JPH0223972B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0223972B2 JPH0223972B2 JP57053561A JP5356182A JPH0223972B2 JP H0223972 B2 JPH0223972 B2 JP H0223972B2 JP 57053561 A JP57053561 A JP 57053561A JP 5356182 A JP5356182 A JP 5356182A JP H0223972 B2 JPH0223972 B2 JP H0223972B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- sample
- scanning
- center
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査電子顕微鏡等に用いられる定移
動ズーム装置に関する。
動ズーム装置に関する。
走査電子顕微鏡、イオンマイクロアナライザ等
の装置においては、細く集束された荷電粒子線に
よつて試料面上を照射すると同時に、その一定領
域を走査して試料から得られる種々の信号を検出
している。該検出信号は、前記走査と同期した
CRT等の画像表示装置の輝度変調信号として用
いられ、画像表示装置には輝度変調走査像が表示
される。該走査像の倍率は、試料を照射する電子
線の走査幅とそれに対応する表示装置画面の長さ
の比によつて決定される。
の装置においては、細く集束された荷電粒子線に
よつて試料面上を照射すると同時に、その一定領
域を走査して試料から得られる種々の信号を検出
している。該検出信号は、前記走査と同期した
CRT等の画像表示装置の輝度変調信号として用
いられ、画像表示装置には輝度変調走査像が表示
される。該走査像の倍率は、試料を照射する電子
線の走査幅とそれに対応する表示装置画面の長さ
の比によつて決定される。
通常の試料観察では、先ず初めに低倍率像を観
察して目的とする視野部分が画面のほぼ中央にく
るように試料移動装置を手動で操作する。この状
態で、倍率を上げれば目的とする視野部分が拡大
されて表示されるが、更にこの拡大視野中の特定
部分を詳細に観察しようとする場合には、再度試
料移動装置を用いて同じ操作を繰り返している。
従つて、通常の試料観察においては、目的とする
視野を探し出すまでに前述の操作を数回行う必要
があつた。しかも、試料移動装置は電子ビームに
対して垂直な平面内の互いに直交する２方向、即
ちＸ方向、Ｙ方向へ移動させる独立の２つの摘子
を操作しないと、任意の方向へ試料を移動するこ
とができず、又、試料の移動速度が倍率に比較し
て速すぎたり遅すぎたりして、思い通りの方向に
動かしたり希望の位置で停止させたりすることが
できなかつた。従つて、操作者は目的とする視野
を画面中央にもつてくるために多大の時間と労力
を要していた。
察して目的とする視野部分が画面のほぼ中央にく
るように試料移動装置を手動で操作する。この状
態で、倍率を上げれば目的とする視野部分が拡大
されて表示されるが、更にこの拡大視野中の特定
部分を詳細に観察しようとする場合には、再度試
料移動装置を用いて同じ操作を繰り返している。
従つて、通常の試料観察においては、目的とする
視野を探し出すまでに前述の操作を数回行う必要
があつた。しかも、試料移動装置は電子ビームに
対して垂直な平面内の互いに直交する２方向、即
ちＸ方向、Ｙ方向へ移動させる独立の２つの摘子
を操作しないと、任意の方向へ試料を移動するこ
とができず、又、試料の移動速度が倍率に比較し
て速すぎたり遅すぎたりして、思い通りの方向に
動かしたり希望の位置で停止させたりすることが
できなかつた。従つて、操作者は目的とする視野
を画面中央にもつてくるために多大の時間と労力
を要していた。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもの
で、試料上における電子線の走査域中心を試料に
対して相対的にＸ方向及びＹ方向に移動させる移
動手段と、該手段に倍率によつて定まる量の移動
信号を供給する手段と、鏡筒内の走査コイルに供
給されるＸ，Ｙ走査信号の振幅を決める走査幅可
変器と、CRT画面を線引等により分割する分割
手段と、該分割手段によつて分割された任意の分
割領域を指示するための指示手段と、該指示手段
によつて指示された領域内に表示された像部分が
画面中心に自動的に移動し且つその部分が拡大表
