JPH02239413A - 薄膜磁気ヘッドのリード端子構造 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドのリード端子構造Info
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- JPH02239413A JPH02239413A JP6001989A JP6001989A JPH02239413A JP H02239413 A JPH02239413 A JP H02239413A JP 6001989 A JP6001989 A JP 6001989A JP 6001989 A JP6001989 A JP 6001989A JP H02239413 A JPH02239413 A JP H02239413A
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- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要］
磁気ディスク装置に使用される薄膜磁気ヘッドのリード
端子構造に関し、 リード端子部を同一平面上の形成でなく、立体化により
その形状を変え、小型軽量化した薄膜磁気ヘッドのリー
ド端子構造を提供することを目的とし、 基板上に絶縁層を介して磁極部、コイル部、保護膜層よ
りなるＦｉｌ！磁気ヘッドのリード端子構造であって、
前記コイル部終端より引き出される複数個のリード部を
、絶縁層を介し相互に重なり合う立体構造として構成す
る． 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に使用される薄膜磁気ヘッ
ドのリード端子構造に関する，近年、磁気ディスク装置
は高速アクセス化の傾向にあり、それに伴いヘッドスラ
イダの小型軽量化が必要とされている＃薄膜磁気ヘッド
は、従来のモノシリンクヘッドに比べると小型軽量化が
容易であり、有利であるが、素子部及びリード端子部は
ある程度の大きさを持つため、より軽量化を計る場合、
従来の薄膜磁気ヘッドでは限界があった． 〔従来の技術〕 第４図（イ）（口）は従来の薄膜磁気ヘッドの概略図で
ある． 第４図（イ）において、スライダ１はフラットな複数の
レール２と、該レール２の前端に空気流入のための図示
しないテーバを、後端に薄膜磁気へッド３を設けている
．４は溝である。
端子構造に関し、 リード端子部を同一平面上の形成でなく、立体化により
その形状を変え、小型軽量化した薄膜磁気ヘッドのリー
ド端子構造を提供することを目的とし、 基板上に絶縁層を介して磁極部、コイル部、保護膜層よ
りなるＦｉｌ！磁気ヘッドのリード端子構造であって、
前記コイル部終端より引き出される複数個のリード部を
、絶縁層を介し相互に重なり合う立体構造として構成す
る． 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に使用される薄膜磁気ヘッ
ドのリード端子構造に関する，近年、磁気ディスク装置
は高速アクセス化の傾向にあり、それに伴いヘッドスラ
イダの小型軽量化が必要とされている＃薄膜磁気ヘッド
は、従来のモノシリンクヘッドに比べると小型軽量化が
容易であり、有利であるが、素子部及びリード端子部は
ある程度の大きさを持つため、より軽量化を計る場合、
従来の薄膜磁気ヘッドでは限界があった． 〔従来の技術〕 第４図（イ）（口）は従来の薄膜磁気ヘッドの概略図で
ある． 第４図（イ）において、スライダ１はフラットな複数の
レール２と、該レール２の前端に空気流入のための図示
しないテーバを、後端に薄膜磁気へッド３を設けている
．４は溝である。
第４図（口）は薄膜磁気ヘッドの形状拡大図である．図
において、５は下部磁性層と上部磁性層よりなる磁極部
、６はコイル部、７はリード部、８は端子部を示す．な
お、薄膜磁気ヘッド３は図では２個あるが、実際に使用
するのは１個で、他の１個は予備となる． さらに、薄膜磁気ヘッドの素子形状を第５図に示す． 第５図において、薄膜磁気ヘッド素子は、アルミナチタ
ンカーバイト等の基板ｌａ上に、アルミナ（Ａｊ！ｇｏ
ｓ）絶縁層１０を形成し、その上に下部磁性層ｌ１を、
さらに、その上に樹脂絶縁層１２を積層し、その樹脂絶
