JPH0225070U - - Google Patents
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- JPH0225070U JPH0225070U JP10359988U JP10359988U JPH0225070U JP H0225070 U JPH0225070 U JP H0225070U JP 10359988 U JP10359988 U JP 10359988U JP 10359988 U JP10359988 U JP 10359988U JP H0225070 U JPH0225070 U JP H0225070U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- water tank
- forming
- forming molecules
- barrier
- Prior art date
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- Pending
Links
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案一実施例を示す概略構成図、第
２図は成膜過程の動作を説明するための上面図で
ある。 １…水槽、２…第１のバリア、３…第２のバリ
ア、４…仕切板、５…ホルダ（保持手段）、６…
基板（成膜担体）。
２図は成膜過程の動作を説明するための上面図で
ある。 １…水槽、２…第１のバリア、３…第２のバリ
ア、４…仕切板、５…ホルダ（保持手段）、６…
基板（成膜担体）。
Claims (1)
- 成膜分子を展開するための水槽と、展開した成
膜分子に圧力を掛けるための互いに平行に設けら
れた第１、第２のバリアと、前記水槽の成膜分子
の展開面を区切るための、前記第１のバリアと第
２のバリアの間に設けられ前記水槽の展開面と平
行に移動可能な仕切手段と、展開した成膜分子を
移しとる成膜担体を移動可能に保持する保持手段
とを備えることを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10359988U JPH0225070U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10359988U JPH0225070U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225070U true JPH0225070U (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=31334580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10359988U Pending JPH0225070U (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225070U (ja) |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP10359988U patent/JPH0225070U/ja active Pending
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