示されるように前記移動手段及び走査幅可変器を
制御する制御手段とからして、試料の移動と倍率
ズームを一体化して操作性を格段に向上させた走
査電子顕微鏡の定移動ズーム装置を実現したもの
である。
で、試料上における電子線の走査域中心を試料に
対して相対的にＸ方向及びＹ方向に移動させる移
動手段と、該手段に倍率によつて定まる量の移動
信号を供給する手段と、鏡筒内の走査コイルに供
給されるＸ，Ｙ走査信号の振幅を決める走査幅可
変器と、CRT画面を線引等により分割する分割
手段と、該分割手段によつて分割された任意の分
割領域を指示するための指示手段と、該指示手段
によつて指示された領域内に表示された像部分が
画面中心に自動的に移動し且つその部分が拡大表
示されるように前記移動手段及び走査幅可変器を
制御する制御手段とからして、試料の移動と倍率
ズームを一体化して操作性を格段に向上させた走
査電子顕微鏡の定移動ズーム装置を実現したもの
である。
以下、図面を参照し本発明を詳細に説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す電気的構成
図である。図において、１は鏡筒、２は試料を２
次元的にビームで走査する走査コイル、３は上面
に試料（図示せず）が置かれる試料台３ａを有し
た駆動部である。４は走査コイル２を駆動する走
査幅可変器で、表示画像の倍率は、該走査幅可変
器４でもつて変えられる。例えば、走査幅を1/2
にすると、倍率は２倍になる。５は走査コイル２
に走査用電圧を供給する走査用電源、６，７は駆
動部３に取付けられ、試料台３ａをそれぞれＸ，
Ｙ方向に移動するステツプモータ、８，９はこれ
らステツプモータ６，７に駆動パルスを送出する
パルス発生器である。
図である。図において、１は鏡筒、２は試料を２
次元的にビームで走査する走査コイル、３は上面
に試料（図示せず）が置かれる試料台３ａを有し
た駆動部である。４は走査コイル２を駆動する走
査幅可変器で、表示画像の倍率は、該走査幅可変
器４でもつて変えられる。例えば、走査幅を1/2
にすると、倍率は２倍になる。５は走査コイル２
に走査用電圧を供給する走査用電源、６，７は駆
動部３に取付けられ、試料台３ａをそれぞれＸ，
Ｙ方向に移動するステツプモータ、８，９はこれ
らステツプモータ６，７に駆動パルスを送出する
パルス発生器である。
１０は走査幅可変器４及びパルス発生器８，９
を制御する制御部である。該制御部１０として
は、例えばマイクロコンピユータが用いられる。
１１は、第２図に示すような線引きにより分割さ
れたCRT画面の分割数に対応した押ボタンを有
する制御スイツチである。本実施例のCRT画面
は、第２図に示すように、区画Ａから区画Ｉまで
９分割されており、画面全体の長さを縦横両方向
にそれぞれ１としたときの各区画の占める長さの
割合（縦横とも同一）を図中に示した。この
CRT画面の分割されたＡからＩまでの区画と、
上記制御スイツチ１１の押しボタンＡからＩはそ
れぞれ対応したものとなつている。尚、CRT画
面を分割するには、線引きされた透明板をCRT
に取り付ける構造でもよいし、CRT画面中に輝
線或いは線引きで描くものであつてもよい。
を制御する制御部である。該制御部１０として
は、例えばマイクロコンピユータが用いられる。
１１は、第２図に示すような線引きにより分割さ
れたCRT画面の分割数に対応した押ボタンを有
する制御スイツチである。本実施例のCRT画面
は、第２図に示すように、区画Ａから区画Ｉまで
９分割されており、画面全体の長さを縦横両方向
にそれぞれ１としたときの各区画の占める長さの
割合（縦横とも同一）を図中に示した。この
CRT画面の分割されたＡからＩまでの区画と、
上記制御スイツチ１１の押しボタンＡからＩはそ
れぞれ対応したものとなつている。尚、CRT画
面を分割するには、線引きされた透明板をCRT
に取り付ける構造でもよいし、CRT画面中に輝
線或いは線引きで描くものであつてもよい。
このように構成された本発明装置の動作を次に
説明する。
説明する。
今、目的とする試料が画面上第２図のＡの位置
にあるものとする。操作者は、そこで制御スイツ
チのＡのボタンを押す。これにより、制御スイツ
チ１１から制御部１０に、試料台３ａの移動方向
を指定する信号が出力される。制御部１０からは
倍率に応じたパルス数を指定する信号が与えら
れ、パルス発生器８，９は、これら両信号を受け
て対応した数のパルスを出力する。ステツプモー
タ６，７は、パルス発生器８，９の出力パルスを
