JPH02238365A - フローセンサ用の温度補償回路 - Google Patents

フローセンサ用の温度補償回路

Info

Publication number
JPH02238365A
JPH02238365A JP1059266A JP5926689A JPH02238365A JP H02238365 A JPH02238365 A JP H02238365A JP 1059266 A JP1059266 A JP 1059266A JP 5926689 A JP5926689 A JP 5926689A JP H02238365 A JPH02238365 A JP H02238365A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
sensitive
voltage
sensitive resistor
resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1059266A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0664080B2 (ja
Inventor
Tetsuo Hisanaga
哲生 久永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP1059266A priority Critical patent/JPH0664080B2/ja
Priority to US07/478,611 priority patent/US5072614A/en
Priority to ES90302416T priority patent/ES2088963T3/es
Priority to AT90302416T priority patent/ATE140790T1/de
Priority to EP90302416A priority patent/EP0387025B1/en
Priority to DE4007480A priority patent/DE4007480A1/de
Publication of JPH02238365A publication Critical patent/JPH02238365A/ja
Publication of JPH0664080B2 publication Critical patent/JPH0664080B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
    • G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
    • G01D3/0365—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00—Details of instruments
    • G01P1/006—Details of instruments used for thermal compensation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は温度補償回路、例えばチップ上の２点間の温
度差を測定し、この測定結果から流量を検出するフロー
センサの温度補償回路に関するものである。
〔従来の技術〕
第４図はフローセンサを示す斜視図であり、チップ１０
の上面中央部に第１，第２の感温抵抗Ｒｘ，Ｒｖが設け
られている．なお、図中の矢印は液体の流れ方向を示し
ている．第５図乃至第７図は上記第１．第２の感温抵抗
ＲＸ，ＲＶを含む従来の温度補償回路を示す。第５図は
感温抵抗Ｒｘ，Ｒｖにそれぞれ直列に定電流Ｒ１，２を
接続してブリッジ回路を構成し、その感温抵抗ＲＸ＋Ｒ
ｖと定電流源１．２の接続点Ｐ，，Ｐ．に差動アンプ３
０入力端を接続したもので、差動アンプ３にはＶｚ　＝
　Ｉ　（　Ｒｘ　　Ｒｖ　）の信号が入力される。ただ
し、■は電源電圧、■は電流である。
また、第６図は回路簡素化のために定電流源１．２の代
わりに抵抗Ｒ．，Ｒ．を用い、前記第５図と同一構成と
したもので、ＲＩ，Ｒｔ　＞Ｒｘ　，ＲＹとすれば電流
１はほぼ一定となり、第５図に近い動作となる． 第７図は感温抵抗Ｒｘ，Ｒｖを直列に接続して、その接
続点Ｐ，から出力■２を取出すもので、こところで、上
記感温抵抗Ｒｘ，Ｒｖは、第８図に示すような抵抗温度
特性をもつものとする。ただし、第８図は感温抵抗Ｒ．
だけの抵抗温度特性を示す． いま、第８図に示すように、０゜Ｃのときの抵抗値をＲ
ＸＩＩとすると、温度Ｔ″Ｃのときの抵抗値Ｒ．は、Ｒ
．＝ＲＸ。（１＋αＴ）で表わされる。また、感温抵抗
ＲＶも同様に、Ｒｙ＝Ｒｙｏ（１＋αＴ）の特性を有す
る。
また、周囲温度ＴＡ″Ｃのとき、感温抵抗ＲＸ，Ｒｖの
温度差をΔＴｏ″Ｃとすると、感温抵抗ＲＸ＋Ｒｖの温
度はそれぞれＴＡ十ΔＴＤ（”ｃ），ＴＡ（”ｃ）とな
