JPH02251185A - 積層型変位素子 - Google Patents
積層型変位素子Info
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- JPH02251185A JPH02251185A JP1073288A JP7328889A JPH02251185A JP H02251185 A JPH02251185 A JP H02251185A JP 1073288 A JP1073288 A JP 1073288A JP 7328889 A JP7328889 A JP 7328889A JP H02251185 A JPH02251185 A JP H02251185A
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- Japan
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- laminated
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、産業用ロボットのアクチュエータ超音波モー
フ等に使用する電気機械変換素子に関するものであり、
特に電気機械変換材料からなる薄板を、内部電極を介し
て複数枚積層することにより、変位量を増大させた積層
型変位素子の改良に関するものである。
フ等に使用する電気機械変換素子に関するものであり、
特に電気機械変換材料からなる薄板を、内部電極を介し
て複数枚積層することにより、変位量を増大させた積層
型変位素子の改良に関するものである。
従来、ｘ−ｙステージの位置決め機構や制動ブレーキ等
に用いられている変位用素子に使用する積層型変位素子
は、所定の形状に加工した圧電セラミック材料からなる
薄板に電極を設けて分極した後、直接若しくは薄い金属
を介して有機系の接着剤で接合する方法が採用されてい
る。しかし上記のように接着剤を使用して積層したもの
は、使用条件により、圧電素子の振動による変位を接着
剤層が吸収したり、高温の環境若しくは長期間の使用に
より接着剤が劣化する等の欠点がある。
に用いられている変位用素子に使用する積層型変位素子
は、所定の形状に加工した圧電セラミック材料からなる
薄板に電極を設けて分極した後、直接若しくは薄い金属
を介して有機系の接着剤で接合する方法が採用されてい
る。しかし上記のように接着剤を使用して積層したもの
は、使用条件により、圧電素子の振動による変位を接着
剤層が吸収したり、高温の環境若しくは長期間の使用に
より接着剤が劣化する等の欠点がある。
このため、最近では積層チップコンデンサ構造方式の積
層型圧電素子が実用化されている。すなわち２例えば特
公昭５９−３２０４０号公報に記載のように、原料粉末
にバインダーを添加、混練したペースト状の圧電セラミ
ック材料を、所定の厚さの薄板に形成し、この薄板の一
方の面若しくは両面に銀−パラジウム等の導電材料を塗
布して内部電極を形成する。上記薄板を所定枚数積層し
て圧着し更に所定の形状に加工した後、焼成することに
よってセラミック化し、積層体の両側面に外部電極を形
成したものである。上記構成の積層型圧電素子は、圧電
セラミック材料からなる薄板と内部電極の接合部の密着
性に優れると共に、熱的特性も安定であるため高温環境
においても充分に使用可能であり、また長期間に亘って
劣化が極めて少ない等の利点がある。
層型圧電素子が実用化されている。すなわち２例えば特
公昭５９−３２０４０号公報に記載のように、原料粉末
にバインダーを添加、混練したペースト状の圧電セラミ
ック材料を、所定の厚さの薄板に形成し、この薄板の一
方の面若しくは両面に銀−パラジウム等の導電材料を塗
布して内部電極を形成する。上記薄板を所定枚数積層し
て圧着し更に所定の形状に加工した後、焼成することに
よってセラミック化し、積層体の両側面に外部電極を形
成したものである。上記構成の積層型圧電素子は、圧電
セラミック材料からなる薄板と内部電極の接合部の密着
性に優れると共に、熱的特性も安定であるため高温環境
においても充分に使用可能であり、また長期間に亘って
劣化が極めて少ない等の利点がある。
第３図は上記積層型圧電素子の構成の例であり所謂交互
電極型と称されるものである。第３図において、１は薄
板であり圧電セラミック材料によって形成し、正負の内
部電極２ａ、２ｂを交互に挟着して積層し、積層体５を
形成する。内部電極２ａ、２ｂは各々一方の端縁部が外
方に突出若しくは露出するように形成し、各々積層方向
に延設した外部電極３ａ、３ｂと接続し、リード線６を
