JPH02243346A

JPH02243346A - メッシュ付印刷スクリーン及びその自動位置検出方法並びにスクリーン印刷方法及びその装置

Info

Publication number: JPH02243346A
Application number: JP6362989A
Authority: JP
Inventors: Takanori Ninomiya; 隆典二宮; Mineo Nomoto; 峰生野本; Yasuo Nakagawa; 中川　泰夫
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-03-17
Filing date: 1989-03-17
Publication date: 1990-09-27
Anticipated expiration: 2013-06-18
Also published as: JP2765924B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、電子回路パターンのスクリーン印刷工程にお
けるメツシュ付印刷スクリーン及びその自動位置検出方
法並びにスクリーン印刷方法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

多層セラミック基板の各層を形成するグリーンシートな
どの回路パターンの形成には、多様な形状の回路パター
ンを実現するため、メツシュで裏打ちされた印刷スクリ
ーンを用いた、スクリーン印刷法が使用されている。従
来、印刷スクリーンと被印刷対象の位置合せは、菅原「
大型産業基板用自動位置決め機能付スクリーン印刷機」
センサ技術、Ｖｏｌ、８．＆６．ｐｐ１３２−１３５゜
（１９８８−５）に開示されている様に、−旦第２図（
ＣＬ）に示すように位置決めマーク６４を形成した印刷
スクリーン６５に印刷機構６６で試し印刷用被印刷対象
６０に試し印刷を行って、第２図（ｂ）に示すようにそ
こに転写された印刷スクリーンの位置決めマーク６１の
位置を画像検出器６２で検出して記憶し１次に、第２図
（Ｃ）に示すように試し印刷用の被印刷基板６０を本印
刷用基板６３に代え、その位置決めマーク又は穴６７の
位置を画像検出器６２で検出し、この位置が先程検出し
た転写された印刷スクリーンの位置決めマークと一定の
位置関係になる様に、本印刷用基板を平行及び回転移動
させて位置合せを行い、第２図（ｄ）に示すように本印
刷を行うものであった（第２図）、転写された印刷スク
リーンの位置決めマーク６１および本印刷用基板の位置
決めマーク６３の位置検出には、上記文献に開示されて
いるように、ＴＶカメラ６２で画像゛を検出し１円形マ
ークの重心位置を検出するものの他、十字状マークの投
影よりその中心位置を検出するもの（特開昭６１−１６
５１８４号公報）、予め記憶された特定パターンのテン
プレートマツチングによりその位置を検出するもの（電
気学会論文誌第９６−ｃ巻、第１号（１９７６）　　ｒ
時分割パターン認識技術による群制御トランジスタ組立
システム」２位置決めマークの１次元検出波形より位置
検出するもの（特開昭５７−１５４８８７号公報）など
、従来より位置決めマーク検出法として知られている方
法が使用される。

なお、単純なパターンの印刷に用いられるメツシュの付
かない印刷スクリーンに対しては、透過照明とＴＶカメ
ラによって直接印刷スクリーン上の位置決めマークを検
出し、上記した方法を用いてその位置を検出する方法も
知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

メツシュ付スクリーン印刷を行う場合、上記した従来の
位置合せ技術では、スクリーン交換毎に必ず試し印刷を
必要とし、試し印刷用基板が無駄になるばかりでなく、
全体として印刷時間が長くかかるという問題があった。

本発明の目的は、メツシュ付印刷スクリーンの位置を直
接自動検出して試し印刷を不要としたメツシュ付印刷ス
クリーン及びその自動位置検出方法並びにスクリーン印
刷方法及びその装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため１本発明は、スクリーン上の複
数箇所に輪郭に曲線を含む位置決めマークを配し、特定
位置からメツシュを通した位置決めマークの形状を検出
しく２１で示す）、電気信号に変換し、電気信号に変換
された画像をマークのパターンが１１１．他が１０′と
なる様に２値化しく２２で示す）、２値化されたパター
ンを内包する大きさ最小の図形（最小包含図形と呼ぶ）
を検出しく２３で示す）、その位置をもってスクリーン
の位置を決定するようにしたものである（第１図）。

〔作用〕

メツシュ付印刷スクリーンは、パターンを形成したマス
ク２７とメツシュ２６からなる。メツシュは、第３図に
示すように格子状に編み込まれているため、落射照明で
パターンを検出してもパターン形状を鮮明にとらえるこ
とは難しく、また、透過照明によって検出しても格子状
のメツシュが、検出対象パターンと重なり、従来の位置
決めマーク検出法では、正確な位置検出ができない。

