JPH0224196B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0224196B2 JPH0224196B2 JP61143900A JP14390086A JPH0224196B2 JP H0224196 B2 JPH0224196 B2 JP H0224196B2 JP 61143900 A JP61143900 A JP 61143900A JP 14390086 A JP14390086 A JP 14390086A JP H0224196 B2 JPH0224196 B2 JP H0224196B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus head
- connecting wire
- closure
- belt
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明はレーザ加工機のフオーカスヘツドに関
し、より詳しくはそのフオーカスヘツドの移動を
許容する開口部を閉鎖して、レーザ光線の通過経
路を密封するようにした閉鎖装置に関する。
し、より詳しくはそのフオーカスヘツドの移動を
許容する開口部を閉鎖して、レーザ光線の通過経
路を密封するようにした閉鎖装置に関する。
「従来の技術」
一般にレーザ加工機においては、レーザ光線を
発振放射するレーザ発振器と、被加工物にレーザ
光線を照射するフオーカスヘツドとの間に形成さ
れるレーザ光線の通過経路を大気から密封し、レ
ーザ光線の通過経路内に大気中の塵挨等が侵入し
ないようにしている。そして上記フオーカスヘツ
ドは被覆ケース内に収納されており、その被覆ケ
ースにフオーカスヘツドの移動方向に沿つて形成
した開口部から上記フオーカスヘツドの一部を外
部に突出させてレーザ光線の照射を可能とし、か
つ上記開口を閉鎖装置で閉鎖して被覆ケー内を密
封するようにしている。
発振放射するレーザ発振器と、被加工物にレーザ
光線を照射するフオーカスヘツドとの間に形成さ
れるレーザ光線の通過経路を大気から密封し、レ
ーザ光線の通過経路内に大気中の塵挨等が侵入し
ないようにしている。そして上記フオーカスヘツ
ドは被覆ケース内に収納されており、その被覆ケ
ースにフオーカスヘツドの移動方向に沿つて形成
した開口部から上記フオーカスヘツドの一部を外
部に突出させてレーザ光線の照射を可能とし、か
つ上記開口を閉鎖装置で閉鎖して被覆ケー内を密
封するようにしている。
従来、上記フオーカスヘツドの移動を許容する
開口部の閉鎖装置として、上記開口部を閉鎖する
閉鎖ベルトの一端をフオーカスヘツドの両側部に
それぞれ連結するとともに、各閉鎖ベルトの他端
をそれぞれ巻取りリールに巻取ばねの引張力で巻
付け、上記フオーカスヘツドの作動に追従して一
方の閉鎖ベルトを巻取りリールから引出し、他方
の閉鎖ベルトを巻取ばねの引張力で巻取らせて、
上記開口部を常時閉鎖させるようにした閉鎖装置
が知られている。
開口部の閉鎖装置として、上記開口部を閉鎖する
閉鎖ベルトの一端をフオーカスヘツドの両側部に
それぞれ連結するとともに、各閉鎖ベルトの他端
をそれぞれ巻取りリールに巻取ばねの引張力で巻
付け、上記フオーカスヘツドの作動に追従して一
方の閉鎖ベルトを巻取りリールから引出し、他方
の閉鎖ベルトを巻取ばねの引張力で巻取らせて、
上記開口部を常時閉鎖させるようにした閉鎖装置
が知られている。
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、そのような構成では、巻取ばね
の寿命が短いだけでなく、フオーカスヘツドの移
動行程に応じた量だけ閉鎖ベルトを巻取ることが
できる巻取ばねが必要になるので、特にフオーカ
スヘツドの移動行程が長いものではその巻取ばね
が大型となつて高価になつていた。
の寿命が短いだけでなく、フオーカスヘツドの移
動行程に応じた量だけ閉鎖ベルトを巻取ることが
できる巻取ばねが必要になるので、特にフオーカ