接続する。
電極型と称されるものである。第３図において、１は薄
板であり圧電セラミック材料によって形成し、正負の内
部電極２ａ、２ｂを交互に挟着して積層し、積層体５を
形成する。内部電極２ａ、２ｂは各々一方の端縁部が外
方に突出若しくは露出するように形成し、各々積層方向
に延設した外部電極３ａ、３ｂと接続し、リード線６を
接続する。
以上の構成により、外部電極３ａ、３ｂに正負の電圧を
印加すると、前記内部電極２ａ、２ｂ間に電界が発生し
、′ａ板１は圧電セラミック材料の緬効果により厚さ方
向に伸びて変位を生ずる。
印加すると、前記内部電極２ａ、２ｂ間に電界が発生し
、′ａ板１は圧電セラミック材料の緬効果により厚さ方
向に伸びて変位を生ずる。
次に第４図に示すものは他の積層型圧電素子の例であり
、圧電変位効率を向上させた所謂全面電極型と称される
ものである（例えば特開昭５８１９６０６８号公報等参
照）。第４図において同一部分は前記第３回と同一の参
照符号で示すが、内部電極２ａ、２ｂは薄板１の表面全
域に及ぶように形成して、所要枚数を前記同様に積層す
る。次に上記のようにして形成した積層体５の一方の側
面において、内部電極２ａ、２ｂの端縁に一層おきに（
例えば内部電極２ｂのみに）絶縁材料からなる被覆４を
設けると共に、被覆４の上から導電性材料からなる外部
電極３ａを被着させる。一方積層体５の他の側面におい
ては、上記被覆４を設けなかった内部電極（例えば２ａ
）の端縁に前記と同様に被覆４を設け、その上から外部
電極３ｂを被着させるのである。以上の構成による作用
は荊記第３図におけるものと同様である。
、圧電変位効率を向上させた所謂全面電極型と称される
ものである（例えば特開昭５８１９６０６８号公報等参
照）。第４図において同一部分は前記第３回と同一の参
照符号で示すが、内部電極２ａ、２ｂは薄板１の表面全
域に及ぶように形成して、所要枚数を前記同様に積層す
る。次に上記のようにして形成した積層体５の一方の側
面において、内部電極２ａ、２ｂの端縁に一層おきに（
例えば内部電極２ｂのみに）絶縁材料からなる被覆４を
設けると共に、被覆４の上から導電性材料からなる外部
電極３ａを被着させる。一方積層体５の他の側面におい
ては、上記被覆４を設けなかった内部電極（例えば２ａ
）の端縁に前記と同様に被覆４を設け、その上から外部
電極３ｂを被着させるのである。以上の構成による作用
は荊記第３図におけるものと同様である。
上記従来の積層型変位素子においては、外部電極３ａ、
３ｂとリード線６との接続手段としてはんだ等の低融点
合金による所謂点付けを使用することが多い。しかしな
がらこのような接続手段では、はんだ付による接続部の
接続強度が充分でないため、車輌その他のような大きな
振動を生ずる用途に積層型変位素子を使用した場合には
、この振動によって前記接続部が外部電極３ａ、３ｂか
ら剥離し、この結集積層型変位素子の作動不良を招来す
るという問題点がある。またリード線６および外部電極
３ａ、３ｂを介して積層体５に電圧を印加、解除して積
層体５を伸縮させる場合には外部電極３ａ、３ｂに応力
が作用する。一方外部電極３ａ、３ｂは例えば銀ペース
トを塗布若しくは印刷して形成するものであり、極めて
薄い数μｍ程度の厚さを有するに過ぎず、前記応力の作
用により亀裂が発生し易く、また断線し易い。このよう
な亀裂若しくは断線が発生すると、積層体５を所定量だ
け伸縮させることができず、積層型変位素子の作動不良
を生じるという問題点がある。
３ｂとリード線６との接続手段としてはんだ等の低融点
合金による所謂点付けを使用することが多い。しかしな
がらこのような接続手段では、はんだ付による接続部の
接続強度が充分でないため、車輌その他のような大きな
振動を生ずる用途に積層型変位素子を使用した場合には
、この振動によって前記接続部が外部電極３ａ、３ｂか
ら剥離し、この結集積層型変位素子の作動不良を招来す
るという問題点がある。またリード線６および外部電極
３ａ、３ｂを介して積層体５に電圧を印加、解除して積
層体５を伸縮させる場合には外部電極３ａ、３ｂに応力
が作用する。一方外部電極３ａ、３ｂは例えば銀ペース
トを塗布若しくは印刷して形成するものであり、極めて
薄い数μｍ程度の厚さを有するに過ぎず、前記応力の作
用により亀裂が発生し易く、また断線し易い。このよう
な亀裂若しくは断線が発生すると、積層体５を所定量だ
け伸縮させることができず、積層型変位素子の作動不良
を生じるという問題点がある。
上記のような問題点を解決するために、リードｖＡ６を
積層体５の積層方向の略全長に渡って配置すると共に、