特に、直線で構成された十字や四角形の位置決めマーク
２５では、スクリーンの製造段階でマーク２５とメツシ
ュ２６との位置関係を正確に制御することが難しいため
、場合によっては、第３図（αン、（ｂ）（第３図（ｂ
）は第３図（α）のＡ−Ａ断面図）に示すようにマーク
の輪郭とメツシュ２６を構成する金属線が完全に重なり
、マーク位置の検出は不可能になる。第４図に第３図に
示した十字状位置決めマーク２５の開口部２４の検出画
像を示す。

本発明では１位置決めマークに第５図に例示するような
その輪郭に曲線を含む図形を用いるため、金属線の線形
のＪ乏°倍より位置決めマーク２８が大きければ、位置
決めマーク２８の輪郭の少なくとも一部がメツシュの窓
（開口部２４）を通して常に観測される可能性が高く、
位置決めマークの位置検出が可能になる。また、位置決
めマークの周辺部に他のパターンを配置しなければ、メ
ツシュを通して＆１ＨＩｆされた位置決めマーク２８の
パターンを内包する。大きさ最小の図形（最小包含図形
３０）を求めることによって、メツシュの影響を全く受
けずに、位置決めマーク位置を決定することができる。

上記した内包図形２９．３１は、位置決めマークに外接
すれば良いから、第６図に示すように位置決めマークと
同一形状である必要はない。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を第７図から第１３図を用いて
説明する。

第７図に示すように１本実施例ではスクリーンの位置決
めマーク３２として円形パターンを用いる。メツシュを
通して！！！測される位置決めマーク、すなわち開口部
２４のパターンは第８図のようになる。第９図に示すよ
うに１本実施例では、パターンを検出しく４０で示す）
、２値化しく４１で示す）、２次元の２値ディジタル画
像とした後。

パターンの最外部輪郭線を検出しく４２で示す）、次に
最外部輪郭線を構成する魚群から０包の中点を求め（４
３で示す）、次に０包の頂点をなす点の最遠点ボロノイ
図を求め（４４で示す）、ボロノイ点を中心としボロノ
イ点に隣接する３つのボロノイ領域に対応する３点を通
る円のうち半径が最小となる円、すなわち最小包含円を
求め（４５で示す）、この中心をもって位置決めマーク
の位置とする。

次に、本実施例で用いる最外部輪郭線、０包。

最遠点ボロノイ図について述べる。

最外部輪郭線の検出は、第１０図に示すように、検出さ
れた２値画像を、まず左から右、上から下ヘサーチし、
それぞれのＹ座標において値がはじめて１０′から′″
１′に変化した点の画像上の座標を列挙し、続いて右か
ら左、下から上へサーチして同様に１０＃から１１′に
変化した点の座標を列挙して一連の座標系列を生成する
ものである。

最外部輪郭線は、その検出法より明らかな様に。

検出２値パターンの最も外側の輪郭の候補点であり、続
いて行う０包の検出結果は、検出２値パターンの１１“
の部分のすべての点の座標を用いて直接６包を検出した
場合に一致する。最外部輪郭線の検出は単純な画像処理
であるため、これによって、より複雑な処理を要求する
白色検出の入力データ量を減らすことができ、結果的に
、全体の処理時間を減らすことができる。

白色は、第１１図に示すように、すべての点を頂点ある
いは辺上、あるいは内部に含む凸の多角形である。白色
検出の目的は、白色の頂点のみを最外部輪郭線より抽出
することによって、最小包含円を決定する輪郭線上の３
点の情報を失うことなく、より複雑な処理を要求される
最遠点ボロノイ図の生成処理の入力データ量を減らし、
結果的に全体の処理時間を減らすことである。白色の検
出法は、例えば、伊理監修「計算幾何学と地理情報処理
Ｊ　ｂｉｔ別冊−ＰＰ７９ｙ共立出版（１９８６）に示
されたｒ　Ｇ　ｒａｈａｍの算法」を用いることによっ
て実現できる。なお、この場合、すでに最外部輪郭線を
上記した様に左から右、上から下へ、また右から左、下
から上への順に検出しているので。

