JPH0224464B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0224464B2 JPH0224464B2 JP58004016A JP401683A JPH0224464B2 JP H0224464 B2 JPH0224464 B2 JP H0224464B2 JP 58004016 A JP58004016 A JP 58004016A JP 401683 A JP401683 A JP 401683A JP H0224464 B2 JPH0224464 B2 JP H0224464B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- surfactant
- moisture
- porous ceramic
- elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は感湿素子に関し、さらに詳しくは、多
孔質セラミツクに導電性化合物を含浸せしめてな
る、経時変化が少なくしかも量産性に優れた感湿
素子に関する。
孔質セラミツクに導電性化合物を含浸せしめてな
る、経時変化が少なくしかも量産性に優れた感湿
素子に関する。
従来技術とその問題点
感湿素子は、生活環境の空気調節をはじめとし
て、電子レンジなどの家庭用電化製品、農林蓄産
業あるいは医療関係などの広い分野に用いられて
いる。このような感湿素子としては、塩化リチウ
ムとポリビニルアルコールなどの感湿材料を用い
た電解質系、酢酸ブチルセルローズなどの感湿材
料を用いた有機材料系、MgCr2O4系セラミツク
などの感湿材料を用いた金属酸化物系が主として
使用されてきた。
て、電子レンジなどの家庭用電化製品、農林蓄産
業あるいは医療関係などの広い分野に用いられて
いる。このような感湿素子としては、塩化リチウ
ムとポリビニルアルコールなどの感湿材料を用い
た電解質系、酢酸ブチルセルローズなどの感湿材
料を用いた有機材料系、MgCr2O4系セラミツク
などの感湿材料を用いた金属酸化物系が主として
使用されてきた。
これらのうち、塩化リチウムを含むポリビニル
アセテート膜を感湿材料として用いたDunmore
型感湿素子は、中間湿度領域用の感湿センサーと
して精度も良好で経時変化も少なく優れている
が、相対湿度30〜90％の間の湿度を測定するのに
５個もの素子が必要であること、ならびに量産性
が低いという欠点がある。
アセテート膜を感湿材料として用いたDunmore
型感湿素子は、中間湿度領域用の感湿センサーと
して精度も良好で経時変化も少なく優れている
が、相対湿度30〜90％の間の湿度を測定するのに
５個もの素子が必要であること、ならびに量産性
が低いという欠点がある。
一方、多孔質セラミツクなどの多孔質基板に、
塩化リチウムを含浸させた感湿素子も比較的広く
用いられたが、高温多湿条件下で長期間にわたつ
て使用すると湿度特性が大きく変化し、また潮解
現象による塩の溶出が認められ、さらには湿度応
答速度が遅いという欠点があつた。しかもこの感
湿素子は製造上ばらつきが大きいため歩留りが悪
く、大量生産には適さないという問題があつた。
塩化リチウムを含浸させた感湿素子も比較的広く
用いられたが、高温多湿条件下で長期間にわたつ
て使用すると湿度特性が大きく変化し、また潮解
現象による塩の溶出が認められ、さらには湿度応
答速度が遅いという欠点があつた。しかもこの感
湿素子は製造上ばらつきが大きいため歩留りが悪
く、大量生産には適さないという問題があつた。
また、Cr2O3系、Mn3O4−TiO2系、Si−Na2O
−V2O5系などの金属酸化物系感湿素子も比較的
広く使用されているが、これらの素子にはそれぞ
れ一長一短があり、素子の湿度特性、再現性、安
定性、寿命あるいは量産性などの点に多くの問題
点が残こされているのが現状である。
−V2O5系などの金属酸化物系感湿素子も比較的
広く使用されているが、これらの素子にはそれぞ
れ一長一短があり、素子の湿度特性、再現性、安
定性、寿命あるいは量産性などの点に多くの問題
点が残こされているのが現状である。
本発明者らは、湿度特性ならびに熱的安定性な
どの面に優れているセラミツク系感湿素子に関し
て研究を進め、その過程において、多孔質セラミ
ツクに塩化リチウム、酢酸カリウムなどの吸湿性
水溶液を含浸せしめてなる感湿素子を調製して湿
度センサーとしての特性を検討した。その結果、
これらの感湿素子は、湿度33％の雰囲気中に長期
間放置すると電気抵抗値が上昇したり、あるいは
低湿、高湿の両雰囲気に交互に晒した場合に相対
湿度30％値が大きく変化することが認められた。