縁層１２の上に、第１のコイル層６ａ（リード部７ａを
含む）と、樹脂絶縁層１２をそれぞれ積層する．次に第
２のコイル層６ｂ（ リード部７ｂを含む）と、樹脂絶
縁層１２とを積層して、上部磁性層１３を形成後にコイ
ル終端のリード部？ａ， ？ｂ上に端子部８ａ、８ｂを
形成後、アルミナ（ＡＡ２０，）保護膜層１４で覆い、
その保護膜層１４をラップし端子部８ａ、８ｂを露出し
形成している。
において、５は下部磁性層と上部磁性層よりなる磁極部
、６はコイル部、７はリード部、８は端子部を示す．な
お、薄膜磁気ヘッド３は図では２個あるが、実際に使用
するのは１個で、他の１個は予備となる． さらに、薄膜磁気ヘッドの素子形状を第５図に示す． 第５図において、薄膜磁気ヘッド素子は、アルミナチタ
ンカーバイト等の基板ｌａ上に、アルミナ（Ａｊ！ｇｏ
ｓ）絶縁層１０を形成し、その上に下部磁性層ｌ１を、
さらに、その上に樹脂絶縁層１２を積層し、その樹脂絶
縁層１２の上に、第１のコイル層６ａ（リード部７ａを
含む）と、樹脂絶縁層１２をそれぞれ積層する．次に第
２のコイル層６ｂ（ リード部７ｂを含む）と、樹脂絶
縁層１２とを積層して、上部磁性層１３を形成後にコイ
ル終端のリード部？ａ， ？ｂ上に端子部８ａ、８ｂを
形成後、アルミナ（ＡＡ２０，）保護膜層１４で覆い、
その保護膜層１４をラップし端子部８ａ、８ｂを露出し
形成している。
スライダ１の大きさは、基本的には素子部（磁極部５、
コイル部６）及びリード端子部（リード部７、端子部８
）により制約を受けることになるが、従来の磁気ヘッド
では、コイル６ａ、６ｂのリード部７及び端子部８ａ、
８ｂは（第５図参照）同一平面上に形成されているため
、リード部７同士、端子部８ａ、８ｂが互いに接触しな
いように形成する必要がある．また、端子部８の輻ａも
、出力を引き出すためのリード線をボンディングする上
で０．２鋪程度を必要とする． しかし、一般にスライダ１の大きさは、高さＨ＝０．８
５ｍ、幅＝３．２ ｙｍ、長さ＝４ｍである．上記のよ
うに端子部８の幅ａ ＝０．２ ｍを必要とし、さらに
、端子間ｂも接触しないためには、０．２−が必要であ
るので、現状の高さＨ＝０．８５鵬は可成キツイ寸法で
ある． このような従来の薄膜磁気ヘッドをより小型軽量化する
ことは困難であった． そこで、本発明はリード端子部を同一平面上の形成でな
く、立体化によりその形状を変え、小型軽量化した薄膜
磁気ヘッドのリード端子構造を提供することを目的とす
る． 〔課題を解決するための手段〕 前記問題点は、第１図（イ）（口）に示されるように、
基板ｌａ上に絶縁層１０、１２を介して磁極部５、コイ
ル部６、保護膜層１４よりなる薄ｒｙｉ４磁気ヘッドの
リード端子構造であって、 前記コイル部６終端より引き出される複数個のリード部
７を、絶縁層１２を介し相互に重なり合う立体構造とし
た本発明の薄膜磁気ヘッドのリード端子構造によって解
決される。
コイル部６）及びリード端子部（リード部７、端子部８
）により制約を受けることになるが、従来の磁気ヘッド
では、コイル６ａ、６ｂのリード部７及び端子部８ａ、
８ｂは（第５図参照）同一平面上に形成されているため
、リード部７同士、端子部８ａ、８ｂが互いに接触しな
いように形成する必要がある．また、端子部８の輻ａも
、出力を引き出すためのリード線をボンディングする上
で０．２鋪程度を必要とする． しかし、一般にスライダ１の大きさは、高さＨ＝０．８
５ｍ、幅＝３．２ ｙｍ、長さ＝４ｍである．上記のよ
うに端子部８の幅ａ ＝０．２ ｍを必要とし、さらに
、端子間ｂも接触しないためには、０．２−が必要であ
るので、現状の高さＨ＝０．８５鵬は可成キツイ寸法で
ある． このような従来の薄膜磁気ヘッドをより小型軽量化する
ことは困難であった． そこで、本発明はリード端子部を同一平面上の形成でな
く、立体化によりその形状を変え、小型軽量化した薄膜
磁気ヘッドのリード端子構造を提供することを目的とす
る． 〔課題を解決するための手段〕 前記問題点は、第１図（イ）（口）に示されるように、
基板ｌａ上に絶縁層１０、１２を介して磁極部５、コイ
ル部６、保護膜層１４よりなる薄ｒｙｉ４磁気ヘッドの
リード端子構造であって、 前記コイル部６終端より引き出される複数個のリード部
７を、絶縁層１２を介し相互に重なり合う立体構造とし
た本発明の薄膜磁気ヘッドのリード端子構造によって解
