JPH02242230A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
いる液晶表示装置に関する。
軽量、薄形、低消費電力あるいは低価格等の特徴を有し
て、従来のCRT表示装置に代わって、小型、軽量が要
求されるラップトツブパソコンあるいは可搬型測定器等
の表示装置等に用いられる傾向にある。
す図、第4図は第3図のA−B線断面図。
化膜、42はゲート電極、43はゲート信号線、44は
ソース領域、45はドレイン領域、46は層間絶縁層、
47はソース・コンタクト、48はドレイン・コンタク
ト、49はソース信号線、50はポンディングパッド、
51はコンタクト膜、52は画素電極、53は保護膜、
54は液晶配向膜、55は共通電極、56は上面ガラス
板、57は液晶、58は接着剤、59は画素部、60は
垂直走査回路、61は水平走査回路である。
2μm程度のポリシリコン層を形成し、フォトレジスト
をマスクにしてドライエツチングによりトランジスタ領
域を形成した後、チャネル領域を形成するために熱酸化
により厚さ0.1μm程度の酸化シリコン層を形成後、
その上に厚さ0.3μm程度のポリシリコン層を形成し
、フォトレジストをマスクにドライエツチングして、上
記ポリシリコンによるゲート電極42と第3図に示すゲ
ート信号線43とを形成する。その後、フォトレジスト
をマスクにしてウェットエツチングにより、チャネル領
域上にゲート酸化膜41を形成させる。
上にPlまたはAs”をイオン注入し、n領域であるソ
ース領域44とドレイン領域45とを形成する。その後
、ソースコンタクト用の窓とドレインコンタクト用の窓
を有する層間絶縁層46を厚さ0.877111程度の
N S G (Non−doped 5ilicats
Glass)により形成し、厚さ1μ−程度のAQ−
3L合金膜によるソース・コンタクト47とドレイン・
コンタクト48とを形成すると同時に、第3図のソース
信号線49とポンディングパッド50とを形成する。さ
らに、厚さ0.3μm程度のCr等によるコンタクト膜
51を形成した後、厚さ0.2μm程度の酸化インジウ
ム錫膜等の画素電極52を形成した後、厚さ0.3μ慣
程度の窒化シリコン膜による保護膜53を形成する。
成されると同時に、上記のCMOSプロセスにより垂直
走査回路60と水平走査回路61が形成される。
上に液晶配向膜54を形成させ、ラビングして液晶57
を注入し、石英基板40と対向するように共通電極55
を形成した上面ガラス板56を接着剤58を用いて接着
することにより、液晶57を封止して液晶表示装置が形
成される。
61とは厚さが2μm程度に、また、上面ガラス板56
と石英基板40との間隔は4μm程度となっている。ま
た、接着剤58の少なくとも一部は垂直走査回路60お
よび水平走査回路61の上に第4図のように形成される
。
着剤58と垂直走査回路60および水平走査回路61上
に設けられた接着剤58とが形成されているため、上面
ガラス板56と石英基板40との間隔が位置によって違
い、最高2μ田程度の差がある。
、液晶の電界制御特性が位置によって均一ではなく、そ
のため、不均一な画素表示あるいは低コントラスト表示
等の表示品質を劣化させている。
排除して、高品質で信頼性の高い液晶表示装置の提供を
目的とする。
する画素複数により形成した画素部およびその側辺に直
角的に配設され、上記画素を走査し駆動する垂直走査回
路および水平走査回路を有する液晶表示装置において、
上記画素部を介在させて上記垂直走査回路および水平走
査回路にそれぞれ対向させて形成した。それら垂直走査
回路および水平走査回路に近似の疑似垂直走査回路およ
び疑似水平走査回路を設けて達成する。
査回路の有無によって不均一であった上面ガラス板と石
英基板との間隔が、疑似垂直走査回路と疑似水平走査回
路を形成したので均一化され、したがって、封止された
液晶は均一で、電界制御が同じになって表示品質が画素
部全域にわたって良好になる。
明する。
断面図であり、これら両図において、1は石英基板、2
はゲート信号線、3はソース信号線、4はポンディング
パッド、5は液晶配向膜、6は共通電極、7は上面ガラ
ス板、8は液晶、9は接着剤、 10は画素部、11は
垂直走査回路、■2は水平走査回路、13は疑似垂直走
査回路、14は疑似水平走査回路である。
セスによってゲート信号線2とソース信号線3およびポ
ンディングパッド4を形成し、薄膜トランジスタを有す
る画素部10と垂直走査回路11および水平走査回路1
2を形成する。
1および水平走査回路12にそれぞれ対向する、それら
垂直走査回路11および水平走査回路12に近似の疑似
垂直走査回路13および疑似水平走査回路14を形成す
る。
ポリイミド系樹脂による液晶配向膜5を形成し、ラビン
グを行なった後液晶8を注入し1石英基板1と対向させ
て共通電極6が形成された液晶封止用の上面ガラス板7
を接着剤9によって接着し、液晶を封止することによっ
て本発明の一実施例の液晶表示装置が形成される。
の変更を要せず、ただマスクの変更だけで形成すること
が可能である。なお、上記の実施例では封止液晶の均一
化のプロセスを簡易にするため、マスクの変更により付
加した疑似垂直走査回路あるいは疑似水平走査回路を設
けたが、それに代えて新たなプロセスにより封止液晶を
均一化する垂直走査回路、水平走査回路に近似の島状体
を設けてもよいことは当然である。
置において、垂直走査回路および水平走査回路による上
面ガラス板と石英基板との間隔の位置による不均一さを
、疑似の垂直走査回路および水平走査回路を設けて解決
したものであり、したがって、封止されている液晶は均
一で、そのため、画素部の電界制御性に不均一性がない
から、全表示画面上で表示精度が高い品質良好な表示が
得られる効果があり、液晶の平面性、軽量性、経済性等
とあいまって、可搬型装置の表示装置等の利用に貢献す
る。
F線断面図、第3図は従来の液晶表示装置の平面構成を
示す図、第4図は第3図のA−B線断面図、第5図は第
3図の画素部の一部を示す断面図である。 1・・・石英基板、 2・・・ゲート信号線、 3°゛
°ソ一ス信号線、 4・・・ポンディングパッド、 5
・・・液晶配向膜、 6・・・共通電極、7・・・上面
ガラス板、 8・・・液晶、 9・・・接着剤、 10
・・・画素部、 11・・・垂直走査回路、12・・・
水平走査回路、 13・・・疑似垂直走査回路、 14
・・・疑似水平走査回路。 特許出願人 松下電子工業株式会社 区 ば) 琺
Claims (1)
- 基板上に薄膜トランジスタを有する画素複数により形成
した画素部およびその側辺に直角的に配設され、上記画
素を走査し駆動する垂直走査回路および水平走査回路を
有する液晶表示装置において、上記画素部を介在させて
上記垂直走査回路および水平走査回路にそれぞれ対向さ
せて形成した、それら垂直走査回路および水平走査回路
に近似の疑似垂直走査回路および疑似水平走査回路を有
することを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP6204889A JP2816982B2 (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | 液晶表示装置 |
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Publications (2)
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|---|---|---|---|
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