ｒ　Ｇｒａｈａ＋ｉの算法」で前処理として使用してい
る偏角順のソーティングは不要である。

最遠点ボロノイ図は１例えば、上記の「計算幾何学と地
理情報処理Ｊ　ＰｐＨＯに述べられている様に、最小包
含円を効率良く、かつ厳密に求める場合、使用される。

第１２図に第１１図の点α〜ｇに対する最遠点ボロノイ
図を示す、最遠点ボロノイ図は、各点に対応する「ボロ
ノイ領域」（同図では小文字のアルファベットの点に対
応する領域を大文字のアルファベットで示した）とそれ
らの境界線、「ボロノイ辺」、およびボロノイ辺の交点
、「ボロノイ点」より成る。各ボロノイ領域、例えばＡ
内のすべての点は、点αまでの距離が、他の点ｂ−ｇま
での距離よりも大であるという性質を持つ。従って、第
１３図に示すように。

３つ（あるいは４つ以上）のボロノイ領域の境界点であ
るボロノイ点は、それぞれのボロノイ領域（第１３図で
はＣ，Ｄ、Ｅ）に対応する点（同図でｃ、ｄ、ｅ）まで
の距離が等しく、かつ、他のどの点までの距離も１点Ｃ
，ｄ、ｅまでの距離より小となる。この結果、ボロノイ
点は、（同図の場合、点ａ、ｄ、ｅを通る）包含円くす
べての点を円周上または内部に含む円）の中心となる。

このように、最遠点ボロノイ図を生成し、すべてのボロ
ノイ点について包含円の半径を調べ、半径が最小となる
ボ、Ｊ２ｊイ点を見い出せば、最小包含円の中心座標が
決定できる。最遠点ボロノイ図の生成は、上記の［計算
幾何学と地理情報処理ＪＰＰ１３６〜１４１に述べられ
ている様に、「逐次添加法」　「再帰２分法ｊなどを用
いて効率良く実現できる。

一旦、印刷スクリーン上の複数の位置決めマークの位置
が求まれば、従来の試し印刷を用いたスクリーン位置の
決定法と同様の手法を用いて印刷スクリーンの位置が決
定できる。

本実施例によれば、位置決めマークとして円形パターン
を用いているので、最も単純な処理で最小包含図形の位
置を決定でき、短時間にスクリーンの位置を決定できる
という効果がある。

なお９本実施例において、パターン検出は、検出器とし
てＴＶカメラ、ＣＣＤラインセンサの走査など、また照
明法として透過照明など、メツシュを通してａ８Ｉｇさ
れる位置決めマークが鮮明に検出できれば、公知のいず
れのパターン検出法を用いても良い、また、処理時間の
増大を許せば、最外部輪郭線の検出又は最外部輪郭線お
よび白色の検出を省いても良い。

また、本実施例において、検出画像のＸ方向。

Ｙ方向にそれぞれ軸を持ち、それぞれの方向の径の比が
Ｐ：）であるような楕円を位置決めマークとして用いて
も良い、この場合、白色を検出した同様に最小包含円を
求め、その中心座標を２倍、）倍すれば良い。この方法
は、パターン検出の際、画像のサンプリング間隔がＸ方
向とＹ方向で一致せず、結果的に画像上で円形パターン
が楕円になってしまった場合にも適用できる。上記した
座標変換は、白色検出後の少数の点について行っている
ので、全検出パターンを円に形状変換して処理する場合
に比べ、大幅な処理時間の短縮ができ。

かつ、上記した実施例と全く同様の効果を持つ。

本実施例を実施するための処理装置は、画像信号を２値
化し、一定の時間間隔でサンプリングし、メモリに蓄え
、そのメモリの内容に対してプログラムによって自由に
処理を行うことのできる。いかなる形態の公知の処理装
置を用いても良い。

次に、第１４図および第１５図を用いて本発明による第
２の実施例について述べる。

本実施例では、第１の実施例と同様１円形パターンを位
置決めマークとして用い、第１の実施例で述べた最小包
含円の検出２３までの処理に加え、円周候補点の抽出５
１及び最小２乗近似円の計算５２を行う。

円周候補点の抽出は、第１５図に示すように。

白色の頂点４７の中から、最小包含円４６の円周からの
距離が一定値α（例えば、１画素に相当する量）以内の
点を抽出することにより行う。従って４８の円周候補点
は除去される。

