JPH02243527A - ガラス封着体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は真空若しくはガス封入したガラス封着体の製造
方法に間するものである。

［従来の技術］ 従来のガラス封着体の製造方法は主に次の三つの方法で
あった。

ガスバナーを用いてガラス封着体自体を直接溶融して封
着する方法のや、高周波加熱によってガラスの一部を局
部加熱して融着する方法■、更には粉体ガラスを用いて
融着する方法■がありな。

［発明が解決しようとする課ｊ！！！］ところでこれら
方法の内■の方法では直接ガラス封着体を加熱溶融する
ため、ガラス封着体内部に封入されている封入物も加熱
される。そのため封着専用の排気管を有している場合は
封着が可能であるが、小型のガラスエンベロツブのよう
な場合には、加熱中に内部の封入物が汚染されるため、
この排気管を採用することができず、従ってこの方法に
よる封着を行うことができなかった。また真空中や、不
活性雰囲気において加熱することも可能であるが、その
形状や構造において複雑化するという問題があった。

また■の方法では、−内部の加熱部分に導電性の部分が
必要であり、そのなめ逆に導電性部分が不必要に加熱さ
れることがあって必要とする部分の加熱することは極め
て困難であった。

更に■の方法では、一般に空気中若しくは窒素雰囲気中
で焼成する必要があった。つまり真空で封着する場合ガ
ラス粉体の性質上、ガラス内部の小さな気泡の存在から
封着時にその気泡が膨張して膨れの原因となり、結果真
空度やガス圧を保持しておくことは難しいという問題が
あった。

これら方法■〜■ではガラス封着体の必要な箇所のみの
加熱を行うことが難しく、不必要な箇所に熱的ダメージ
を与え、またフラットな面などを要求される場合にも封
着後にフラット性を残すことができないという問題があ
った。

本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところはヒータの形状によって、必要な箇所の
みを加熱することができて、不必要な箇所に熱的ダメー
ジを与えることがなく、フラットね面を要求される場合
にも封着後、フラット性を残すことができ、更に真空雰
囲気や不活性ガス雰囲気下で加熱することが可能で、排
気管等の不要部分をガラス封着体に設ける必要がないガ
ラス封着体の製造方法を提供するにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明はガラス封着体の封着部位の外形状に併せて形成
したヒータを用いてガラス封着体の必要な封着部位を加
熱溶融して封着するものである。

［作用］ 而して本発明によればガラス封着体の外形状に形成した
ヒータを用いることによって、加熱が必要なガラス封着
体の封着部位のみを加熱することができ、結果加熱不要
な箇所への熱的ダメージを与えることがなく、ガラス封
着体の必要形状としてフラット面を要求されてもフラッ
ト性等を確保できるのである。また真空雰囲気や、不活
性ガス雰囲気下でも加熱できてガラス封着体に排気管を
設ける必要がなく、自由な形状のエンベロツブをら設計
でき、更にヒータとしてカーボンヒータを用いることに
よって加熱雰囲気が若干還元性になって被加熱物の酸化
を防ぐことができる。また真空雰囲気での加熱ができる
ため融着物の拡散が早くなって、低い温度での封着を可
能とする。

［実施例］ 以下本発明を実施例により説明する。

第１図は本発明に用いるガラス封着体１の分解斜視図を
示しており、この実施例では円筒ガラス体２と、この円
筒ガラス体２の一端の開口部を封着する平面ガラス体３
と、円筒ガラス体２の他端の開口部に被着するガラスス
テム４とからなり、円筒ガラス体２及びガラスステム４
はＬ２９鉛ガラス［日本電気硝子製］からを形成され、
平面ガラス体３は並板ガラス（ソーダガラス）から形成
されたものである。

このガラス封着体１の封着を行うための加熱用のヒータ
としては通電するとその抵抗熱を発生させるカーボンヒ
ータ（例えば７１厚）を用いており、第２図に示すよう
にガラスステム４を用いて円筒ガラス体２を封着するた
めのカーボンヒータ６ａはガラスステム４の大径部４ａ
と、ガラスステム４の中央小径部４ｂを嵌合せる円筒ガ
ラス体２の下端との境界部分からなる封着部位を嵌める
小径部１０ａを底部側に設けた円形の穴１０を穿設し、
またこの小径部１０ａの底部にはガラスステム４のリー
ド線８を挿入する孔９を穿設している。更に上記封着部
位のみとなるように封着部位より上方の穴１０の部分は
円筒ガラス体２の外径より十分大きな内径を持たせた大
径部１０ｂとし、また上記小径部１０ａの底部は上記封
着部位を加熱するカーボンヒータ６ａから分離されるよ
うに加熱部位を構成するカーボンヒータ６ａとの間に空
Ｉｖ７を設けている。

