JPH02259720A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、処理装置に関する。

（従来の技術） 近年、画像表示装置として、軽量薄型、省電力、長寿命
等の利点を有することから、液晶表示装置（ＬＣＤ）が
普及している。

この液晶表示装置は、ガラス等の透明基板上に透明表示
電極のパターンを形成し、この透明基板により液晶部４
４を挟持１７で構成されている。

このような液晶基板（以下、ＬＣＤ基板）の製造装置に
は、半導体製造技術が多く流用されており、例えば微細
パターンの形成工程や露光工程ではエツチング技術やア
ッシング技術５ａ−３ｉ膜等の薄膜形成工程ではＣＶＤ
技、術等が用いられている。

ところで、ＬＣＤ基板の製造工程では、ＬＣＤ基板を減
圧状態下で処理する装置例えばエツチング装置、アッシ
ング装置、ＣＶＤ装置等が必要不可欠であり、そのため
、このような製造装置では、ＬＣＤ基板を密閉された処
理容器内に収容した後、処理容器内を減圧状態として所
定の処理が行えるように構成されている。

こうした製造装置では、処理容器内のメンテナンス例え
ば電極の交換や、洗浄、故障時の修理等を行う際に作業
が簡略化するように処理容器を分割構成し、容器開閉駆
動機構例えば容器開閉モータにより処理容器を開閉する
ように構成されたものがある。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した開閉式の処理容器を有する半導
体製造装置では、処理容器の開閉時に誤りで開閉動作を
行い、作業員が処理容器間に挟まれたり、メンテナンス
用工具類を挟む等の恐れがあり、作業の安全性に問題が
あった。

本発明は上述した従来の問題点を解決するためになされ
たもので、処理容器開閉時における作業の安全性向上が
図れる処理容器開閉機構を有した処理装置を提供するこ
とを目的とするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の処理装置は、密閉処理容器と、この密閉処理容
器に設けられた開閉機構と、この開閉機構を開閉操作す
る複数個のスイッチと、この複数のスイッチのうち少な
くとも２つ以上の予め定められたスイッチ数がＯＮ状態
にな・りた場合に前記開閉機構の開閉の少なくとも一方
が動作する手段とを具備してなることを特徴とするもの
である。

（作　用） 本発明は、処理容器開閉機構の動作スイッチを複数箇所
に設け、少なくとも２つ以上の操作スイッチをＯＮ状態
としたときに開閉機構の開閉の少なくとも一方の動作を
させるように構成したので、誤操作による事故の発生を
防止でき、処理容器開閉時における作業の安全性の向上
を図ることができる。

（実施例） 以下、本発明装置を液晶基板のアッシング処理装置に適
用した一実施例について図を参照して説明する。

装置本体の一方側には未処理のＬＣＤ基板１を複数枚棚
積み収容した基板カセット２が、この基板カセット２を
昇降させてＬＣＤ基板１を一枚ずつ順に取出すための基
板取出し機構３上に載置されている。

基板取出し機構３の下方には基板カセット２を搬送する
ための搬送機構例えば相対向して設けられた一対の搬送
ベルト４からなるベルト搬送機構５が設けられており、
基板取出し機構３を下降させることにより基板ηセット
最下段のＬＣＤ基板１が搬送ベルト４上に搭載されるよ
うに構成されている。

ベルト搬送機構５に搭載されたＬＣＤ基板１は、ベルト
搬送機構５の端部に配設された基板位置決め機構６へと
搬送されてここで基板の位置合せがなされる。

この基板位置合せ機構６には、搬送ベルト４間の下方に
昇降自在に位置し上面に４本の高分子部材例えばテフロ
ンからなる円柱状支持部材７が方形に突設されたμ仮載
置台８が配設されている。

また、基板載置台８上方には基板載置台８の各辺を臨ん
で伸縮機構例えばシリンダー９が配設されており、これ
らシリンダー先端には高分子部材例えばテフロンからな
る当接部材１０が設けられている。

ベルト搬送機構５により基板載置台８上に搬送されたＬ
ＣＤ基板１は、基板載置台８の上昇により載置台上の支
持部材７に搭載される。この後、各シリンダー９を伸長
させることによりシリンダー先端の当接部材１０でＬＣ
Ｄ基板１の４辺を挟着し位置決めを行う。

一方、上記基板位置合せ機構６の一方側には、図示を省
略したｘ−ｙ−ｚ−θステージにより３次元移動自在の
十字状の基板搬送腕１１が配設されており、上記位置合
せ機構６の基板載置台７上に設けられた基板支持部材７
間に基板搬送腕１１を挿入し、位置合せの終了したＬＣ
Ｄ基板１を搭載する。そして、この基板搬送腕１１を後
退させた後、これをアッシング処理チャンバ１２方向へ
日乾例えば９０度ｕ転させ、処理チャンバ１２の搬入用
ゲートバルブ１３を開け、基板搬送腕１１を処理チャン
バ１２内に挿入してＬＳＤ基板１を処理チャンバ内に、
配設された載置台に搭載する。この後、基板搬送腕１１
を処理チャンバ外へと移動し、搬入用ゲートバルブ１３
を閉じて、処理チャンバ内を図示を省略した排気機構に
より所定の減圧状態として処理例えばアッシング処理を
行う。