スヘツドの移動行程が長いものではその巻取ばね
が大型となつて高価になつていた。
「問題点を解決するための手段」
本発明はそのような事情に鑑み、上記フオーカ
スヘツドに連結した閉鎖ベルトの両末端部を回転
軸にそれぞれ巻付けるとともに、連結ワイヤを所
要量だけ弛ませた状態でその両端部を上記各回転
軸に閉鎖ベルトの巻付け方向とは逆方向から巻付
け、さらに上記連結ワイヤに所定の張力を付与す
るテンシヨン手段を設けて、その張力で上記各回
転軸から連結ワイヤを引出して上記閉鎖ベルトを
緊張させるようにしたものである。
スヘツドに連結した閉鎖ベルトの両末端部を回転
軸にそれぞれ巻付けるとともに、連結ワイヤを所
要量だけ弛ませた状態でその両端部を上記各回転
軸に閉鎖ベルトの巻付け方向とは逆方向から巻付
け、さらに上記連結ワイヤに所定の張力を付与す
るテンシヨン手段を設けて、その張力で上記各回
転軸から連結ワイヤを引出して上記閉鎖ベルトを
緊張させるようにしたものである。
「作用」
そのような構成によれば、フオーカスヘツドが
一方向に移動された際には、そのフオーカスヘツ
ドに連結した一側の閉鎖ベルトがそれに追従して
回転軸から引出され、それによつて回転軸が回転
されると、この回転軸に閉鎖ベルトとは逆方向か
ら巻付けた連結ワイヤが回転軸に巻取られる。そ
して上記連結ワイヤの一端が回転軸に巻取られる
と、この連結ワイヤの他端が他方の回転軸から引
出され、他方の回転軸がその連結ワイヤの引出し
により回転されると、その連結ワイヤとは逆方向
から巻付けた閉鎖ベルトが回転軸に巻取られる。
一方向に移動された際には、そのフオーカスヘツ
ドに連結した一側の閉鎖ベルトがそれに追従して
回転軸から引出され、それによつて回転軸が回転
されると、この回転軸に閉鎖ベルトとは逆方向か
ら巻付けた連結ワイヤが回転軸に巻取られる。そ
して上記連結ワイヤの一端が回転軸に巻取られる
と、この連結ワイヤの他端が他方の回転軸から引
出され、他方の回転軸がその連結ワイヤの引出し
により回転されると、その連結ワイヤとは逆方向
から巻付けた閉鎖ベルトが回転軸に巻取られる。
このように、閉鎖ベルトの巻取り側となる回転
軸の駆動力は、他方の引出し側となる回転軸から
連結ワイヤを介して供給されるので、上記フオー
カスヘツドの移動行程を大きくし、それに伴なつ
て各回転軸に巻付ける閉鎖ベルトの巻付量が大き
くなつても、実質的に上記連結ワイヤの長さを長
くするだけで対処できるので、従来に比べて装置
全体をコンパクトにすることができる。
軸の駆動力は、他方の引出し側となる回転軸から
連結ワイヤを介して供給されるので、上記フオー
カスヘツドの移動行程を大きくし、それに伴なつ
て各回転軸に巻付ける閉鎖ベルトの巻付量が大き
くなつても、実質的に上記連結ワイヤの長さを長
くするだけで対処できるので、従来に比べて装置
全体をコンパクトにすることができる。
「実施例」
以下図示実施例について本発明を説明すると、
第2図において、レーザ発振器1は門型フレーム
2の上部に固定してあり、そのレーザ発振器1か
らのレーザ光線Lは、複数の反射鏡3および各反
射鏡3を収容支持するパイプ4を介して、レーザ
発振器1の下部に配設した被覆ケース5内に水平
方向に放射されるようになつている。
第2図において、レーザ発振器1は門型フレーム
2の上部に固定してあり、そのレーザ発振器1か
らのレーザ光線Lは、複数の反射鏡3および各反
射鏡3を収容支持するパイプ4を介して、レーザ
発振器1の下部に配設した被覆ケース5内に水平
方向に放射されるようになつている。
第3図に示すように、上記被覆ケース5内には
フオーカスヘツド6を収納してあり、このフオー
カスヘツド6は被覆ケース5内において上記レー
ザ光線Lの放射方向と平行に配設した案内レール
7に移動自在に支持され、かつその案内レール7
と平行に配設した図示しないねじ軸とこれに連動
させたサーボモータとによつてその長手方向に往
復移動されるようになつている。上記フオーカス
