する。
ィルムを回転ローラ５Ｄ、５Ｅを用いて、グリーンシー
ト形成材料１が！！置された第１のフィルム１１と、接
着層１２に接着された厚さの厚い第２のフィルム１３と
に分離する。
コノ際、第１フィルム１１の裏面にシリコンコーティン
グを施しておくと、第２のフィルムとの分離作業が更に
容易となる。
グを施しておくと、第２のフィルムとの分離作業が更に
容易となる。
この第１フィルム１１の厚さは、その上に載置されたグ
リーンシート形成材料の厚さより薄いために、後の工程
で回転ローラを用いてフィルム１１とグリーンシートを
剥離する際に、第１のフィルム１１の応力がグリーンシ
ートに掛かることが無くなるので、グリーンシートにク
ラックが発生することなく第１のフィルム１１より容易
に剥離される。
リーンシート形成材料の厚さより薄いために、後の工程
で回転ローラを用いてフィルム１１とグリーンシートを
剥離する際に、第１のフィルム１１の応力がグリーンシ
ートに掛かることが無くなるので、グリーンシートにク
ラックが発生することなく第１のフィルム１１より容易
に剥離される。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、乾燥炉
内の加熱温度で変形せず、かつ成形されたグリーンシー
トがフィルムよりクランクを生じない状態で剥離される
ので、高品質なグリーンシートが得られる効果がある。
内の加熱温度で変形せず、かつ成形されたグリーンシー
トがフィルムよりクランクを生じない状態で剥離される
ので、高品質なグリーンシートが得られる効果がある。
第１図は本発明のグリーンシート成形用フィルムの断面
図、 第２図は本発明のフィルムを用いてグリーンシートを成
形する方法の説明図、 第３図は従来のグリーンシート成形用フィルムの断面図
、 第４図は従来のフィルムを用いてグリーンシートを成形
する方法の説明図である。 図において、 ｌはグリーンシート形成用材料、２はスラリーダム、３
はブレード、５Ａは供給用ローラ、５Ｂ、５Ｃ，５Ｄ。 ５Ｅは回転ローラ、６は乾燥炉、１１は第１のフィルム
、１２は接着層、１３は第２のフィルムを示す。 ７ト褐ｅ片ｎフ゛ソーンシート２乏゛ｆｒ４）閂フイＩ
Ｌム哨φ中面ｊフ第 １ 図 、Ｈ−月めへＭ５吊フィル乙げ％＋７７ツー５シートを
銭゛ガンｈ方３ｋＱｔｉ島グＢグ第２図
図、 第２図は本発明のフィルムを用いてグリーンシートを成
形する方法の説明図、 第３図は従来のグリーンシート成形用フィルムの断面図
、 第４図は従来のフィルムを用いてグリーンシートを成形
する方法の説明図である。 図において、 ｌはグリーンシート形成用材料、２はスラリーダム、３
はブレード、５Ａは供給用ローラ、５Ｂ、５Ｃ，５Ｄ。 ５Ｅは回転ローラ、６は乾燥炉、１１は第１のフィルム
、１２は接着層、１３は第２のフィルムを示す。 ７ト褐ｅ片ｎフ゛ソーンシート２乏゛ｆｒ４）閂フイＩ
Ｌム哨φ中面ｊフ第 １ 図 、Ｈ−月めへＭ５吊フィル乙げ％＋７７ツー５シートを
銭゛ガンｈ方３ｋＱｔｉ島グＢグ第２図
Claims (2)
- （１）スラリー状のグリーンシート形成用材料（１）を
グリーンシートに成形するフィルムであって、前記スラ
リー状のグリーンシート形成用材料（１）を載置する第
１のフィルム（１１）と、該第１のフィルムに接着層（
１２）を介して接着され、前記第１のフィルムより厚さ
の寸法が大きい第２のフィルム（１３）から成ることを
特徴とするグリーンシートの成形用フィルム。 - （２）上記フィルムの第１フィルム側表面にスラリー状
のグリーンシート形成材料（１）を所定の厚みで連続的
に成層した状態で乾燥炉（６）中に導入し、グリーンシ
ートの乾燥工程を終了した後、第２フィルムを剥離して
薄い第１フィルム上に支持されたグリーンシートを得る
ことを特徴とする請求項１記載のフィルムを用いたグリ
ーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8949589A JPH02227252A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | グリーンシートの成形用フィルムおよびグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8949589A JPH02227252A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | グリーンシートの成形用フィルムおよびグリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02227252A true JPH02227252A (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12835416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8949589A Pending JPH02227252A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | グリーンシートの成形用フィルムおよびグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02227252A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04325453A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-13 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法 |
| JP2015134476A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | リンテック株式会社 | 離型フィルム、グリーンシートの製造方法、及び積層セラミック電子部品の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218107A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-25 | 富士通株式会社 | グリ−ンシ−ト成形方法 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP8949589A patent/JPH02227252A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218107A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-25 | 富士通株式会社 | グリ−ンシ−ト成形方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04325453A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-13 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法 |
| JP2015134476A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | リンテック株式会社 | 離型フィルム、グリーンシートの製造方法、及び積層セラミック電子部品の製造方法 |
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