決される。
即ち、本発明では、第１図（口）のようにリード部７及
び端子部８において、絶縁層を介して相互重なり合う立
体構造としたことにより、リード部７、端子部８の形状
、方向が同一平面上の形成のような制約がなく、或る程
度自由に決められる結果、スライダの小型軽量化ができ
た。
び端子部８において、絶縁層を介して相互重なり合う立
体構造としたことにより、リード部７、端子部８の形状
、方向が同一平面上の形成のような制約がなく、或る程
度自由に決められる結果、スライダの小型軽量化ができ
た。
例えば、素子の２つのリード端子部を図示のように重ね
て形状を変えた結果、スライダ高さ１１を従来の０．８
５ｍから０．５ ｔｍ程度までに、スライダ幅Ｗを従来
の３．２ ｍから２．０ ａｍ程度まで、それぞれ小型
化することができた。
て形状を変えた結果、スライダ高さ１１を従来の０．８
５ｍから０．５ ｔｍ程度までに、スライダ幅Ｗを従来
の３．２ ｍから２．０ ａｍ程度まで、それぞれ小型
化することができた。
また、コイル層６より引き出されたリード部７間に介在
させる絶縁層１２は、コイル間絶縁層形成時に同時形成
できる．即ち、コイル間絶縁層をリード部７同士が重な
る部分を絶縁するように、従来より延ばすだけでよ《、
工数の増加がなく実現できる． 〔実施例〕 第１図（イ）（口）は本発明の一実施例の説明する図で
あり、（イ）はスライダの後端部、（口）は（イ）のＡ
−Ａ断面を示す．なお、全図を通じて同一符号は同一対
象物を示す。
させる絶縁層１２は、コイル間絶縁層形成時に同時形成
できる．即ち、コイル間絶縁層をリード部７同士が重な
る部分を絶縁するように、従来より延ばすだけでよ《、
工数の増加がなく実現できる． 〔実施例〕 第１図（イ）（口）は本発明の一実施例の説明する図で
あり、（イ）はスライダの後端部、（口）は（イ）のＡ
−Ａ断面を示す．なお、全図を通じて同一符号は同一対
象物を示す。
第１図（イ）において、スライダ１はフラットな複数の
レール２と、図示しないが該レール２の前端に空気流入
のためのテーバを、後端に薄［ｉ気ヘッド３を設けてい
る．４は溝であり、５は下部磁性層と上部磁性層よりな
る磁極部、６はコイル部、７はリード部で、第１図（口
）のようにリード部７間に樹脂絶縁層１２を介在させ、
立体構造としている。８は端子部で、リード部７にそれ
ぞれ接続される．なお、薄膜磁気ヘッド３がスライダｌ
の両端に設けているが、実際に使用するのは１個で、他
は予備である． 上記のように薄膜磁気ヘッド素子の２つのリード端子部
を立体構造としたことにより、リード端子部が従来の同
一平面のような制約がなく、自由に決められるので、前
述の作用欄で説明したようにスライダが小型軽量化でき
る。
レール２と、図示しないが該レール２の前端に空気流入
のためのテーバを、後端に薄［ｉ気ヘッド３を設けてい
る．４は溝であり、５は下部磁性層と上部磁性層よりな
る磁極部、６はコイル部、７はリード部で、第１図（口
）のようにリード部７間に樹脂絶縁層１２を介在させ、
立体構造としている。８は端子部で、リード部７にそれ
ぞれ接続される．なお、薄膜磁気ヘッド３がスライダｌ
の両端に設けているが、実際に使用するのは１個で、他
は予備である． 上記のように薄膜磁気ヘッド素子の２つのリード端子部
を立体構造としたことにより、リード端子部が従来の同
一平面のような制約がなく、自由に決められるので、前
述の作用欄で説明したようにスライダが小型軽量化でき
る。
具体的に、本発明の薄膜磁気ヘッド素子の形成を第２図
により説明する． 薄ｉ磁気ヘッドのＦｔｌＷＩ形成を下記に説明する．■
スライダとなるアルミナチタンカーバイト等の基＆１
ａ上に、アルミナ（ＡｆｚＯｓ）絶縁層１０を形成（ス
パッタリング等）する． ■ その上に下部磁性層ｌ１を形成（スバッタ、蒸着、
メッキ等）する． ■ その下部磁性層１】上に、樹脂絶縁層１２を形成（
塗布）する． ■ 次に、第１のコイル層６ａを形成（スバッタ、蒸着
、メッキ等）する．（リード部７ａを含む）■ 次に、
樹脂絶縁層１２を形成（塗布）する．この時の樹脂絶縁
層１２を、リード７ａとリード部７ｂの間に介在するよ
うに塗布する．この塗布が従来と違う． ■ 第２のコイル層６ｂを形成（スバシタ、蒸着、メッ
キ等）する．（リード部７ｂを含む）■ 樹脂絶縁層１