ヘツド6を収容した被覆ケース5の底面にはフオ
ーカスヘツド6の移動方向に沿つて開口部5aを
形成してあり、その開口部5aから上記フオーカ
スヘツド6の下部6aを下方に突出させている。
フオーカスヘツド6を収納してあり、このフオー
カスヘツド6は被覆ケース5内において上記レー
ザ光線Lの放射方向と平行に配設した案内レール
7に移動自在に支持され、かつその案内レール7
と平行に配設した図示しないねじ軸とこれに連動
させたサーボモータとによつてその長手方向に往
復移動されるようになつている。上記フオーカス
ヘツド6を収容した被覆ケース5の底面にはフオ
ーカスヘツド6の移動方向に沿つて開口部5aを
形成してあり、その開口部5aから上記フオーカ
スヘツド6の下部6aを下方に突出させている。
上記フオーカスヘツド6は、第2図に示すよう
に、被覆ケース5内で水平方向に放射されたレー
ザ光線Lを下方に向けて反射させる反射鏡8と、
そのレーザ光線Lを集光する図示しない集光レン
ズとを備えており、フオーカスヘツド6の下部6
aからレーザ光線Lを加工テーブル9上の図示し
ない被加工物に照射できるようになつている。そ
して上記加工テーブル9は、水平面内で上記フオ
ーカスヘツド6の移動方向と直交する方向に敷設
したガイドレール10に沿つて走行自在となつて
いる。
に、被覆ケース5内で水平方向に放射されたレー
ザ光線Lを下方に向けて反射させる反射鏡8と、
そのレーザ光線Lを集光する図示しない集光レン
ズとを備えており、フオーカスヘツド6の下部6
aからレーザ光線Lを加工テーブル9上の図示し
ない被加工物に照射できるようになつている。そ
して上記加工テーブル9は、水平面内で上記フオ
ーカスヘツド6の移動方向と直交する方向に敷設
したガイドレール10に沿つて走行自在となつて
いる。
然して、第1図、第2図に示すように、上記被
覆ケース5の開口部5aから下方に向けて突出さ
せたフオーカスヘツド6には、その移動方向の前
後位置に一対の閉鎖ベルト11,12の先端部を
それぞれ連結してあり、各閉鎖ベルト11,12
の他端部は、被覆ケース5内の長手方向両端部に
軸支した一対の回転軸13,14にそれぞれ巻付
けている。そして第3図に示すように、上記閉鎖
ベルト11,12を開口部5aの長手方向両側部
上面に設けたフエルト等からなるシール部材15
上に摺動自在に載置させることにより、その閉鎖
ベルト11,12で被覆ケース5内を密封するよ
うにしている。
覆ケース5の開口部5aから下方に向けて突出さ
せたフオーカスヘツド6には、その移動方向の前
後位置に一対の閉鎖ベルト11,12の先端部を
それぞれ連結してあり、各閉鎖ベルト11,12
の他端部は、被覆ケース5内の長手方向両端部に
軸支した一対の回転軸13,14にそれぞれ巻付
けている。そして第3図に示すように、上記閉鎖
ベルト11,12を開口部5aの長手方向両側部
上面に設けたフエルト等からなるシール部材15
上に摺動自在に載置させることにより、その閉鎖
ベルト11,12で被覆ケース5内を密封するよ
うにしている。
さらに上記回転軸13,14には、第1図に示
すように、1本の連結ワイヤ16の両端部をそれ
ぞれ巻付けてあり、この際、上記連結ワイヤ16
の各回転軸13,14への巻付方向を、上記各閉
鎖ベルト11,12の回転軸13,14への巻付
け方向とそれぞれ逆方向となるようにしている。
そして上記連結ワイヤ16には予め所定量の弛み
を付与すると同時に、上記回転軸13,14の中
間位置に設けた一対のテンシヨン手段17によつ
てその連結ワイヤ16に所定の張力を付与するよ
うにしている。
すように、1本の連結ワイヤ16の両端部をそれ
ぞれ巻付けてあり、この際、上記連結ワイヤ16
の各回転軸13,14への巻付方向を、上記各閉
鎖ベルト11,12の回転軸13,14への巻付
け方向とそれぞれ逆方向となるようにしている。
そして上記連結ワイヤ16には予め所定量の弛み
を付与すると同時に、上記回転軸13,14の中
間位置に設けた一対のテンシヨン手段17によつ