受けて、試料台３ａを第３図の矢印Ａに示す方向
に移動させる。移動距離は、像を画面上Ｘ方向に
２／８、Ｙ方向に２／８移動させる距離Sx（２／
８），Sy（２／８）である。移動が終了した後、
制御部１０は走査幅可変器４に制御信号を送つ
て、CRT画面上の表示画像を２倍に拡大する。
これにより、矢印Ａ方向に移動した試料像はその
位置で２倍に拡大されてCRT画面上に表示され
る。
にあるものとする。操作者は、そこで制御スイツ
チのＡのボタンを押す。これにより、制御スイツ
チ１１から制御部１０に、試料台３ａの移動方向
を指定する信号が出力される。制御部１０からは
倍率に応じたパルス数を指定する信号が与えら
れ、パルス発生器８，９は、これら両信号を受け
て対応した数のパルスを出力する。ステツプモー
タ６，７は、パルス発生器８，９の出力パルスを
受けて、試料台３ａを第３図の矢印Ａに示す方向
に移動させる。移動距離は、像を画面上Ｘ方向に
２／８、Ｙ方向に２／８移動させる距離Sx（２／
８），Sy（２／８）である。移動が終了した後、
制御部１０は走査幅可変器４に制御信号を送つ
て、CRT画面上の表示画像を２倍に拡大する。
これにより、矢印Ａ方向に移動した試料像はその
位置で２倍に拡大されてCRT画面上に表示され
る。
上徐述の操作では、試料が第２図の区画Ａの位
置にある場合の移動操作について説明したが、試
料が区画Ｂ〜Ｉの何れの位置にある場合でも全く
同様である。例えば、区画Ｇの位置にあるときに
は、制御スイツチ１１の押ボタンＧを押せばよ
い。これにより、試料は第３図の矢印Ｇの方向に
移動した後、２倍に拡大される。その他の位置に
試料がある場合も同様で、試料は第３図に示すよ
うなそれぞれの向きに移動する。但し、ボタンＥ
を押した時には移動しない。このような第１回目
の移動拡大操作によつても、所定の位置に所定の
倍率の走査像を得ることができなかつた時には、
再度同様の操作を繰り返すことにより、最終的に
は画面中央に希望の倍率の走査像を得ることがで
きる。尚、第１回目の移動拡大走査によりCRT
画面に表示されている走査像は倍率が２倍に拡大
されているので、第２回目の移動拡大操作を行う
場合、CRT画面上で第１回目と同じ距離だけ移
動させるために必要なパルス発生器８，９の出力
パルス数はこれまでの1/2となる。このように、
２倍に拡大されるたびごとにパルス発生器８，９
の出力パルス数を1/2に減らしていかないと、関
心のある部分の像がCRT画面をはみ出してしま
うからである。この制御は、制御部１０が行う。
第４図は、画面上に関心のある部分の像Ｐが表示
されていた場合に、上記操作に伴つてこの部分が
画面上どのように変化しながら中央に拡大して表
示されるかを２つの例について示したものであ
る。尚、CRT画面左方のアルフアベツトは、押
されたボタンの種類を示す。この第４図から明ら
かなように、本発明装置によれば、操作者が
CRT画面を見ながらボタン操作のみで試料の移
動拡大操作を行うことができる。従つて、格段に
操作性が向上する。
置にある場合の移動操作について説明したが、試
料が区画Ｂ〜Ｉの何れの位置にある場合でも全く
同様である。例えば、区画Ｇの位置にあるときに
は、制御スイツチ１１の押ボタンＧを押せばよ
い。これにより、試料は第３図の矢印Ｇの方向に
移動した後、２倍に拡大される。その他の位置に
試料がある場合も同様で、試料は第３図に示すよ
うなそれぞれの向きに移動する。但し、ボタンＥ
を押した時には移動しない。このような第１回目
の移動拡大操作によつても、所定の位置に所定の
倍率の走査像を得ることができなかつた時には、
再度同様の操作を繰り返すことにより、最終的に
は画面中央に希望の倍率の走査像を得ることがで
きる。尚、第１回目の移動拡大走査によりCRT
画面に表示されている走査像は倍率が２倍に拡大
されているので、第２回目の移動拡大操作を行う
場合、CRT画面上で第１回目と同じ距離だけ移
動させるために必要なパルス発生器８，９の出力
パルス数はこれまでの1/2となる。このように、
２倍に拡大されるたびごとにパルス発生器８，９
の出力パルス数を1/2に減らしていかないと、関
心のある部分の像がCRT画面をはみ出してしま
うからである。この制御は、制御部１０が行う。
第４図は、画面上に関心のある部分の像Ｐが表示
されていた場合に、上記操作に伴つてこの部分が
画面上どのように変化しながら中央に拡大して表
示されるかを２つの例について示したものであ
る。尚、CRT画面左方のアルフアベツトは、押
されたボタンの種類を示す。この第４図から明ら