る． 上記の条件において、前記第５図の構成では、差動アン
ブ３にブリッジ回路の出力ｖ２が供給される． Ｖｚ”’Ｉ（　Ｒｗ　　Ｒｖ　） ＝ｒ　ＣＲＸＩＩ　Ｂ＋α（ＴＡ＋ΔＴＤ））　　ＲＹ
。（１＋αＴＡ）　）＝Ｉ　（ＲＸ６　　Ｒｙｏ＋α（
Ｒｘｏ　　ＲｖＪＴＡ＋αｈ０ΔＴ．）・・・・・・・
・・　（１） 上記出力■２の零点変動特性を見るため、ΔＴ，一〇と
すると、（１）式は、 Ｖｚ　＝　Ｉ　（　Ｒｘｏ　−　Ｒｖｏ＋α（ＲＸＯ　
　ＲＶＯ）ＴＡＩ　””−（２）となる。ＲＸ０−ＲＶ
０とすれば（２）式は、■２−０ となるが、製造上のばらつきによりＲＸＯ≠ＲＹＯのと
きには出力Ｖ２は（２）式のようになり、周囲温度ＴＡ
によって変動する。
第６図の回路構成では、Ｒ＋　，Ｒｚ　＞Ｒｘ　．Ｒｙ
とすれば、ほぼ第５図の回路構成による場合の関係が成
立する． また、第７図の回路構成では、その出力Ｖ２は次のよう
になる． ΔＴ　ｏ　”’　Ｏとすると　（３）式は、ｊｂｅ士Ｗ
ＶＯ となり、製造上のばらつきにより、Ｒ８。≠ＲＹＩ１で
あっても、両者は比率を取るため、周囲温度ＴＡの影響
を受けにくいことがわかる。
一ｇに製造上ＲＫ６＝ＲＶＯを達成することは困難であ
るため、第７図の回路構成の方が第５図の回路構成より
実用的であるといえる． 第７図の回路構成において、第１，第２の感温抵抗Ｒ．
，ＲＶの温度差ΔＴ．＝Ｏのときを零点として、この結
果をｖ２′　とすると、Ｖ　２１　は（３）式一（４）
式として次のように表わすことができる。
ＲＩ＋ＲＶＯ ・・・・・・・・・　　（５） ΔＴＩ，の変化がわずかで、１＋αＴ　Ａ）αΔＴＤの
とき、 のようになる。
上記（６）式から明らかなように、■２′は周囲温度Ｔ
Ａにより影響を受け、αが正のとき、周囲温度ＴＡが高
温になるほどＶ　２１が小さくなることがわかる。
そこで、第９図に示すように、前記第７図に示す構成の
感温抵抗Ｒｖと直列に、順方向電圧が負の温度係数を有
するダイオードＤを接続し、周囲温度ＴＡによる影響を
小さくすることが考えられている． 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の温度補償回路は第９図のように構成することによ
り、周囲温度による影響を小さくすることが考えられて
いるが、ダイオードＤと感温抵抗Ｒｘ．Ｒｖの温度係数
を正確に合わせることが困難であったり、ダイオードＤ
の順方向電圧にばらつきがあったり、ダイオードＤと感
温抵抗ＲＸＲ７が位置的に離れて温度差があると、正し
く温度補償が行われないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、同一チップ上に設けた２つの感温抵抗の温度
差を、周囲温度に影響されることな《電圧として出力す
ることができる温度補償回路を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る温度補償回路は、同一チップ上に設けて
直列に接続し接続点から出力を取出す第１，第２の感温
抵抗と、前記チップ上に設けた第３の感温抵抗と、前記
第３の感温抵抗に電流を流す給電手段と、前記第３の感
温抵抗両端の電圧を電流増幅して前記直列接続した第１
，第２の感温抵抗の一端に供給するアンプとを具備した
ものである。
〔作　用〕
この発明に係る温度補償回路は、第１，第２の感温抵抗
と同一チップ上に周囲温度検出用の第３の感温抵抗を設
け、給電によって前記第３の感温抵抗の両端に発生する
電圧を、直列に接続した前記第１，第２の感温抵抗に印
加することにより、周囲温度によって第１，第２の感温
抵抗に加わる電圧が自動的に変化し、第１，第２の感温
抵抗の温度差を常に一定電圧として取出すことができる
．〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図面について説明する。前
記第５図乃至第７図と同一部分に同一符号を付して重複
説明を省略した第１図において、ＲＲは第１．第２の感
温抵抗Ｒｘ，Ｒｖと同一チップ上に設けた第３の感温抵
抗、４は第３の感温抵抗Ｒ，と直列に接続した給電手段
としての定電流源、５は第３の感温抵抗Ｒ．の両端電圧
、つまり、第３の感温抵抗Ｒ，と定電流源４の接続点Ｐ
４の電圧を入力とし、直列接続した第１，第２の感温抵
抗Ｒ．，Ｒｖの一端に出力端を接続したアンプとしての
ボルテージフォロワ回路である。
次に動作について説明する．まず、第３の感温抵抗Ｒえ
に定電流源４から定電流Ｉを流し、この第３の感温抵抗
Ｒ．の両端に生じた電圧■覧をボルテージフォロワ回路
５で電流増幅して電圧ｖ胃′とし、この電圧■え′を第
１，第２の感温抵抗Ｒｘ，Ｒｖに加え、両抵抗Ｒｘ，Ｒ
ｖの接続点Ｐ，より出力■２を取出している。
上記電圧Ｖ　，　Ｉは次のように表わせる。
Ｖａ’　　＝Ｖ＠　　＝　ＩＲ＊　　＝　ＩＲＲＯ　（
　１　＋　ｃｒＴＡ）　　−（７）これにより、出力■