てその連結ワイヤ16に所定の張力を付与するよ
うにしている。
本実施例では各テンシヨン手段17は、固定ロ
ーラ18とテンシヨンローラ19とを備えてお
り、上記連結ワイヤ16を各ローラ18,19に
それぞれS字状に掛渡し、そのS字状部分によつ
て連結ワイヤ16に所定量の弛みを付与すると同
時に、上記一対のテンシヨンローラ19を引張ば
ね20で引張ることにり連結ワイヤ16に所定の
張力を付与するようにしている。
ーラ18とテンシヨンローラ19とを備えてお
り、上記連結ワイヤ16を各ローラ18,19に
それぞれS字状に掛渡し、そのS字状部分によつ
て連結ワイヤ16に所定量の弛みを付与すると同
時に、上記一対のテンシヨンローラ19を引張ば
ね20で引張ることにり連結ワイヤ16に所定の
張力を付与するようにしている。
そして、上記連結ワイヤ16の両端部が引張ば
ね20の引張力を受けて回転軸13,14から引
出されるようになると、それによつて各回転軸1
3,14がその引出し方向に回転される。しかし
ながら、各回転軸13,14には上記閉鎖ベルト
11,12を連結ワイヤ16の巻付け方向と逆方
向に巻付けているので、各回転軸13,14が連
結ワイヤ16の引出し方向に回転されると、各閉
鎖ベルト11,12は各回転軸13,14に巻付
けられるようになり、各閉鎖ベルト11,12が
各回転軸13,14とフオーカスヘツド6との間
で一定の張力で緊張されると、各回転軸13,1
4の回転が停止され、それによつて上記連結ワイ
ヤ16も一定の張力で緊張されるようになる。
ね20の引張力を受けて回転軸13,14から引
出されるようになると、それによつて各回転軸1
3,14がその引出し方向に回転される。しかし
ながら、各回転軸13,14には上記閉鎖ベルト
11,12を連結ワイヤ16の巻付け方向と逆方
向に巻付けているので、各回転軸13,14が連
結ワイヤ16の引出し方向に回転されると、各閉
鎖ベルト11,12は各回転軸13,14に巻付
けられるようになり、各閉鎖ベルト11,12が
各回転軸13,14とフオーカスヘツド6との間
で一定の張力で緊張されると、各回転軸13,1
4の回転が停止され、それによつて上記連結ワイ
ヤ16も一定の張力で緊張されるようになる。
以上の構成によれば、レーザ光線Lの通過経路
は、レーザ発振器1、パイプ4、被覆ケース5お
よび閉鎖ベルト11,12によつて大気から遮断
されるようになる。そして、フオーカスヘツド6
が上述した駆動モータの駆動により、例えば第1
図の右方向に移動されると、先ずフオーカスヘツ
ド6に連結された閉鎖ベルト11の先端部がそれ
に追従して移動されるので、回転軸13から引出
されるようになる。すると、回転軸13は閉鎖ベ
ルト11の引出しに伴なつて回転されるので、そ
の回転により連結ワイヤ16が回転軸13に巻取
られるようになる。
は、レーザ発振器1、パイプ4、被覆ケース5お
よび閉鎖ベルト11,12によつて大気から遮断
されるようになる。そして、フオーカスヘツド6
が上述した駆動モータの駆動により、例えば第1
図の右方向に移動されると、先ずフオーカスヘツ
ド6に連結された閉鎖ベルト11の先端部がそれ
に追従して移動されるので、回転軸13から引出
されるようになる。すると、回転軸13は閉鎖ベ
ルト11の引出しに伴なつて回転されるので、そ
の回転により連結ワイヤ16が回転軸13に巻取
られるようになる。
次に、上記連結ワイヤ16の一端が回転軸13
に巻取られると、この連結ワイヤ16の他端が回
転軸14から引出されるので、回転軸14はその
連結ワイヤ16の引出しに伴なつて回転され、さ
らに回転軸14が連結ワイヤ16の引出しに伴な
つて回転されると、この回転軸14に閉鎖ベルト
12が巻取られることになる。
に巻取られると、この連結ワイヤ16の他端が回
転軸14から引出されるので、回転軸14はその
連結ワイヤ16の引出しに伴なつて回転され、さ
らに回転軸14が連結ワイヤ16の引出しに伴な
つて回転されると、この回転軸14に閉鎖ベルト
12が巻取られることになる。