積層方向の略全長に渡り外部電極３ａ、３ｂに例えばは
んだ等により電気的かつ機械的に接続するという内容の
提案がされている（特開昭６３−９２０６８号公報参照
）。このような構成とすることにより、リード線６と外
部電極３ａ、３ｂとの接合面積が増大するため１例えば
はんだ何部の強度が増大することとなる。また上記接合
部は積層方向の略全長に渡って延長しているので、積層
体５の反復伸縮によって外部電極３ａ、３ｂに亀裂若し
くは断線が発生しても５ずべでの内部電極２ａ、’ｌｂ
とリード綿６との間には常に電気的接続状態が確保され
るという効果があると記載されている。
積層体５の積層方向の略全長に渡って配置すると共に、
積層方向の略全長に渡り外部電極３ａ、３ｂに例えばは
んだ等により電気的かつ機械的に接続するという内容の
提案がされている（特開昭６３−９２０６８号公報参照
）。このような構成とすることにより、リード線６と外
部電極３ａ、３ｂとの接合面積が増大するため１例えば
はんだ何部の強度が増大することとなる。また上記接合
部は積層方向の略全長に渡って延長しているので、積層
体５の反復伸縮によって外部電極３ａ、３ｂに亀裂若し
くは断線が発生しても５ずべでの内部電極２ａ、’ｌｂ
とリード綿６との間には常に電気的接続状態が確保され
るという効果があると記載されている。
しかしながら上記構成の積層型変位素子においては、上
記効果を有する反面において、積層体５の伸縮機能を阻
害し、および／またば積層体５にクランクを生ずるとい
う問題点がある。すなわちリード線６を外部電極３ａ、
３ｂの全長に渡ってはんだ付等によって接続すると、リ
ード線６によって積層体５を拘束することとなり、変位
を減少することとなる。また本来積層体５の伸縮と対応
して伸縮ずべき外部電極３ａ、３ｂを剛性化することと
なり、積層体５および／またば積層体５と外部電極３ａ
、３ｂとの接合部にクラック若しくは剥離を生じ、積層
型変位素子としての機能を阻害するという問題点がある
。
記効果を有する反面において、積層体５の伸縮機能を阻
害し、および／またば積層体５にクランクを生ずるとい
う問題点がある。すなわちリード線６を外部電極３ａ、
３ｂの全長に渡ってはんだ付等によって接続すると、リ
ード線６によって積層体５を拘束することとなり、変位
を減少することとなる。また本来積層体５の伸縮と対応
して伸縮ずべき外部電極３ａ、３ｂを剛性化することと
なり、積層体５および／またば積層体５と外部電極３ａ
、３ｂとの接合部にクラック若しくは剥離を生じ、積層
型変位素子としての機能を阻害するという問題点がある
。
本発明は上記従来技術に存在する問題点を解決し、外部
電極の亀裂若しくは断線による作動不良を防止し得ると
共に、所定の変位を充分に確保し得る積層型変位素子を
提供することを目的とする。
電極の亀裂若しくは断線による作動不良を防止し得ると
共に、所定の変位を充分に確保し得る積層型変位素子を
提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、まず第１の発明においては
、略同一の平面輪郭および接触面積に形成した電気機械
変換材料からなる薄板と導電材料からなる内部電極とを
各々複数個交互に積層して積層体を形成し、この積層体
の側面に前記内部電極と一層おきに接続すべき１対の外
部電極を設けてなる積層型変位素子において、リート部
材を外部電極の略全長に渡って配設すると共に、少なく
とも外部電極の」二下端とリード部材とを電気的かつ機
械的に接続する。という技術的手段を採用した。
、略同一の平面輪郭および接触面積に形成した電気機械
変換材料からなる薄板と導電材料からなる内部電極とを
各々複数個交互に積層して積層体を形成し、この積層体
の側面に前記内部電極と一層おきに接続すべき１対の外
部電極を設けてなる積層型変位素子において、リート部
材を外部電極の略全長に渡って配設すると共に、少なく
とも外部電極の」二下端とリード部材とを電気的かつ機
械的に接続する。という技術的手段を採用した。
なお上記発明において外部電極とリード部材とを複数箇
所電気的かつ機械的に接続することができる。
所電気的かつ機械的に接続することができる。
次に第２の発明においては、略同一の平面輪郭および接
触面積に形成した電気機械変換材料からなる薄板と導電
材料からなる内部電極とを各々複数個交互に積層して形
成した積層体を更に複数個積層して複積層体を形成し、
この複積層体の側面に前記内部電極と一層おきに接続す
べき１対の外−ド部材を外部電極の略全長に渡って配設
すると共に、少なくとも前記積層体の上下端近傍におい