２′　は（６）式から、（Ｒｘｏ　＋Ｒｙｏ）　”　（
　１　＋　αＴＡ）となり、周囲温度ＴＡの影響をうけ
なくなる。
また、第１，第２の感温抵抗Ｒ，Ｉ，Ｒｖに流れる電流
Ｉｌｌは次のように表わせる。
Ｒｘ　　＋　　Ｒｙ ＲＸ　　＋　　ｌｈ 第１〜第３の感温抵抗Ｒｘ．Ｒｖ．Ｒ＊が同一チップ上
に設けられているため、その厚みのばらつきｄによって
、各々（１００ｘｄ）％変化したとすると、そのときの
電流Ｉｌｌ’は、となり、電流ＩＸＹと等しくなる．す
なわら、製造上のばらつきｄによる影響をうけることが
ない。
このように、第３０の感温抵抗Ｒえを第１．第２の感温
抵抗Ｒｘ．Ｒｖと同一チップ上に形成することにより、
その温度の違いを少なくして、温度補償の誤差を小さく
できる他、製造ばらつきにより、第１，第２の感温抵抗
Ｒ．，ＲＶの抵抗値が違っても、ほぼ同じ電流を流すこ
とが可能になる． 第２図は他の実施例を示すもので、前記第１図における
定電流源４の代わりに抵抗Ｒ，を接続し、ボルテージフ
ォロワ回路５に帰還抵抗Ｒ，，Ｒ，を接続したものであ
る。
上記の構成によって、ボルテージフォロワ回路５の出力
電圧ｖつ′は、 となる．ここで、Ｒ．）Ｒ．とすれば、第３の感温抵抗
Ｒえに流れる電流Ｉはほぼ一定になり、前記第１図の実
施例と同様の機能を簡単に実現でき石。
第３図はボルテージフォロワ回路５の出力電圧ｖ，′に
基づいて、出力■２′を得るための回路構成を示すもの
で、直列接続した固定抵抗ＲＡ，Ｒ．を直列接続した第
１．第２の感温抵抗Ｒ．，Ｒ，に接続してブリッジ回路
を構成し、この固定抵抗Ｒ．，Ｒ．の接続点Ｐ，と第１
．第２の感温抵抗Ｒｘ．Ｒｖの接続点Ｐ７に差動アンプ
７の入力端を接続したものである． この場合、第１，第２の感温抵抗Ｒ．，Ｒ．の温度差Δ
Ｔ，＝０のとき、Ｒ，・Ｒ．＝Ｒ．−　ＲＡが成立する
ように、固定抵抗ＲＡまたは同Ｒ，を選択調整すればよ
い。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、第１．第２の感温抵
抗と周囲温度検出用の第３の感温抵抗とを同一チップ上
に設け、給電によって前記第３の感温抵抗の両端に生じ
た電圧を、調整した上記第１，第２の怒温抵抗に印加す
るように構成したので、温度変化で抵抗値がばらついて
も、そのばらつきは全ての抵抗について同じになり、第
１，第２の怒温抵抗を流れる電流はほぼ一定となり、個
別設定が不用になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例による温度補償回路を示す
回路図、第２図は他の実施例による温度補償回路を示す
回路図、第３図は出力部の回路図、第４図はフローセン
サの斜視図、第５図，第６図，第７図は従来の温度補償
回路の種々の回路図、第８図は感温抵抗の抵抗温度特性
図、第９図は従来の他の温度補償回路の回路図である。 ＲＸは第１の感温抵抗、Ｒ，は第２の感温抵抗、Ｒｌｌ
は第３の感温抵抗、４は定電流源、５はボルテージフォ
ロワ回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　同一チップ上に設けて直列に接続し接続点から出力を
    取出す第１，第２の感温抵抗と、前記チップ上に設けた
    第３の感温抵抗と、前記第３の感温抵抗に電流を流す給
    電手段と、前記第３の感温抵抗両端の電圧を電流増幅し
    て前記直列接続した第１，第２の感温抵抗の一端に供給
    するアンプとを備えた温度補償回路。
JP1059266A 1989-03-10 1989-03-10 フローセンサ用の温度補償回路 Expired - Lifetime JPH0664080B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1059266A JPH0664080B2 (ja) 1989-03-10 1989-03-10 フローセンサ用の温度補償回路
US07/478,611 US5072614A (en) 1989-03-10 1990-02-12 Temperature compensating circuit
ES90302416T ES2088963T3 (es) 1989-03-10 1990-03-07 Circuito de compensacion de temperatura.
AT90302416T ATE140790T1 (de) 1989-03-10 1990-03-07 Temperaturkompensationsschaltung
EP90302416A EP0387025B1 (en) 1989-03-10 1990-03-07 Temperature compensating circuit
DE4007480A DE4007480A1 (de) 1989-03-10 1990-03-09 Temperaturkompensationsschaltkreis