第３図は平面ガラス体３を用いて円筒ガラス体２を封着
するためのカーボンヒータ６ｂを示しており、このカー
ボンヒータ６ｂもカーボンヒータ６ａと同様に平面ガラ
ス体３と、円筒ガラス体２の下端との境界部分からなる
封着部位を嵌める小径部１０ａ′を底部側に設けた円形
の穴１０′を穿設している。また上記封着部位のみとな
るように封着部位より上方の穴１０“の部分は円筒ガラ
ス体２の外径より十分大きな内径を持たせた大径部１０
ｂ°とし、また上記小径部１０ａ°の底部は上記封着部
位を加熱するカーボンヒータ６ｂから分離されるように
加熱部位を構成するカーボンヒータ６ｂとの間に空Ｎ７
゛を設けである。

而して第２図のカーボヒータ６ａでガラスステム４と円
筒ガラス体２との間の封着部位を７５０℃で加熱して封
着部位のガラス材を溶融させ封着する。この時ガラスス
テム４の内部に溶は込んでいる小さな泡の膨張を防ぐた
めに、大気圧と同じ圧力の窒素ガスの雰囲気下で加熱封
着を行う、ここで窒素ガスを雰囲気ガスとして用いたの
はカーボヒータ６ａが酸素で、燃焼することを避けるた
めである。

次にこのようにして円筒ガラス体２を封着したガラスス
テム４に封入物１１を円筒ガラス体２内において固定し
、残された円筒ガラス体２の開口部を第３図のカーボン
ヒータ６ｂを用いて平面ガラス板３で封着するのである
。

この場合雰囲気条件は真空（１０−’ｔｏｒｒのオーダ
）で、加熱条件を７６０℃とする。但し、封着部位の面
の洗浄を十分に行い、また内部から発生する不純なガス
を十分に放出するために、ガラス表面から水分を吹き飛
ばすのに十分な加熱温度５００℃で保持後、封着を行っ
た。第４図はその時の温度の昇温条件を示す。

このようにして、平面ガラス体３による封着が終了すれ
ば第５図に示すようなガラス封着体１が得られることに
なる。

なおヒータとしてカーボンヒータ６ａ、６ｂを用いてい
るため、加熱雰囲気を若干還元性することができて被加
熱物の酸化を防ぐことができる。

つまり封入物１１の表面、リード線８の表面、円筒ガラ
ス体２の内面を次の反応により酸化が防止できるのであ
る。

また真空雰囲気での加熱ができるため融着物の拡散が早
くなって、低い温度での封着を可能とする０例えば鉛ガ
ラスを用いた場合の作業温度は通常９６５℃で、ソーダ
ライムガラスの場合はそれ以上の温度であるが、本実施
例によれば封着温度を２００℃程度下げることができた
。

またヒータとして上記実施例はカーボンヒータを用いて
いるが耐熱性の抵抗体にるヒータを用いても良い。

［発明の効果］ 本発明は本発明によればガラス封着体の外形状に形成し
たヒータを用いることによって、加熱が必要なガラス封
着体の封着部位のみを加熱することができ、結果加熱不
要な箇所への熱的ダメージを与えることがなく、ガラス
封着体の必要形状としてフラット面を要求されてもフラ
ット性を封着後に確保できるのである。また真空雰囲気
や、不活性ガス雰囲気下でも加熱でき、その結果ガラス
封着体に排気管を設ける必要がなく、結果自由な形状の
エンベロツブをも設計でき、更にヒータとしてカーボン
ヒータを用いることによって加熱雰囲気が若干還元性に
なって被加熱物の酸化を防ぐこともできる。また真空雰
囲気での加熱ができるため低い温度での封着を可能とす
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に用いるガラス封着体の分解斜
視図、第２図、第３図は同上に用いるカーボンヒータの
断面図、第４図は同上における平面ガラス体の封着時の
加熱温度の昇温経過説明図、第５図は同上のガラス封着
体の断面図である。 １はガラス封着体、２は円筒ガラス体、３は平面ガラス
体、４はガラスステム、６ａ、６ｂはカーボンヒータで
ある。 代理人　弁理士　石　１）長　七 と子」 べ　べ　、＼ ｔさｌＩ′を慧 東緊 属目や 手続補正書く自発） 平成１年５月２日 い、２ニ２．、）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガラス封着体の封着部位の外形状に併せて形成し
   たヒータを用いてガラス封着体の必要な封着部位を加熱
   溶融して封着することを特徴とするガラス封着体の製造
   方法。