JPH02248084A - 振動加速度センサ - Google Patents
振動加速度センサInfo
- Publication number
- JPH02248084A JPH02248084A JP1069620A JP6962089A JPH02248084A JP H02248084 A JPH02248084 A JP H02248084A JP 1069620 A JP1069620 A JP 1069620A JP 6962089 A JP6962089 A JP 6962089A JP H02248084 A JPH02248084 A JP H02248084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- vibration mode
- acceleration
- acceleration sensor
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、圧電材料の電気機械変換特性を利用し、物体
の振動やそれによって生ずる加速度を検出する振動加速
度センサに関するものである。
の振動やそれによって生ずる加速度を検出する振動加速
度センサに関するものである。
従来の技術
従来、振動物体の固有振動数に共振周波数を合わせて特
定周波数成分のみを検出したり、あるいは所定周波数領
域の振動成分を検出し、低周波における感度向上をはか
ったりするものとして屈曲振動モードを利用した片持ち
染型構造の舌片状の屈曲振動モード振動子が広く知られ
ている。この構造の振動加速度センサの場合、振動子の
一端固定という固定条件の実現が難しいが、特開昭５９
−７０９２３号公報に示されているものでは、圧電素子
中に切り込みを設けて舌片状の屈曲振動モード振動子を
形成し、その周囲の圧電素子部分を固定支持することに
より、固定条件の安定化を図っている。
定周波数成分のみを検出したり、あるいは所定周波数領
域の振動成分を検出し、低周波における感度向上をはか
ったりするものとして屈曲振動モードを利用した片持ち
染型構造の舌片状の屈曲振動モード振動子が広く知られ
ている。この構造の振動加速度センサの場合、振動子の
一端固定という固定条件の実現が難しいが、特開昭５９
−７０９２３号公報に示されているものでは、圧電素子
中に切り込みを設けて舌片状の屈曲振動モード振動子を
形成し、その周囲の圧電素子部分を固定支持することに
より、固定条件の安定化を図っている。
発明が解決しようとする課題
このような従来の圧電型振動加速度センサでは、この振
動加速度センサを被振動検出物体に設置する迄の取り扱
い工程において、衝突や落下等において発生する異常な
衝撃加速度を受けた場合、屈曲振動モード振動子が大き
く振れて折れてしまうという課題を有していた。
動加速度センサを被振動検出物体に設置する迄の取り扱
い工程において、衝突や落下等において発生する異常な
衝撃加速度を受けた場合、屈曲振動モード振動子が大き
く振れて折れてしまうという課題を有していた。
そこで、本発明は衝突や落下等において発生する異常な
衝撃加速度が加わった場合においても損傷がおきないよ
うにした振動加速度センサを提供す、ることを目的とす
るものである。
衝撃加速度が加わった場合においても損傷がおきないよ
うにした振動加速度センサを提供す、ることを目的とす
るものである。
課題を解決するための手段
そしてこの目的を達成するために本発明は、屈曲振動モ
ード振動子の周囲の貼合わせ圧電素子の上、下を挾持固
定する固定部材の内面の屈曲振動モード振動子変位当接
部分Ｋ、許容最大加速度で生じる屈曲振動モード振動子
の変位量と同等の深さを持つ凹部な設け、この凹部内に
衝撃加速度による異常変位を抑制する凸状の抑制部を設
けたものである。
ード振動子の周囲の貼合わせ圧電素子の上、下を挾持固
定する固定部材の内面の屈曲振動モード振動子変位当接
部分Ｋ、許容最大加速度で生じる屈曲振動モード振動子
の変位量と同等の深さを持つ凹部な設け、この凹部内に
衝撃加速度による異常変位を抑制する凸状の抑制部を設
けたものである。
作用
上記構成によれば、屈曲振動モード振動子の許容最大加
速度範囲での変位量の抑制は、この屈曲振動モード振動
子の変位量に合わせて設けた凹部に当接させることによ
り行い、衝突や落下等における衝撃加速度では許容最大
加速度範囲の変位量を越え、振動モート７が一次振動モ
ードに加え高次の振動モードが発生することが考えられ
るため、高次振動モードに同調させた最大変位部、すな
わち凹部内の凸状の抑制部に当接させることにより異常
変位の発生を抑制するとともに折れ等の損傷を防止する
ものである。
速度範囲での変位量の抑制は、この屈曲振動モード振動
子の変位量に合わせて設けた凹部に当接させることによ
り行い、衝突や落下等における衝撃加速度では許容最大
加速度範囲の変位量を越え、振動モート７が一次振動モ
ードに加え高次の振動モードが発生することが考えられ
るため、高次振動モードに同調させた最大変位部、すな
わち凹部内の凸状の抑制部に当接させることにより異常
変位の発生を抑制するとともに折れ等の損傷を防止する