抽出された点の座標を（χｉ、ｙ＜）ｚ＝＝ｘ１２、・
・・、Ｎとし１円の方程式をｚ”＋ｙ”＋２ｇｚ＋２ｆｙ＋ｃ＝ｏ””（１）とした
とき、最小２乗近似円は。

とおき、の３元１次連立方程式をｇｙ　ｆ＋　Ｃについて解けば
、中心（ｇ＋　　ｆ）＋半径五Ｔ繭；τとして求めるこ
とができる。

本実施例では、このようにして求めた最小２乗近似円の
中心を位置決めマークの位置とし、スクリーンの位置を
決定する。

本実施例によれば、最終的に最小２乗近似円の中心とし
てマーク位置を検出しているので１画像のサンプリング
誤差を最小とし、かつ画素単位以下の高精度な位置検出
が可能になるという効果がある。実験によれば、メツシ
ュピッチ１００μｍ。

メツシュ径４０μｍのスクリーンにおいて、直径６００
μｍの円形位置決めマークを７μｍ″の画素で検出した
場合、第１６図に示すように、約±１．４μｍの位置検
出精度が得られた。また、この場合の処理時間は、約Ｉ
ＭＩＰＳの処理能力の３２ビツトマイクロプロセツサを
用い、最外部輪郭線検出から最小２乗近似円の検出まで
、１回当り約１．２秒であった。

本実施例の場合も、第１の実施例の場合と同様。

パターン検出及び処理装置として公知のいずれを用いて
も良い。また、楕円形位置決めマークも同様に扱うこと
が可能である０本実施例の場合、０小２乗近似円の中心
座標を２倍２％倍としすれば良い。

次に、第１７図、第１８図を用いて第３．第４の実施例
について説明する。

本実施例では、第１７図に示すように、２つの同心円に
はさまれた。ドーナツ状のパターンを位置決めマーク３
２（Ｚとする他は、第１．第２の実施例と全く同様であ
る。

本実施例によれば１本印刷用基板側の位置決めマーク３
２ｃＬを円形パターン又は円形穴とし、位置決めマーク
の内側の円より小さくしておけば。

本印刷後のスクリーンの位置決めマーク４９の内周と基
板側の位置決めマーク５０の最小距離βｗｉｎおよび最
大距離βｗａｘさらに、それらの方向によって１位置合
せ精度をモニタリングできるという効果がある。

以上に述べた実施例では１円形パターン、楕円形パター
ン、同心円パターンを位置決めマークとして用いたが、
第１９図に示すように、一部が直線で構成されたパター
ン、複数のパターンから成るパターン、内部に任意形状
の空白さらには空白の中にパターンが存在するパターン
、任意の既知の曲線から成るパターンなど、最外周の輪
郭に既知形状（大きさは未知で可）の曲線を含むパター
ンであれば１本発明の原理に従って、位置決めマークの
位置を正確に検出できることは明らかである。

次に、第２０図、第２１図を用い、本発明によるスクリ
ーン印刷法及び装置について述べる。

上記した第１から第４の実施例に従えば、メツシュ付印
刷スクリーン４の位置決めマーク３２（３２α）を試し
印刷なしで検出できる。まず。

画像検出器８で、メツシュ付印刷スクリーン４の位置決
めマーク３２　（３２ａ）　　を検出し、上記した方法
に従ってその位置を検出することにより、印刷スクリー
ン４の位置を検出して記憶しく第２０図（α）に示す）
、次に、同一の画像検出器８を用いて本印刷用基板１に
形成された位置決めマーク５０の位置検出を行い（第２
０図（ｂ）に示す）、記憶された印刷スクリーン４の位
置へ本印刷用基板１を回転及び平行移動させ、印刷スク
リーン４とスクリーン印刷機構１１を用いて本印刷（第
２０図（ｃ）に示す）を行うものである。

本印刷法の実施例の変形としては１本印刷用基板の位置
合せを先に行うもの、スクリーンと基板の位置決めマー
クの検出を別個の画像検出器で行うもの、回転、平行移
動による位置合せをスクリーン側もしくは、スクリーン
、基板双方で行うものなどがある。なお、基板側の位置
決めマークの位置検出法としては、本発明による位置検
出法の他、重心位置検出法、投影法、テンプレートマツ
チング法、１次元波形検出法など、公知のいずれの自動
位置検出法も使用できる。また１位置決めマーク及び画
像検出器の数は、２以上であれば良い。