て外部電極とリード部材とを電気的かつ機械的に接続す
る。という技術的手段を採用した。
触面積に形成した電気機械変換材料からなる薄板と導電
材料からなる内部電極とを各々複数個交互に積層して形
成した積層体を更に複数個積層して複積層体を形成し、
この複積層体の側面に前記内部電極と一層おきに接続す
べき１対の外−ド部材を外部電極の略全長に渡って配設
すると共に、少なくとも前記積層体の上下端近傍におい
て外部電極とリード部材とを電気的かつ機械的に接続す
る。という技術的手段を採用した。
本発明においても外部電極とリード部材とを単位積層型
変位素子において複数箇所電気的かつ機械的に接続する
ことができる。
変位素子において複数箇所電気的かつ機械的に接続する
ことができる。
更に上記第１および第２の発明において、リード部材を
非緊張状態で外部電極と接続すると好ましい。
非緊張状態で外部電極と接続すると好ましい。
上記の構成により、リード部材に駆動電圧を印加するこ
とにより、外部電極および内部電極を介して積層体を非
拘束状態で伸縮させることができかつ外部電極の断線に
よる作動不良を防止することができる。
とにより、外部電極および内部電極を介して積層体を非
拘束状態で伸縮させることができかつ外部電極の断線に
よる作動不良を防止することができる。
部電極を設けてなる積層型変位素子において、す第１図
は本発明の実施例を模式的に示す側面回であり、同一部
分は前記第３図および第４図と同一の参照符号で示す。
は本発明の実施例を模式的に示す側面回であり、同一部
分は前記第３図および第４図と同一の参照符号で示す。
第１図においてまず例えばＰ ｂ （Ｚ ｒ、 Ｔ ｉ
） ０３粉末に、有機バインダーとしてＰＶＢ、可塑剤
としてＢ Ｐ Ｂ Ｇ、有機溶剤としてトリクレンを夫
々添加して混合し、この混合材料をドクターブレード法
により厚さ１００μｍのシート状の薄板１に形成する。
） ０３粉末に、有機バインダーとしてＰＶＢ、可塑剤
としてＢ Ｐ Ｂ Ｇ、有機溶剤としてトリクレンを夫
々添加して混合し、この混合材料をドクターブレード法
により厚さ１００μｍのシート状の薄板１に形成する。
次にこの薄板１の表面全域に内部電極２ａ、２ｂを形成
する銀パラジウムペーストをスクリーン印刷する。上記
のように形成した内部電極２ａ、２ｂを有する薄板１を
交互に例えば１００枚積層して圧着した後。
する銀パラジウムペーストをスクリーン印刷する。上記
のように形成した内部電極２ａ、２ｂを有する薄板１を
交互に例えば１００枚積層して圧着した後。
所定の寸法形状に切断して積層体とし、 １０５０〜１
２００℃で１〜５時間焼成して積層体５を形成する。
２００℃で１〜５時間焼成して積層体５を形成する。
次にこの積層体５の側面に、内部電極２ａ、２ｂの端縁
に一層おきに絶縁材料からなる被覆４と導電性材料から
なる外部電極３ａ、３ｂとを設ける。更に外部電極３ａ
、３ｂの略全長に渡ってリード線６を配設すると共に、
外部電極３ａ、３ｂの上下端とリード線６とをはんだ７
を介して固着する。この場合リードｖＡ６は非緊張状態
で外部電極３ａ、３ｂに固着することが好ましい。
に一層おきに絶縁材料からなる被覆４と導電性材料から
なる外部電極３ａ、３ｂとを設ける。更に外部電極３ａ
、３ｂの略全長に渡ってリード線６を配設すると共に、
外部電極３ａ、３ｂの上下端とリード線６とをはんだ７
を介して固着する。この場合リードｖＡ６は非緊張状態
で外部電極３ａ、３ｂに固着することが好ましい。
上記の構成により、リード線６，６は外部電極３ａ、３
ｂを介して内部電極２ａ、２ｂと電気的に接続されるか
ら、リード線６．６間に電圧を印加すれば積層体５を駆
動することができる。この場合リード線６と外部電極３
ａ、３ｂとは各々の上下端部において固着したのみであ
るため、積層体５を全く拘束せず、その伸縮作用を阻害
することがない。なお外部電極３ａ、３ｂに仮りに亀裂
による断線が発生しても、すべての内部電極２ａ２ｂと
リード線６との間には常に電気的接続状態が確保される
ため７積層体５の伸縮作用には全（支障がない。また外
部電極３ａ、３ｂに亀裂が発生すると、歪若しくは応力
が緩和されて以後の亀裂発生を抑制することとなるので
、亀裂の発生箇所は１箇所であることが殆どである。従
って外部電極３ａ、３ｂの上下端においてリード線６と
の電気的かつ機械的接続状態が確保されればよいが両者
間の接続を複数箇所とすれば、信頼性を更に向上させる
ことができる。
ｂを介して内部電極２ａ、２ｂと電気的に接続されるか
ら、リード線６．６間に電圧を印加すれば積層体５を駆