２を形成（ｖ！布）する．■ 上部磁性層１３を形成（
スパッタ、蒸着、メッキ等）する。
により説明する． 薄ｉ磁気ヘッドのＦｔｌＷＩ形成を下記に説明する．■
スライダとなるアルミナチタンカーバイト等の基＆１
ａ上に、アルミナ（ＡｆｚＯｓ）絶縁層１０を形成（ス
パッタリング等）する． ■ その上に下部磁性層ｌ１を形成（スバッタ、蒸着、
メッキ等）する． ■ その下部磁性層１】上に、樹脂絶縁層１２を形成（
塗布）する． ■ 次に、第１のコイル層６ａを形成（スバッタ、蒸着
、メッキ等）する．（リード部７ａを含む）■ 次に、
樹脂絶縁層１２を形成（塗布）する．この時の樹脂絶縁
層１２を、リード７ａとリード部７ｂの間に介在するよ
うに塗布する．この塗布が従来と違う． ■ 第２のコイル層６ｂを形成（スバシタ、蒸着、メッ
キ等）する．（リード部７ｂを含む）■ 樹脂絶縁層１
２を形成（ｖ！布）する．■ 上部磁性層１３を形成（
スパッタ、蒸着、メッキ等）する。
■ 端子部８ａ、８ｂを引き出す（メッキ）．［相］
上部をアルミナ（ＡｆｚＯ３）保護膜１ｉ１４を形成（
スバッタ、蒸着、メッキ等）する。
上部をアルミナ（ＡｆｚＯ３）保護膜１ｉ１４を形成（
スバッタ、蒸着、メッキ等）する。
■ アルミナ（Ａ ｌ ｚ ０３）保護膜層１４をラッ
プして端子部８を露出し形成する． 本発明では、リード部７ａ、７ｂが絶縁層を介して相互
に重なり合う立体構造を、上記工程■の樹脂絶縁層１２
を形成（塗布）する時、第１のコイル６ａ上の樹脂絶縁
層１２の塗布において、リード部７ｂと７８が絶縁する
ように塗布して実現している．この点が従来と違う点で
あり、他の工程は全《同じである． また、上記リード部に介在させる樹脂絶縁層１２は、上
記■工程のコイル間絶縁層形成時に同時形成できるので
、工数の増加がなく実現できる，第３図は本発明の他の
実施例の説明図である。
プして端子部８を露出し形成する． 本発明では、リード部７ａ、７ｂが絶縁層を介して相互
に重なり合う立体構造を、上記工程■の樹脂絶縁層１２
を形成（塗布）する時、第１のコイル６ａ上の樹脂絶縁
層１２の塗布において、リード部７ｂと７８が絶縁する
ように塗布して実現している．この点が従来と違う点で
あり、他の工程は全《同じである． また、上記リード部に介在させる樹脂絶縁層１２は、上
記■工程のコイル間絶縁層形成時に同時形成できるので
、工数の増加がなく実現できる，第３図は本発明の他の
実施例の説明図である。
第３図は１つのスライダ１′に１ヘッド素子タイプの薄
膜磁気ヘッドである。この場合でもり一ド部７及び端子
部８においても、絶縁層を介して相互に重なり合う立体
構造とし、リード端子部の形状を図示のように形成する
．５は磁性層、６はコイル層である． 上記構造とすることで、例えば、スライダ高さＨ＝０．
８閣、スライダ幅Ｗ＝０．５ ｍ、スライダ長さＤ＝０
．５ｓｍ 程度まで小型化、軽量化が可能である． 以上のようにリード端子部を同一平面上の形成でなく、
立体化によりその形状が変えられる結果、スライダの小
型軽量化が可能となった．〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、リード端子部を立
体構造化したことにより、薄膜磁気ヘッドのスライダ形
状が工数を増加することなく、小型、軽量化が可能とな
り、高速アクセス可能な磁気ディスク装置を提供するこ
とができる。
膜磁気ヘッドである。この場合でもり一ド部７及び端子
部８においても、絶縁層を介して相互に重なり合う立体
構造とし、リード端子部の形状を図示のように形成する
．５は磁性層、６はコイル層である． 上記構造とすることで、例えば、スライダ高さＨ＝０．
８閣、スライダ幅Ｗ＝０．５ ｍ、スライダ長さＤ＝０
．５ｓｍ 程度まで小型化、軽量化が可能である． 以上のようにリード端子部を同一平面上の形成でなく、
立体化によりその形状が変えられる結果、スライダの小
型軽量化が可能となった．〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、リード端子部を立
体構造化したことにより、薄膜磁気ヘッドのスライダ形
状が工数を増加することなく、小型、軽量化が可能とな
り、高速アクセス可能な磁気ディスク装置を提供するこ
とができる。