このような電気抵抗値の変化する原因を究明すべ
く検討した結果、感湿素子中に存在する塩化リチ
ウムなどの塩の分布状態が一定湿度内に保持され
ているにもかかわらず変化していることに起因し
ていることが見出された。そこで本発明者らは、
これらの問題を解決すべく研究したところ、ある
種の界面活性剤を用いて多孔質セラミツク担体と
の「ぬれ性」を改善することによりこれらの問題
が解決されることが見出された。またさらに研究
を進めたところ、全く驚くべきことに、多孔質セ
ラミツク担体に塩化リチウム、酢酸カリなどを含
浸させずに単に界面活性剤を含浸させて得られた
ものが、感湿素子として極めて優れたものである
ことを見出して本発明を完成した。
どの面に優れているセラミツク系感湿素子に関し
て研究を進め、その過程において、多孔質セラミ
ツクに塩化リチウム、酢酸カリウムなどの吸湿性
水溶液を含浸せしめてなる感湿素子を調製して湿
度センサーとしての特性を検討した。その結果、
これらの感湿素子は、湿度33％の雰囲気中に長期
間放置すると電気抵抗値が上昇したり、あるいは
低湿、高湿の両雰囲気に交互に晒した場合に相対
湿度30％値が大きく変化することが認められた。
このような電気抵抗値の変化する原因を究明すべ
く検討した結果、感湿素子中に存在する塩化リチ
ウムなどの塩の分布状態が一定湿度内に保持され
ているにもかかわらず変化していることに起因し
ていることが見出された。そこで本発明者らは、
これらの問題を解決すべく研究したところ、ある
種の界面活性剤を用いて多孔質セラミツク担体と
の「ぬれ性」を改善することによりこれらの問題
が解決されることが見出された。またさらに研究
を進めたところ、全く驚くべきことに、多孔質セ
ラミツク担体に塩化リチウム、酢酸カリなどを含
浸させずに単に界面活性剤を含浸させて得られた
ものが、感湿素子として極めて優れたものである
ことを見出して本発明を完成した。
発明の目的
したがつて、本発明は従来技術の有する欠点を
一挙に解決しようとするものであり、素子の湿度
特性にばらつきがなく再現性および安定性に優
れ、かつ高温多湿条件下において使用しても経時
変化がほとんどなく、しかも量産性を備えた中間
湿度領域用の感湿素子を提供することを目的とし
ている。
一挙に解決しようとするものであり、素子の湿度
特性にばらつきがなく再現性および安定性に優
れ、かつ高温多湿条件下において使用しても経時
変化がほとんどなく、しかも量産性を備えた中間
湿度領域用の感湿素子を提供することを目的とし
ている。
発明の概要
本発明による感湿素子は、電極を付した多孔質
セラミツクに、30％水溶液の20℃の比抵抗が150
Ωcm以下であるイオン性界面活性剤を含浸せしめ
てなることを特徴としている。この感湿素子は、
必要に応じて、塩化リチウム、酢酸カリウム、硫
酸ナトリウムなどの電解質を含有してもよい。又
上記イオン性界面活性剤には非イオン性界面活性
剤を混合せしめてもよい。
セラミツクに、30％水溶液の20℃の比抵抗が150
Ωcm以下であるイオン性界面活性剤を含浸せしめ
てなることを特徴としている。この感湿素子は、
必要に応じて、塩化リチウム、酢酸カリウム、硫
酸ナトリウムなどの電解質を含有してもよい。又
上記イオン性界面活性剤には非イオン性界面活性
剤を混合せしめてもよい。
発明の具体的説明
本発明において用いられるセラミツクは、多孔
性であつてある程度の気孔率を有するとともにあ
る程度の物理的強度を有することが望ましい。こ
のような多孔質セラミツクとしては、たとえば、
特公昭51−42745号公報に開示された炭化珪素粉
末と水溶性アルカリ金属を多量には含まないガラ
スとを焼結して得られたものを用いることができ
る。もちろん他の多孔質セラミツクあるいは多孔
質金属酸化物膜を用いることもでき、たとえば、
Fe3O4コロイド、Cr2O3系、Fe2O3、Al2O3、
ZnO、CoO、Mn3O4−TiO2、Ni2O3、ZnO−
Li2O−V2O5系、CuO−Cu2O−Fe2O3、MgCr2O4
系、ZnCr2O4系、コランダム−ガラスなどが挙げ
られる。
性であつてある程度の気孔率を有するとともにあ
る程度の物理的強度を有することが望ましい。こ
のような多孔質セラミツクとしては、たとえば、
特公昭51−42745号公報に開示された炭化珪素粉
末と水溶性アルカリ金属を多量には含まないガラ
スとを焼結して得られたものを用いることができ
る。もちろん他の多孔質セラミツクあるいは多孔
質金属酸化物膜を用いることもでき、たとえば、
Fe3O4コロイド、Cr2O3系、Fe2O3、Al2O3、
ZnO、CoO、Mn3O4−TiO2、Ni2O3、ZnO−