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1059266A JPH0664080B2 (ja) 1989-03-10 1989-03-10 フローセンサ用の温度補償回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02238365A true JPH02238365A (ja) 1990-09-20
JPH0664080B2 JPH0664080B2 (ja) 1994-08-22

Family

ID=13108399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1059266A Expired - Lifetime JPH0664080B2 (ja) 1989-03-10 1989-03-10 フローセンサ用の温度補償回路

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5072614A (ja)
EP (1) EP0387025B1 (ja)
JP (1) JPH0664080B2 (ja)
AT (1) ATE140790T1 (ja)
DE (1) DE4007480A1 (ja)
ES (1) ES2088963T3 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006090845A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Denso Corp 放熱型流量センサの駆動回路

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69109236T2 (de) * 1990-11-09 1996-01-11 Hewlett Packard Co Verfahren und Systeme zur Identifizierung von Flüssigkeiten und Bestimmung der Strömung.
GB9025798D0 (en) * 1990-11-28 1991-01-09 De Beers Ind Diamond Diamond fluid flow sensor
JP3342926B2 (ja) * 1992-07-21 2002-11-11 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 流量センサ
US5750893A (en) * 1994-06-21 1998-05-12 Ricoh Co., Ltd. Thermally sensing type flowing velocity measuring apparatus
US5460039A (en) * 1994-07-12 1995-10-24 Bear Medical Systems, Inc. Flow sensor system
US5522261A (en) * 1994-11-18 1996-06-04 Alnor Instrument Company Fluid flow direction and velocity monitor and temperature compensating circuit therefor
JPH0989618A (ja) * 1995-09-25 1997-04-04 Smc Corp 流量検出スイッチ
DE19618442A1 (de) * 1996-05-08 1997-11-13 Mueller Friedrich Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen des Fließens eines Fluides
GB9904429D0 (en) * 1999-02-26 1999-04-21 Delphi Tech Inc Mass flow with air temperature sensor
GB2370358A (en) * 2000-12-22 2002-06-26 Novatech Measurements Ltd Measuring device comprising a temperature sensitive potential divider for temperature compensation
EP2682715B1 (en) * 2012-07-02 2015-03-11 Sensirion AG Portable electronic device
EP2728327B1 (en) 2012-11-02 2020-02-19 Sensirion AG Portable electronic device
EP2802128B1 (en) 2013-05-06 2018-07-11 Sensirion AG Self-calibrating temperature sensor within a mobile terminal device
EP2801804B1 (en) 2013-05-06 2018-07-11 Sensirion AG Self-calibrating temperature sensor within a mobile terminal device
EP2808652B1 (en) 2013-05-31 2016-11-16 Sensirion AG Portable electronic device with integrated temperature sensor being compensated by other sensing data
EP2910938B1 (en) 2014-02-25 2017-09-06 Sensirion AG Portable electronic device
CN108351243B (zh) * 2015-11-24 2020-04-10 Ifm电子股份有限公司 热流量计及操作流量计的方法
CN107192471B (zh) * 2017-04-13 2019-04-12 南京史利姆电子科技有限公司 一种用于风动传感器的新型温度补偿电路及补偿方法
US20250130084A1 (en) * 2021-09-14 2025-04-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid flow meters

