JPH0933560A - 圧電センサ - Google Patents

圧電センサ

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JPH0933560A
JPH0933560A JP18167595A JP18167595A JPH0933560A JP H0933560 A JPH0933560 A JP H0933560A JP 18167595 A JP18167595 A JP 18167595A JP 18167595 A JP18167595 A JP 18167595A JP H0933560 A JPH0933560 A JP H0933560A
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piezoelectric sensor
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Jiyun Tahoda
純 多保田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】プリント基板に対する実装時に要求される感度
軸の方向に応じて姿勢を変えるだけで対応できるように
しながら、どの姿勢でも座りがよくて安定性が高い圧電
センサの提供。 【解決手段】特定の感度軸を有する帯状の圧電素子2を
パッケージ3で囲んだ構成の圧電センサ1であって、パ
ッケージ3の外形が、直方体形状に形成されているとと
もに、その端面の縦横の寸法比がほぼ1:1に設定され
ており、少なくとも前記端面に圧電素子2の外部引出電
極4が形成されている。これにより、プリント基板に対
する実装時に、パッケージ3の四面のうちのどの面を上
向きにしても、圧電センサ1の姿勢は常にほぼ同じとな
り、いずれの場合も座りが安定することになる。また、
圧電センサ1の姿勢によって感度軸の方向が特定され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば加速度また
は振動などを検出する圧電センサに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電センサのうち、加速度を検出する加
速度センサでは、プリント基板に対する実装形態とし
て、加速度センサの感度軸をプリント基板に対して、ほ
ぼ平行に設定する場合と、ほぼ垂直に設定する場合とが
ある。
【0003】通常、加速度センサは、プリント基板に対
して半田などにより固定されるが、半田付け処理時にお
いて加速度センサが倒れるなどして、姿勢が変わると、
加速度センサの感度軸の方向が狂うことになるので、半
田付け処理時に加速度センサの姿勢の崩れを防止する必
要がある。
【0004】このような理由から、加速度センサの外形
を偏平な直方体形状に形成し、加速度センサの実装時の
姿勢はその長方形の端面を横長とする状態にしている。
ちなみに、従来の加速度センサの端面の縦横の寸法比
は、一般的に、ほぼ0.5〜0.7:1に設定されてい
る。
【0005】そして、従来では、加速度センサについ
て、外形を偏平な直方体形状にしながら、その感度軸の
方向別に構造の異なる二種類のものを製作している。つ
まり、感度軸の方向を長方形の端面の長辺に対して、平
行に設定する構造と、垂直に設定する構造とである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
加速度センサでは、感度軸の方向別に構造の異なる二種
類のものを製作する必要があるので、製造コストが高く
つくだけでなく、製造後の保管に関するコストが高くつ
くなど、製品価格の高騰を余儀なくされている。
【0007】したがって、本発明は、プリント基板に対
する実装時に要求される感度軸の方向に応じて姿勢を変
えるだけで対応できるようにしながら、どの姿勢でも座
りがよくて安定性が高い圧電センサの提供を目的として
いる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、特定の感度軸
を有する圧電素子をパッケージで囲んだ構成の圧電セン
サにおいて、次のような構成をとる。
【0009】本発明の第1の圧電センサは、前記パッケ
ージの外形が、直方体形状に形成されているとともに、
その端面の縦横の寸法比がほぼ1:1に設定されてお
り、少なくとも前記端面に前記圧電素子の外部引出電極
が形成されている。
【0010】本発明の第2の圧電センサは、前記圧電素
子が、上下に接合した二枚一対の短冊形状の圧電セラミ
ック板からなり、前記パッケージが、圧電素子の長手方
