JPH0225764A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は検査装置に関する。

（従来の技術） 液晶テレビ画面等に用いられている液晶表示体（以下、
　ＬＣＤと略記する）の電気的特性を検査する装置とし
て、検査装置が知られている。

上記検査装置は、被検査体、例えばＬＣＤの電極列に対
応したプローブ電極端子列を、接触してテスタと電気的
に接続したプローブ電極端子列から、電圧が印加されて
、検査するものである。

（ユ 上記検査装置は、第桝図で示すように、先ず口取り出し
１位置決め板０でアライメント（位置合わせ）して、検
査部■に受は渡す位置、例えばホームポジション位置■
のサブチャック（８）に載置する。そして、検査部■側
に設けられたＸ軸移動板（９）に吸着して、このＸ軸移
動板■を検査部０の載置体（１０）まで駆動制御して、
載置体（１０）表面に受は渡す。

同様にして、検査終了したＬＣＤ■は上述した各機構を
用いて、逆方向に搬送ｒｇ動して、所定セット（３−に
戻るように駆動制御されている。上述した一連の搬送移
動で、ＬＣＤ■をカセット■から載置体（１０）まで搬
送する搬送状態を操作パネル（１１）の前面に設けた表
示画面（１２）に可視表示して、監視、即ちモニタニン
グしている。

上記表示画面（１２）は、ＬＣＤ■が上述したカセット
■を載置する夫々の機構、例えばステージ（１３）　。

ピンセット（至）、サブチャフ２０２位置決め板（ト）
。

ローダ部（１）から、検査部■にＬＣＤ■を搬送させる
Ｘ軸移動板（９）、及び載置体（１０）における所在を
表示するように表示灯が表示画面（１２）の各位置に設
けられている。

従って、ＬＣＤ■の搬送される所在は、各個所に設けら
れているセンサ（１４）によって、感知しその情報に基
づいて表示するようになっているので、上記表示画面の
各表示灯の点灯または消灯により、ＬＣＤ■の所在が監
視可能であり、この監視によって、搬送状態の移動を瞬
時間隔でモニタニングするが一般的に用いられている。

（発明が解決しようとするｇ１９ｇ） 従来の検査装置では、搬送系においてＬＣＤの所在位置
が可視表示でき、この所在位置を監視して順次検査して
いたが、最近になって、上記ＬＣＤの基板の搬送系に異
常発生の状況が可視可能に表示される検査装置が切望さ
れている。

本発明の目的とするところは、上記問題に鑑みなされた
もので、搬送系における被検査体の所在位置および被検
査体の搬送状況情報を可視色表示する検査装置を提供す
ることにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、搬送系での被検査体の所在位置を可視表示す
る表示手段を備えた装置において。

上記被検査体の所在位置及び搬送状況を色で表示するこ
とを特徴としている。

（作用効果） この発明は、被検査体の所在位置及び被検査体の搬送状
況を色表示することができる。従って被検査体の所在位
置と搬送時の異常を瞬時に監視できる。さらに修理対応
を迅速に行うことができる。

（実施例） 以下、本発明装置を液晶表示体プローバに適用した一実
施例について図面を参照して説明する。

上記説明において、従来部品と同一部品は同符号を用い
て説明する。

上記液晶表示体プローバは、液晶表示体（以下、ＬＣＤ
と称する）に形成さ九た信号ライン・操作ラインの断線
、短絡及びパルスヂエネレータからのテストパターンに
よる表示等の検査を行うものである。

ｌノ 上記液晶表示体プローバは、第愕図で示すように、筐体
（１５）の右側に配置されたローダ部■と。

このローダ部■の左側に配置された検査部■と、この検
査部■及びローダ部■の前面に配置された操作パネル（
１１）と、この操作パネル（１１）の上側に配置され、
　　ＬＣＤの移動位置を可視表示する表示画面（１２）
とから構成されている。

尚、上記検査部０の上方には、　　ＬＣＤの電極部にプ
ローブ電極端子の接触状態を確認できるスコープ（１６
）がｘ＠Ｙ軸移動可能に設けられている。

上記ローダ部■は、第４図と第鷺図で示すように、ＬＣ
Ｄ■を板厚方向に所定の間隔を設けて複数枚１例えば２
５枚を積載収納したカセット■を保持するステージ（１
３）と、このステージ（１３）と平行に移動して、上記
カセット（３）内に進入して、　　ＬＣＤ■を取り出し
、ホームポジション位置■まで搬送する取り出し機構、
例えばピンセットに）と、上記ホームポジション位置■
に到達したピンセット（イ）上のＬＣＤ■を上方に持ち
上げるように上昇する上昇機構、例えばサブチャック■
と、このサブチャック■で上昇したＬＣＤ■を位置合わ
せさせる位置決め板■とから構成されている。