次に１本印刷方法を実施する装置の具体例について述べ
る。

第２１図に示すように、装置は、ＴＶカメラ７α、７ｂ
から成る画像検出ヘッド６、基板照明用リング状照明器
８（Ｌ、８ｂ、スクリーンの透過照明用の照明器９α、
９ｂ、照明の切換え器１０゜処理装置１２より成る位置
決めマーク自動位置検出系、印刷機構１１．メツシュ付
印刷スクリーン４を画像検出ヘッド６と印刷機構１１の
間で移動させる移動機構５２本印刷用基板１を固定し、
また、基板を平行及び回転移動できるステージ２゜ステ
ージ２を画像検出ヘッド６と印刷機構１１の間で移動さ
せる移動機構３より成る機構系、および、これらを統括
、制御する全体制御装置１３より成る。

まず、移動機構３．５により、印刷スクリーン４を検出
ヘッド６の下に、ステージ２を印刷機構側に移動させ、
照明切換器１ｏによって照明９α。

９ｂを点灯、８α、８ｂを消灯し、ＴＶカメラ８（Ｌ、
８ｂを用いて画像検出し、処理装置１２で上記した方法
を用いてスクリーンの位置を検出し、全体制御装置１３
に出力する０次に、スクリーン４を印刷機構１１．ステ
ージ２を検出ヘッド６側に移動させ、照明８α、８ｂを
点灯、９α、９ｂを消灯（又は点灯のままステージ２で
遮光）とし、ＴＶカメラ８α、８ｂを用いて画像検出し
、処理装置１２で基板１の位置を検出し、全体制御装置
１３に出力する。全体制御装置１３は、記憶してあった
スクリーン４の位置に、基板１の位置が合う様、ステー
ジ２を移動させる。基板１の位置検出とステージ２の移
動は、一定誤差範囲内に入るまで複数回行っても良い０
次に、ステージ２全体を移動機構３によって印刷機構１
１の位置に移動させ、最後に印刷機構１１によって印刷
を行う。

本実装例においても１本発明による位置合せマークの検
出法、印刷法で述べたすべての変形に対応した装置構成
が可能である。また、印刷スクリーン４と基板１を移動
機構で移動させる構成の他、検出ヘッド６とステージ２
．印刷機構１１を移動させるなど、検出ヘッド６と印刷
機構１１が機械的に干渉せず、スクリーン４と基板１の
位置決めマークを個別に検出できる構成であれば何でも
良塾）。

また、スクリーン４と基板１の位置決めマーク検出用検
出ヘッドは別個のもので良い、さらに、基板照明用照明
器８α、８ｂはリング状照明の他、落射照明、基板１の
位置決めマークが穴の場合。

透過照明を用いることができる。

スクリーン４の位置決めマークの検出法の他の変形を第
２２図に示す。透過照明の場合、照明９ａ、、９ｂ、検
出ヘッド６の位置関係を逆転させ、スクリーンのマスク
側から検出しても良い（第２２図（α））。この場合は
、基板の位置決めマーク検出ヘッドが別に必要になる。

さらに、マスク側から検出する場合、リング照明７０な
どを用いて周囲−様照明として検出することも可能（同
図（ｂ））で、この場合、パターンは暗く検出される。

また、偏光板８２を用いて周囲−様照明を一定方向の偏
光光とし、検出器側にそれと直交する方向の偏光成分の
みを透過する様、偏光板８２を設け、スクリーンの反対
側にセラミック板などの拡散板８１を置けば（同図（ｃ
））、パターンを明るく検出できる。さらに、第２２図
（ｄ）（、）に示すように同図（ｂ）（ｃ）をメツシュ
側から行った場合も同様に、パターンを検出できる。

このように、検出系は、位置合せマークとメツシュの重
ならない部分のみを検出できれば、どのような構成でも
良く、光学的検出に限らずＸ線等他の検出媒体を使って
も良い。