本実施例の処理チャンバ１２は、第２図に示すように２
分割構造となっている。

同図に示すように処理チャンバ１２は直方体形状をして
おり、その略中央部を境に上部チャンバ３１と下部チャ
ンバ３２とに分割されている。そして処理チャンバ１２
の一方の側面例えばチャンバ長手方向の一側面にはチャ
ンバ開閉用のヒンジ機構３３が設けられており、このヒ
ンジ機構３３により上下チャンバ３１．３２が開閉する
ように構成されている。

このヒンジ機構３３の回転軸には、チャンバ開閉機構例
えば開閉モータ３４が設けられており、電動でチャンバ
の開閉が可能なように構成されている。

上記開閉モータ３４は図示を省略した装置操作パネルに
設けられたスイッチ回路３５中の開閉スイッチＡ、Ｂの
双方をＯＮすることにより作動する。このスイッチ回路
３５は、上記スイッチＡ１Ｂ１リレーＲ，このリレーＲ
の駆動電源３６を夫々直列接続して構成されており、リ
レーＲの接点「は開閉モータ３４への電源３７の供給ラ
イン３８に介挿されている。

このような構成のスイッチ回路３５では、スイッチＡ、
Ｂの双方がＯＮ状態の時、リレーＲが励磁されて接点ｒ
が閉じ、開閉モータ３４に電源が供給されて処理チャン
バ１２の開閉動作が開始される。即ちスイッチ回路３５
は操作スイッチＡ１Ｂの入力に対するＡＮＤ回路を構成
している。

また、操作スイッチＡ、Ｂは一人の作業員が片手で同時
に操作できない距１１ｉｔＬ離されて配置されており、
処理チャンバ１２の開閉を行う際には、作業員は処理チ
ャンバ１２から離れて両手で操作する必要があり、誤操
作による作業員の事故例えば手を挟まれる等の事故の発
生を防止している。

このように、チャンバ開閉モータ２４の操作スイッチを
２か所に設け、各操作スイッチＡＳＢの距離りを作業員
が片手で操作できない距離に離すことにより、開閉スイ
ッチＡＳＢの誤操作による事故の発生を防止でき、作業
の安全性が向上する。

ところで、上述実施例では、スイッチ回路３５をリレー
Ｒを用いて構成したが、操作スイッチＡ、Ｂの入力に対
してＡＮＤ回路を構成するものであればどのような回路
構成でもよい。

尚、処理チャンバ閉時におけるチャンバの締付けは、処
理チャンバ１２の各側面に複数設けられた締付は機構例
えばクランプ機構３９により行われる。

上記処理チャンバ１２内で所定の処理を施されたＬＣＤ
基板１は、処理チャンバ１２の搬入用ゲートバルブ１３
の反対側に設けられた搬出用ゲートバルブ１４から搬出
される。

処理チャンバ１２の搬出用ゲートバルブ１４側には、上
記基板搬送腕１１、基板位置合せ機構６、ベルト搬送機
構５と同様に基板搬送腕１５、基板位置合せ機構１６、
ベルト搬送機構１７が夫々処理チャンバ１２を挟んで路
線対称の位置に配設されており、前述したＩ、　ＣＤ基
板搬入動作と逆の手順で、基板搬送腕１５により搬出用
ゲートバルブ１４から処理チャンバ１２内の処理済みの
ＬＣＤ基板１を基板位置機構１７へと搬送し、基板載置
台１７の支持部材１８上に搭載する。

そして、ＬＣＤ基板１の各辺に臨んで配置されたシリン
ダ１９を動作させて当接部材２０によりＬＣＤ基板１の
各辺を挟着し位置合せを行う。

こうして処理済み基板の位置合せを行っｔこ後、基板載
置台１７を下降させて搬送ベルト２１上にＬＣＤ基板１
を搭載し、°前述した基板取出し機構３と略同様な構造
の基板収容機構２２へと搬送する。この基板収容機構２
２には処理済みのＬＣＤ基板１を棚積み収容するための
基板カセット・２３が図示を省略したカセット昇降機構
上に搭載されており、このカセット昇降機構により基板
カセット２４を上昇させて搬送ベルト２２上のＬＣＤ基
板１を基板カセット２３の最上段から順に収容し。

ていく。こうして一連の動作が終了する。

尚、上述実施例では、本発明をＬＣＤ基板のアッシング
装置に適用した実施例について説明したが、本発明は、
他のＬＣＤ基板製造装置例えばＣＶＤ装置、エツチング
装置等の開閉式密閉処理容器を有する他の製造装置にも
適用することが可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の処理装置によれば、処理
チャンバ開閉時における作業の安全性向上を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例のアッシング装置の構成
を示す平面図、第２図は第１図の処理チャンバの開閉機
構の構成を示す斜視図である。 １・・・・・・ＬＣＤ基板、３・・・・・・基板取出し
機構、６．１７・・・・・・位置合せ機構、７．１８・
・・・・・基板載置台、】２・・・・・・処理チャンバ
、２３・・・・・・基板収容機構、３１・・・・・・上
部チャンバ、３２・・・・・・下部チャンバ、３３・・
・・・・ヒンジ機構、３４・・・・・・開閉モ〜り、３
５・・・・・・スイッチ回路。 出願人　　　　　　チル山梨株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 密閉処理容器と、この密閉処理容器に設けられた開閉機
   構と、この開閉機構を開閉操作する複数個のスイッチと
   、この複数のスイッチのうち少なくとも２つ以上の予め
   定められたスイッチ数がＯＮ状態になった場合に前記開
   閉機構の開閉の少なくとも一方が動作する手段とを具備
   してなることを特徴とする処理装置。