かなように、本発明装置によれば、操作者が
CRT画面を見ながらボタン操作のみで試料の移
動拡大操作を行うことができる。従つて、格段に
操作性が向上する。
次に、上述した実施例特有の効果を説明するた
め、画面中央の１辺が3/4の領域内の任意の部分
を１回の拡大操作によつて次の画面の画面中央か
らどの程度狭い領域内に追い込んで拡大して行け
るかを第５図を参照して説明する。第５図（），
（），（）は３つの場合を例にとつて示したも
ので、、図中のアルフアベツトは、押されたボタ
ンの種類を示す。又、Ｓは画面、Ｚは希望視野
（即ち関心のある試料像の部分）、ＫはＺが拡大さ
れた際の大きさを示している。（）の場合を例
にとつて説明すると、希望視野Ｚを画面中央にも
つてくるために、制御スイツチ１１の押しボタン
Ａを押す。すると、視野Ｚは第３図の矢印Ａの向
きに移動し（）−２に示すように画面中央に移
動する。しかる後、CRT画面に表示された画像
は２倍に拡大され（）−３に示されるようなも
のとなり、画面全体の1/4を占める。尚、（）に
示す例は（）と同様である。但し、（）に示
す例の場合、既に希望視野Ｚが画面Ｓの中央にあ
るので、押しボタンＥを押すと、直ちに（）−
３に示すような２倍の拡大画面になる。希望視野
Ｚが区画Ａ，Ｂ，Ｅ（第２図参照）の位置にある
場合について説明したが、他の区画Ｃ，Ｄ，Ｆ，
Ｇ，Ｈ，Ｉの位置にある場合についても全く同様
であり、１回の移動拡大操作で中央の1/4画面内
に入れることができる。
め、画面中央の１辺が3/4の領域内の任意の部分
を１回の拡大操作によつて次の画面の画面中央か
らどの程度狭い領域内に追い込んで拡大して行け
るかを第５図を参照して説明する。第５図（），
（），（）は３つの場合を例にとつて示したも
ので、、図中のアルフアベツトは、押されたボタ
ンの種類を示す。又、Ｓは画面、Ｚは希望視野
（即ち関心のある試料像の部分）、ＫはＺが拡大さ
れた際の大きさを示している。（）の場合を例
にとつて説明すると、希望視野Ｚを画面中央にも
つてくるために、制御スイツチ１１の押しボタン
Ａを押す。すると、視野Ｚは第３図の矢印Ａの向
きに移動し（）−２に示すように画面中央に移
動する。しかる後、CRT画面に表示された画像
は２倍に拡大され（）−３に示されるようなも
のとなり、画面全体の1/4を占める。尚、（）に
示す例は（）と同様である。但し、（）に示
す例の場合、既に希望視野Ｚが画面Ｓの中央にあ
るので、押しボタンＥを押すと、直ちに（）−
３に示すような２倍の拡大画面になる。希望視野
Ｚが区画Ａ，Ｂ，Ｅ（第２図参照）の位置にある
場合について説明したが、他の区画Ｃ，Ｄ，Ｆ，
Ｇ，Ｈ，Ｉの位置にある場合についても全く同様
であり、１回の移動拡大操作で中央の1/4画面内
に入れることができる。
第６図に示すように、最初に映し出された試料
面の全長をｔ，ｎ回の移動拡大操作で中央の1/4
画面に入れることの可能な部分の長さをｈとする
と、ｎ＝１の場合ｈ／ｔの比率は50＋25＝75％と
なる。残りの25％の部分（図中のＷ）について
は、２倍拡大したときに中央の1/4画面に入るこ
とができない。もう一度同じ操作を繰り返して22
＝４倍にするとｈ／ｔの比率は50＋25＋12.5＝
87.5％となる。更にもう一度２倍して計23＝８倍
にするとｈ／ｔの比率は50＋25＋12.5＋6.25＝
93.75％になる。即ち、はじめの画面を８倍にす
ると（ｎ＝３）、全体の93.75％の部分を画面中央
の1/4画面内に入れることができる。
面の全長をｔ，ｎ回の移動拡大操作で中央の1/4
画面に入れることの可能な部分の長さをｈとする
と、ｎ＝１の場合ｈ／ｔの比率は50＋25＝75％と
なる。残りの25％の部分（図中のＷ）について
は、２倍拡大したときに中央の1/4画面に入るこ
とができない。もう一度同じ操作を繰り返して22
＝４倍にするとｈ／ｔの比率は50＋25＋12.5＝
87.5％となる。更にもう一度２倍して計23＝８倍
にするとｈ／ｔの比率は50＋25＋12.5＋6.25＝
93.75％になる。即ち、はじめの画面を８倍にす
ると（ｎ＝３）、全体の93.75％の部分を画面中央
の1/4画面内に入れることができる。
上述した説明から明らかなように、この実施例
においては、画面を９等分割して1/3移動し拡大
する場合等に比して、常に画面の中央に関心のあ
る試料像の部分を映し出しながら効率良く拡大観
察することができる。
においては、画面を９等分割して1/3移動し拡大
する場合等に比して、常に画面の中央に関心のあ