Li2O−V2O5系、CuO−Cu2O−Fe2O3、MgCr2O4
系、ZnCr2O4系、コランダム−ガラスなどが挙げ
られる。
なお、耐火物粉とガラスとを組合せて感湿素子
を製造する場合には、アルカリを含まないガラス
またはアルカリを含んでいても水溶性アルカリ含
量の極めて少ないガラスを用いることが望まし
い。これは、高湿度領域で感湿素子を使用する際
に、ガラスからアルカリが溶出することがあり、
このアルカリが感湿素子の特性を著しく損うため
である。また、耐火物粉とガラスとの組合せを決
定するにあたつては、両者の熱膨張係数の間に大
きな差異がないように選択することが必要であ
る。
を製造する場合には、アルカリを含まないガラス
またはアルカリを含んでいても水溶性アルカリ含
量の極めて少ないガラスを用いることが望まし
い。これは、高湿度領域で感湿素子を使用する際
に、ガラスからアルカリが溶出することがあり、
このアルカリが感湿素子の特性を著しく損うため
である。また、耐火物粉とガラスとの組合せを決
定するにあたつては、両者の熱膨張係数の間に大
きな差異がないように選択することが必要であ
る。
本発明に用いられるイオン性界面活性剤は、(i)
カチオン性界面活性剤、(ii)アニオン性界面活性
剤、(iii)両性界面活性剤または(iv)これらの混合物あ
るいは(v)前記(i)，(ii)，(iii)，(iv)の界面活性剤と
非イ
オン性界面活性剤との混合物である。そしてこの
界面活性剤は、30％水溶液の比抵抗が20℃で測定
して150Ωcm以下好ましくは100Ωcm以下であるこ
とが望ましい。界面活性剤の比抵抗が150Ωcmを
越えると、湿度測定時の抵抗値が大きくなりす
ぎ、種々の不都合が生ずるため好ましくない。
カチオン性界面活性剤、(ii)アニオン性界面活性
剤、(iii)両性界面活性剤または(iv)これらの混合物あ
るいは(v)前記(i)，(ii)，(iii)，(iv)の界面活性剤と
非イ
オン性界面活性剤との混合物である。そしてこの
界面活性剤は、30％水溶液の比抵抗が20℃で測定
して150Ωcm以下好ましくは100Ωcm以下であるこ
とが望ましい。界面活性剤の比抵抗が150Ωcmを
越えると、湿度測定時の抵抗値が大きくなりす
ぎ、種々の不都合が生ずるため好ましくない。
また、イオン性界面活性剤は多孔質セラミツク
に含浸されて使用される状況下で液状であること
が望ましい。しかしながら上記の状況下で単独で
は半固体あるいは固体となる界面活性剤であつて
も、このイオン性界面活性剤にたとえば非イオン
界面活性剤などの他の界面活性剤を混ぜて使用す
ることによつて、界面活性剤の半固体化あるいは
固体化が防止される。多孔質セラミツクに含浸さ
れた界面活性剤が、使用状況下で半固体化あるい
は固体化すると、感湿素子としての抵抗値の上昇
および湿度応答性の劣化が招来されるため好まし
くない。
に含浸されて使用される状況下で液状であること
が望ましい。しかしながら上記の状況下で単独で
は半固体あるいは固体となる界面活性剤であつて
も、このイオン性界面活性剤にたとえば非イオン
界面活性剤などの他の界面活性剤を混ぜて使用す
ることによつて、界面活性剤の半固体化あるいは
固体化が防止される。多孔質セラミツクに含浸さ
れた界面活性剤が、使用状況下で半固体化あるい
は固体化すると、感湿素子としての抵抗値の上昇
および湿度応答性の劣化が招来されるため好まし
くない。
このようなイオン性界面活性剤としては、具体
的に一例として以下のようなものが挙げられる。
的に一例として以下のようなものが挙げられる。
(1) カチオン性界面活性剤
イ 第１〜第３級脂肪アミン塩
RNH2HX、R1R2NHHX、R1R2R3NHX
ロ 第４級アンモニウム塩
たとえばアルキルトリメチルアンモニウムク
ロリド〔RN（CH3）3〕Cl ハ トリアルキルベンジルアンモニウム塩 たとえばアルキルジメチルアンモニウムクロ
リド ニ アルキルピリジニウム塩 ホ ２−アルキル−１−アルキル−１−ヒドロキ
シエチルイミダゾリニウム塩 ヘ Ｎ，Ｎ−ジアルキルモルホリニウム塩 (2) アニオン性界面活性剤 イ アルキルベンゼンスルホン酸塩 ロ アルキルナフタレンスルホン酸塩 ハ アルキルスルホン酸塩 （Ｒ−SO3）nMm ニ α−スルホン化脂肪酸塩 ホ アルキル硫酸塩 （ROSO3）nMm ヘ ポリオキシエチレンアルキルフエニルエーテ
ル硫酸塩 ト ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩 〔RO（CH2CH2O）nSO3〕nMm チ アルキル燐酸塩 (3) 両性イオン界面活性剤 イ Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−アルキル−Ｎ−カル