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3085431A (en) * 1959-12-28 1963-04-16 Gen Electric Flow measuring apparatus
US3645133A (en) * 1970-04-15 1972-02-29 Metrophysics Inc Electronic spirometer
US3891391A (en) * 1973-05-14 1975-06-24 George R Boone Fluid flow measuring system using improved temperature compensation apparatus and method
US4206638A (en) * 1978-12-06 1980-06-10 Djorup Robert Sonny Directional heat loss anemometer transducer
DE2906847A1 (de) * 1979-02-22 1980-09-04 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zum messen des luftdurchsatzes im luftansaugrohr einer brennkraftmaschine
JPS56142414A (en) * 1980-04-09 1981-11-06 Nippon Soken Inc Device for measuring gas flow quantity
JPS57163822A (en) * 1981-04-01 1982-10-08 Nippon Soken Inc Measuring device for air flow rate
DD209907A1 (de) * 1982-08-16 1984-05-23 Roland Werthschuetzky Miniaturisierter halbleiterdurchflusssensor
US4566320A (en) * 1984-05-07 1986-01-28 Honeywell, Inc. Fluid flow sensing means with ambient temperature compensation
US4794795A (en) * 1986-05-23 1989-01-03 Djorup Robert Sonny Directional thermal anemometer transducer
DE102010053549A1 (de) 2010-12-06 2012-06-06 Mars, Incorporated Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines geschäumten Fleisch- oder Fischprodukts

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006090845A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Denso Corp 放熱型流量センサの駆動回路

Also Published As

Publication number Publication date
EP0387025B1 (en) 1996-07-24
ATE140790T1 (de) 1996-08-15
DE4007480A1 (de) 1990-09-13
ES2088963T3 (es) 1996-10-01
EP0387025A1 (en) 1990-09-12
US5072614A (en) 1991-12-17
JPH0664080B2 (ja) 1994-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02238365A (ja) フローセンサ用の温度補償回路
JPS5979172A (ja) ホ−ル・磁界センサを用いた回路装置
JP4438222B2 (ja) 物理量検出装置
JP2002116105A (ja) 物理量検出装置
JP2002500348A (ja) 温度依存性測定用抵抗を具備するセンサおよび該センサの温度測定のための使用法
US4109196A (en) Resistance measuring circuit
US4873490A (en) Circuit arrangement for generating an output signal that is nonlinearly dependent on the temperature
JPS63142216A (ja) センサ用回路装置
EP0423284B1 (en) Electronic circuit arrangement
JP2627279B2 (ja) 磁気抵抗素子アセンブリー
JPH053989Y2 (ja)
JPH02120620A (ja) ヒータ温度制御回路
JPS6122766B2 (ja)
JP2512934B2 (ja) 温度測定回路
JPH08307160A (ja) 温度補償回路
JPS5831078Y2 (ja) 熱電温度測定装置
JP2639101B2 (ja) 圧力検出装置
JPS5872299A (ja) ダンピング回路
JPS60246087A (ja) 磁気バブルメモリ装置
JPH02157622A (ja) 放熱式レベルセンサ
JPH10281907A (ja) 半導体式応力検出装置
JPS60100641U (ja) 抵抗温度計のバ−ンアウト検知装置
JPH01433A (ja) 半導体圧力センサの回路構成方法
JPS603437U (ja) 温度差検出回路
JPH08136310A (ja) 流量センサ

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822

Year of fee payment: 14

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090822

Year of fee payment: 15

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090822

Year of fee payment: 15