ものである。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の振動加速度センサの一実施例を示す分
解斜視図、第２図、第３図は他の実施例を示す断面図で
ある。
解斜視図、第２図、第３図は他の実施例を示す断面図で
ある。
厚さ方向に分極軸を有し、上下面それぞれに対象形とな
る電極を形成した板状圧電素子１ａ、１ｂを貼合わせた
構造の貼合わせ圧電素子１に、レーザ加工等によって”
コ″の字状の切り溝２を形成し、切り溝２で囲まれた部
分は片持ち染型構造の舌片状の屈曲振動モード振動子３
を形成した。屈曲振動モード振動子３を形成した貼合わ
せ圧電素子１の、屈曲振動モード振動子３の周囲は、銅
やアルミニウム等の金属からなる固定部材４＆。
る電極を形成した板状圧電素子１ａ、１ｂを貼合わせた
構造の貼合わせ圧電素子１に、レーザ加工等によって”
コ″の字状の切り溝２を形成し、切り溝２で囲まれた部
分は片持ち染型構造の舌片状の屈曲振動モード振動子３
を形成した。屈曲振動モード振動子３を形成した貼合わ
せ圧電素子１の、屈曲振動モード振動子３の周囲は、銅
やアルミニウム等の金属からなる固定部材４＆。
４ｂで挾持固定されている。この固定部材４＆。
４ｂの屈曲振動モード振動子３の変位部分には凹部１４
１Ｌ 、 １４ｂが形成され、その内面には凸状の抑制
部１４０ 、１４（１が形成されている。この抑制部１
４０ 、１４ｅｉの表面は鏡面仕上げされ、また中心線
から外方にゆるく湾曲して低くなっている。このような
構成により、振動物体に振動加速度センサを設置後、ま
たは設置までの取り扱い工程において、許容最大加速度
範囲の変位は凹部１４＆ 、１４ｂの深さで、衝突、落
下等の振動加速度による異常変位の抑制は抑制部１４０
．１４ｄで行う。
１Ｌ 、 １４ｂが形成され、その内面には凸状の抑制
部１４０ 、１４（１が形成されている。この抑制部１
４０ 、１４ｅｉの表面は鏡面仕上げされ、また中心線
から外方にゆるく湾曲して低くなっている。このような
構成により、振動物体に振動加速度センサを設置後、ま
たは設置までの取り扱い工程において、許容最大加速度
範囲の変位は凹部１４＆ 、１４ｂの深さで、衝突、落
下等の振動加速度による異常変位の抑制は抑制部１４０
．１４ｄで行う。
他に、第２図（ム） 、 （Ｂ）に示す如く、固定部材
４１Ｌ。
４１Ｌ。
４ｂと貼合わせ圧電素子１を接着等による固定を行う場
合に可撓性部材６（例えば可撓性のエポキシ系接着剤、
シリコン系接着剤等）を介して挾持固定すれば衝撃加速
度を受けた場合に緩衝効果を得ることができる。また第
３図に示すように抑制部として緩衝部材ｅａ、ｓｂ（例
えばプラスチック等の軟質部材）を用い、衝撃加速度を
受けた屈曲振動モード振動子３の異常変位に対し緩衝効
果を発揮し、その折れを防止するようにすることもでき
る。
合に可撓性部材６（例えば可撓性のエポキシ系接着剤、
シリコン系接着剤等）を介して挾持固定すれば衝撃加速
度を受けた場合に緩衝効果を得ることができる。また第
３図に示すように抑制部として緩衝部材ｅａ、ｓｂ（例
えばプラスチック等の軟質部材）を用い、衝撃加速度を
受けた屈曲振動モード振動子３の異常変位に対し緩衝効
果を発揮し、その折れを防止するようにすることもでき
る。
発明の効果
以上のように本発明は屈曲振動モード振動子の周囲の貼
合わせ圧電素子の上、下を挾持固定する固定部材の内面
に、許容最大加速度で生じる屈曲振動モード振動子の変
位量と同等の深さを持つ凹部を設け、この凹部内に衝撃
加速度による異常変位を抑制する凸状の抑制部を設ける
ことにより、振動加速度センサの取り扱い工程中に発生
し得る衝突や落下等によって発生する衝撃加速度による
異常変位を緩衝して圧電素子の損傷を防止し、特性も安
定したものとすることができるものである。
合わせ圧電素子の上、下を挾持固定する固定部材の内面
に、許容最大加速度で生じる屈曲振動モード振動子の変
位量と同等の深さを持つ凹部を設け、この凹部内に衝撃
加速度による異常変位を抑制する凸状の抑制部を設ける
ことにより、振動加速度センサの取り扱い工程中に発生
し得る衝突や落下等によって発生する衝撃加速度による
異常変位を緩衝して圧電素子の損傷を防止し、特性も安
定したものとすることができるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す分解斜視図、第２図（
ム） 、 （Ｂ）及び第３図は本発明の他の実施例を示
す断面図である。 １・・・・・・貼合わせ圧電素子、１１Ｌ、１ｂ・・・
・・・板状圧電素子、２・・・・・・切り溝、３・・・
・・・屈曲振動モード振動子、４ａ 、 ４ｂ・・・・
・・固定部材、６・・・・・・可撓性部材、６１Ｌ 、
６ ｂ−・・−・緩衝部材、１４＆ 、 １４ｂ・・
・・・・凹部、１４Ｃ２１４ｄ・・・・・・抑制部。
ム） 、 （Ｂ）及び第３図は本発明の他の実施例を示
す断面図である。 １・・・・・・貼合わせ圧電素子、１１Ｌ、１ｂ・・・
・・・板状圧電素子、２・・・・・・切り溝、３・・・
・・・屈曲振動モード振動子、４ａ 、 ４ｂ・・・・
・・固定部材、６・・・・・・可撓性部材、６１Ｌ 、