そしてこの際、各回転軸13,14に巻付けた
閉鎖ベルト11,12の直径は、通常はそれぞれ
で異なつているので、回転軸13,14間で回転
量に差が生じ、したがつて連結ワイヤ16の弛み
量が変動するが、その弛みの変動はテンシヨンロ
ーラ19の変位によつて吸収され、常に連結ワイ
ヤ16および閉鎖ベルト11,12の張力が一定
に維持される。
閉鎖ベルト11,12の直径は、通常はそれぞれ
で異なつているので、回転軸13,14間で回転
量に差が生じ、したがつて連結ワイヤ16の弛み
量が変動するが、その弛みの変動はテンシヨンロ
ーラ19の変位によつて吸収され、常に連結ワイ
ヤ16および閉鎖ベルト11,12の張力が一定
に維持される。
このように、上記フオーカスヘツド6が一方向
に移動されると、それに伴なつて一方の回転軸1
3から閉鎖ベルト11が引出されると同時に、他
方の回転軸14に閉鎖ベルト12が巻取られるの
で、上記ケース1内は両閉鎖ベルト11,12に
よつて常に密封状態に維持される。
に移動されると、それに伴なつて一方の回転軸1
3から閉鎖ベルト11が引出されると同時に、他
方の回転軸14に閉鎖ベルト12が巻取られるの
で、上記ケース1内は両閉鎖ベルト11,12に
よつて常に密封状態に維持される。
そして巻取り側となる回転軸14の駆動力は、
他方の引出し側となる回転軸13から連結ワイヤ
16を介して伝達供給されるので、上記フオーカ
スヘツド6の移動行程を大きくし、それに伴なつ
て回転軸13,14に巻付ける閉鎖ベルト11,
12の巻付け量を大きくした場合であつても、実
質的に上記連結ワイヤ16の長さを長くするだけ
で対処することが可能となる。
他方の引出し側となる回転軸13から連結ワイヤ
16を介して伝達供給されるので、上記フオーカ
スヘツド6の移動行程を大きくし、それに伴なつ
て回転軸13,14に巻付ける閉鎖ベルト11,
12の巻付け量を大きくした場合であつても、実
質的に上記連結ワイヤ16の長さを長くするだけ
で対処することが可能となる。
なお、上記実施例では各1本の回転軸13,1
4に閉鎖ベルト11,12と連結ワイヤ16とを
巻付けるようにしているが、例えば閉鎖ベルト1
1,12を巻付ける回転軸と連結ワイヤ16を巻
付ける回転軸とを直交する方向に配設した別の回
転軸とし、両回転軸を自在継手で連動させるよう
にすることもできる。また、上記テンシヨン手段
17は図示実施例の構成に限定されるものではな
く、適宜の構成が採用できることは明らかであ
り、また本発明における連結ワイヤは幅広のベル
ト状のものを含んでいる。
4に閉鎖ベルト11,12と連結ワイヤ16とを
巻付けるようにしているが、例えば閉鎖ベルト1
1,12を巻付ける回転軸と連結ワイヤ16を巻
付ける回転軸とを直交する方向に配設した別の回
転軸とし、両回転軸を自在継手で連動させるよう
にすることもできる。また、上記テンシヨン手段
17は図示実施例の構成に限定されるものではな
く、適宜の構成が採用できることは明らかであ
り、また本発明における連結ワイヤは幅広のベル
ト状のものを含んでいる。
「発明の効果」
以上のように、本発明によれば、フオーカスヘ
ツドの移動行程が大きいレーザ加工機であつても
小型の閉鎖装置を提供することができるという効
果が得られる。
ツドの移動行程が大きいレーザ加工機であつても
小型の閉鎖装置を提供することができるという効
果が得られる。
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図、
第2図はレーザ加工機全体を示す正面図、第3図
は第2図の−線に沿う断面図である。 1……レーザ発振器、2……門型フレーム、5
……被覆ケース、5a……開口部、6……フオー
カスヘツド、6a……下部、11,12……閉鎖
ベルト、13,14……回転軸、16……連結ワ
イヤ、17……テンシヨン手段、18……固定ロ
ーラ、19……テンシヨンローラ、20……引張
ばね、L……レーザ光線。
第2図はレーザ加工機全体を示す正面図、第3図