動することができる。この場合リード線６と外部電極３
ａ、３ｂとは各々の上下端部において固着したのみであ
るため、積層体５を全く拘束せず、その伸縮作用を阻害
することがない。なお外部電極３ａ、３ｂに仮りに亀裂
による断線が発生しても、すべての内部電極２ａ２ｂと
リード線６との間には常に電気的接続状態が確保される
ため７積層体５の伸縮作用には全（支障がない。また外
部電極３ａ、３ｂに亀裂が発生すると、歪若しくは応力
が緩和されて以後の亀裂発生を抑制することとなるので
、亀裂の発生箇所は１箇所であることが殆どである。従
って外部電極３ａ、３ｂの上下端においてリード線６と
の電気的かつ機械的接続状態が確保されればよいが両者
間の接続を複数箇所とすれば、信頼性を更に向上させる
ことができる。
第２図は本発明の他の実施例を模式的に示す斜視図であ
り、同一部分は前記第１図と同一の参照符号で示す。第
２図において５ａは複積層体であり、前記第１図に示す
積層体５を４個更に積層して形成する。この場合積層体
５．５間に接着剤を介在させて一体の複積層体５ａとす
ることができる。なお外部電極３ａおよび図示省略した
外部電極３ｂの形成手段は前記第１図におけるものと同
様である。次に外部電極３ａ、３ｂの略全長に渡ってリ
ード線６を、好ましくは非緊張状態に配設し、積層体５
の上下端近傍若しくは積層体５．５の接続部近傍におい
て、外部電極３ａ、３ｂとリード線６とをはんだ７を介
して固着する。
り、同一部分は前記第１図と同一の参照符号で示す。第
２図において５ａは複積層体であり、前記第１図に示す
積層体５を４個更に積層して形成する。この場合積層体
５．５間に接着剤を介在させて一体の複積層体５ａとす
ることができる。なお外部電極３ａおよび図示省略した
外部電極３ｂの形成手段は前記第１図におけるものと同
様である。次に外部電極３ａ、３ｂの略全長に渡ってリ
ード線６を、好ましくは非緊張状態に配設し、積層体５
の上下端近傍若しくは積層体５．５の接続部近傍におい
て、外部電極３ａ、３ｂとリード線６とをはんだ７を介
して固着する。
上記の構成により、リード線６．６間に電圧を印加する
ことにより、複積層体５ａを積層方向に伸縮駆動するこ
とができる。この場合リード線６と外部電極３ａ、３ｂ
とは前記実施例と同様に各々の上下端部近傍、若しくは
積層体５．５の接続部の近傍において固着したのみであ
るから、積層体５および／または複積層体５ａの伸縮作
用を全く阻害することなく作動させることができる。
ことにより、複積層体５ａを積層方向に伸縮駆動するこ
とができる。この場合リード線６と外部電極３ａ、３ｂ
とは前記実施例と同様に各々の上下端部近傍、若しくは
積層体５．５の接続部の近傍において固着したのみであ
るから、積層体５および／または複積層体５ａの伸縮作
用を全く阻害することなく作動させることができる。
その他の作用は前記実施例と同様であり、信頼性向上の
ため接続を複数箇所とすることも可能である。
ため接続を複数箇所とすることも可能である。
本実施例においては、全面電極型の例について記述した
が、交互電極型のものについても当然に適用可能である
。また薄板および内部電極の平面投影形状は矩形以外に
、正方形１円形、楕円形その他の幾何学的形状とするこ
とができる。なお上記の実施例においては、内部電極お
よび外部電極の形成手段としてスクリーン印刷法を使用
した例について記述したが、これに限定せず、メツキ蒸
着、塗布等の他の手段によっても作用は同一である。更
に前記の実施例においては、電気機械変換材料が圧電材
料である場合について記述したがキュリー温度が室温よ
り低いため２分極の必要がすく、かつ変位量が大である
と共にヒステリシスが少ない等の特徴を有する電歪材料
についても前記と全く同様な作用を期待できる。このよ
うな電歪材料としては２例えば。
が、交互電極型のものについても当然に適用可能である
。また薄板および内部電極の平面投影形状は矩形以外に
、正方形１円形、楕円形その他の幾何学的形状とするこ
とができる。なお上記の実施例においては、内部電極お
よび外部電極の形成手段としてスクリーン印刷法を使用
した例について記述したが、これに限定せず、メツキ蒸
着、塗布等の他の手段によっても作用は同一である。更
に前記の実施例においては、電気機械変換材料が圧電材
料である場合について記述したがキュリー温度が室温よ
り低いため２分極の必要がすく、かつ変位量が大である
と共にヒステリシスが少ない等の特徴を有する電歪材料
についても前記と全く同様な作用を期待できる。このよ
うな電歪材料としては２例えば。
（Ｐｂｏ、＋＋＋６ＬａＯ，０８４）（Ｚｒ０．６５
