JPH02229403A

JPH02229403A - 抵抗アレーの製造方法

Info

Publication number: JPH02229403A
Application number: JP1249649A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nishizawa; 西澤　猛
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1989-09-25
Filing date: 1989-09-25
Publication date: 1990-09-12
Also published as: JPH0435886B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は抵抗アレーの製造方法に関する。

最近、抵抗器の実装密度を大きくすることを目的に数個
の抵抗体を１つの絶縁基板上に一体化した抵抗アレーが
幅広く電子機器に活用されている。

一般に抵抗アレーの殆どは純度９５〜９９％のアルミナ
からなるセラミック基板上に形成されており、その基板
上に２酸化ルテニウムを主成分とする抵抗ペーストをス
クリーン印刷法を用いて被着し、温度８００〜１０００
℃の空気雰囲気中で約１時間焼成して抵抗体を形成して
いる。この抵抗体をレーザートリミング法などにより所
望の抵抗値に修正している．これらの通常市販されてい
る抵抗アレーの抵抗体は通常平面的に構成されている。

しかし電子機器の小型化が進行している現在、より多く
の抵抗体を多層状に一体化した抵抗アレーが必要になっ
て来ている。この要求に対して従来用いられてきた抵抗
アレーの上述した製造手段では次に述べる理由により多
層化は困難であった．従来、抵抗体の２層化まで試みら
れた手段を用いて、より多層化した抵抗アレーの断面図
を第１図に示す。（実際には多層化のメリットが出ない
ので市販品としては出廻っていない。）この構造を有す
る抵抗アレーの製造を簡単に説明すると、アルミナセラ
ミック基板１上にサーメット抵抗体２が印刷、焼成され
る。同時に電極３も形成される。次いで抵抗体２とほぼ
同一の温度で焼成できる絶縁ペーストを用い、印刷、焼
成して絶縁膜４を形成する．多層化は抵抗体２及び絶縁
膜４を繰返して形成して行う。この場合、第１図にも示
してあるように最後に行う抵抗値のトリミング用の窓５
を設けておかなければならないので、抵抗体はほとんど
それよりも下層に設けられた抵抗体と重畳することはで
きない．抵抗体を重畳することができなければ、多層化
して小形化するという目的を足させることは出来ない。

この原因の主たるものはこのように多層化された抵抗ア
レーを製造する上で、焼成後抵抗値のトリミングが必要
であるからである．発明者らは特願昭５５−１５６３６９に於いて開示した
抵抗グリーンシートを用いて抵抗値偏差のきわめて小さ
い抵抗器の製造方法を提案しており、この製造方法を抵
抗アレーの製造方法に適用することにより、まったく新
規な構造をもつ抵抗アレーが可能であることが発明でき
た。

本発明の目的は多層状の抵抗アレーの製造方法を提供す
ることにある．本発明によればあらかじめ形成された抵抗グリーンシー
トの個片を複数の絶縁グリーンシートの層間に配置後、
熱圧着して多層体を得る工程と、前記多層体を焼成する
工程とを有することを特徴とする抵抗アレーの製造方法
が得られる．以下本発明を第２図〜第５図を参照して詳
細に説明する．第２図は本発明抵抗アレーの一実施例の断面図を示す．
絶縁層６はアルミナーガラスセラミック複合物（絶縁層
５ａ，・・・・・・，６ｎは均一組成）であり、内装化
された抵抗体７は２酸化ルテニウムを主成分としてガラ
スフリフトを混合した構造にしている．外部電極８およ
び外部電極８と内装の抵抗体７とを電気的に接続する配
線９は絶縁層６に設けられた数百ミクロンメーター細孔
を金、銀、銀一パラジウムなどの金属で埋めることによ
り形成する．本発明実施例の抵抗アレーは複数の抵抗体
および均一組成を持つ複数の絶縁層を多層化して焼結し
た一体物であり、その抵抗強度は約２０００ｋｇ／ａｍ
”という大きな値を示している。

第３図（ａｌ．　（ｂ）．　（Ｑ）は本発明抵抗アレー
の一実施例の製造工程の一部を示すものである．第２図
に示した絶縁層および抵抗体はそれぞれ厚さ０．　１　
ｍ・〜０．０３ｍの未焼成膜（以下グリーンシートと呼
ぶ）の形で予め準備される．絶縁グリーンシートおよび抵抗グリーンシートの組成比
は第１表および第２表の通りである。

