JPH0222984Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は扉装置に関する。

（従来の技術） 半導体ウエハの拡散処理に用いる拡散炉のシヤ
ツタ装置は、炉芯管の入口からガスや熱を排気で
きる箱の中に設置されているが、従来、この種装
置は、第４図に示す様に、拡散炉１と排気用箱２
を貫通する炉芯管３の上端部に、横軸に対して回
転自在に設けた一枚の扉４を開閉してウエハなど
の処理物を炉内に出し入れする。

（考案が解決しようとする課題） しかし、この従来例では、ウエハを出し入れす
るために扉４を開き４Ａの状態にすると、矢印
A5方向に流れるガス流は、扉４Ａを伝わつてク
リーンルーム６に侵入し、クリーンルーム６を汚
染する。又、扉４を逆に下側へ開くようにする
と、ウエハを出し入れするローダーと干渉してし
まう。

更にこの装置は扉４が１枚でかつ横軸に対して
回転自在なため、炉芯管３の端部から、少なくと
も扉４の長さｌだけのスペースが必要であり、必
要スペースが大きくなる傾向がある。

これらの点を対策する手段として観音扉により
構成することが考えられる。

しかし、観音扉により構成すると反応管を構
成・石英ガラスと扉の石英ガラスが閉じる際の衝
撃によりエツジ部を破壊し、ゴミが発生するばか
りでなく気密性を劣下する欠点がある。

本考案は上記点に対処してなされたもので、扉
に壊れやすい石英ガラスを用いても閉じる際に破
壊したりしてゴミを発生させたり、気密性を劣下
させたりすることのない扉装置を提供するもので
ある。

（課題を解決するための手段） この考案は回転移動することにより開閉状態を
設定する第１および第２の扉と、この第１および
第２の扉に上記夫々回転移動を伝達する第１およ
び第２の取付板と、これら第１および第２の取付
板が支持される回転軸と、上記第１および第２の
扉と第１および第２の取付板とを係合する第１お
よび第２の軸と、これらの軸に上記第１および第
２の扉を固定する機構と、上記第１および第２の
軸に上記第策１および第２の取付板を可動可能に
取付けるスプリングとを具備したことを特徴とす
る。

さらに、本考案は扉を石英ガラスで構成した拡
散炉の扉装置にある。

さらにまた、本考案は第１および第２の扉を一
個のモータにより開閉駆動し、一方の扉が先行し
て開閉移動するように構成したことを特徴とする
扉装置にある。

（作用） 本考案は開閉駆動する回転軸に取付板を固定
し、この取付板に扉を係合させ、取付板とスプリ
ングとの共同作用により開閉操作することにより
扉の開閉時の衝撃を緩和するようにしたものであ
る。

（実施例） 次に本考案装置拡散炉の蓋に適用した実施例を
説明する。

排気用箱１０に突出した炉芯管１１の端部の両
側には石英ガラス等で作つた長さＬのシヤツタ１
２が設けられている。

このシヤツタ１２は、軸１３を介して取付板１
４に固定されているが、閉駆動により炉芯管１１
に接触した時、スプリング１５が作用し衝撃をス
プリング１５が吸収して弱らげ、さらに接触後軸
１３に設けたスプリング１５により、炉芯管１１
の端部に押し付けられて密着している。

取付板１４は、ギヤ１６と連結した縦軸１７に
固定されている。図示しないモータにより駆動軸
１８を矢印A18方向に回転すると、取付台１９に
固定したギヤボツクス２０，２１のギヤ２２，２
３が回転し、ギヤ１６を介して縦軸１７を互に逆
なA22方向、A23方向に回転させる。縦軸１７が
回転すると、各シヤツタ１２ａ，１２ｂも同方向
に回転し、例えば１２Ａの状態となり炉芯管１１
は開かれる。次にモータを矢印A18と逆方向に回
転すると前記と逆の要領により、シヤツタ１２
ａ，１２ｂは回転し、炉芯管１１を閉成せしめる
が、二本の駆動軸１８ａ，１８ｂは少しずつずら
してカツプリング２４に固定されているので、シ
ヤツタ１２ａとシヤツタ１２ｂは少しずつずれて
回動する。

従つて、シヤツタ１２ａが、炉芯管１１に接触
した後にシヤツタ１２ｂが前記炉芯管に接触し、
そして、シヤツタ１２ｂの係合部２５は、シヤツ
タ１２ａに重ね合わされる。

以上説明したようにこの実施例によれば炉芯管
の端部の両側にシヤツタを縦軸に対して回動自在
に設けたので、シヤツタ開閉用スペースを従来例
の一枚シヤツタに比べ、小さくすることができ
る。

また、シヤツタを開いても、ガス流はシヤツタ
により防害されることがないので、矢印A11方向
に流れて、機外に排出される。従つて炉に隣接す
るクリーンルームなどにガス流が侵入することが
ない。

〔作用効果〕

この考案によれば取付板を介して扉を開閉駆動
するので扉の開閉時、衝撃をやわらげ、しかも密
着性の高い扉装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案を装備した装置を示す図、第２
図は本考案の実施例の平面図、第３図は第２図の
正面図、第４図は従来例を示す図である。 １１……炉芯管、１２……シヤツタ、１８……
駆動軸、２２，２３……ギヤ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 炉芯管の端部に設けられた扉を開き半導体ウ
   エハの搬入搬出し上記扉を閉じて拡散処理する
   拡散炉装置において、上記扉を次のように構成
   した拡散炉装置。 上記炉芯管の外側に回転移動することにより
   開閉状態を設定する第１および第２の扉と、こ
   の第１および第２の扉に対向して設けられ上記
   夫々回転移動を伝達する第１および第２の取付
   板と、これら第１および第２の取付板が支持さ
   れる回転軸と、上記第１及び第２の扉と第１及
   び第２の取付板とを係合する第１および第２の
   軸と、これらの軸に上記第１および第２の扉を
   固定する機構と、上記第１および第２の軸に上
   記第１および第２の取付板を可動可能に取付け
   るスプリングとを具備してなる拡散炉装置。 (2) 第１および第２の扉を石英ガラスにより構成
   し拡散炉の扉として構成した実用新案登録請求
   の範囲第１項記載の拡散炉装置。 (3) 第１および第２の扉は一個のモータにより開
   閉駆動するように構成し、一方の扉が先に閉移
   動したのち他方の扉が閉移動する機構を設けた
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の拡散炉装
   置。