Ｔｉｏ、３ｓ）ｏ、ｑ７９０３ 。
Ｔｉｏ、３ｓ）ｏ、ｑ７９０３ 。
（Ｐｂｏ、 Ｉｌｓ Ｓｒｏ、 ＋５） （Ｚｒｏ、
ｓ＋ Ｔｉｏ、 ｓａ Ｚｎｏ、 ０１２５Ｎｉｏ、
０３７５ Ｎｂｏ、＋ｏ）０３１（Ｐｂｏ、 Ｉｌｓ
Ｓｒｏ、 ＋ｓ） （Ｚｒｏ、 ｓｏ Ｔｉｏ、 ３
０ Ｚｎｏ、 ｏｓＮｉｏ、ｏｓ Ｎｂｏ、＋ｏ）０
３ 等を使用することができる。
ｓ＋ Ｔｉｏ、 ｓａ Ｚｎｏ、 ０１２５Ｎｉｏ、
０３７５ Ｎｂｏ、＋ｏ）０３１（Ｐｂｏ、 Ｉｌｓ
Ｓｒｏ、 ＋ｓ） （Ｚｒｏ、 ｓｏ Ｔｉｏ、 ３
０ Ｚｎｏ、 ｏｓＮｉｏ、ｏｓ Ｎｂｏ、＋ｏ）０
３ 等を使用することができる。
本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
下記の効果を期待できる。
下記の効果を期待できる。
（１）外部電極の略全長に渡ってリード部材を配設する
と共に、外部電極の亀裂若しくは断線の発生する機会の
少ない、少なくとも上下端部において電気的かつ機械的
に接続したため、内部電極への電圧印加を確保すること
ができ、積層型変位素子の作動の信頼性を向上し得る。
と共に、外部電極の亀裂若しくは断線の発生する機会の
少ない、少なくとも上下端部において電気的かつ機械的
に接続したため、内部電極への電圧印加を確保すること
ができ、積層型変位素子の作動の信頼性を向上し得る。
（２） リード部材を外部電極の全長に渡って配設し
た構成であるが、接続箇所を積層体の非変位部を主体と
したため、積層体の本来の伸縮機能を充分に確保し得る
と共に、外部電極を徒らに剛性化することなく、積層体
および／または積層体と外部電極との接合部のクランク
若しくは剥離を生ずることがなく、積層型変位素子の機
能を確保し得る。
た構成であるが、接続箇所を積層体の非変位部を主体と
したため、積層体の本来の伸縮機能を充分に確保し得る
と共に、外部電極を徒らに剛性化することなく、積層体
および／または積層体と外部電極との接合部のクランク
若しくは剥離を生ずることがなく、積層型変位素子の機
能を確保し得る。
第１図は本発明の実施例を模式的に示す側面図第２図は
本発明の他の実施例を模式的に示す斜視図、第３図およ
び第４図は各々従来の積層型変位素子の例を模式的に示
す側面図である。 ３ａ、３ｂ：外部電極、６：リード線、７：はんだ。
本発明の他の実施例を模式的に示す斜視図、第３図およ
び第４図は各々従来の積層型変位素子の例を模式的に示
す側面図である。 ３ａ、３ｂ：外部電極、６：リード線、７：はんだ。
Claims (5)
- （１）略同一の平面輪郭および接触面積に形成した電気
機械変換材料からなる薄板と導電材料からなる内部電極
とを各々複数個交互に積層して積層体を形成し，この積
層体の側面に前記内部電極と一層おきに接続すべき１対
の外部電極を設けてなる積層型変位素子において，リー
ド部材を外部電極の略全長に渡って配設すると共に，少
なくとも外部電極の上下端とリード部材とを電気的かつ
機械的に接続したことを特徴とする積層型変位素子。 - （２）外部電極とリード部材とを複数箇所電気的かつ機
械的に接続した請求項（１）記載の積層型変位素子。 - （３）略同一の平面輪郭および接触面積に形成した電気
機械変換材料からなる薄板と導電材料からなる内部電極
とを各々複数個交互に積層して形成した積層体を更に複
数個積層して複積層体を形成し，この複積層体の側面に
前記内部電極と一層おきに接続すべき１対の外部電極を
設けてなる積層型変位素子において，リード部材を外部
電極の略全長に渡って配設すると共に，少なくとも前記
積層体の上下端近傍において外部電極とリード部材とを
電気的かつ機械的に接続したことを特徴とする積層型変
位素子。 - （４）外部電極とリード部材とを単位積層型変位素子に
おいて複数箇所電気的かつ機械的に接続した請求項（３
）記載の積層型変位素子。 - （５）リード部材を非緊張状態で外部電極と接続した請
求項（１）ないし（４）何れかに記載の積層型変位素子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073288A JP2892672B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 積層型変位素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1073288A JP2892672B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 積層型変位素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02251185A true JPH02251185A (ja) | 1990-10-08 |