ここで上記位置決め板■は、ステージ（１３）方向と平
行に移動可能に設けられ、上記サブチャック■上面まで
駆動されるようになっている。

従って、上記構成のローダ部■では、カセット（３）内
に収納したＬＣＤ■を一枚ずつ取り出して検査部（０に
供給し、また検査終了のＬＣＤ■は空力セット（図示せ
ず）に収納するものである。

上記検査部■は、第７図及び第８図に示すように、液晶
表示プローバの基台（１７）上を平面移動可能な載置体
（１０）と、上述したローダ部（１）のサブチャック■
を設けたホームポジション位置■に位置決めされたＬＣ
Ｄ■を上記載置体（１０）に搬送するＸ軸移動板（９）
と、から構成されている。

上記載置体（１０）の表面にＬＣＤ■を仮固定例えば、
真空吸着固定し、この表面と対向面に設けられたヘッド
プレート（１８）に配置されているプローブ電極端子（
１９）と接触するように上昇する構成になっている。

上記プローブ電極端子（１９）はテスタ（２０）と電気
的に接続して、　　ＬＣＤ■の断線、ショート等を検査
できるように駆動制御している。

上記表示画面（１２）は、上述したローダ部■及び検査
部０にＬＣＤ■が移動するに際し、所在位置を可視でき
る画面に表示するものである。

この表示画面（１２）は、カセット■をａ置するステー
ジ（１３）、　　ＬＣＤ■をカセット■から出し入れす
る。

取り出し機構、例えばピンセットに）と、検査部０とロ
ーダ部■のＬＣＤ■受は渡し位置、例えばサブチャック
（ハ）と、ピンセットに）でサブチャック（８）まで搬
送されたＬＣＤ■の位置決めをする位置決め板■と、ホ
ームポジション位置■から載置体（１０）まで搬送する
Ｘ軸移動板（９）の各々にセンサ（２１）が設けられて
いる。ここで、このセンサ（２１）からの情報は操作パ
ネル（１１）の上部にある表示画面に可視表示可能に点
灯するように設けられている。

そして、ＬＣＤ■の所在位置を可視表示することにより
ＬＣＤ■を監視して、ＬＣＤ■の電気的特性を検査し、
上記ＬＣＤ■の状況１例えば異常搬送状態。

未検査ＬＣＤ　、検査部ＬＣＤの状況等を可視表示して
、ＬＣＤの流が瞬時に監視できる液晶表示体プローバに
構成されている。

本実施例の特徴的構成は、第１図に示すように上記しＣ
Ｄ■の所在位置を表示する所在信号発生（２２）と、こ
のＬＣＤ■の状況を表示する状況信号発生（２３）例え
ば異常状態、未検査しＣＤ■との区別を色表示変換して
、表示灯（２４）に可視表示することにある。

即ち、カセット■が載置される各ステージ（１３ａ。

１３ｂ、　１３ｃ、　１３ｄ）、ピンセットに）の頂面
、サブチャック■の頂面、位置決め板■の頂面、サブチ
ャック■上のホームポジション位置■のＸ軸移動板０）
、載置体（１０）上のＸ軸移動板■、載置体（１０）の
頂面に夫々にセンサー（１４ａ、　１４ｂ、　１４ｃ、
　１４ｄ、　１４ｅ。

１４ｆ、　１４ｇ、　１４ｈ）が設けられている。ここ
で、上記ピンセット（イ）、サブチャック■及び位置決
め板■にはＬＣＤ■の吸着時の圧力が一定圧力であるか
否かを検出する圧力センサのみを付加して、この圧力セ
ンサによってＬＣＤの載置を検出している。

上記センサ（１４）は、第２図（ａ）に示すように従来
と異ったセンサ（２１）、例えばフォトインターラプタ
（２１ａ）においては２　発光を遮断するように設けら
れている。

また、　上記フォトインターラプタ（２１ａ）における
発光と受光との間が遮断されると、表示画面（１２）に
配置されている可視表示、例えば電気的に接続されてい
る発光ダイオードに信号が送られる。

上記表示灯（２４）には、第２図（ｂ）で示すように信
号を送信すると、緑色に点灯する緑色用発光ダイオード
（２５）　（以下、緑色ＬＥＤと略記する）と、赤色に
点灯する赤色用発光ダイオード（２６）　（以下赤色Ｌ
ＥＤと略記する）とが設けられている。上記ＬＥＤには
、信号線（２５ａ、　２６ａ）が設けられている。