は第2図の−線に沿う断面図である。 1……レーザ発振器、2……門型フレーム、5
……被覆ケース、5a……開口部、6……フオー
カスヘツド、6a……下部、11,12……閉鎖
ベルト、13,14……回転軸、16……連結ワ
イヤ、17……テンシヨン手段、18……固定ロ
ーラ、19……テンシヨンローラ、20……引張
ばね、L……レーザ光線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被加工物にレーザ光線を照射するフオーカス
ヘツドと、このフオーカスヘツドを移動可能に密
封収納する被覆ケースと、この被覆ケースに上記
フオーカスヘツドの移動方向に沿つて形成した開
口部と、この開口部を閉鎖する閉鎖ベルトとを備
え、上記フオーカスヘツドの一部を上記開口部か
ら外部に突出させるとともに、上記閉鎖ベルトを
フオーカスヘツドに連結し、この閉鎖ベルトをフ
オーカスヘツドの作動に追従して作動させて常時
上記開口部を閉鎖させるようにした、フオーカス
ヘツドの移動を許容する開口部の閉鎖装置におい
て、 上記フオーカスヘツドに連結した閉鎖ベルトの
両末端部を回転軸にそれぞれ巻付けるとともに、
連結ワイヤを所要量だけ弛ませた状態でその両端
部を上記各回転軸に閉鎖ベルトの巻付け方向とは
逆方向から巻付け、さらに上記連結ワイヤに所定
の張力を付与するテンシヨン手段を設けて、その
張力で上記各回転軸から連結ワイヤを引出して上
記閉鎖ベルトを緊張させたことを特徴とする、フ
オーカスヘツドの移動を許容する開口部の閉鎖装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61143900A JPS632582A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | フオ−カスヘツドの移動を許容する開口部の閉鎖装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61143900A JPS632582A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | フオ−カスヘツドの移動を許容する開口部の閉鎖装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632582A JPS632582A (ja) | 1988-01-07 |
| JPH0224196B2 true JPH0224196B2 (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=15349672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61143900A Granted JPS632582A (ja) | 1986-06-19 | 1986-06-19 | フオ−カスヘツドの移動を許容する開口部の閉鎖装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS632582A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4676161B2 (ja) * | 2004-04-14 | 2011-04-27 | ヤマザキマザック株式会社 | レーザ加工機 |
| CN102844145A (zh) * | 2010-11-29 | 2012-12-26 | 三菱电机株式会社 | 激光加工机的光路构造 |
-
1986
- 1986-06-19 JP JP61143900A patent/JPS632582A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632582A (ja) | 1988-01-07 |
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