ボキシメチルアンモニウムベタイン ロ Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノアルキレンカルボ
ン酸 ハ Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリアルキル−Ｎ−スルホンア
ルキレンアンモニウムベタイン ニ ２−アルキル−１−ヒドロキシエチル−１−
カルボキシメチルイミダゾニウムベタイン また、上記界面活性剤が使用状況下で半固体あ
るいは固体状を呈する場合あるいは半固体あるい
は固体状を呈さなくとも感湿素子としての湿度特
性を改善するために、上記イオン性界面活性剤と
ともに、以下に示す非イオン界面活性剤を用いる
こともできる。
ロリド〔RN（CH3）3〕Cl ハ トリアルキルベンジルアンモニウム塩 たとえばアルキルジメチルアンモニウムクロ
リド ニ アルキルピリジニウム塩 ホ ２−アルキル−１−アルキル−１−ヒドロキ
シエチルイミダゾリニウム塩 ヘ Ｎ，Ｎ−ジアルキルモルホリニウム塩 (2) アニオン性界面活性剤 イ アルキルベンゼンスルホン酸塩 ロ アルキルナフタレンスルホン酸塩 ハ アルキルスルホン酸塩 （Ｒ−SO3）nMm ニ α−スルホン化脂肪酸塩 ホ アルキル硫酸塩 （ROSO3）nMm ヘ ポリオキシエチレンアルキルフエニルエーテ
ル硫酸塩 ト ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩 〔RO（CH2CH2O）nSO3〕nMm チ アルキル燐酸塩 (3) 両性イオン界面活性剤 イ Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−アルキル−Ｎ−カル
ボキシメチルアンモニウムベタイン ロ Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノアルキレンカルボ
ン酸 ハ Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリアルキル−Ｎ−スルホンア
ルキレンアンモニウムベタイン ニ ２−アルキル−１−ヒドロキシエチル−１−
カルボキシメチルイミダゾニウムベタイン また、上記界面活性剤が使用状況下で半固体あ
るいは固体状を呈する場合あるいは半固体あるい
は固体状を呈さなくとも感湿素子としての湿度特
性を改善するために、上記イオン性界面活性剤と
ともに、以下に示す非イオン界面活性剤を用いる
こともできる。
イ ポリオキシエチレンアルキルエーテル
RO（CH2CH2O）nH
ロ ポリオキシエチレンアルキルフエニルエーテ
ル ハ ポリオキシエチレンポリスチリルフエニルエ
ーテル ニ ポリオキシエチレンポリオキシプロピレング
リコール ホ 多価アルコール脂肪酸部分エステル たとえばシユガーエステル ヘ ポリオキシエチレン多価アルコール脂肪酸部
分エステル たとえばトウイーン ト ポリオキシエチレン脂肪酸エステル RCOO（CH2CH2O）nH チ ポリオキシエチレンアルキルアミン 本発明においては、上記のような界面活性剤を
多孔質セラミツクに含浸させているが、必要に応
じて、塩化リチウム、酢酸カリウム、硫酸ナトリ
ウムなどの電解質を、多孔質セラミツクにさらに
含浸させてもよい。
ル ハ ポリオキシエチレンポリスチリルフエニルエ
ーテル ニ ポリオキシエチレンポリオキシプロピレング
リコール ホ 多価アルコール脂肪酸部分エステル たとえばシユガーエステル ヘ ポリオキシエチレン多価アルコール脂肪酸部
分エステル たとえばトウイーン ト ポリオキシエチレン脂肪酸エステル RCOO（CH2CH2O）nH チ ポリオキシエチレンアルキルアミン 本発明においては、上記のような界面活性剤を
多孔質セラミツクに含浸させているが、必要に応
じて、塩化リチウム、酢酸カリウム、硫酸ナトリ
ウムなどの電解質を、多孔質セラミツクにさらに
含浸させてもよい。
多孔質セラミツクに付される電極としては、セ
ラミツクと熱膨張係数に大きな差がなくまたセラ
ミツクとの接着性のよいものが好ましい。このよ
うな電極としては酸化ルテニウム、酸化インジウ
ム、金、パラジウム、白金またはこれらの合金あ
るいはこれらの合金の微粉末を含む硝子ペースト
などが挙げられる。
ラミツクと熱膨張係数に大きな差がなくまたセラ
ミツクとの接着性のよいものが好ましい。このよ
うな電極としては酸化ルテニウム、酸化インジウ
ム、金、パラジウム、白金またはこれらの合金あ
るいはこれらの合金の微粉末を含む硝子ペースト
などが挙げられる。