る試料像の部分を映し出しながら効率良く拡大観
察することができる。
以上、１回の移動拡大操作で２倍に拡大する場
合について説明したが、倍率は２倍に限る必要が
ないことは言うまでもない。倍率を一般的にａ倍
とすると、常に画面の中央に関心のある部分を映
し出しながら効率良く拡大観察するには第２図に
示した各部分の割合は第７図に示すようなものと
なる。図中の（ａ−１）／2aはカーソル幅を示
す。押しボタンを押したときの試料の移動方向は
第８図に示す通りである。尚、画面中央の１辺が
（3a−３）／2aの領域内の任意の部分を１回の拡
大によつて次の画面の画面中央の狭い領域（限定
範囲）に入れることができるが、この限定範囲の
幅は第９図に示すように（ａ−１）／２となり、
倍率ａと画面に占める限定範囲の割合との関係は
第１０図のようになる。図中、f1が限定範囲を示
す曲線、f2がカーソル幅を示す曲線であり、この
曲線はCRT上の試料移動量を示す曲線でもある。
合について説明したが、倍率は２倍に限る必要が
ないことは言うまでもない。倍率を一般的にａ倍
とすると、常に画面の中央に関心のある部分を映
し出しながら効率良く拡大観察するには第２図に
示した各部分の割合は第７図に示すようなものと
なる。図中の（ａ−１）／2aはカーソル幅を示
す。押しボタンを押したときの試料の移動方向は
第８図に示す通りである。尚、画面中央の１辺が
（3a−３）／2aの領域内の任意の部分を１回の拡
大によつて次の画面の画面中央の狭い領域（限定
範囲）に入れることができるが、この限定範囲の
幅は第９図に示すように（ａ−１）／２となり、
倍率ａと画面に占める限定範囲の割合との関係は
第１０図のようになる。図中、f1が限定範囲を示
す曲線、f2がカーソル幅を示す曲線であり、この
曲線はCRT上の試料移動量を示す曲線でもある。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎ
ず幾多の他の態様をとり得る。例えば画面を９等
分割して、１回の拡大に伴つて1/3ずつ像を移動
させるようにすればスイツチによつて指定された
分割部分の中央が画面の中央に来て拡大されるの
で、押したボタンと各分割部分の対応がつけやす
く解り易い拡大装置となる。
ず幾多の他の態様をとり得る。例えば画面を９等
分割して、１回の拡大に伴つて1/3ずつ像を移動
させるようにすればスイツチによつて指定された
分割部分の中央が画面の中央に来て拡大されるの
で、押したボタンと各分割部分の対応がつけやす
く解り易い拡大装置となる。
更に又、上述した実施例においては、試料上の
電子線走査域中心を移動させるため試料ステージ
を移動させたが、走査幅可変器の出力信号に加算
して走査コイルに供給される直流バイアス信号源
よりの出力値を、押したボタンとその時の倍率に
応じて制御部１０によつて制御するようにすれば
電磁的に前記走査域中心を移動させることがで
き、特に高倍観察において適した実施態様とな
る。
電子線走査域中心を移動させるため試料ステージ
を移動させたが、走査幅可変器の出力信号に加算
して走査コイルに供給される直流バイアス信号源
よりの出力値を、押したボタンとその時の倍率に
応じて制御部１０によつて制御するようにすれば
電磁的に前記走査域中心を移動させることがで
き、特に高倍観察において適した実施態様とな
る。
以上、詳細に説明したように、本発明によれ
ば、試料の移動と倍率ズームを一体化して操作性
を格段に向上させた走査電子顕微鏡の定移動ズー
ム装置を実現することができる。
ば、試料の移動と倍率ズームを一体化して操作性
を格段に向上させた走査電子顕微鏡の定移動ズー
ム装置を実現することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す電気的接続
図、第２図はCRT画面の分割状態を示す説明図、
第３図は試料の移動方向を示す説明図、第４図は
試料のCRT画面上の移動拡大操作例を示す説明
図、第５図はCRT画面上の視野の動きを示す説
明図、第６図は試料面の1/4画面内に入る割合を
示す説明図、第７図は倍率ａのときのCRT画面
の分割状態を示す説明図、第８図はこのときの試
料の移動方向を示す説明図、第９図はCRT画面
の限定範囲を示す説明図、第１０図は倍率ａと画
面に占める限定範囲の割合との関係を示す説明図
である。 １……鏡筒、２……走査コイル、３……駆動
部、３ａ……試料台、４……走査幅可変器、５…
…走査用電源、６，７……ステツプモータ、８，
９……パルス発生器、１０……制御部、１１……