第１図（イ）（口）は本発明の一実施例を説明する図、
第２図は本発明の素子形状の説明図、
第３図は本発明の他の実施例の説明図、第４図（イ）（
口）は従来の薄膜磁気ヘッドの概略図、 第５図は従来の素子形状の説明図である。 図において、 １はスライダ、 ２はレール、 ３は磁気ヘッド、 ４は溝、 ５は磁極部、 ６はコイル部、 ７はリード部、 ８は端子部、 １０は絶縁層、寺＃４ヰ １１は下部磁性層、 １２は樹脂絶縁層、 ｌ３は上部磁性層、 本発明の幻形状ｆ）説明図 第２図 本発明のイＱｆ）東兜イデｌの脱明図 第 ３ 図
口）は従来の薄膜磁気ヘッドの概略図、 第５図は従来の素子形状の説明図である。 図において、 １はスライダ、 ２はレール、 ３は磁気ヘッド、 ４は溝、 ５は磁極部、 ６はコイル部、 ７はリード部、 ８は端子部、 １０は絶縁層、寺＃４ヰ １１は下部磁性層、 １２は樹脂絶縁層、 ｌ３は上部磁性層、 本発明の幻形状ｆ）説明図 第２図 本発明のイＱｆ）東兜イデｌの脱明図 第 ３ 図
Claims (1)
- 基板（１ａ）上に絶縁層（１０、１２）を介して磁極部
（５）、コイル部（６）、保護膜層（１４）よりなる薄
膜磁気ヘッドのリード端子構造であって、前記コイル部
（６）終端より引き出される複数個のリード部（７）を
、絶縁層（１２）を介し相互に重なり合う立体構造とし
たことを特徴とする薄膜磁気ヘッドのリード端子構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6001989A JPH02239413A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッドのリード端子構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6001989A JPH02239413A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッドのリード端子構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02239413A true JPH02239413A (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=13129932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6001989A Pending JPH02239413A (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 薄膜磁気ヘッドのリード端子構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02239413A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320021U (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-27 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243214A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Hitachi Ltd | 多チャンネル薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP6001989A patent/JPH02239413A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243214A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Hitachi Ltd | 多チャンネル薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320021U (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-27 |
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