| JP2892672B2 JP2892672B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=13513812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1073288A Expired - Lifetime JP2892672B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 積層型変位素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2892672B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0468571U (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-17 | ||
| US6663015B2 (en) | 2000-06-06 | 2003-12-16 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| DE102005051066B4 (de) * | 2004-10-28 | 2013-10-17 | Tdk Corp. | Piezoelektrik-Bauelement mit mehreren Schichten |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100593930B1 (ko) * | 2005-02-04 | 2006-06-30 | 삼성전기주식회사 | 적층형 세라믹 커패시터 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6392068A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Toyota Motor Corp | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 |
| JPS6433980A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | Toyota Motor Corp | Lamination type piezoelectric body |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP1073288A patent/JP2892672B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6392068A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Toyota Motor Corp | グリ−ンシ−ト積層型圧電積層体 |
| JPS6433980A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | Toyota Motor Corp | Lamination type piezoelectric body |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0468571U (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-17 | ||
| US6663015B2 (en) | 2000-06-06 | 2003-12-16 | Denso Corporation | Piezoelectric device for injector |
| DE102005051066B4 (de) * | 2004-10-28 | 2013-10-17 | Tdk Corp. | Piezoelektrik-Bauelement mit mehreren Schichten |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2892672B2 (ja) | 1999-05-17 |
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