多孔質セラミツクに上記のような界面活性剤を
含浸させるには、たとえば多孔質セラミツク上に
一定量の界面活性剤水溶液を滴下する方法、ある
いは多孔質セラミツクを界面活性剤水溶液中に含
漬する方法などによることができる。
含浸させるには、たとえば多孔質セラミツク上に
一定量の界面活性剤水溶液を滴下する方法、ある
いは多孔質セラミツクを界面活性剤水溶液中に含
漬する方法などによることができる。
本発明による感湿素子は、第４図に示すよう
に、絶縁基板１上に、たとえばくし型電極などの
電極２を形成した後、この上に金属酸化物膜など
の多孔質セラミツク膜３を設け、次いでこの多孔
質セラミツク３に界面活性剤を含浸させることに
より製造される。あるいはまた、第５図に示すよ
うに、多孔質セラミツク板４の両面に多孔質金属
電極５を設け、次いで前記多孔質セラミツク板４
に界面活性剤を含浸させることによつても製造さ
れる。
に、絶縁基板１上に、たとえばくし型電極などの
電極２を形成した後、この上に金属酸化物膜など
の多孔質セラミツク膜３を設け、次いでこの多孔
質セラミツク３に界面活性剤を含浸させることに
より製造される。あるいはまた、第５図に示すよ
うに、多孔質セラミツク板４の両面に多孔質金属
電極５を設け、次いで前記多孔質セラミツク板４
に界面活性剤を含浸させることによつても製造さ
れる。
発明の効果
本発明による感湿素子は、多孔質セラミツクに
イオン性界面活性剤を含浸させて構成されている
ので、そのイオン性界面活性剤自体をいわば感湿
剤として利用し、そのイオン導電性をそのまま利
用できるとともに、それと多孔質セラミツク担体
とのぬれ性を改善できるため、素子の湿度特性の
ばらつきが少なく安定性ならびに再現性に優れ、
しかも高温条件下で使用しても経時変化がほとん
ど認められないという優れた性質を有している。
更にここに用いるイオン性界面活性剤は30％の水
溶液の20℃の比抵抗が150Ωcm以下であるので、
湿度測定時の抵抗値が適度の大きさとなり、不都
合が生ずることがない。
イオン性界面活性剤を含浸させて構成されている
ので、そのイオン性界面活性剤自体をいわば感湿
剤として利用し、そのイオン導電性をそのまま利
用できるとともに、それと多孔質セラミツク担体
とのぬれ性を改善できるため、素子の湿度特性の
ばらつきが少なく安定性ならびに再現性に優れ、
しかも高温条件下で使用しても経時変化がほとん
ど認められないという優れた性質を有している。
更にここに用いるイオン性界面活性剤は30％の水
溶液の20℃の比抵抗が150Ωcm以下であるので、
湿度測定時の抵抗値が適度の大きさとなり、不都
合が生ずることがない。
以下本発明をさらに実施例により説明するが、
本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
例 １
炭化珪素微粉（平均粒径2.5μ）70gとホウケイ
酸亜鉛ガラス（SiO210〜11％、B2O320〜25％、
ZnO50〜60％、PbO7％、K2O、Na2O、
Li2O50ppm以下）30gとをよく混合し、円板状に
プレス成形した。これを750℃で焼成し、さらに
この両面に酸化ルテニウムと上記ガラス粉とを混
合して得たペーストを印刷し、これに白金線を付
して700℃で焼結した。このようにして電極付の
多孔質セラミツクを調製した。
酸亜鉛ガラス（SiO210〜11％、B2O320〜25％、
ZnO50〜60％、PbO7％、K2O、Na2O、
Li2O50ppm以下）30gとをよく混合し、円板状に
プレス成形した。これを750℃で焼成し、さらに
この両面に酸化ルテニウムと上記ガラス粉とを混
合して得たペーストを印刷し、これに白金線を付
して700℃で焼結した。このようにして電極付の
多孔質セラミツクを調製した。
次に、ヤシアルキルジメチルベンジルアンモニ
ウムクロライドおよびＮ，Ｎ−ジポリオキシエチ
レンドデシルアミンをそれぞれ９％含む水溶液
に、多孔質セラミツクを浸し、約５時間後に取出
して表面の液滴を除去して室温で乾燥した。
ウムクロライドおよびＮ，Ｎ−ジポリオキシエチ
レンドデシルアミンをそれぞれ９％含む水溶液
に、多孔質セラミツクを浸し、約５時間後に取出
して表面の液滴を除去して室温で乾燥した。
このようにして製造された感湿素子100個につ
いて、湿度−電気抵抗特性を測定し、その結果を
第１図に示す。第１図において、曲線ａは素子
100個中の最高抵抗値を示しており、曲線ｂは素
子100個中の最低抵抗値を示している。第１図か
ら明らかなように、本発明による感湿素子は湿度
特性のばらつきが極めて小さい。
いて、湿度−電気抵抗特性を測定し、その結果を