向に沿う少なくとも一端部位を上下から挟持して該圧電
素子を架橋状に支持する二つの挟持部品と、この挟持部
品の両側に取り付けられて前記圧電素子の左右両側面を
覆う二つの蓋部品とからなり、かつ、前記パッケージの
外形が、直方体形状に形成されているとともに、その端
面の縦横の寸法比がほぼ1:1に設定されており、少な
くとも前記端面に前記圧電素子の外部引出電極が形成さ
れている。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図1ないし
図5に示す実施例に基づいて説明する。ここでは、圧電
センサとして加速度を検出する加速度センサを例に挙げ
ている。図1ないし図5は本発明の一実施例にかかり、
図1は、加速度センサを一部破断して示す斜視図、図2
は、同センサの分解斜視図、図3は、加速度の作用時に
おける圧電素子の変形状態を模式的に示す説明図、図4
は、加速度センサのプリント基板に対する実装時の姿勢
を示す説明図、図5は、加速度センサに関するテープキ
ャリアを示す説明図である。
【0012】図例の加速度センサ1は、バイモルフ型と
呼ばれる圧電素子2と、パッケージ3と、外部引出電極
4,4とで構成されており、感度軸の方向は、矢印で示
すように圧電素子2の厚み方向(下記参照)と平行にな
っている。
【0013】圧電素子2は、共に短冊形状とされ主表面
にそれぞれ信号取出電極6,6及び中間電極7,7が形
成された一対の圧電セラミック板5,5を備え、これら
の中間電極7,7どうしを対面接合したものである。こ
こでは圧電セラミック板5,5の積層方向を圧電素子2
の厚み方向と言う。圧電セラミック板5,5それぞれ
は、長手方向において境界線Lで区分けされる3つの部
分5a,5b,5bを有しており、各部分5a,5b,
5bは、加速度Gの作用に伴って発生する応力が「引っ
張り」と「圧縮」とに異なるようになっている。中央部
分5a及び端部分5b,5bのそれぞれは、各圧電セラ
ミック板4の板厚方向に沿いつつ互いに逆となる向き
(図では、矢印A,BとC,Dで示す)に従って分極さ
れているとともに、中央部分5aそれぞれにおける分極
の向きA及びCは互いに近ずきあう内向きとされる一
方、端部分5b,5bにおける分極の向きB及びDは互
いに遠ざかる外向きとされている。
【0014】パッケージ3は、圧電素子2の長手方向に
沿う両端を上下から挟持する側面視ほぼ「コ」字形の二
つの挟持部品8,9と、この挟持部品8,9の左右両側
に取り付けられて圧電素子2の左右両側面を覆う縦横断
面ほぼ「コ」字形の二つの蓋部品10,11とからな
る。このパッケージ3の全体の外形としては、直方体形
状に形成されており、その端面の縦横の寸法比がほぼ
1:1つまりほぼ正方形に設定されている。なお、端面
の縦寸法をAとし、横寸法をBとした場合、A/Bを
「1」つまりA=Bに設定するのが理想的であるが、A
/Bを「0.9〜1.1」の範囲に設定したものも含
む。
【0015】外部引出電極4,4は、圧電素子2の長手
方向両端面を含むパッケージ3の長手方向両端面に層状
に形成されているとともに、パッケージ3の長手方向両
端側の周面にも層状に形成されている。この一方の外部
引出電極4が、各圧電セラミック板5,5上に形成され
た信号取出電極6,6の一方に、また、他方の外部引出
電極4が残りの信号取出電極6に、それぞれ接続されて
いる。
【0016】次に、上述した加速度センサ1の動作およ
び作用を説明する。加速度Gが作用することに伴い、圧
電素子2が図3に示すように上向きに湾曲すると、この
圧電素子2の撓み方向外側に位置する圧電セラミック板
5の中央部分5aにおける外側主表面には分極の向きA
と引っ張り応力Ptとの関係に基づいて正(+)の電荷
が発生し、また、その端部分5bにおける外側主表面で
も分極の向きB及び圧縮応力Pcの関係から正の電荷が
発生する。
【0017】そこで、この圧電セラミック板5の中央部
分5a及び端部分5bそれぞれの外側主表面に発生した
正の電荷は互いに強めあいながら、信号取出電極6から
外部引出電極4へと伝わることになる。さらに、このと
き、圧電素子2の撓み方向内側に位置する圧電セラミッ
ク板5の中央部分5aにおける外側主表面には分極の向
きCと圧縮応力Pcとの関係から負(−)の電荷が発生
し、また、その端部分5bにおける外側主表面にも分極
の向きDと引っ張り応力Ptとの関係から負の電荷が発
生することになり、これら負の電荷は信号取出電極6か
ら外部引出電極4へと伝わることになる。
【0018】なお、加速度Gの作用に伴って圧電素子2
を構成する各圧電セラミック板5,5に発生する応力が
「引っ張り」と「圧縮」とに分かれる理由を説明する。