第１表（絶縁グリーンシートの組成）第３表（グリーンシートの特性）第２表（抵抗グリーンシートの組成）それぞれのグリーンシートの特性は第３表の通りであっ
た。

この２種類のグリーンシートを多層化して抵抗アレーを
製造する．第３図（ａ）は絶縁グリーンシート１０に金型を用いて
直径約１５０，ｉＪｍの複数の細孔１１を形成した状態
を示す。この細孔１１の位置は後述するように多層化し
た時に、抵抗体と接続する位置にそれぞれ形成されてい
る。

本実施例の抵抗アレーは絶縁層２１層とし、その層間に
２０枚の抵抗シートの個片を配置して、最終出来上がり
抵抗アレーは素子数２０になるようにした．また抵抗ア
レ−１個の外形寸法は１０ｖａａ　Ｘ　５．　Ｏ　ｍ　
Ｘ　２．　Ｏ　ｔｍになるようにした。

本実施例では抵抗グリーンシートの目標抵抗値を１ｋΩ
１種頻に設定しこの抵抗グリーンシートを長さ３ｍ，輻
１ｆｌに切断して抵抗グリーンシートの個片（図示省略
）を形成してお《．次に細孔ｌ１を形成した絶縁グリー
ンシート１０に細孔１１および細孔１１が抵抗体と外接
する位置、すなわち細孔１１の近傍の上面に銀一パラジ
ウムペーストをスクリーン印刷法を用いて矩形状に被着
させ、内部電極１２を形成する。この時細孔１０内には
銀−パラジウムペーストが充填され絶縁グリーンシート
の表裏が電気的に導通される。このような方法で内部電
極ｌ２が形成された絶縁グリーンシ−｝１０上にあらか
じめ形成しておいた抵抗グリーンシートの個片１３を第
３図（ｂ）に示すように隣接する２個の内部電極ｌ２に
外接するように配置し、熱プレス機で温度１１５℃，圧
力５０ｋｇ／ｃｍ”で１分間熱圧着を行う。このように
して抵抗グリーンシートの個片１３を圧着した絶縁グリ
ーンシートを銀−パラジウムペーストが埋められた細孔
１１が互に接続するように位置合せして２１枚積層し、
熱プレス機で温度１１５℃，圧力２５０１ｇ／ｃｓ＝”
　，　　２　０分間熱圧着を行い第３図（Ｃ）に示す多
層体１４にする。

次にこの多層体１４の上部表面に内部の配腺９（第２図
参照）に接続するように外部電極８をスクリーン印刷方
法を用いて形成する．次に第３図（Ｃ）に示すように切断線Ａ−Ａ．ＢＢに沿
ってナイフなどにより多層体１４を切断して個片１４ａ
とする。

次いでこの個片１４ａを第４図に示す温度曲線を有する
焼成炉（図示省略）中で焼成した。

このようにして製作された抵抗アレーは第２図に示す断
面形状を有しその特性は第４表に示す結果であった．第４表（抵抗アレーの特性）この特性は現在市販されている抵抗アレーの特性に匹敵
する。

以上、本発明による抵抗アレーの特性は従来品と同等で
あり、かつ外形は約１／４以下ときわめて小型化された
効果は大きい．

【図面の簡単な説明】

第１図は従来手段を用いて製作した抵抗アレーの縦断面
図、第２図は本発明の一実施例によって得られる抵抗ア
レーの縦断面図、第３図（ａ）は絶縁グリーンシートに
細孔を設けた状態を示す斜視図、第３図山）は第２図（
ａｌの絶縁グリーンシート上に内部電極および抵抗グリ
ーンシートを被着した状態を示す斜視図、第３図（Ｃ）
は第２図（ｂ）の絶縁グリーンシートを積層し多層体と
した斜視図、第４図は本発明の一実施例で使用した焼成
炉の温度曲線図。６・・・絶縁層、７・・・抵抗体、８・・・外部電極、
９・・・配線、１０・・・絶縁グリーンシート、１１・
・・細孔、１２・・・内部電極、１３・・・抵抗グリー
ンシートの個片、１４・・・多層体、１４ａ・・・（多
層体の）個片。１・・・アルミナセラミック基板、２・・・サーメット
抵抗体、３・・・電極、４・・・絶縁膜、５・・・窓。第１区第図第図（α）１フ第図（ｂ）第図（ｃ）

Claims

【特許請求の範囲】

あらかじめ形成しておいた抵抗グリーンシートの個片を
複数の絶縁グリーンシートの層間に配置後、熱圧着して
多層体を得る工程と、前記多層体を焼成する工程とを有
することを特徴とする抵抗アレーの製造方法。