６ ｂ−・・−・緩衝部材、１４＆ 、 １４ｂ・・
・・・・凹部、１４Ｃ２１４ｄ・・・・・・抑制部。
Claims (3)
- （１）厚さ方向に分極軸を有し、上，下面に電極を有す
る板状圧電素子を複数枚を貼合わせた構造の貼合わせ圧
電素子と、前記貼合わせ圧電素子内に切り溝を設けるこ
とにより形成された舌片状の屈曲振動モード振動子と、
前記屈曲振動モード振動子の周囲の貼合わせ圧電素子の
上，下を持持固定する固定部材とを備え、前記上，下の
固定部材の内面の、前記屈曲振動モード振動子の変位当
接部分には、許容最大加速度で生じる屈曲振動モード振
動子の変位量と同等の深さを持つ凹部を設け、この凹部
内には衝撃加速度による異常変位を抑制する凸状の抑制
部を設けたことを特徴とする振動加速度センサ。 - （２）屈曲振動モード振動子の周囲の貼合わせ圧電素子
の上，下面は可撓性部材を介して固定部材で挾持固定し
た特許請求の範囲第１項記載の振動加速度センサ。 - （３）抑制部を緩衝部材で構成した特許請求の範囲第１
項記載の振動加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069620A JPH02248084A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 振動加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069620A JPH02248084A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 振動加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02248084A true JPH02248084A (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=13408100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1069620A Pending JPH02248084A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 振動加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02248084A (ja) |
-
1989
- 1989-03-22 JP JP1069620A patent/JPH02248084A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0693690B1 (en) | Accelerometer and method of manufacture | |
| US3470400A (en) | Single beam force transducer with integral mounting isolation | |
| JP5305028B2 (ja) | 圧力センサー | |
| US8939027B2 (en) | Acceleration sensor | |
| US5003824A (en) | Vibration/acceleration sensor | |
| JPH0643179A (ja) | 加速度センサ及び該センサの製造方法 | |
| JPS5923258A (ja) | 弾性表面波加速度計 | |
| JPH02248084A (ja) | 振動加速度センサ | |
| KR100869438B1 (ko) | 각속도 센서 | |
| JP2008170203A (ja) | 加速度検知ユニット、及び加速度センサ | |
| JP4420038B2 (ja) | 応力感応素子 | |
| JP2000258165A (ja) | 角速度センサ | |
| US5109177A (en) | Damped cradle for saw device | |
| JPH116736A (ja) | 角速度センサ | |
| KR20140017477A (ko) | 광주사 장치 | |
| JPH02248866A (ja) | 加速度センサの梁構造 | |
| KR101566798B1 (ko) | 차분 진동형 가속도계 센서 칩 | |
| US4025879A (en) | Electromechanical reed filter | |
| JPS5970923A (ja) | 振動センサ | |
| JPS618630A (ja) | 振動センサ | |
| JPH0933560A (ja) | 圧電センサ | |
| JPH06242139A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JP2974531B2 (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JP3319986B2 (ja) | 発振器 | |
| JPS6033058A (ja) | 加速度センサ |