まず、加速度センサ1の全体に対して加速度Gが作用す
ると、圧電素子2を固定支持するパッケージ3に対して
は加速度Gが直接的に作用することになり、これらのパ
ッケージ3は共に加速度Gの作用方向に沿って移動しよ
うとする。ところが、この際においても、圧電素子2に
対して直接的な加速度Gが作用することはないから、圧
電素子2は加速度Gの作用する以前における状態をその
まま維持し続けようとし、この圧電素子2には加速度G
の作用に伴って発生した慣性力が作用することになる。
そこで、圧電素子2を構成する各圧電セラミック板5,
5の端部分5b,5bそれぞれはパッケージ3と共に移
動しようとする一方、各々の中央部分5aそれぞれは当
初位置のまま残ろうとする結果、この圧電素子2は加速
度Gの作用側に向かって撓んだ湾曲形状(図では、上向
きの凸形状)となるように変形する。そのため、図3で
示すように、撓み方向外側(図では、上側)に位置する
圧電セラミック板5の中央部分5aには引っ張り応力P
t、また、その端部分5bには圧縮応力Pcが現れるこ
とになる一方、撓み方向内側(図では、下側)に位置す
る圧電セラミック板5の中央部分5aには圧縮応力P
c、また、その端部分5bには引っ張り応力Ptが現れ
ることになる。
【0019】以上、詳細に説明した加速度センサ1は、
プリント基板12に対して、図4(a)および(b)に
示すように、設計上、要求される感度軸の方向に応じて
四面のうちの所要の面を上向きとする姿勢で実装され
る。この圧電センサ1の姿勢によって感度軸の方向が特
定される。いずれの面を上向きとする姿勢で実装して
も、加速度センサ1がその半田付け処理の過程で倒れて
姿勢が変わるといった不具合が全く起こらない。なお、
図4において、1aは上面、1bは下面、1cは右側
面、1dは左側面を示しており、感度軸の方向は、図4
(a)の場合、矢印のようにプリント基板12に対して
平行な方向に、また、図4(b)の場合、垂直な方向
に、それぞれ沿わされている。
【0020】このような加速度センサ1の実装工程で
は、例えば図5に示すようなテープキャリア20が用い
られる。つまり、テープキャリア20は、上記加速度セ
ンサ1を複数個、個別に収納するものであり、長手方向
の所定間隔おきに加速度センサ1の外形に近似したほぼ
正方形の凹部23を有するエンボステープ21と、この
エンボステープ21の上面に貼着されて前述の凹部23
を閉塞する上側テープ22とからなる。そして、各凹部
23に対しては、総ての加速度センサ1がその感度軸の
方向を図中の矢印で示すように一定の方向に揃えた状態
で収納される。つまり、プリント基板などに対して搭載
するときの加速度センサ1の感度軸の方向に応じて、例
えば加速度センサ1の左側面1dをテープキャリア20
の凹部23の開口に位置させるなどして、テープキャリ
ア20の凹部23に対する加速度センサ1の収納姿勢を
決定すればよいのである。
【0021】このようにしていれば、テープキャリア2
0を用いて加速度センサ1をプリント基板などに実装す
る場合には、このテープキャリア20の上側テープ22
をはがして、凹部23の開口から、この開口に位置する
加速度センサ1の面を図示しない吸着治具によって吸着
して取り出し、プリント基板の所要位置に搭載するだけ
でよくなる。
【0022】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
【0023】(1) 圧電素子2をいわゆるユニモルフ
型の構成とし、この圧電素子2の長手方向両端ではなく
一端のみを挟持部品8,9で挟持支持させる、片持ち梁
構造としたものも本発明に含む。
【0024】(2) 上記実施例では、加速度センサを
例に挙げているが、振動センサとすることもできる。
【0025】(3) 上記実施例では、外部引出電極4
を、パッケージ3の端面とパッケージ3の長手方向両端
の周面とに形成しているが、パッケージ3の端面のみに
形成したものも本発明に含む。
【0026】(4) 圧電素子2としては、圧電セラミ
ック板5の中央部分5aそれぞれにおける分極の向きA
及びCを互いに遠ざかる外向きとするとともに、端部分
5b,5bにおける分極の向きB及びDを互いに遠ざか
る外向きとする構成のものも本発明に含む。
【0027】
【発明の効果】本発明の圧電センサでは、プリント基板
に対する実装時の姿勢を変えても常に座りがよくなり安
定化するように工夫しているから、要求される感度軸の
方向に応じてプリント基板に対して実装するときの姿勢
を変えるだけで、種々な感度軸に変更できるようになる
など、単一種類の構造でありながら、感度軸の異なる複
数種類のものとして流用できるようになる。このように
