JPH02236935A - 電磁コイル - Google Patents
電磁コイルInfo
- Publication number
- JPH02236935A JPH02236935A JP1056481A JP5648189A JPH02236935A JP H02236935 A JPH02236935 A JP H02236935A JP 1056481 A JP1056481 A JP 1056481A JP 5648189 A JP5648189 A JP 5648189A JP H02236935 A JPH02236935 A JP H02236935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- copper strip
- copper
- cooling
- electromagnetic coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電磁コイルの小型化に係り，特に電子線，イオ
ン応用装置に用いるコイルの小型化に関する． 〔従来の技術〕 従来コイルの冷却効率向主に関してはスキャンニング・
エレクトロン・マイクロスコピー／１９８６／■第８８
７頁から８９６頁（ＳＣＡＮＮＩＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯ
ＮＭＩＣＲＯＳＣＯＰＹ／ １９８６／ ｍ （Ｐａｇ
ｅｓ ８８７〜８９６）において論じられている．本論
文のコイルの通常の銅線の眉間に銅条を交互に巻き込み
温度上昇は銅条の熱電導を利用する方法である．又銅条
の端面はシリコングリースと塗布し熱冷却の効率を上げ
ているのが特徴である． 【発明が解決しようとする課題〕 従来技術は銅条コイルの端面処理については，特に配慮
されておらず，銅条とマイラー等の絶縁シートを重ね合
せて捲回しコイルにした後、端面はガラスウール等で絶
縁処理し冷却ボビン内に収めエポキシ系接着剤等で一体
化構造としていた．端面と冷却ボビンの間は０．５〜２
ＩＩｎのギャップが必然的に出来るため熱伝導を悪くし
ていた．本発明の目的は，銅条コイ゜ル端面処理を完全
な状態として冷却ボビンとコイル端面ギャップを最少値
として熱伝導を最良の状態となる構造とすることにある
． （課題を解決するための手段〕 上記目的は、銅条コイルの端面を精度良く加工し銅条コ
イル端面の銅材を露出させ、冷却用ボビンに極く近接し
て接着剤で一体化モールドすることにより、銅条コイル
は熱冷却を効率良く実施することにより達成される。
ン応用装置に用いるコイルの小型化に関する． 〔従来の技術〕 従来コイルの冷却効率向主に関してはスキャンニング・
エレクトロン・マイクロスコピー／１９８６／■第８８
７頁から８９６頁（ＳＣＡＮＮＩＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯ
ＮＭＩＣＲＯＳＣＯＰＹ／ １９８６／ ｍ （Ｐａｇ
ｅｓ ８８７〜８９６）において論じられている．本論
文のコイルの通常の銅線の眉間に銅条を交互に巻き込み
温度上昇は銅条の熱電導を利用する方法である．又銅条
の端面はシリコングリースと塗布し熱冷却の効率を上げ
ているのが特徴である． 【発明が解決しようとする課題〕 従来技術は銅条コイルの端面処理については，特に配慮
されておらず，銅条とマイラー等の絶縁シートを重ね合
せて捲回しコイルにした後、端面はガラスウール等で絶
縁処理し冷却ボビン内に収めエポキシ系接着剤等で一体
化構造としていた．端面と冷却ボビンの間は０．５〜２
ＩＩｎのギャップが必然的に出来るため熱伝導を悪くし
ていた．本発明の目的は，銅条コイ゜ル端面処理を完全
な状態として冷却ボビンとコイル端面ギャップを最少値
として熱伝導を最良の状態となる構造とすることにある
． （課題を解決するための手段〕 上記目的は、銅条コイルの端面を精度良く加工し銅条コ
イル端面の銅材を露出させ、冷却用ボビンに極く近接し
て接着剤で一体化モールドすることにより、銅条コイル
は熱冷却を効率良く実施することにより達成される。
銅条コイルはコイル銅条においての熱伝導は非常に良好
であり、銅条端面と冷却ボビンのギャップの熱伝導を如
何に向上させるかが重要である．上記ギャップを数１０
μｍの極く狭くすることによりＣｏｉ ｎ の熱を冷
却ボビンに効率良く伝導することが可能である。
であり、銅条端面と冷却ボビンのギャップの熱伝導を如
何に向上させるかが重要である．上記ギャップを数１０
μｍの極く狭くすることによりＣｏｉ ｎ の熱を冷
却ボビンに効率良く伝導することが可能である。
以下本発明の一実施例を第１図，第２図により詳細に説
明する。第１図，第２図は電子顕微鏡等の荷電粒子線に
用いる電磁コイルの構成を示す。
明する。第１図，第２図は電子顕微鏡等の荷電粒子線に
用いる電磁コイルの構成を示す。
第１図において、１は磁路材上部、２は磁路材下部、３
は冷却水用銅パイプ、４，５は冷却用ボビン、６は銅条
電磁コイル、７はエポキシ系接着剤を示す．第２図にお
いて、銅条電磁コイル６は、銅条８、マイラー等の絶縁
シ一ト８を重ね合せて捲回し眉間の電気絶縁を保ってい
る。銅条コイル６は、例えばＱ ． ２ ｎｏ厚さ、巾
１０ｎｎの銅条と、厚さ２０μｍ、巾１ １ ＋ｍ＋の
マイラーシ一トを重ね捲きしてコイルを成形する。成形
したコイルは単独でエポキシモールドを行う。エボキシ
でモールドしたコイルの両端面を銅条の銅部が露出する
如く端面加工を行う。加工した銅条コイル６を冷却ボビ
ン４，５ではさみ更に一体化するためエボキシ系接着剤
で真空含浸モールド作業を行う。冷却ボビン４，５のコ
イル端面に接する部分は、例えばマイラーシート等で絶
縁処理を行う。銅条コイル６と冷却ボビン４，５のキャ
ップは約３０μｍの厚さに保たれる。