第１図に示す。第１図において、曲線ａは素子
100個中の最高抵抗値を示しており、曲線ｂは素
子100個中の最低抵抗値を示している。第１図か
ら明らかなように、本発明による感湿素子は湿度
特性のばらつきが極めて小さい。
また、このようにして製造された感湿素子をそ
れぞれ相対湿度33％および相対湿度93％の雰囲気
中に長期間放置しても、感湿素子の湿度特性に変
化は認められず、安定性ならびに再現性の優れて
いることが証明された。
れぞれ相対湿度33％および相対湿度93％の雰囲気
中に長期間放置しても、感湿素子の湿度特性に変
化は認められず、安定性ならびに再現性の優れて
いることが証明された。
例 ２
例１と同様にして製造された多孔質セラミツク
を、ポリオキシエチレンドデシルエーテル硫酸ナ
トリウムおよびポリオキシエチレンソルビタンモ
ノラウレートをそれぞれ4.8％ずつ含む水溶液に
浸し、約５時間後に取出し、表面の液滴を除去し
て室温で乾燥した。
を、ポリオキシエチレンドデシルエーテル硫酸ナ
トリウムおよびポリオキシエチレンソルビタンモ
ノラウレートをそれぞれ4.8％ずつ含む水溶液に
浸し、約５時間後に取出し、表面の液滴を除去し
て室温で乾燥した。
このようにして製造された感湿素子100個につ
いて、湿度−電気抵抗特性を測定し、その結果を
第２図に示す。第２図において、曲線ａは素子
100個中の最高抵抗値を示しており、曲線ｂは素
子100個中の最低抵抗値を示している。第２図か
ら明らかなように、本発明による感湿素子は湿度
特性のばらつきが極めて小さい。
いて、湿度−電気抵抗特性を測定し、その結果を
第２図に示す。第２図において、曲線ａは素子
100個中の最高抵抗値を示しており、曲線ｂは素
子100個中の最低抵抗値を示している。第２図か
ら明らかなように、本発明による感湿素子は湿度
特性のばらつきが極めて小さい。
また、このようにして製造された感湿素子を低
湿ならびに高湿雰囲気下に長期間放置しても、感
湿素子の湿度特性に変化は認められず、安定性な
らびに再現性の優れていることが証明された。
湿ならびに高湿雰囲気下に長期間放置しても、感
湿素子の湿度特性に変化は認められず、安定性な
らびに再現性の優れていることが証明された。
比較例 １
例１と同様にして製造された多孔質セラミツク
を、塩化リチウムの0.02％水溶液に浸し、約５時
間後に取出し、表面の液滴を除去して室温で乾燥
した。
を、塩化リチウムの0.02％水溶液に浸し、約５時
間後に取出し、表面の液滴を除去して室温で乾燥
した。
このようにして製造された感湿素子の湿度電気
抵抗特性を測定し、その結果を第３図に示す。第
３図において、曲線ａは製造直後の値であり、曲
線ｂは相対湿度33％の雰囲気中に１週間放置した
場合の値であり、曲線ｃはさらに１週間相対湿度
33％の雰囲気中に対置した場合の値である。
抵抗特性を測定し、その結果を第３図に示す。第
３図において、曲線ａは製造直後の値であり、曲
線ｂは相対湿度33％の雰囲気中に１週間放置した
場合の値であり、曲線ｃはさらに１週間相対湿度
33％の雰囲気中に対置した場合の値である。
第３図からわかるように、この感湿素子はその
湿度特性が安定せず、再現性のないものである。
湿度特性が安定せず、再現性のないものである。
第１図および第２図は、本発明に係る感湿素子
の湿度特性を示すグラフであり、第３図は比較例
の感湿素子の湿度特性を示すグラフである。ま
た、第４図は本発明に係る感湿素子の斜視図であ
り、第５図は本発明に係る別の感湿素子の断面図
である。
の湿度特性を示すグラフであり、第３図は比較例
の感湿素子の湿度特性を示すグラフである。ま
た、第４図は本発明に係る感湿素子の斜視図であ
り、第５図は本発明に係る別の感湿素子の断面図
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電極を付した多孔質セラミツクに、30％水溶
液の20℃の比抵抗が150Ωcm以下であるイオン性
界面活性剤を含浸せしめてなる感湿素子。 ２ 前記イオン性界面活性剤が、(i)カチオン性界
面活性剤、(ii)アニオン性界面活性剤、(iii)両性界面
活性剤または(iv)これらの混合物、あるいは(v)前記
(i)，(ii)，(iii)又は(iv)のイオン性界面活性剤と非イ
オ
ン性界面活性剤との混合物であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の感湿素子。 ３ 前記比抵抗が100Ωcmであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004016A JPS59128440A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58004016A JPS59128440A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128440A JPS59128440A (ja) | 1984-07-24 |
