JPH0224371U - - Google Patents

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JPH0224371U
JPH0224371U JP10285188U JP10285188U JPH0224371U JP H0224371 U JPH0224371 U JP H0224371U JP 10285188 U JP10285188 U JP 10285188U JP 10285188 U JP10285188 U JP 10285188U JP H0224371 U JPH0224371 U JP H0224371U
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JP
Japan
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dimensional sensor
axis
straight edge
resolution
detected
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Pending
Application number
JP10285188U
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Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は従来の一例を示す斜視図である。 １…移動テーブル、２…一次元センサ群、３…
ＸＹＺθ軸ステージ群、４…Ｘ軸ステージ、５…
Ｙ軸ステージ、６…θ軸ステージ、７…Ｚ軸ステ
ージ、８…高周波点灯蛍光灯、９…ストレートエ
ツジ、１０…分解能設定治具、１１…駆動モータ
群、１２…制御モータ、１３…一次元センサ分解
能コントローラ、１４…一次元センサ分解能設定
部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. テーブル上にストレートエツジを有し前記スト
    レートエツジの長手軸方向に対して直角方向（Ｙ
    軸方向と呼ぶ）に移動する移動テーブルと、前記
    ストレートエツジの上方に位置しかつ等間隔を有
    して配置した複数の一次元センサ群と、前記一次
    元センサ群を各々保持しＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びθ
    軸の３軸方向にＸ軸用、Ｙ軸用、Ｚ軸用、及びθ
    軸用の駆動モータ群により駆動するＸＹＺθ軸ス
    テージ群と、前記一次元センサ群の真下でテーブ
    ルの下側に設けて前記一次元センサ群の検査範囲
    分の発光長を有する高周波点灯蛍光灯と、一次元
    センサの分解能を設定する一次元センサ分解能設
    定部と、一次元センサ各々の入力信号による一次
    元センサの中心と前記ストレートエツジとのＹ軸
    方向の検出したずれ量を補正し一次元センサと前
    記ストレートエツジの平行度を補正し一次元セン
    サ各々の分解能が一次元センサ分解能設定部で設
    定した値になるように一次元センサ各々のＺ軸、
    Ｘ軸方向の移動量を移動テーブル上に固定した分
    解能設定治具を用いて一次元センサ各々からの入
    力信号により検出し検出した移動量を補正するた
    めに発生したパルス列でＺ軸、Ｘ軸用の駆動モー
    タを駆動して検出した移動量を補正する一次元セ
    ンサ分解能コントローラとを含むことを特徴とす
    るスルーホール検査装置。
JP10285188U 1988-08-02 1988-08-02 Pending JPH0224371U (ja)

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JP10285188U JPH0224371U (ja) 1988-08-02 1988-08-02

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JP10285188U JPH0224371U (ja) 1988-08-02 1988-08-02

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JPH0224371U true JPH0224371U (ja) 1990-02-19

Family

ID=31333142

Family Applications (1)

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JP10285188U Pending JPH0224371U (ja) 1988-08-02 1988-08-02

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