制御スイツチ。
図、第２図はCRT画面の分割状態を示す説明図、
第３図は試料の移動方向を示す説明図、第４図は
試料のCRT画面上の移動拡大操作例を示す説明
図、第５図はCRT画面上の視野の動きを示す説
明図、第６図は試料面の1/4画面内に入る割合を
示す説明図、第７図は倍率ａのときのCRT画面
の分割状態を示す説明図、第８図はこのときの試
料の移動方向を示す説明図、第９図はCRT画面
の限定範囲を示す説明図、第１０図は倍率ａと画
面に占める限定範囲の割合との関係を示す説明図
である。 １……鏡筒、２……走査コイル、３……駆動
部、３ａ……試料台、４……走査幅可変器、５…
…走査用電源、６，７……ステツプモータ、８，
９……パルス発生器、１０……制御部、１１……
制御スイツチ。
Claims (1)
- １ 試料上における電子線の走査域中心を試料に
対して相対的にＸ方向及びＹ方向に移動させる移
動手段と、該手段に倍率によつて定まる量の移動
信号を供給する手段と、鏡筒内の走査コイルに供
給されるＸ，Ｙ走査信号の振幅を決める走査幅可
変器と、CRT画面を線引等により分割する分割
手段と、該分割手段によつて分割された任意の分
割領域を指示するための指示手段と、該指示手段
によつて指示された領域内に表示された像部分が
画面中心に自動的に移動し且つその部分が拡大表
示されるように前記移動手段及び走査幅可変器を
制御する制御手段とから構成されてなる定移動ズ
ーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57053561A JPS58169763A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 定移動ズ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57053561A JPS58169763A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 定移動ズ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58169763A JPS58169763A (ja) | 1983-10-06 |
| JPH0223972B2 true JPH0223972B2 (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=12946221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57053561A Granted JPS58169763A (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 定移動ズ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58169763A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100730797B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2007-06-20 | 고영창 | 아파트 세대별 층간 외벽용 방화장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60238996A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-27 | 株式会社アポロメック | 回数券式磁気カ−ドおよびその使用装置 |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP57053561A patent/JPS58169763A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100730797B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2007-06-20 | 고영창 | 아파트 세대별 층간 외벽용 방화장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58169763A (ja) | 1983-10-06 |
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