また、上記緑色ＬＥＤ（２５）及び赤色ＬＥＤ　（２６
）の双方が点灯すると橙色が表示灯に可視されるように
なっている。

上記表示灯（２４）の赤色ＬＥＤの点灯は、既に説明し
た各々の搬送の異常状態を検出して、その信号を入力し
て、異常状態を可視表示可能にしたことにある。

即ち、先ず、カセット■が載置される各々のステージ例
えば、第９図及び第１０図で示すように、第１ステージ
（１３ａ）、第２ステージ（１３ｂ）、第３ステージ（
１３ｃ）、第４ステージ（１３ｄ）を上下動させる駆動
モータ（８ａ）と連動したエンコーダ（図示しない）の
読みが所定値からずれると、ハングアップしたものとし
て、異常状態であることを検出して、信号を赤色ＬＥＤ
（２６）に送出すると同時に、【、ＣＤ■が各々の機構
載置面に載置され点灯している緑色ＬＥＤ（２５）を予
め記憶されたプログラムに従って、消灯して赤色ＬＥＤ
　（２６）のみを点灯するようになっている。

同様に、ピンセット（イ）の異常状態についても説明す
る。

上記ピンセットに）にＬＣＤ■が載置されると、このピ
ンセット（イ）の表面に設けられた孔でＬＣＤ（２）を
真空吸着するが、この時に真空圧力が一定圧力で吸引さ
れない場合に圧力センサ（図示せず）が異常と判断して
、または、ビンセット駆動モータのハングアップ等の異
常の場合も赤色ＬＥＤ（２６）の信号線（２６ａ）に信
号が送出される。

そして、上記ピンセットに）の異常状態であることが表
示画面（１２）のピンセット表示灯（２４ａ）が緑から
赤色に色変換することになる。

同様にして、ＬＣＤ（１０）をピンセットに）から授受
したサブチャック（ａは、上下動駆動モータ（８ａ）の
ハングアップまたは、真空圧力の底下のいずれか一方が
異常状態になっても、緑色から赤色になるよう信号を送
出し、表示画面（１２）のサブチャックの表示灯（２４
ｆ）を色変換することになる。

同様にして、サブチャック（８）から授受したＬＣＤ■
をプリアライメントする位置決め板■の真空圧力が一定
圧力で吸引されない場合にも圧力センサ（図示せず）で
異常信号が表示灯に送出されることになる。

そして、上記位置決め板■の収差不完全の異常状態が表
示同面（１２）の位置決め板表示灯（２４ｇ）に表示さ
れる。即ち、緑から赤色に色変換して、可視表示される
ことになる。

また、上記位置決め板（２４ｇ）から上記サブチャック
（８）に授受したＬＣＤ■を真空圧で真空吸着固定して
、検査部０の載置体（１０）まで搬送するように設けら
れたＸ軸移動板（９）がある。

このＸ軸移動板（９）は、上記サブチャック（ハ）と上
記載置体（１０）との間を結ぶように設けられている。

上記Ｘ軸移動板（９）は上記サブチャック（８）上のホ
ームポジション位置■からＬＣＤ■を吸着したのちに移
動して、載置体（１０）上面まで搬送して、上記載置体
（１０）がＺ軸方向に上昇して、上記Ｘ軸移動板０）か
らＬＣＤ■を受は取り、降下して、載置体（１０）に受
は渡すように設けられている。

この時に上記Ｘ軸移動板（９）にＬＣＤ■が一定圧力で
吸引されない場合、搬送中にＬＣＤ■を落下させてしま
うので、この時の異常状態を緑色から赤色に色表示変換
して１表示画面（１２）のホームボジシ１ン側のＸ軸径
動板表示灯（２４ｈ）に可視表示する。

またＸ軸移動板０の駆動により、載置体（１０）側に到
達したＸ軸棒動板毎に異常があれば、緑色から赤色に色
表示変換して表示画面（１２）のＸ軸径動板表示灯に可
視表示されることになる。

このようにして、液晶表示体プローバでは、未検査のし
ＣＤ■をカセット■から載置体（ｌＯ）まで搬送する時
にローダ側から検査部に向う方向を示すように、緑色に
表示し、この逆の搬送、即ち検査部からカセットに向う
方向を示すアンローダ側には、橙色で表示するようにな
っている。

ここで、緑色表示から橙色表示に切り替える信号はテス
タ（２０）側から液晶表示体プローパ側にテストエンド
のコマンドが出ると、この信号を戻りの信号としている
。

この時の橙色は、第２図（ｂ）で示すように、双方の信
号線（２５ａ、　２６ａ）に信号が入切されると緑色Ｌ
ＥＤ（２５）及び赤色ＬＥＤ（２６）の両方が点灯して
橙色に点灯したように見える。