は冷却水用銅パイプ、４，５は冷却用ボビン、６は銅条
電磁コイル、７はエポキシ系接着剤を示す．第２図にお
いて、銅条電磁コイル６は、銅条８、マイラー等の絶縁
シ一ト８を重ね合せて捲回し眉間の電気絶縁を保ってい
る。銅条コイル６は、例えばＱ ． ２ ｎｏ厚さ、巾
１０ｎｎの銅条と、厚さ２０μｍ、巾１ １ ＋ｍ＋の
マイラーシ一トを重ね捲きしてコイルを成形する。成形
したコイルは単独でエポキシモールドを行う。エボキシ
でモールドしたコイルの両端面を銅条の銅部が露出する
如く端面加工を行う。加工した銅条コイル６を冷却ボビ
ン４，５ではさみ更に一体化するためエボキシ系接着剤
で真空含浸モールド作業を行う。冷却ボビン４，５のコ
イル端面に接する部分は、例えばマイラーシート等で絶
縁処理を行う。銅条コイル６と冷却ボビン４，５のキャ
ップは約３０μｍの厚さに保たれる。
上記の構成において、コイル捲数２５０ターンの時電流
１６Ａを流した場合，冷却ボビンの冷却水量を２Ｑ／ｎ
＋ｉｎの時の銅条コイル６の温度上昇は〜６℃である。
１６Ａを流した場合，冷却ボビンの冷却水量を２Ｑ／ｎ
＋ｉｎの時の銅条コイル６の温度上昇は〜６℃である。
銅条コイルと冷却ボビン間を０．５ｍ厚みの絶縁層とし
た場合は、上記条件においての温度上昇は２１℃となり
、３．５倍の効率ｕｐが図れる。銅条コイルの最大温度
上昇を５５℃まで許容すると、約９倍まで温度上昇に余
裕がある。電流値では当初の３倍、１６ＡＸ３＝４８Ａ
まで流すことが可能となる． 本実施例によれば、従来装置に比較して温度上昇で３．
５倍の高効率化が計れる。上記の如く、電磁コイルの小
型化が可能となり、電子顕微鏡の磁路の大巾な小型軽量
化が可能である。
た場合は、上記条件においての温度上昇は２１℃となり
、３．５倍の効率ｕｐが図れる。銅条コイルの最大温度
上昇を５５℃まで許容すると、約９倍まで温度上昇に余
裕がある。電流値では当初の３倍、１６ＡＸ３＝４８Ａ
まで流すことが可能となる． 本実施例によれば、従来装置に比較して温度上昇で３．
５倍の高効率化が計れる。上記の如く、電磁コイルの小
型化が可能となり、電子顕微鏡の磁路の大巾な小型軽量
化が可能である。
本発明によれば、荷電粒子線装置における電磁コイルの
小型化が可能であり、装置全体の小型化軽量化に寄与す
る。
小型化が可能であり、装置全体の小型化軽量化に寄与す
る。
通常銅線を使用した電磁コイルの場合、コイル断面積当
りのＡＴ（電流×捲数）はおおよそ３００ＡＴ／一が最
高値であるが，本発明になる電磁コイルの場合、コイル
温度上昇の許容値を５５℃とすると２，ＯＯＯＡＴ／ａ
Ｉまで可能となり本発明の効果は顕著なものがある。電
磁コイルの小型化に伴って装置の直径、高さも比例して
小型化が可能となり、機械加工費の低減に寄与し経済的
にも大きな利点が発揮される。
りのＡＴ（電流×捲数）はおおよそ３００ＡＴ／一が最
高値であるが，本発明になる電磁コイルの場合、コイル
温度上昇の許容値を５５℃とすると２，ＯＯＯＡＴ／ａ
Ｉまで可能となり本発明の効果は顕著なものがある。電
磁コイルの小型化に伴って装置の直径、高さも比例して
小型化が可能となり、機械加工費の低減に寄与し経済的
にも大きな利点が発揮される。
第１図は本発明の一実施例を示す磁路を含む断面構成図
、第２図は本発明による電磁コイルの断面図を示す。 １・・・上磁極、２・・・下磁極、３・・・水冷管、４
・・・冷却ボビン上，５・・・冷却ボビン下、６・・・
銅条コイル、７・・・絶縁層、８・・・絶縁シート、９
・・・銅条。
、第２図は本発明による電磁コイルの断面図を示す。 １・・・上磁極、２・・・下磁極、３・・・水冷管、４
・・・冷却ボビン上，５・・・冷却ボビン下、６・・・
銅条コイル、７・・・絶縁層、８・・・絶縁シート、９
・・・銅条。
Claims (1)
- １．銅条を絶縁物体を介して捲回した電磁コイルにおい
て、上記銅条の端面部に銅条の銅材を露出させ、表面を
電気絶縁した冷却用ボビンに密着させ銅条コイルと該冷
却ボビンをモールド材で一体化構造としたことを特徴と
する電磁コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1056481A JPH02236935A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電磁コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1056481A JPH02236935A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電磁コイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02236935A true JPH02236935A (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=13028288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1056481A Pending JPH02236935A (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | 電磁コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02236935A (ja) |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP1056481A patent/JPH02236935A/ja active Pending
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