| JPH0224464B2 true JPH0224464B2 (ja) | 1990-05-29 |
Family
ID=11573168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58004016A Granted JPS59128440A (ja) | 1983-01-13 | 1983-01-13 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59128440A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6146457Y2 (ja) * | 1979-05-04 | 1986-12-27 | ||
| JPS57196143A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-02 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | Humidity-sensitive element |
-
1983
- 1983-01-13 JP JP58004016A patent/JPS59128440A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59128440A (ja) | 1984-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4656455A (en) | Humidity-sensing element | |
| CA1044915A (en) | Humidity sensor with negative coefficient of resistivity for relative humidity | |
| US3929609A (en) | Method and apparatus using solid sensor electrode | |
| JPH0224464B2 (ja) | ||
| Diekmann et al. | Disposable reference electrode | |
| JPS589056A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| US3721631A (en) | Humidity sensors comprising alkalimetal oxide,divanadium pentoxide and silicon | |
| JPH027162B2 (ja) | ||
| JPH0548921B2 (ja) | ||
| JP2677991B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6131352A (ja) | 感湿素子の後処理方法 | |
| JPS6123791Y2 (ja) | ||
| JPS58212101A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS589055A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPS6318841B2 (ja) | ||
| JPS6139502A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6355766B2 (ja) | ||
| JPS632464B2 (ja) | ||
| JPH05196591A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0161175B2 (ja) | ||
| JPH0824082B2 (ja) | 感湿組成物 | |
| JPH05249065A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0570785B2 (ja) | ||
| JPS5967601A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH05119009A (ja) | 湿度センサ |