汎用性を高めたので、圧電センサの製造コストおよび管
理コストを従来に比べて大幅に削減できるようになり、
価格低減を実現できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の加速度センサを一部破断し
て示す斜視図
【図2】図1の加速度センサの分解斜視図
【図3】加速度の作用時における圧電素子の変形状態を
模式的に示す説明図
【図4】図1の加速度センサのプリント基板に対する実
装時の姿勢を示す説明図
【図5】図1の加速度センサに関するテープキャリアを
示す説明図
【符号の説明】
1 加速度センサ 2 圧電素子 3 パッケージ 4 外部引出電極 5 圧電素子を構成する圧電セラミック板 6 圧電素子の信号取出電極 7 圧電素子の中間電極 8,9 パッケージを構成する挟持部品 10,11 パッケージを構成する蓋部品

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 特定の感度軸を有する圧電素子をパッケ
    ージで囲んだ構成の圧電センサであって、 前記パッケージの外形が、直方体形状に形成されている
    とともに、その端面の縦横の寸法比がほぼ1:1に設定
    されており、少なくとも前記端面に前記圧電素子の外部
    引出電極が形成されている、ことを特徴とする圧電セン
    サ。
  2. 【請求項2】 特定の感度軸を有する圧電素子をパッケ
    ージで囲んだ構成の圧電センサであって、 前記圧電素子が、上下に接合した二枚一対の短冊形状の
    圧電セラミック板からなり、 前記パッケージが、圧電素子の長手方向に沿う少なくと
    も一端部位を上下から挟持して該圧電素子を架橋状に支
    持する二つの挟持部品と、この挟持部品の両側に取り付
    けられて前記圧電素子の左右両側面を覆う二つの蓋部品
    とからなり、 かつ、前記パッケージの外形が、直方体形状に形成され
    ているとともに、その端面の縦横の寸法比がほぼ1:1
    に設定されており、少なくとも前記端面に前記圧電素子
    の外部引出電極が形成されている、ことを特徴とする圧
    電センサ。
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US09/170,845 US6353325B1 (en) 1995-07-18 1998-10-13 Apparatus for examining posture of an electronic part
US09/746,346 US6429670B2 (en) 1995-07-18 2000-12-22 Method of examining posture of an electronic part

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000162233A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
US6803698B2 (en) 2000-10-12 2004-10-12 Murata Manufacturing Co., Ltd Acceleration sensor
WO2014171175A1 (ja) * 2013-04-17 2014-10-23 株式会社村田製作所 加速度検出装置
JP2017096908A (ja) * 2015-11-26 2017-06-01 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 圧電衝撃センサー及びその製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000162233A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
US6803698B2 (en) 2000-10-12 2004-10-12 Murata Manufacturing Co., Ltd Acceleration sensor
WO2014171175A1 (ja) * 2013-04-17 2014-10-23 株式会社村田製作所 加速度検出装置
JP2017096908A (ja) * 2015-11-26 2017-06-01 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 圧電衝撃センサー及びその製造方法

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