次に、上記液晶表示体プローバの表示灯（２４）の点灯
動作について第４図乃至第６図フローチャートを用いて
説明する。

上記液晶表示体プローバのローダ部■ではカセット■内
のしＣＤの収納状況をメモリする。そして、カセット■
がステージ（１３）に載置しているかを読みとる（３２
）。

上記カセット（３）内に未検査用ＬＣＤ■があれば。

表示画面（１２）のステージ表示灯（２４ａ、　２４ｂ
、　２４ｃ。

２４ｄ）を緑色に点灯する（３３）日。

未検査ＬＣＤ■が無ければ、上記ステージ表示灯（２４
ａ、　２４ｂ、　２４ｃ、　２４ｄ）を橙色に点灯させ
る（３４）。

即ち緑色ＬＥＤ及び赤色ＬＥＤを点灯させる。

また、上記ステージ（１３ａ、　１３ｂ、　１３ｃ、　
１３ｄ）上にカセット■が無ければ点灯しない（３５）
。

次に第５図に示すように。

ピンセット（イ）にＬＣＤ■が載置されたか、を読む（
３６）。

真空吸着力が一定であるかを読む（３７）。

一定であり、ＬＥＤを緑色に点灯（３８）。

低下していればＬＥＤを赤に点灯する（３９）。

上記ピンセット（イ）にＬＣＤ■が無ければＬＥＤを点
灯しない（４０）。

次に第６図に示すように、 サブチャック（８）にＬＣＤ■がｔＨ？Ｚされているか
を読む（４１）。

真空吸着力が一定であるかを読む（４２）。

一定であれば、つぎに駆動モータのエンコーダの読みは
所定値かを読む（４２）。

そして一定かつ所定値であればＬＥＤを緑色に点灯（４
３）、低下、または所定値でなければＬＥＤを赤色に点
灯する（４４）。

上記サブチャック（８）上にＬＣＤ■が無ければ、ＬＥ
Ｄは点灯しない（４５）。

上記動作は、位置決め板■、Ｘ軸移動板■）及び載置体
（１０）も同様なフローチャート動作と同じなので動作
説明を省略する。

上記実施例では表示灯（２４）にＬＥＤを用いたが、こ
れに限定されることはなく、光が発するものであれば良
い、例えば豆電球、または液晶を用いてもよい。

上記実施例では、液晶表示体を検査する検査装置で説明
したが、半導体ウェハを検査するウエハプローバに適用
しても良い、また被検査体を搬送する搬送装置に用いて
も良い。

上記実施例の効果は、　　ＬＣＤの所在ばかりでなくＬ
ＣＤの状況も可視表示されているので、故障原因及び故
障状態が一目瞭然に監視できるのでメンテナンス及び効
率の良い検査が可能になる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明装置を説明するための表示灯説明図、第
２図は第１図の表示灯及びセンサ部を説明するための回
路説明図、第３図は第１図の表示画面を説明するための
配置説明図、第４図乃至第６図は第１図の装置の表示灯
の動作を説明するためのフローチャート説明図、第７図
及び第８図は第１図の装置を用いた液晶表示体ブローμ
の一実施例を説明するための検査部上面説明図及び検査
部断面説明図、第９図及び第１０図は第１図の装置を用
いた液晶表示体ブローμの一実施例を説明するためのロ
ーダ部上面説明図及びローダ部断面説明図、第１１図は
第１図の装置を用いた液晶表示体ブローμの外観を説明
するための説明図、第１２図は従来の液晶表示体ブロー
μを説明するための説明図である。 ２１・・・センサ ２１ａ・・・ホトインタラプタ ２２・・・所在信号発生 ２３・・・状況信号発 ２４・・・表示灯 ２５・・・緑色用発光ダイオード（緑色ＬＥＤ）２５ａ
・・・信号線 ２６・・・赤色用発光ダイオード（赤色ＬＥＤ）２６ａ
・・・信号線 ２７・・ステージ（カセットステージ）表示灯２８・・
・ピンセット表示灯 ２９・・・サブチャック表示灯 ３０・・・位置決め板表示灯 ３１・・・ホームポジション位置表示灯３２・・・Ｘ軸
移動板（サブチャック側）表示灯第１図 特許出願人　　東京エレクトロン株式会社第 図 （ｂ） 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 搬送系での被検査体の所在位置を可視表示する表示手段
   を備えた装置において、 上記被検査体の所在位置及び搬送状況を色で表示するこ
   とを特徴とする検査装置。