また、本発明方法は、そのまま、メツシュなしのスクリ
ーン位置検出およびスクリーン印刷に使用できることは
もちろんである。

〔発明の効果〕本発明によれば、メツシュ付印刷スクリーンの位置決め
マークの位置を、試し印刷なしで高精度に検出できるの
で、印刷工程の工数低減に効果がある。また、最小包含
図形の検出によってマーク位置を検出しているので、マ
ークにごみ、ペースト等の異物が付着している場合にも
、影響を受けに＜＜、正確な位置検出が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による自動位置検出方法の流れを示す図
、第２図は従来のスクリーン印刷方法を示す図、第３図
は従来の位置決めマークの一例を示す図、第４図は第３
図のマークの開口部を示す図、第５図は本発明による位
置決めマークの一例を示す図、第６図は本発明による自
動位置検出方法の原理を示す図、第７図は本発明の第１
の実施例に用いる位置決めマークを示す図、第８図は第
７図のマークの開口部を示す図、第９図は本発明の第１
の実施例の流れを示す図、第１０図は最外部輪郭線の検
出法を示す図、第１１図は６包を説明する図、第１２図
は最遠点ボロノイ図を説明する図、デ１３図は最遠点ボ
ロノイ図の性質を説明する図、第１４図は本発明による
第２の実施例の流れを示す図、第１５図は第２の実施例
による円周候補点の抽出法を示す図、第１６図は第２の
実施例による位置検出実験結果の一例を示す図、第１７
図は本発明によるスクリーンの位置決めマークの他の実
施例を示す図、第１８図は第１７図のマークによる位置
決め誤差の確認方法を示す図。第１９図は本発明による位置検出方法に使用できるスク
リーンの位置決めマークの他の例を示す図。第２０図は本発明による自動位置検出方法を用いたスク
リーン印刷方法を示す図、第２１図はその実施装置の一
例を示す図、第２２図はスクリーンの位置決めマーク検
出法の他の実施例を示す図である。１・・・本印刷用基板、２・・・ステージ、３・・・移
動機構、４・・・メツシュ付印刷スクリーン、５・・・
移動機構、６・・・検出ヘッド、７ｃ、７ｂ・・・ＴＶ
カメラ、８ＣＬ、８ｂ・・・リング状照明、９ｃＬ、９
ｂ・・・透過照明、１０・・・照明切換え器、１１・・
・印刷機構、１２・・・処理装置、１３・・・全体制御
装置。躬１０躬ｌ吐第（乙）第４虐佑 ■ 国第躬虐子殆筋ｔ］に第１２区（μｍ）対象方移動量（μｍ）第／７囚第１ｇ第虐（Ｑン（ｂ）ＣＣ）躬国（久）（ｂ）（ｅ）（洸〕（ｅ）

Claims

【特許請求の範囲】

１．印刷スクリーンのマスクの複数箇所に輪郭に曲線を
含む穴を位置決めマークとして配置し、該位置決めマー
クが印刷スクリーンのメッシュと重ならない部分の形状
を電気信号として検出し、この電気信号を２値化画像信
号に変換し、該２値化画像信号により得られる形状に外
接する図形のうち最小の図形を検出し、該検出された最
小の図形の位置から上記位置決めマークの位置を算出す
ることを特徴とするメッシュ付印刷スクリーンの自動位
置検出方法。
２．上記位置決めマークの最外周の輪郭を円で形成した
ことを特徴とする請求項１記載のメッシュ付印刷スクリ
ーンの自動検出方法。
３．透過照明を用いて位置合せマークの形状を電気信号
として検出することを特徴とする請求項１記載のメッシ
ュ付印刷スクリーンの自動位置検出方法。
４．検出された最小の外接円から一定距離内にある２値
化した形状を構成する点を抽出し、上記抽出した点を最
小２乗近似して円をあてはめ、円の中心位置をもって位
置決めマークの位置とすることを特徴とする請求項２記
載のメッシュ付印刷スクリーンの自動位置検出方法。
５．印刷スクリーンの位置決めマークをメッシュと重な
らない部分の形状として検出し、この検出形状の外周輪
郭の情報にもとづき印刷スクリーンの位置決めマークの
位置を検出し、基板の位置決めマークの位置を検出し、
これら印刷スクリーンの位置決めマークの位置と基板の
位置決めマークの位置にもとづき印刷スクリーンと基板
の位置合せを行い、印刷スクリーンのパターンを基板に
印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。
６．印刷スクリーンの位置決めマークをメッシュと重な
らない部分の形状として検出する第１の手段と、該第１
の手段により検出された検出形状の外周輪郭の情報にも
とづき印刷スクリーンの位置決めマークの位置を検出す
る第２の手段と、基板の位置決めマークの位置を検出す
る第３の手段と、上記第２の手段により検出された印刷
スクリーンの位置決めマークの位置と上記第３の手段に
より検出された基板の位置決めマークの位置にもとづき
印刷スクリーンと基板の位置合せを行う位置合せ手段と
、印刷スクリーンのパターンを基板に印刷する印刷手段
とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
７．複数箇所に輪郭に曲線を含む穴を位置決めマークと
して配置したことを特徴とするメッシュ付印刷スクリー
ン。
８．上記穴を円形に形成したことを特徴とする請求項７
記載のメッシュ付印刷スクリーン。